JP5672678B2 - 電子部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明による電子部品の好適な一実施形態であるコンデンサ1の構造を示す斜視図であり、図2は、図1に示すコンデンサ1の平面図である。図3は、図2のIII−III線に沿う断面図である。
この基板2上に、フォトリソグラフィとめっきにより、下部電極3と第1の台座10とを形成する。より具体的には、例えば、まず、基板2面上に、基板2が露呈している部分に、シード層として膜厚0.01〜1μm程度の下地導体層Csを、スパッタリング又は無電解めっきにて形成する(図4(A))。次いで、フォトレジストを成膜し、それをフォトリソグラフィによって、下部電極3と第1の台座10とに対応した選択めっき用のレジストマスクM1にパターニングする(図4(B))。
次に、下部電極3の上面、上面端部及び側壁面、第1の台座10の上面端部及び側壁面、さらに、下部電極3の外方及び第1の台座10の外方の基板2上面の一部を覆う誘電体層4を形成する。より具体的には、下部電極3、第1の台座10及び露呈している基板2の部位上の全面に、スパッタリング等のPVD法、CVD法、ALD法、溶液法等により、厚さ0.01〜1μm程度の誘電体層4を形成する(図5(A))。そして、フォトレジストからなるレジストマスクM2をパッド電極9a,9bが形成されない部位に形成し(図5(B))、さらに、レジストマスクM2をエッチマスクとして、誘電体層4の一部をエッチングにより除去して開口4a,4bを形成するとともに、開口4a,4bを有する誘電体層4を得る(図5(C))。
次に、図6に示す状態の誘電体層4の上面、下部電極3及び第1の台座10が露呈している部分に、めっきやCVD法等により、第2上部電極用の導体層5a,5b及び第2の台座用の導体層11を形成する。第2上部電極用の導体層5a,5bは、下部電極用の導体層3の実装エリアを越えないように、内方に形成する。より具体的には、例えば、まず、誘電体層4上に、シード層として膜厚0.01〜1μm程度の下地導体層Csを、スパッタリング又は無電解めっきにて形成する。次いで、下地導体層Cs上にレジストマスクM3を配置する(図6(A))。次いで、下部電極3上に形成され、かつ、レジストマスクM3に覆われていない下地導体層Csが露呈している部分、第1の台座10上に形成され、かつ、レジストマスクM3に覆われていない下地導体層Csが露呈している部分に、選択的に電気(電解)めっきを施し、第1上部電極及び第2上部電極形成用の電気めっき導体層を所望の厚さとなるまで電着形成し、次いで、レジストマスクM3および電気めっき導体層の外部のシード層を除去することにより、それぞれ第1上部電極及び第2上部電極用の導体層5a,5b、及び、第2の台座用の導体層11を得る(図7(B))。なお、図7(B)においては、これら導体層5a,5b,11を、それぞれ、第1上部電極5a及び第2上部電極5b並びに第2の台座11と同じ符合で示す。
次いで、第1上部電極5a及び第2上部電極5bの上面及び側壁面、第2の台座11の上面及び側壁面、下部電極3上に形成された誘電体層4の上面、下部電極3の側壁面上に形成された誘電体層4、並びに、基板2上に形成された誘電体層4を覆うように、第1保護層6を形成するための、例えば未硬化状態の光硬化型樹脂を充填する(図7(A))。その後、第1保護層6を形成しない部位の上にメタルマスクM4を設置した状態で、フォトリソグラフィによるパターニングを行うことにより、第1上部電極5a及び第2上部電極5bの端部、第2の台座11の端部、下部電極3上に形成された誘電体層4の上面、下部電極3の側壁面上に形成された誘電体層4、並びに、基板2上に形成された誘電体層4を覆う第1保護層6を形成する(図7(B))。
次に、図7に示す状態の第1保護層6が形成された上面及び側壁面、第1上部電極5a及び第2上部電極5bの上面、並びに、第2の台座11の上面に、めっきやCVD法等により、引き出し電極用の導体層7a,7bを形成する。より具体的には、まず第1保護層6上及び誘電体層4上に、シード層として膜厚0.01〜1μm程度の下地導体層Csを、スパッタリング又は無電解めっきにて形成する。次いで、下地導体層Cs上にレジストマスクM5を配置する(図8(A))。次いで、レジストマスクM5に覆われていない第1保護層6の上面、第1上部電極5a及び第2上部電極5b、並びに、第2の台座11の上面の下地導体層Csが露呈している部分に、選択的に電気(電解)めっきを施し、第1上部電極形成用の電気めっき導体層を所望の厚さとなるまで電着形成し、次いで、レジストマスクM5および電気めっき導体層の外部のシード層を除去することにより、第1上部電極用の導体層7a,7b、第1の引き出し電極7aと第2上部電極5aとを接続するビア導体Va、第1の引き出し電極7aと第2の台座11とを接続するビア導体Va、及び、第1の引き出し電極7bと第2上部電極5bとを接続するビア導体Vbを得る(図8(B))。なお、図8(B)においては、これらの導体層7a,7bを、それぞれ引き出し電極7a,7bと同じ符合で示す。
