JP4451270B2 - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態について、図1(A)〜(E)を用いて説明する。
本発明の実施の形態2について、図2を用いて説明する。実施の形態2では、マスクとして用いる絶縁体を選択的に吐出して形成した場合の絶縁膜の作製方法を示す。
実施の形態3は、本発明におけるもう一つの特徴である、液滴吐出法で作製した絶縁膜に不活性元素を添加する場合について図3を用いて説明する。
本実施の形態では、液滴吐出法を用いてバリア層を形成する場合に関し、図4および図5を用いて説明する。
実施の形態5について、図6を用いて説明する。図6は、組成物を吐出して形成した絶縁膜に平坦化処理を行う場合を示している。
その後マスクに覆われていない部分をエッチングすることにより、導電膜909の一部が露出するように開口部912を形成する。
また、周縁部の拡大断面図を図12(B)に示す。絶縁膜410において、段差のある端部の側面をバリア層430で覆っている。ここで、バリア層430の形成に際し、端部の角度によっては、断切れを起こす可能性がある。従って、端部はなだらかな傾斜面になるように形成することが必要であり、具体的には、30〜70度のテーパー形状に形成するとよい。さらに、この断切れを防止するために、1滴または複数滴を吐出後に焼成して、組成物を固化する処理を繰り返し行うとよい。
また、本実施例は最良の形態と他の実施例と自由に組み合わせることができる。
Claims (14)
- 絶縁体を含む組成物を液滴吐出法により吐出して第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜上に第2の絶縁膜を形成し、
前記第2の絶縁膜に露光及び現像を行うことによってマスクパターンを形成し、
前記第2の絶縁膜をマスクとして、前記第1の絶縁膜をエッチングして開口部を形成し、
前記開口部の側面に、選択的に組成物を液滴吐出法により吐出して、分子内にフッ素原子を含有するモノマーを含む樹脂、または炭素と水素原子のみから構成されるモノマーを含む樹脂でなるバリア層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 絶縁体を含む組成物を液滴吐出法により吐出して第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜上に第2の絶縁膜を形成し、
前記第2の絶縁膜に露光及び現像を行うことによってマスクパターンを形成し、
前記第2の絶縁膜をマスクとして、前記第1の絶縁膜をエッチングして開口部を形成し、
前記第2の絶縁膜を除去し、
前記開口部の側面に、選択的に組成物を液滴吐出法により吐出して、分子内にフッ素原子を含有するモノマーを含む樹脂、または炭素と水素原子のみから構成されるモノマーを含む樹脂でなるバリア層を形成し、
前記バリア層上に導電膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 絶縁体を含む組成物を液滴吐出法により吐出して第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜上に第2の絶縁膜を形成し、
前記第2の絶縁膜に露光及び現像を行うことによってマスクパターンを形成し、
前記第2の絶縁膜をマスクとして、前記第1の絶縁膜をエッチングして開口部を形成し、
前記第2の絶縁膜を除去し、
前記開口部に組成物を吐出して、導電膜を形成し、
前記導電膜上に組成物を液滴吐出法により吐出して、分子内にフッ素原子を含有するモノマーを含む樹脂、または炭素と水素原子のみから構成されるモノマーを含む樹脂でなるバリア層を形成する半導体装置の作製方法。 - 絶縁体を含む組成物を液滴吐出法により吐出して第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜上に、組成物を選択的に吐出して第2の絶縁膜を形成し、
前記第2の絶縁膜をマスクとして、前記第1の絶縁膜をエッチングして、開口部を形成し、
前記開口部の側面に、選択的に組成物を液滴吐出法により吐出して、分子内にフッ素原子を含有するモノマーを含む樹脂、または炭素と水素原子のみから構成されるモノマーを含む樹脂でなるバリア層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 絶縁体を含む組成物を液滴吐出法により吐出して第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜上に、組成物を選択的に吐出して第2の絶縁膜を形成し、
前記第2の絶縁膜をマスクとして、前記第1の絶縁膜をエッチングして、開口部を形成し、
前記第2の絶縁膜を除去し、
前記開口部に組成物を吐出して、導電膜を形成し、
前記導電膜上に組成物を液滴吐出法により吐出して、分子内にフッ素原子を含有するモノマーを含む樹脂、または炭素と水素原子のみから構成されるモノマーを含む樹脂でなるバリア層を形成する半導体装置の作製方法。 - 請求項2、請求項3または請求項5において、
前記導電膜は、銀、金、銅またはインジウム錫酸化物を含む材料であることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
前記第1の絶縁膜に形成する開口部をテーパー状に形成し、前記第1の絶縁膜に不活性元素を添加することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項7において、
前記不活性元素は、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)から選ばれた一種または複数種であることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか一において、
トランジスタを形成し、
前記トランジスタ上に前記第1の絶縁膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一において、
前記第1の絶縁膜はポリイミド、アクリル、ベンゾシクロブテン、ポリアミドから選ばれた一種、または複数種であることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一において、
前記第1の絶縁膜は珪素と酸素との結合で骨格構造が形成された材料で作製することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項7または請求項8において、
前記第1の絶縁膜は、前記不活性元素が1×1019乃至5×1021atom/cm3の濃度で含まれていることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか一において、
絶縁体を含む組成物を吐出して前記第1の絶縁膜を形成した後に、平坦化処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項13のいずれか一において、
前記第1の絶縁膜の端部に前記バリア層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
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