JP5515675B2 - 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス - Google Patents
圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP5515675B2 JP5515675B2 JP2009265466A JP2009265466A JP5515675B2 JP 5515675 B2 JP5515675 B2 JP 5515675B2 JP 2009265466 A JP2009265466 A JP 2009265466A JP 2009265466 A JP2009265466 A JP 2009265466A JP 5515675 B2 JP5515675 B2 JP 5515675B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- piezoelectric thin
- piezoelectric
- substrate
- knn
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/495—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
- H10N30/076—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by vapour phase deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/1051—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8542—Alkali metal based oxides, e.g. lithium, sodium or potassium niobates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3201—Alkali metal oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3251—Niobium oxides, niobates, tantalum oxides, tantalates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
- C04B2235/762—Cubic symmetry, e.g. beta-SiC
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
- C04B2235/768—Perovskite structure ABO3
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/787—Oriented grains
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/877—Conductive materials
Description
の絶対値|d31|が90[pm/V]以上であることをいう。)
図1は、本発明の一実施形態に係る圧電薄膜素子の概略的な構造を示す断面図である。圧電薄膜素子は、図1に示すように、基板1上に、下部電極2と、圧電薄膜3と、上部電極4とが順次形成されている。
y≦0.94の範囲にある。更に、圧電薄膜3は、係数x、yを、0.4≦x≦0.7かつ
0.75≦y≦0.90の範囲にあるKNN薄膜とするのがより好ましい。KNN薄膜である圧電薄膜3の形成方法には、スパッタリング法、CVD(Chemical Vapor Deposition
)法、PLD(Pulsed Laser Deposition)法、ゾルゲル法などが挙げられる。
文献1:K.Shibata, F.Oka, A.Ohishi, T.Mishima,and I.Kanno, Applied Physics Express, 1 (2008), 011501.
文献2:T.Saito, T.Wada, H.Adachi, and I.Kanno, Jpn.J.Appl.Phys, 43 (2004), 6627.
トイキオメトリー組成のKNN膜((K1−xNax)NbO3)に比べて、KやNaが少ないKNN膜を作製してみたところ、y=1付近のKNN膜と比べて圧電定数が大きくなることを発見した。圧電定数が向上するメカニズムの詳細は明らかではないが、yを1よりも小さくすることで、結晶として理想的なy=1のKNN膜に対して適度の不安定要因が導入されることとなり、電界による結晶格子伸縮(圧電動作)が起こりやすくなったと推測される。
してしまうため、圧電薄膜素子としての利用は困難であることも分かった(実施例の表1及び図8参照)。
(K+Na)/Nb比率であるyが0.7よりも小さくなると、リーク電流が著しく大
きくなる理由は、次のように考えられる。(K+Na)/Nb比率が1の時に、結晶として考えたときに理想的な組成(ストイキオメトリ組成)になる。(K+Na)/Nb比率が1より小さくなると、本来KやNaが入るべきAサイト(結晶格子の頂点の位置)にも、Bサイト(結晶格子の体心の位置)の元素のNbが入ることになる。多少Nbリッチになっても、このAサイトにNbが落ち着くが、ある臨界組成を超えるとNbが格子間に入ることになる。この格子間に入ったNbは電荷を運ぶキャリアとして働くことで、一気に絶縁性が劣化すると考えられる。
図2に、本発明の他の実施形態に係る圧電薄膜素子の概略的な断面構造を示す。この圧電薄膜素子は、図1に示す上記実施形態の圧電薄膜素子と同様に、基板1上に、下部電極2、圧電薄膜3、上部電極4を有するが、図2に示すように、基板1は、その表面に酸化膜5が形成された表面酸化膜付き基板であり、酸化膜5と下部電極2との間には、下部電極2の密着性を高めるための密着層6が設けられている。
