JP5556514B2 - 圧電体薄膜ウェハの製造方法、圧電体薄膜素子、及び圧電体薄膜デバイス - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 184
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 91
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 47
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 32
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 28
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 26
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 claims description 8
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 8
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 7
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 50
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 48
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 45
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 30
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 25
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 3
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/704—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/08—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
- H10N30/082—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by etching, e.g. lithography
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8542—Alkali metal based oxides, e.g. lithium, sodium or potassium niobates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
- H10N30/076—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by vapour phase deposition
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
- H10N30/077—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition
- H10N30/078—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition by sol-gel deposition
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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Description
図1において、全体を示す符号1は、この実施の形態に係る典型的な圧電体薄膜ウェハの一構成例を模式的に示している。この圧電体薄膜ウェハ1は、シリコン(Si)基板2を備える。そのSi基板2の上面には、下地層となる下部電極層3が形成されている。その下部電極層3は、白金(Pt)薄膜からなる(以下、Pt下部電極層3という。)。そのPt下部電極層3が形成されたSi基板2上には、非鉛圧電材料である圧電体薄膜層4が形成されている。
図示例による圧電体薄膜ウェハ1の一部を構成するKNN圧電体薄膜層4の微細加工を行うにあたっては、先ず、RFマグネトロンスパッタリング法を用い、Si基板2上にPt下部電極層3を形成する。Pt下部電極層3を形成するにあたり、Si基板2とPt下部電極層3との間に図示しないチタン(Ti)密着層を蒸着してもよい。これにより、Pt下部電極層3の密着性を高めることができる。
次に、RFマグネトロンスパッタリング法を用いて、KNN圧電体薄膜層4上にTi膜を成膜する。次に、フォトレジストを塗布し、露光及び現像を行い、Ti膜上にフォトレジストパターンを形成する。そして、フッ酸と硝酸の混合液を用いてTi膜をエッチングし、アセトン洗浄によりフォトレジストパターンを除去することで、TiパターンをKNN圧電体薄膜層4上に形成する。このTi膜は、非鉛の圧電体薄膜ウェハ1の微細加工における適切なマスク材料として用いられる。この実施の形態に係るニオブ酸化物系圧電体薄膜に対しても所定のエッチング選択比を有しており、Arイオンエッチングにおけるマスク厚さの増加によるパターン精度の悪化を防止することができる。