次いで、引き出し電極7a,7bを覆う第2保護層8を形成する。より具体的には、例えば未硬化状態の光硬化型樹脂8rを、引き出し電極7a,7bの上面、第1保護層6の上面、及び、露呈している誘電体層4の上面に充填する(図9(A))。次に、第2保護層8を形成しない部位の上にメタルマスクM6を設置した状態で、フォトリソグラフィによるパターニングを行うことにより、第1上部電極7a,7bの全面、及び、第1上部電極より外方にある第1保護層6の上面に、第2保護層8を形成する(図9(B))。
次いで、第2保護層8の上面及び側壁面、引き出し電極7a,7bが露呈している部分、第1保護層6の側壁面、及び、第1保護層6より外方に形成されている誘電体層4の上面を覆うように、パッド電極9a,9bを形成する。より具体的には、第2保護層8の上面及び側壁面、引き出し電極7a,7bが露呈している部分、第1保護層6の側壁面、及び、第1保護層6より外方に形成されている誘電体層4の上面を覆うように、シード層として膜厚0.01〜1μm程度の下地導体層Csを、スパッタリング又は無電解めっきにて形成する。次いで、コンデンサ1をダイシングする際の位置合わせズレに対するマージンを確保するために、基板2の側端部であって、かつ、第1保護層6の外方に形成される誘電体層4上及び第2保護層8上であって基板2の平面中央部に、レジストマスクM7を配置する(図10(A))。
図16は、本発明によるコンデンサ100の第2実施形態の構造を示す断面図である。コンデンサ100は、図示の如く、平面視において、第2保護層8’の実装エリアが第1保護層6の実装エリアよりも内方に形成されており、かつ、その側壁面8’tに、第2保護層8’の上面(パッド電極9側)から底面(第1保護層6側)にかけて徐々に傾斜(逆テーパ)が形成されていること以外は、上述した第1実施形態のコンデンサ1と同様に構成されたものである。
Claims (3)
- 基板上に形成され、かつ、素子電極を有する電子回路素子と、
前記電子回路素子に隣接して形成された台座部と、
前記電子回路素子及び前記台座部を覆う保護層と、
前記素子電極と前記台座部とを接続する引き出し電極と、
前記素子電極から前記引き出し電極を介して保護層上に引き出された第1の端子電極と、を有し、
前記素子電極は、前記基板側に形成された下部電極、及び、該下部電極の上方に形成された上部電極を有し、前記引き出し電極は前記上部電極と接続しており、
前記台座部は、金属からなり前記下部電極と同層に形成される第1の台座、及び、金属からなり前記第1の台座の上面に金属接合され前記上部電極と同層に形成される第2の台座を有し、前記引き出し電極は前記第2の台座と接続しており、
前記第1の端子電極は前記第2の台座上に延在し形成され、
前記第2の台座と前記第1の端子電極とが、直接的に又は間接的に金属接合されており、
前記引き出し電極は、前記基板に対して略平行な平坦形状である
ことを特徴とする電子部品。 - 前記電子回路素子の前記下部電極に接続された第2の端子電極を備えており、
前記第1の端子電極は、前記電子回路素子を挟んで前記第2の端子電極と反対側に設けられている、請求項1に記載の電子部品。 - 基板上に素子電極を有する電子回路素子を形成する工程であって、前記素子電極は、前記基板側に形成された下部電極、及び、該下部電極の上方に形成された上部電極を有する前記工程と、
前記電子回路素子に隣接し、金属からなる第1の台座を前記下部電極と同層に形成する工程と、
金属からなる第2の台座を前記第1の台座の上面に金属接合し、前記上部電極と同層に形成する工程と、
前記電子回路素子、前記第1の台座及び第2の台座を覆う保護層を形成する工程と、
前記上部電極と前記第2の台座とを接続し、前記基板に対して略平行な平坦形状である引き出し電極を形成する工程と、
前記引き出し電極上に、前記素子電極に接続される第1の端子電極を形成する工程と、
前記第2の台座と前記第1の端子電極とを、直接的に又は間接的に金属接合する工程と、
を含む電子部品の製造方法。
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