酸化膜付きの基板1は、例えば、酸化膜付きSi基板であり、酸化膜付きSi基板では、酸化膜5は、熱酸化により形成されるSiO2膜、CVD法により形成されるSi酸化膜がある。また、密着層6には、Ti、Taなどが用いられ、スパッタリング法などで形成される。
4≦x≦0.7、且つ0.70≦y≦0.94または0.75≦y≦0.90の範囲にあるK
NN薄膜が複数層あってもよい。また、KNNの圧電薄膜3に、K、Na、Nb、O以外
の元素、例えば、Li、Ta、Sb、Ca、Cu、Ba、Ti等を5原子数%以下で添加してもよく、この場合にも、同様の効果が得られる。更に、下部電極2と上部電極4との間に、0.4≦x≦0.7、且つ0.70≦y≦0.94または0.75≦y≦0.90の範囲のKNN薄膜の他に、例えば、y=1付近の組成のKNN薄膜、またはKNN以外のアルカリニオブ酸化物系の材料、或いはペロブスカイト構造を有する材料(LaNiO3、SrTiO3、LaAlO3、YAlO3、BaZrO3、BaSnO3、BaMnO3など)からなる薄膜が含まれていてもよい。
図3に、本発明の一実施形態に係る圧電薄膜素子を用いて作製した圧電薄膜デバイスの一実施形態の概略構成図を示す。圧電薄膜デバイスは、図3に示すように、所定の形状に成形された圧電薄膜素子10の下部電極2と上部電極4の間に、少なくとも電圧検出手段または電圧印加手段11が接続されている。
下部電極2と上部電極4の間に、電圧検出手段11を接続することで、圧電薄膜デバイスとしてのセンサが得られる。このセンサの圧電薄膜素子10が何らかの物理量の変化に伴って変形すると、その変形によって電圧が発生するので、この電圧を電圧検出手段11で検出することで各種物理量を測定することができる。センサとしては、例えば、ジャイロセンサ、超音波センサ、圧カセンサ、速度・加速度センサなどが挙げられる。
また、圧電薄膜素子10の下部電極2と上部電極4の間に、電圧印加手段11を接続することで、圧電薄膜デバイスとしてのアクチュエータが得られる。このアクチュエータの圧電薄膜素子10に電圧を印加して、圧電薄膜素子10を変形することによって各種部材を作動させることができる。アクチュエータは、例えば、インクジェットプリンタ、スキャナー、超音波発生装置などに用いることができる。
以下に、実施例および比較例におけるKNN圧電薄膜の成膜方法を説明する。
基板には熱酸化膜付きSi基板((100)面方位、厚さ0.525mm、サイズ20
mm×20mm、熱酸化膜の厚さ200nm)を用いた。まず、基板上にRFマグネトロンスパッタリング法で、Ti密着層(膜厚2nm)、Pt下部電極((111)面優先配向、膜厚200nm)を形成した。Ti密着層とPt下部電極は、基板温度300℃、放電パワー200W、導入ガスAr、Ar雰囲気の圧力2.5Pa、成膜時間は、Ti密着
層では1〜3分、Pt下部電極では10分の条件で成膜した。
続いて、Pt下部電極の上に、RFマグネトロンスパッタリング法で(K1−xNax)yNbO3薄膜を3μm形成した。(K1−xNax)yNbO3圧電薄膜は、比率(K+Na)/Nb=0.812〜1.282、比率Na/(K+Na)=0.41〜0.72の(K1−xNax)yNbO3焼結体をターゲットに用い、基板温度650℃、700℃または800℃、放電パワー100W、導入ガスAr、Ar雰囲気の圧力1.3Paの
条件で成膜した。(K1−xNax)yNbO3焼結体のターゲットは、K2CO3粉末、Na2CO3粉末、Nb2O5粉末を原料にして、ボールミルを用いて24時間混合し、850℃で10時間仮焼成し、その後再びボールミルで粉砕し、200MPaの圧力で成形した後、1080℃で焼成することで作製した。(K+Na)/Nb比率およびNa/(K+Na)比率は、K2CO3粉末、Na2CO3粉末、Nb2O5粉末の混合比率を調整することで制御した。作製したターゲットは、スパッタ成膜に用いる前にEDX(
エネルギー分散型X線分光分析)によってK、Na、Nbの原子数%を測定し、それぞれの(K+Na)/Nb比率、Na/(K+Na)比率を算出した。実施例1〜25および比較例1〜13で用いたターゲットの(K+Na)/Nb比率、Na/(K+Na)比率、及びスパッタ成膜温度(基板温度)を表1に示す。各KNN膜のスパッタ成膜時間は、成膜でKNN膜厚がほぼ3μmになるように調整して行った。
実施例1〜25および比較例1〜13のKNN圧電薄膜に対して、X線回折測定(2θ/θスキャン)を行い、KNN圧電薄膜の結晶構造、配向状態の調査を行った。一例として、実施例11のX線回折パターンを図4に、比較例9のX線回折パターンを図5に示す。形成されたKNN圧電薄膜は完全なペロブスカイト構造になっており、擬立方晶であり、KNN(001)面方位に優先配向していることが分かる。また、Pt下部電極も(111)優先配向になっていることが分かる。他の実施例、比較例についても回折ピーク角度や強度に多少の違いはあるが、ほぼ同様の回折パターンを示していた。
ICP−AES(誘導結合型プラズマ発光分析)法によって、実施例1〜25および比較例1〜13のKNN圧電薄膜の組成分析を行った。分析は、湿式酸分解を用いて、酸には王水とフッ化水素酸を用いた。分析結果を表1に示す。Nb、Na、Kの割合から(K+Na)/Nb比率、Na/(K+Na)比率を算出した結果も表1に併せて示している。(K+Na)/Nb比率が異なるターゲットを用いたことで、(K+Na)/Nb比率が異なるKNN圧電薄膜が作製できていることが分かる。また、成膜温度を700℃や800℃という高温にすることで、ターゲットよりもかなり(K+Na)/Nb比率が小さいKNN圧電薄膜が作製できている。また、実施例では、スパッタ投入電力密度を0.0
3W/mm2とした。スパッタ投入電力密度とは、ターゲットへの投入電力を、ターゲットのスパッタリング面の面積で割った値である。
