JP5631213B2 - 結晶質酸化インジウム半導体膜を有する薄膜トランジスタ - Google Patents
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Description
また、特許文献2に酸化インジウムに正2価の金属酸化物を含有させたビックスバイト構造を有する酸化インジウム半導体膜が記載されている。正2価の金属酸化物を含有させることにより、キャリヤー濃度を低減する試みがなされている。しかしながら、正2価の金属酸化物の場合、ビックスバイト構造のエネルギーバンド構造のバンドギャップ内に不純物順位を形成することがあり、これが、移動度を低下させる場合がある。
本発明によれば、以下の薄膜トランジスタ等を提供することができる。
1.酸化インジウムを主成分とし、正3価の金属酸化物を含有する結晶質酸化インジウム半導体膜を有する薄膜トランジスタ。
2.前記正3価の金属酸化物が、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化プラセオジム、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロニウム、酸化ホルニウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテリビウム及び酸化ルテチウムから選択される1種又は2種以上の酸化物である1に記載の薄膜トランジスタ。
3.前記酸化インジウムのインジウム元素(In)と前記正3価の金属酸化物の金属元素(M)の合計量に対する金属元素(M)の比率[M/(M+In):原子比]が0.0001〜0.1である1又は2に記載の薄膜トランジスタ。
4.酸化インジウム、及び正3価の金属酸化物を含有する半導体膜を成膜する成膜工程と、前記半導体膜を酸化処理する工程、及び/又は前記半導体膜を結晶化する工程を含む、1〜3のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
5.前記半導体膜を酸素の存在下に、150〜450℃で0.5〜1200分間熱処理する4に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
6.チャンネルエッチ型の薄膜トランジスタの製造方法である4又は5に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
7.エッチストッパー型の薄膜トランジスタの製造方法である4又は5に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
図1は、本発明の薄膜トランジスタの実施形態を示す概略断面図である。
薄膜トランジスタ1は、基板10及び絶縁膜30の間にゲート電極20を挟持しており、ゲート絶縁膜30上には半導体膜40が活性層として積層されている。さらに、半導体膜40の端部付近を覆うようにしてソース電極50及びドレイン電極52がそれぞれ設けられている。半導体膜40、ソース電極50及びドレイン電極52で囲まれた部分にチャンネル部60を形成している。
尚、図1の薄膜トランジスタ1はいわゆるチャンネルエッチ型薄膜トランジスタである。本発明の薄膜トランジスタは、チャンネルエッチ型薄膜トランジスタに限定されず、本技術分野で公知の素子構成を採用できる。例えば、エッチストッパー型の薄膜トランジスタでもよい。
薄膜トランジスタ2は、エッチストッパー型の薄膜トランジスタである。薄膜トランジスタ2は、チャンネル部60を覆うようにエッチストッパー70が形成されている点を除き、上述した薄膜トランジスタ1と同じ構成である。半導体膜40の端部付近及びエッチストッパー70の端部付近を覆うようにしてソース電極50及びドレイン電極52がそれぞれ設けられている。
室温付近の温度においてのキャリヤー密度は、好ましくは10+17cm−3未満である。キャリヤー密度が2×10+17cm−3以上では、TFTとして駆動しないおそれがある。また、TFTとして駆動したとしてもノーマリーオンになったり、閾値電圧がマイナスに大きくなったり、On−Off値が小さくなる場合がある。
結晶質膜は、単結晶膜、エピタキシャル膜及び多結晶膜のいずれであってもよく、工業生産が容易かつ大面積化が可能であることから、好ましくはエピタキシャル膜及び多結晶膜であり、特に好ましくは多結晶膜である。
上記金属酸化物のうち、特に、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化イットリウム、酸化イッテルビウム、酸化エルビウム、酸化ホルミウム、酸化ジスプロシウム、酸化サマリウムが好ましく、さらに、酸化ガリウム、酸化イットリウム、酸化イッテルビウムが好ましい。
尚、正3価の金属酸化物は、酸化インジウムに固溶している方が望ましいが、全てが固溶している必要はない。
金属元素(M)の比率[M/(M+In)]は、より好ましくは0.0005〜0.05であり、特に好ましくは0.001〜0.05である。
尚、金属元素(M)の比率は、ICP(Inductively Coupled Plasma)測定により、各元素の存在量を測定することで求めることができる。
また、金属元素(M)比率は、例えば、半導体膜を形成する際に使用するスパッタリングターゲットの各元素の存在量を調整することで実施できる。半導体膜の組成は、スパッタリングターゲットの組成とほぼ一致する。