この実施の形態に係る圧電体薄膜ウェハ1を用い、図示しないセンサやアクチュエータを作製する場合は、ドライエッチングプロセスによりKNN圧電体薄膜層4を梁や音叉の形状(素子形状部)に加工する。素子形状部の形成後、ダイシング等によりそれぞれ素子分離(チップ化)することで圧電薄膜素子を得ることができる。この圧電体薄膜ウェハ1の加工においては、そのKNN圧電体薄膜層4が短時間で加工できることに加え、Pt下部電極層3において制御性よく加工を停止できることが、高い精度で微細加工を行う際に必要となる。
基板は、熱酸化膜付きのSi基板2((100)面方位、厚さ0.525mm、熱酸化膜厚さ200nm、サイズ4インチウェハ)を用いた。RFマグネトロンスパッタリング法を用いて、Si基板2上にPt下部電極層3(Pt、膜厚210nm)を形成するにあたり、Si基板2とPt下部電極層3との間に図示しないチタン(Ti)密着層を蒸着する。この実施例では、Ti密着層の膜厚を10nmに形成する。なお、Ti密着層の膜厚は1nm以上30nm以下の範囲とすることが好適である。Ti密着層とPt下部電極層とは、基板温度100〜350℃、放電パワー200W、導入ガスAr雰囲気、圧力2.5Pa、成膜時間1〜3分、10分の条件で成膜した。Pt下部電極層3の面内表面粗さを測定したところ、算術平均表面粗さRaが0.86nm以下であった。X線回折測定により、Pt下部電極層3は(111)に配向していることが確認された。
次に、KNN圧電体薄膜層4上にTi膜をRFマグネトロンスパッタリング法により約1.2μm成膜した。次に、OFPR−800などのフォトレジストを塗布し、露光及び現像を行い、Ti膜上にフォトレジストパターンを形成した。その後、フッ酸と硝酸の混合液(HF:HNO3:H2O=1:1:50)を用いてTi膜をエッチングし、アセトン洗浄によりフォトレジストパターンを除去し、TiパターンをKNN圧電体薄膜層4上に形成した。
次に、Tiマスクパターンを施したKNN圧電体薄膜層4上に、Arを含むガスを用いたドライエッチングにより微細加工を行う。この工程において、イオンプラズマ中のNa発光ピーク強度の時間変化を観測することで、下部電極層3において制御性よく加工を停止する微細加工を行った。ドライエッチング装置としては、ICP−RIE装置(サムコ製RIE−102L)を用いた。ガスとしては、Ar、もしくはArとCHF3、C2F6、CF4、SF6、C4F8などのフッ素系反応ガスとの混合ガスを用いることができる。
上記ドライエッチングプロセスにおいて、イオンプラズマ中のNa発光ピーク強度(以下、「Naピーク強度」ともいう。)の時間変化の観測を行った。そのNaピーク強度は、スペクトルメータ(Ocean Optics製USB2000)を用いて測定した。ドライエッチングは、RF出力400W、チャンバー内圧力33.3Pa(0.25Torr)、ガス総流量100sccmの条件で行った。KNN薄膜としては、膜厚2830nmのものを用いた。
RF出力400W、チャンバー内圧力33.3Pa(0.25Torr)、ガス総流量100sccmとして、ガス組成と混合比とを変えてKNN圧電体薄膜層4の微細加工を行った。KNN圧電体薄膜層4のエッチングの終点検出には、上記イオンプラズマ中のNaピーク強度の時間変化により検出する方法を用いた。
図4を参照すると、図4には、上記実施例1における微細加工後の圧電体薄膜ウェハの断面SEM像が示されている。図4から明らかなように、Arを含むガスを用いたドライエッチングによりKNN圧電体薄膜層4を微細加工する工程と、イオンプラズマ中のNa発光ピーク強度の変化を検知することによりPt下部電極層3において制御性よく加工を停止する工程とを組み合わせることで、KNN圧電体薄膜層4を除去し、Pt下部電極層3においてエッチングが停止できるということが確認できる。
以上の説明からも明らかなように、本発明の圧電体薄膜ウェハを上記実施の形態及び実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施の形態、実施例及び図示例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能であり、次に示すような変形例も可能である。
2 基板
3 下部電極層
4 圧電体薄膜層
Claims (12)
- 基板上に形成された組成式(K1−xNax)NbO3(0.4≦x≦0.7)で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電体薄膜に、Arを含むガスを用いてドライエッチングを行うエッチング工程と、
放出されるイオンプラズマ中のNaの発光ピーク強度の変化を検出して前記エッチング速度を変更する工程とを有することを特徴とする圧電体薄膜ウェハの製造方法。 - 前記Na発光ピーク強度の減衰を検知するとともに、前記Na発光ピーク強度の時間変化を検出することを特徴とする請求項1記載の圧電体薄膜ウェハの製造方法。
- 前記エッチング速度を変更する工程は、前記基板と前記圧電体薄膜との間に形成された下地層において選択的にエッチングを停止するエッチング停止工程を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の圧電体薄膜ウェハの製造方法。
- 前記下地層としてPt下部電極層を形成したことを特徴とする請求項3記載の圧電体薄膜ウェハの製造方法。
- 前記エッチング工程は、前記Arガスにフッ素系反応ガスを混合したガスを用いて行う反応性イオンエッチングを含むことを特徴とする請求項1記載の圧電体薄膜ウェハの製造方法。
- 前記圧電体薄膜上にTi又はTaをマスクパターンとして形成し、前記エッチング工程を行うことを特徴とする請求項1又は5記載の圧電体薄膜ウェハの製造方法。
- 前記マスクパターンの膜厚は、「圧電体薄膜厚さ/マスクパターン厚さ」の比が3以下であり、