KNN圧電薄膜の圧電定数d31を評価するために、図6に示す構成のユニモルフカンチレバーを試作した。まず、上記実施例および比較例のKNN圧電薄膜の上にPt上部電極(膜厚20nm)をRFマグネトロンスパッタリング法で形成した後、長さ20mm、幅2.5mmの短冊形に切り出し、KNN圧電薄膜を有する圧電薄膜素子20を作製した
。次に、この圧電薄膜素子20の長手方向の一端をクランプ21で固定することで簡易的なユニモルフカンチレバーを作製した(図6(a))。このカンチレバーの上部電極4と下部電極2との間のKNN圧電薄膜3に、図示省略の電圧印加手段によって電圧を印加し、KNN圧電薄膜3を伸縮させることでカンチレバー(圧電薄膜素子20)全体を屈伸させ、カンチレバー先端を上下方向(KNN圧電薄膜3の厚さ方向)に往復動作させる。このときのカンチレバーの先端変位量Δを、レーザードップラ変位計21からレーザー光Lをカンチレバーの先端に照射して測定した(図6(b))。圧電定数d31は、カンチレバー先端の変位量Δ、カンチレバーの長さ、基板1とKNN圧電薄膜3の厚さとヤング率、および印加電圧から算出される。圧電定数d31の算出は、下記文献3に記載の方法で行った。KNN圧電薄膜のヤング率は104GPaを用い、印加電界50kV/cmの時の圧電定数d31を測定した。圧電定数d31の測定結果を表1に示す。また、表1における(K+Na)/Nb比率と圧電定数d31との関係を図7に示す。
文献3:T.Mino, S. Kuwajima, T.Suzuki, I.Kanno, H.Kotera, and K.Wasa, Jpn. J. Appl. Phys., 46(2007), 6960
化するため、圧電薄膜素子としての利用は困難であることも分かった。
これらの結果から、高い圧電定数と低いリーク電流を実現するには、0.4≦x≦0.7である場合に、0.70≦y≦0.94の範囲の時、更に望ましくは0.75≦y≦0.90の範囲の時が最適であることが分かる。
2 下部電極
3 圧電薄膜
4 上部電極
5 酸化膜
6 密着層
10 圧電薄膜素子
11 電圧検出手段または電圧印加手段
20 圧電薄膜素子
21 クランプ
22 レーザードップラ変位計
Claims (5)
- 基板上に、下部電極と、組成式(K1−xNax)yNbO3で表され、0.4≦x≦0.7かつ0.7≦y≦0.94の範囲にあるアルカリニオブ酸化物系のペロブスカイト型の擬立方晶構造を有し、(001)面方位に優先配向している圧電薄膜と、上部電極とを備え、前記圧電薄膜は、圧電定数d 31 の絶対値|d 31 |が90pm/V以上であり、50kV/cmの電界を印加した際に流れるリーク電流が1×10 −7 A/cm 2 以下である、圧電薄膜素子。
- 基板上に、下部電極と、組成式(K1−xNax)yNbO3で表され、0.4≦x≦0.7かつ0.75≦y≦0.90の範囲にあるアルカリニオブ酸化物系のペロブスカイト型の擬立方晶構造を有し、(001)面方位に優先配向している圧電薄膜と、上部電極とを備え、前記圧電薄膜は、圧電定数d 31 の絶対値|d 31 |が100pm/V以上であり、50kV/cmの電界を印加した際に流れるリーク電流が1×10 −7 A/cm 2 以下である、圧電薄膜素子。
- 請求項1または2に記載の圧電薄膜素子において、前記下部電極は、白金からなり、かつ(111)面方位に優先配向していることを特徴とする圧電薄膜素子。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の圧電薄膜素子において、前記基板は、Si基板、表面酸化膜付きSi基板、またはSOI基板であることを特徴とする圧電薄膜素子。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電薄膜素子と、前記圧電薄膜素子の前記下部電極と前記上部電極の間に接続された電圧印加手段または電圧検出手段とを備えたことを特徴とする圧電薄膜デバイス。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009265466A JP5515675B2 (ja) | 2009-11-20 | 2009-11-20 | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス |
US12/948,083 US8450911B2 (en) | 2009-11-20 | 2010-11-17 | Piezoelectric thin film having a high piezoelectric constant and a low leak current |
CN201010556495.8A CN102097582B (zh) | 2009-11-20 | 2010-11-18 | 压电薄膜元件及压电薄膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009265466A JP5515675B2 (ja) | 2009-11-20 | 2009-11-20 | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011109037A JP2011109037A (ja) | 2011-06-02 |
JP5515675B2 true JP5515675B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=44061580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009265466A Active JP5515675B2 (ja) | 2009-11-20 | 2009-11-20 | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8450911B2 (ja) |
JP (1) | JP5515675B2 (ja) |