例えば、各電極にはAl、Cu、Au等の金属薄膜が使用でき、ゲート絶縁膜には、酸化シリコン膜、酸化ハフニウム膜等の酸化物薄膜を使用できる。
本発明の製造方法は、酸化インジウム、及び正3価の金属酸化物を含有する半導体膜を成膜する成膜工程と、半導体膜を酸化処理する工程、及び/又は結晶化する工程を含む。尚、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース・ドレイン電極等の構成部材は、公知の方法により形成できる。
スパッタリングでは、複合酸化物の焼結ターゲットを用いる方法が好ましい。具体的に、酸化インジウムに正3価の金属酸化物を添加した複合酸化物の焼結ターゲットが好ましい。尚、複合酸化物の焼結ターゲットは、本技術分野において公知の方法により製造できる。
スパッタリングの条件は、使用するターゲットや、半導体膜の膜厚等にあわせて適宜調整することができる。スパッタリング方法は、RFスパッタ法、DCスパッタ法、ACスパッタ法が使用できる。中でも、DCスパッタ法、ACスパッタ法が、成膜速度も速く、好ましい。
半導体膜の結晶化及び酸化処理には、酸素の存在下にランプアニ―ル装置、レーザーアニール装置、熱風加熱装置、接触加熱装置等を用いることが出来る。
半導体膜を酸素の存在下に、150〜450℃、0.5〜1200分の条件で熱処理することが好ましい。150℃未満では、半導体膜が十分に結晶化しない場合があり、450℃超では、基板や半導体膜にダメージを与える場合がある。熱処理温度は、180℃〜350℃がさらに好ましく、特に200℃〜300℃が好ましい。
また、熱処理時間が0.5分未満では、熱処理時間が短すぎて膜の結晶化が不十分となる場合があり、1200分超では時間が掛かりすぎ生産的ではない。熱処理時間は、1分〜600分がさらに好ましく、特に5分〜60分が好ましい。
尚、半導体膜の結晶化及び/又は酸化処理は、半導体膜の形成後、すぐに実施してもよく、また、ソース・ドレイン電極等、他の構成部材の形成後に実施してもよい。
(A)薄膜トランジスタの作製
図3に示すチャンネルエッチ型の薄膜トランジスタをフォトレジスト法にて作製した。
200nm厚みの熱酸化膜(SiO2膜)付きの導電性シリコン基板10を使用した。熱酸化膜がゲート絶縁膜30として機能し、導電性シリコン部がゲート電極20として機能する。
ゲート絶縁膜30上に、酸化インジウム−酸化ガリウムからなるターゲット[Ga/(In+Ga)=0.03:原子比)]を用いて、スパッタリング法で40nmの半導体膜40を成膜した。スパッタリングは、背圧が5×10−4Paとなるまで真空排気したあと、アルゴン9.5sccm、酸素0.5sccmを流しながら、圧力を0.2Paに調整し、スパッタパワー100Wにて室温で行った。
半導体膜40の形成後、この基板を熱風加熱炉内で空気中、300℃で30分間熱処理した。
その後、半導体膜40及びゲート絶縁膜30上に、モリブデン金属膜を300nm成膜した。
モリブデン金属膜にレジストを塗布し、80℃で15分間プレベークした。その後、マスクを通してUV光(光強度:300mJ/cm2)をレジスト膜に照射し、その後、3wt%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)にて現像した。純水で洗浄後、レジスト膜を130℃で15分ポストベークし、所望の形状のソース・ドレイン電極形状のレジストパターンを形成した。
レジストパターン付き基板を、燐酸・酢酸・硝酸の混合酸で処理することで、モリブデン金属膜をエッチングし、ソース電極50及びドレイン電極52を形成した。その後、純水で洗浄しエアーブローして乾燥させ、薄膜トランジスタ(チャンネル部60のソース・ドレイン電極間間隙(L)が200μm、幅(W)が500μm)を作製した。
石英ガラス基板上に、上記(A)のスパッタリングと同じ条件にて半導体膜を形成した。その後、熱風加熱炉内で、空気中、300℃で30分間熱処理した。得られた半導体膜のX線回折(XRD)測定をしたところ、酸化インジウムのビックスバイト構造のピークが観察された。これにより、半導体膜が結晶質であることが確認できた。また、ホール測定により求めたキャリヤー濃度は、8×10+16/cm3であった。
尚、半導体膜の熱処理条件を、空気中、450℃で5時間として得た半導体膜について、同じくXRD測定した。300℃にて熱処理したXRDのピーク強度を比較したところ、300℃で得られたピーク強度は、450℃で得られたピーク強度の約95%であった。
スパッタリングターゲットとして、酸化インジウム−酸化イッテリビウムからなるターゲット[Yb/(Yb+In)=0.03:原子比)]を用いた他は、実施例1と同様にして、薄膜トランジスタを作製した。
この薄膜トランジスタの電界効果移動度は1.2cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
また、XRD測定の結果、半導体膜は結晶質性であった。酸化インジウムのビックスバイト構造のピークが観察された。また、ホール測定により求めたキャリヤー濃度は、8×10+16/cm3であった。
使用したスパッタリングターゲットの組成、及び得られた薄膜トランジスタの特性を示す。
電界効果移動度は8.2cm2/V・sec、On−Off比は105であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化アルミニウム:Al/(Al+In)=0.005