前記Pt下部電極層の厚さは、「圧電体薄膜厚さ/Pt層厚さ」の比が15以下であることを特徴とする請求項4又は6記載の圧電体薄膜ウェハの製造方法。 - 基板上に下部電極を形成する工程と、
前記下部電極上に組成式(K1−xNax)NbO3(0.4≦x≦0.7)で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電体薄膜を形成する工程と、
前記圧電体薄膜にArを含むガスを用いたドライエッチングにより微細加工を行う際に、イオンプラズマ中の586nmから590nmのNa発光スペクトルの発光ピーク強度の減衰変化を観測して下部電極において加工を停止し、前記圧電体薄膜のエッチング断面を前記基板の面に向けて漸次拡大するテーパー状に加工する工程とを含むことを特徴とする圧電体薄膜素子の製造方法。 - 基板上に形成された組成式(K 1−x Na x )NbO 3 (0.4≦x≦0.7)で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電体薄膜に、Arを含むガスを用いてドライエッチングを行うエッチング工程と、放出されるイオンプラズマ中のNaの発光ピーク強度の変化を検出して前記エッチング速度を変更する工程とを有する製造方法によって製造された圧電体薄膜素子であって、
前記基板と、
前記基板上に形成される前記圧電体薄膜とを備え、
前記圧電体薄膜は、エッチング断面に外方に向けてテーパー状に拡がる傾斜部を有してなることを特徴とする圧電体薄膜素子。 - 前記傾斜部は、圧電体薄膜の上面端と底面端を結んだ法面と圧電体薄膜底面のなす角度を45°より大きく90°より小さく設定してなることを特徴とする請求項9記載の圧電体薄膜素子。
- 前記傾斜部の表面にフッ素化合物を有してなることを特徴とする請求項9又は10記載の圧電体薄膜素子。
- 上記請求項9〜11のいずれかに記載の圧電体薄膜素子の前記基板と前記圧電体薄膜との間に下部電極を備えるとともに、前記圧電体薄膜上に上部電極を備え、前記下部電極及び前記上部電極に電圧印加手段又は電圧検知手段を更に備えたことを特徴とする圧電体薄膜デバイス。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010198918A JP5556514B2 (ja) | 2010-09-06 | 2010-09-06 | 圧電体薄膜ウェハの製造方法、圧電体薄膜素子、及び圧電体薄膜デバイス |
US13/137,689 US9406867B2 (en) | 2010-09-06 | 2011-09-02 | Method for manufacturing a piezoelectric film wafer, piezolelectric film element, and piezoelectric film device |
US15/198,103 US9893266B2 (en) | 2010-09-06 | 2016-06-30 | Piezoelectric film element, and piezoelectric film device including piezoelectric film including alkali niobate-based perovskite structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010198918A JP5556514B2 (ja) | 2010-09-06 | 2010-09-06 | 圧電体薄膜ウェハの製造方法、圧電体薄膜素子、及び圧電体薄膜デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012059760A JP2012059760A (ja) | 2012-03-22 |
JP5556514B2 true JP5556514B2 (ja) | 2014-07-23 |
Family
ID=45770187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010198918A Active JP5556514B2 (ja) | 2010-09-06 | 2010-09-06 | 圧電体薄膜ウェハの製造方法、圧電体薄膜素子、及び圧電体薄膜デバイス |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9406867B2 (ja) |
JP (1) | JP5556514B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2010
- 2010-09-06 JP JP2010198918A patent/JP5556514B2/ja active Active
-
2011
- 2011-09-02 US US13/137,689 patent/US9406867B2/en active Active
-
2016
- 2016-06-30 US US15/198,103 patent/US9893266B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9406867B2 (en) | 2016-08-02 |
JP2012059760A (ja) | 2012-03-22 |
US9893266B2 (en) | 2018-02-13 |
US20120056508A1 (en) | 2012-03-08 |
US20160308111A1 (en) | 2016-10-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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