CN (1) | CN102097582B (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5035374B2 (ja) * | 2009-06-10 | 2012-09-26 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子及びそれを備えた圧電薄膜デバイス |
JP5035378B2 (ja) * | 2009-06-22 | 2012-09-26 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子及びその製造方法、並びに圧電薄膜デバイス |
WO2012141104A1 (ja) * | 2011-04-14 | 2012-10-18 | 株式会社村田製作所 | 強誘電体薄膜およびその製造方法 |
WO2012141105A1 (ja) * | 2011-04-15 | 2012-10-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電体薄膜素子 |
JP2013016776A (ja) * | 2011-06-06 | 2013-01-24 | Hitachi Cable Ltd | 圧電膜素子の製造方法、及び圧電体デバイスの製造方法 |
CN102515760B (zh) * | 2011-11-24 | 2014-03-19 | 景德镇陶瓷学院 | 一种高性能铌酸钾钠基无铅压电陶瓷的制备方法 |
KR101411221B1 (ko) * | 2012-03-02 | 2014-06-23 | 혼다덴시 가부시키가이샤 | 압전 자기 조성물 및 그 제조방법 |
US8981627B2 (en) | 2012-06-04 | 2015-03-17 | Tdk Corporation | Piezoelectric device with electrode films and electroconductive oxide film |
US20130320813A1 (en) * | 2012-06-04 | 2013-12-05 | Tdk Corporation | Dielectric device |
US20140084754A1 (en) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | Tdk Corporation | Thin film piezoelectric device |
US9277869B2 (en) | 2012-11-28 | 2016-03-08 | Tdk Corporation | Thin-film piezoelectric element, thin-film piezoelectric actuator, thin-film piezoelectric sensor, hard disk drive, and inkjet printer apparatus |
WO2015178196A1 (ja) | 2014-05-19 | 2015-11-26 | 株式会社村田製作所 | 圧電薄膜及び圧電薄膜素子 |
WO2015178197A1 (ja) | 2014-05-19 | 2015-11-26 | 株式会社村田製作所 | 圧電薄膜、圧電薄膜素子及びターゲット並びに圧電薄膜及び圧電薄膜素子の製造方法 |
US9837596B2 (en) | 2014-06-13 | 2017-12-05 | Tdk Corporation | Piezoelectric device, piezoelectric actuator, piezoelectric sensor, hard disk drive, and inkjet printer apparatus |
JP6460387B2 (ja) * | 2015-01-26 | 2019-01-30 | Tdk株式会社 | 圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、並びにハードディスクドライブ、及びインクジェットプリンタ装置 |
JP2016205871A (ja) * | 2015-04-16 | 2016-12-08 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
JP6239566B2 (ja) | 2015-10-16 | 2017-11-29 | 株式会社サイオクス | 圧電薄膜付き積層基板、圧電薄膜素子およびその製造方法 |
JP2019021994A (ja) * | 2017-07-12 | 2019-02-07 | 株式会社サイオクス | 圧電膜を有する積層基板、圧電膜を有する素子および圧電膜を有する積層基板の製造方法 |
WO2019059051A1 (ja) * | 2017-09-22 | 2019-03-28 | Tdk株式会社 | 圧電薄膜素子 |
US11851747B2 (en) * | 2018-03-01 | 2023-12-26 | Jx Metals Corporation | Potassium sodium niobate sputtering target and production method thereof |
JP7044600B2 (ja) * | 2018-03-14 | 2022-03-30 | 住友化学株式会社 | 圧電積層体、圧電積層体の製造方法および圧電デバイス |
JP7298159B2 (ja) * | 2019-01-11 | 2023-06-27 | Tdk株式会社 | 圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 |
US20220367787A1 (en) * | 2019-08-30 | 2022-11-17 | Agency For Science, Technology And Research | Electromechanical responsive film, stacked arrangement and methods of forming the same |