電界効果移動度は6.2cm2/V・sec、On−Off比は105であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化スカンジウム:Sc/(Sc+In)=0.02
電界効果移動度は4.2cm2/V・sec、On−Off比は106であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化イットリウム:Y/(Y+In)=0.05
電界効果移動度は6.8cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化ランタン:La/(La+In)=0.02
電界効果移動度は5.1cm2/V・sec、On−Off比は106であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化ネオジム:Nd/(Nd+In)=0.01
電界効果移動度は8.4cm2/V・sec、On−Off比は106であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化サマリウム:Sm/(Sm+In)=0.05
電界効果移動度は7.6cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化ユウロピウム:Eu/(Eu+In)=0.03
電界効果移動度は5.3cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化ガドリニウム:Gd/(Gd+In)=0.03
電界効果移動度は6.7cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化テルビウム:Tb/(Tb+In)=0.005
電界効果移動度は3.3cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化ジスプロニウム:Dy/(Dy+In)=0.01
電界効果移動度は14.7cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化エルビウム:Er/(Er+In)=0.01
電界効果移動度は11.4cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化ツリウム:Tm/(Tm+In)=0.02
電界効果移動度は8.3cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
・酸化ルテチウム:Lu/(Lu+In)=0.003
電界効果移動度は6.9cm2/V・sec、On−Off比は107であり、ノーマリーオフの特性を示す薄膜トランジスタであった。また、出力特性は明瞭なピンチオフを示した。
図4に示すエッチストッパー型の薄膜トランジスタを、フォトレジスト法にて作製した。
熱酸化膜30(SiO2膜)付きの導電性シリコン基板10上に、酸化インジウム−酸化イットリウムからなるターゲット[Y/(In+Y)=0.03:原子比)]を用いて、実施例1と同様にスパッタリング法で40nmの半導体膜40を成膜した。
次に、Siをターゲットとして、アルゴン:7sccm、酸素3sccm流し、圧力0.5Paにて100nm成膜した。その後、レジストを塗布し、80℃で15分間プレベークした。その後、マスクを通してUV光(光強度:300mJ/cm2)をレジスト膜に照射し、その後、3wt%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)にて現像した。純水で洗浄後、レジスト膜を130℃で15分ポストベークし、チャンネル部60となる部分にパターンを形成した。CF4によるドライエッチングにより、エッチストッパー70を形成した。レジスト剥離剤にて、レジストを剥離し、水洗し、エアーブローにより乾燥した。
その後、半導体膜40、エッチストッパー70及び熱酸化膜30上に、モリブデン金属膜を300nm成膜した。
モリブデン金属膜にレジストを塗布し、80℃で15分間プレベークした。その後、マスクを通してUV光(光強度:300mJ/cm2)をレジスト膜に照射し、その後、3wt%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)にて現像した。純水で洗浄後、レジスト膜を130℃で15分ポストベークし、ソース電極50及びドレイン電極52の形状のレジストパターンを形成した。
レジストパターン付き基板を、燐酸・酢酸・硝酸の混合酸で処理することで、モリブデン金属膜をエッチングした。この場合、半導体膜40は結晶化しておらず、燐酸・酢酸・硝酸の混合酸で処理することにより、モリブデン金属膜と同時にエッチングが出来る。また、チャンネル部60は、エッチストッパー70にて保護されており、半導体膜40がエッチングされることはない。
レジストを剥離後、その後、純水で洗浄しエアーブローして乾燥させた。その後、熱風加熱炉内で空気中、300℃で30分間熱処理して、薄膜トランジスタ(チャンネル部60のソース・ドレイン電極間間隙(L)が200μm、幅(W)が500μm)を作製した。
半導体膜は結晶質であった。また、ホール測定により求めたキャリヤー濃度は、6×10+16/cm3であった。
実施例3で作製した薄膜トランジスタの出力曲線を図5に、伝達曲線を図6に示す。図5は、ゲート電圧(Vgs)を−5V〜25Vと変更したときの、ドレイン電圧(Vds)と同電流(Ids)の関係を示したものである。図6は、ゲート電圧(Vgs)とドレイン電流(Ids)の関係を示したものであり、白丸からなる線は、ゲート電圧に対するドレイン電流を1/2乗した曲線であり、黒丸からなる線は、ゲート電圧に対するドレイン電流を示す曲線である。
図5及び図6において、「XE−Y」はX×10−Yを意味する。例えば、5.0E−06は5.0×10−6である。
スパッタリングターゲットに、酸化インジウム−酸化ガリウム−酸化亜鉛からなるターゲットを使用した他は、実施例1と同様にして薄膜トランジスタを作製した。スパッタリングターゲットの組成(原子比)は以下の通りである。
In/(In+Ga+Zn)=0.34
Ga/(In+Ga+Zn)=0.33
Zn/(In+Ga+Zn)=0.33
その結果、モリブデン金属膜のエッチングの際に、チャンネル部60の下部の半導体膜40もエッチングされ消失していた。従って、TFT特性は測定できなかった。
スパッタリングターゲットに、酸化インジウム−酸化ガリウムからなるターゲットを使用した他は、実施例1と同様にして薄膜トランジスタを作製した。スパッタリングターゲットの組成(原子比)は以下の通りである。
In/(In+Ga)=0.7
Ga/(In+Ga)=0.3
その結果、モリブデン金属膜のエッチングの際に、チャンネル部60の下部の半導体膜40もエッチングされ消失していた。従って、TFT特性は測定できなかった。
本発明の薄膜トランジスタの製造方法は、特に、チャンネルエッチ型の薄膜トランジスタの製造方法に適している。
この明細書に記載の文献の内容を全てここに援用する。
Claims (10)
- 酸化インジウム及び正3価の金属酸化物からなる結晶質酸化インジウム半導体膜を有する薄膜トランジスタであって、
前記正3価の金属酸化物が、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化プラセオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ホルミウム、酸化ツリウム及び酸化ルテチウムから選択される1種又は2種以上の酸化物であり、
前記酸化インジウムのインジウム元素(In)と前記正3価の金属酸化物の金属元素(M)の合計量に対する金属元素(M)の比率[M/(M+In):原子比]が0.0005〜0.05である薄膜トランジスタ。 - 前記正3価の金属酸化物が、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化イットリウム、酸化イッテリビウム、酸化エルビウム、酸化ホルミウム、酸化ジスプロニウム、及び酸化サマリウムから選択される1種又は2種以上の酸化物である請求項1に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記正3価の金属酸化物が、酸化ガリウム、酸化イットリウム及び酸化イッテリビウムから選択される1種又は2種以上の酸化物である請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記結晶質酸化インジウム半導体膜のキャリヤー密度が10+17cm−3未満である請求項1〜3のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
- 前記結晶質酸化インジウム半導体膜が酸化インジウムのビックスバイト構造を有する請求項1〜4のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
- 酸化インジウム及び正3価の金属酸化物からなる結晶質酸化インジウム半導体膜であって、
前記正3価の金属酸化物が、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化プラセオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ホルミウム、酸化ツリウム及び酸化ルテチウムから選択される1種又は2種以上の酸化物であり、
前記酸化インジウムのインジウム元素(In)と前記正3価の金属酸化物の金属元素(M)の合計量に対する金属元素(M)の比率[M/(M+In):原子比]が0.0005〜0.05である結晶質酸化インジウム半導体膜。 - 薄膜トランジスタの結晶質酸化インジウム半導体膜の形成が、
酸化インジウム、及び正3価の金属酸化物からなる半導体膜を成膜する成膜工程と、
前記半導体膜を酸化処理する工程、及び/又は前記半導体膜を結晶化する工程を含む、
請求項1〜5のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記半導体膜を酸化処理する工程、及び前記半導体膜を結晶化する工程が、前記半導体膜を酸素の存在下に、150〜450℃で0.5〜1200分間熱処理する請求項7に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- チャンネルエッチ型の薄膜トランジスタの製造方法である請求項7又は8に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- エッチストッパー型の薄膜トランジスタの製造方法である請求項7又は8に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
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