JP2023523271A (ja) * | 2020-04-24 | 2023-06-02 | ナショナル ユニヴァーシティー オブ シンガポール | 圧電薄膜及びその作製方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3259678B2 (ja) * | 1998-02-18 | 2002-02-25 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物 |
DE60224748T2 (de) * | 2001-04-23 | 2009-02-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Kornorientierte Keramik und Verfahren zu ihrer Herstellung, sowie anisotrop geformtes Pulver und Verfahren zu seiner Herstellung |
JP4398635B2 (ja) * | 2002-09-24 | 2010-01-13 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 圧電セラミックス |
JP4795748B2 (ja) * | 2004-09-13 | 2011-10-19 | 株式会社デンソー | 圧電アクチュエータ |
US7332851B2 (en) * | 2004-09-29 | 2008-02-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive film type device and method of manufacturing the same |
CN101137596B (zh) * | 2005-03-08 | 2011-05-25 | 日本碍子株式会社 | 压电/电致伸缩陶瓷组合物及其制造方法 |
JP4945801B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2012-06-06 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子、及び圧電素子の製造方法 |
JP2006315909A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Univ Nagoya | 圧電セラミックス |
CN100539228C (zh) * | 2005-12-06 | 2009-09-09 | 精工爱普生株式会社 | 压电层压体、表面声波元件、压电谐振器及压电传动装置 |
JP4735840B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2011-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体積層体、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータ |
JP4396860B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2010-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体層の製造方法 |
JP2008127244A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Hitachi Cable Ltd | 圧電セラミックス及び圧電セラミックス素子 |
JP2008159807A (ja) | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Hitachi Cable Ltd | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜素子を用いて製造したアクチュエータとセンサ |
US7538476B2 (en) * | 2007-03-30 | 2009-05-26 | Intel Corporation | Multi-layer piezoelectric actuators with conductive polymer electrodes |
JP5056139B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2012-10-24 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子 |
JP5181649B2 (ja) * | 2007-09-18 | 2013-04-10 | 日立電線株式会社 | 圧電素子 |
JP5391395B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2014-01-15 | 日立金属株式会社 | 圧電薄膜付き基板及び圧電素子 |
JP5267082B2 (ja) * | 2008-01-24 | 2013-08-21 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子及びそれを用いたセンサ並びにアクチュエータ |
JP5525143B2 (ja) * | 2008-06-05 | 2014-06-18 | 日立金属株式会社 | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス |
JP5024399B2 (ja) * | 2009-07-08 | 2012-09-12 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子、圧電薄膜デバイス及び圧電薄膜素子の製造方法 |
JP5531635B2 (ja) * | 2010-01-18 | 2014-06-25 | 日立金属株式会社 | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス |
JP5071503B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2012-11-14 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス |
JP5556514B2 (ja) * | 2010-09-06 | 2014-07-23 | 日立金属株式会社 | 圧電体薄膜ウェハの製造方法、圧電体薄膜素子、及び圧電体薄膜デバイス |
JP2013016776A (ja) * | 2011-06-06 | 2013-01-24 | Hitachi Cable Ltd | 圧電膜素子の製造方法、及び圧電体デバイスの製造方法 |
-
2009
- 2009-11-20 JP JP2009265466A patent/JP5515675B2/ja active Active
-
2010
- 2010-11-17 US US12/948,083 patent/US8450911B2/en active Active
- 2010-11-18 CN CN201010556495.8A patent/CN102097582B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8450911B2 (en) | 2013-05-28 |
CN102097582B (zh) | 2014-10-01 |
CN102097582A (zh) | 2011-06-15 |
US20110121690A1 (en) | 2011-05-26 |
JP2011109037A (ja) | 2011-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5515675B2 (ja) | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス | |
JP5531635B2 (ja) | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス | |
JP5071503B2 (ja) | 圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイス | |
US8063543B2 (en) | Piezoelectric thin film element including upper and lower electrodes, and an actuator and a sensor fabricated by using the same | |
US7323806B2 (en) | Piezoelectric thin film element | |
JP5024399B2 (ja) | 圧電薄膜素子、圧電薄膜デバイス及び圧電薄膜素子の製造方法 | |
JP5056914B2 (ja) | 圧電薄膜素子および圧電薄膜デバイス | |
JP4258530B2 (ja) | 圧電薄膜素子 | |
WO2017065133A1 (ja) | 圧電薄膜付き積層基板、圧電薄膜素子およびその製造方法 | |
JP5056139B2 (ja) | 圧電薄膜素子 | |
JP2009049355A (ja) | 圧電薄膜素子 | |
JP2007294593A (ja) | 圧電薄膜を用いた素子 | |
JP5103790B2 (ja) | 圧電薄膜、圧電薄膜を用いた素子及び圧電薄膜素子の製造方法 | |
JP5093459B2 (ja) | 圧電薄膜素子の製造方法 | |
JP5115161B2 (ja) | 圧電薄膜素子 | |
JP5743203B2 (ja) | 圧電膜素子及び圧電膜デバイス | |
US20210036212A1 (en) | Piezoelectric laminate, piezoelectric element, and method of manufacturing the piezoelectric laminate | |
US9831418B2 (en) | Piezoelectric composition and piezoelectric element | |
US11744159B2 (en) | Piezoelectric laminate, method of manufacturing piezoelectric laminate and piezoelectric element | |
JP7399753B2 (ja) | 圧電膜、圧電積層体、圧電素子および圧電積層体の製造方法 | |
WO2011099231A1 (ja) | 圧電薄膜素子、圧電薄膜デバイス及び圧電薄膜素子の製造方法 | |
JP2012234925A (ja) | 圧電膜素子及びそれを用いたアクチュエータ並びに小型振動発電装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130822 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20130925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140304 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5515675 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |