JP5398315B2 - 圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド - Google Patents

圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド Download PDF

Info

Publication number
JP5398315B2
JP5398315B2 JP2009061782A JP2009061782A JP5398315B2 JP 5398315 B2 JP5398315 B2 JP 5398315B2 JP 2009061782 A JP2009061782 A JP 2009061782A JP 2009061782 A JP2009061782 A JP 2009061782A JP 5398315 B2 JP5398315 B2 JP 5398315B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
film
piezoelectric layer
lower electrode
etching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009061782A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010219153A (ja
Inventor
秀治 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2009061782A priority Critical patent/JP5398315B2/ja
Priority to US12/717,816 priority patent/US8628174B2/en
Publication of JP2010219153A publication Critical patent/JP2010219153A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5398315B2 publication Critical patent/JP5398315B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1626Manufacturing processes etching
    • B41J2/1628Manufacturing processes etching dry etching
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1607Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/161Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1626Manufacturing processes etching
    • B41J2/1629Manufacturing processes etching wet etching
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1631Manufacturing processes photolithography
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/164Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1642Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/164Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1645Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/164Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1646Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/08Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • H10N30/082Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by etching, e.g. lithography
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2047Membrane type
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/07Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
    • H10N30/074Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
    • H10N30/076Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by vapour phase deposition
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Description

本発明は、圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッドに関する。
インクジェット記録装置では、微小なノズルから液滴(インク)を吐出し、当該液滴により形成されるドットの集合によって紙等の記録媒体に画像を形成する。この種のインクジェット記録装置における性能は、インクジェットヘッドの性能に依存するところが大きい。
図6は、一般的なインクジェットヘッドの構成の一例を示している。このインクジェットヘッド100は、液体(インク)を保持し、圧力を付与するための圧力室120、流路122、吐出口124、吐出用の液体を満たしたタンク(図示せず)などから液体を圧力室120に供給する供給孔126等が形成された基板130を備え、基板130上には、圧力室120内に保持された液体に圧力を付与するための圧電素子が絶縁膜104を介して設けられている。圧電素子は、下部電極106、圧電体層108、上部電極110、保護膜(バリア膜)112、上部電極110に接続する配線114などにより構成されている。
このような圧電素子を用いたインクジェットヘッドやFeRAMなどにおいて、圧電体層は重要な要素の一つである。
例えば、特許文献1には、圧電型インクジェットヘッドを製造する際、圧電体膜の各圧力室の間に相当する箇所にダイシング等によって溝を形成することにより、個々の圧電素子を構成する複数の圧電体層を形成することが開示されている。
また、特許文献2には、応力集中を抑制するとともに上下の電極間でのリーク電流や吸湿に起因する圧電体層の劣化を防止することを目的として、上部電極の上面と圧電体層の側面を覆う絶縁体層を形成したインクジェットヘッドが開示されている。
特許文献3〜5には、応力集中による破損等の防止、機械的強度の向上、リーク電流の抑制等を目的として、厚さ方向の断面形状が台形となる圧電体層を形成したインクジェットヘッドが開示されている。例えば、特許文献5では、強誘電体層の側面の傾斜角度について、変位量を十分確保する観点から45°以上とし、一方、強誘電体層の側面にプラズマ粒子をより多く付着させて結晶状態を修復させる観点から75°以下とすることが開示されている。
特開平10−34922号公報 特開平10−226071号公報 特開平11−78002号公報 特開2000−85124号公報 特開2008−235569号公報
本発明は、電極間のリーク電流の発生及び応力集中が効果的に抑制されるとともに、高密度化が可能であり、さらに、圧電体層のプラズマダメージが抑制された圧電素子を提供することを主な目的とする。
上記目的を達成するため、以下の発明が提供される。
<1> 支持体と、
前記支持体上に形成されている下部電極と、
前記下部電極上に形成されている圧電体層と、
前記圧電体層上に前記下部電極と対向するように形成されている上部電極と、を有し、
前記圧電体層の前記下部電極側の面が前記上部電極側の面よりも大きくなるように前記圧電体層の前記下部電極側の周囲に段差部が形成されており、
前記圧電体層の底面と前記段差部の側面との成す角度θ1が、前記圧電体層の底面と本体の側面との成す角度θ2より小さく、
前記段差部の厚さが、前記圧電体層の厚さの10分の1以上3分の1以下であり、
前記角度θ1が45°以上75°以下であり、前記角度θ2が75°以上90°以下である圧電素子。
<2> 前記段差部の上面部分の長さが、100nm以上3μm以下である<1>に記載の圧電素子
<3> <1>又は<2>に記載の圧電素子を有するインクジェットヘッド。
> <1>又は<2>に記載の圧電素子を製造する方法であって、
支持体上に下部電極を形成する工程と、
前記下部電極上に圧電体膜を形成する工程と、
前記圧電体膜上の一部にマスクを形成する工程と、
前記圧電体膜の前記マスクから露出する部分をドライエッチングによって厚みを薄膜化することにより前記マスクで覆われた部分を凸部に形成する工程と、
前記凸部の少なくとも側面にエッチング保護膜を形成する工程と、
前記圧電体膜の前記薄膜化された部分のうち前記エッチング保護膜から露出している部分をエッチングによって除去することにより、前記凸部の前記下部電極側の周囲に段差部を形成する工程と、
を含む圧電素子の製造方法。
本発明によれば、電極間のリーク電流の発生及び応力集中が効果的に抑制されるとともに、高密度化が可能であり、さらに、圧電体層のプラズマダメージが抑制された圧電素子が提供される。
本発明に係る圧電素子の構成の一例を示す概略図である。 本発明に係る圧電体層の一部を拡大した概略図である。 本発明に係る圧電素子を製造する第1の方法の前半の工程を示す図である。 本発明に係る圧電素子を製造する第1の方法の後半の工程を示す図である。 本発明に係る圧電素子を製造する第2の方法の後半の工程を示す図である。 インクジェットヘッドの構成の一例を示す概略図である。 断面形状が矩形である圧電体層を示す概略図である。 断面形状が台形である圧電体層を示す概略図である。 圧電体膜に溝を形成して圧電体層を形成する場合を示す概略図である。 本発明に係る圧電素子を構成する圧電体層の一例を示す概略図である。
以下、添付の図面を参照しながら、本発明について説明する。
例えば、図7に示すように、厚さ方向の断面形状が矩形となる垂直の圧電体層40Aを基板12上に形成すると、圧電体層40Aの周縁部に沿って応力が集中し易い。そこで、図8に示すように、側面が傾斜し、厚さ方向の断面形状が台形となる圧電体層40Bを形成すれば、底面の面積が大きくなり、応力集中は緩和される。
しかし、このような形状の圧電体層40Bを形成すると圧電素子の幅が広がるため、ノズルの高密度化が難しくなり、高解像度化を妨げる要因にもなる。また、圧電体膜をドライエッチングによって加工する際、圧電体層40Bの側面が傾斜していると、垂直の場合よりもプラズマに曝される面積が大きく、プラズマダメージを受け易い。そのため、このような形状の圧電体層40Bをドライエッチングによって形成した後、例えばバリア膜(絶縁層)を形成してもダメージが残り易い。
一方、図9に示すように、厚さの均一な圧電体膜に溝42を形成して個々の圧力室に対応した圧電体層40Cを形成する方法でも応力集中が抑制されるが、圧電体層40C同士が繋がっているため、隣接する圧電素子が干渉してインクの吐出性能に悪影響を及ぼすおそれがある。
このような問題を解決すべく、本発明者は鋭意研究及び検討を重ねた結果、以下のような方法で圧電体層を形成すればこれらの問題を解決できることを見出した。
すなわち、圧電体膜をドライエッチングにより加工する際、圧電体膜上にマスクを略垂直に形成した後、圧電体膜の露出部分をある程度の深さまで除去し、マスクで覆われている部分を凸形状に加工したところでエッチングを停止する。そして、形成された凸部の側面にエッチング保護膜を形成した後、再びエッチングすることにより圧電体層を略垂直に加工する。
このような方法によれば、図10に示すように、下部電極(図示せず)との境界付近に段差部20Aを有する圧電体層20が形成され、上部電極(図示せず)と下部電極の間の距離(沿面距離)が長くなり、単に側面が傾斜している圧電体層40Bを形成した場合に比べてリーク電流をより効果的に抑制することができる。また、圧電体層20の下部電極側に段差部20Aを有することで、上部電極に接続させる配線のカバレッジが向上して配線や絶縁膜(バリア膜)へのストレスが低減する。これにより、圧電体層20の駆動時の応力が分散されて応力集中が緩和され、耐久性が向上し、ヘッドの信頼性が向上する。一方、圧電体層20の側面は傾斜を抑制することができるので、高密度化が可能となるとともに、ドライエッチング時のプラズマダメージが抑制され、より一層信頼性の向上を図ることができる。
図1は、本発明に係る圧電素子を備えたインクジェットヘッドの構成の一例を概略的に示している。図2は、圧電体層20の一部を拡大して示している。
本実施形態に係る圧電素子10は、支持体(基板12,絶縁膜14)上に形成されている下部電極16と、下部電極16上に形成されている圧電体層20と、圧電体層20上に下部電極16と対向するように形成されている上部電極24と、を有している。圧電体層20の下部電極16側の周囲には段差部20Aが形成されており、圧電体層20の下部電極16側の面が上部電極24側の面よりも大きくなっている。また、圧電体層20と上部電極24の一部には保護膜(バリア膜)18が形成されており、上部電極24の一部は保護膜18から露出して配線22と電気的に接続されている。また、基板12には圧力室13が形成されている。
次に、本実施形態に係る圧電素子10を備えたインクジェトヘッドを製造する方法とともに、圧電素子10についてさらに具体的に説明する。なお、本発明に係る圧電素子を製造する方法は以下の方法に限定されず、圧電素子を構成する材料、厚み、成膜方法等も以下の例示に限定されず、圧電素子の用途等に応じて適宜選択すればよい。
<第1の方法>
図3及び図4は、本発明に係る圧電素子の製造方法の一例(第1の方法)を示している。
(1)下部電極の形成
支持体上に下部電極16を形成する。
まず、支持体となるシリコン基板12の表面に、スパッタ法、CVD法、熱酸化法などにより絶縁膜14、例えば酸化膜(SiO)を形成する。酸化膜14の厚さは例えば500nm程度とする。
次いで、Tiなどを用いて絶縁膜14上に密着層(図示せず)を形成する。密着層の厚さは、例えば10〜20nm程度とする。
密着層を形成した後、下部電極16を形成する。下部電極16は、Pt、Ir、Ru、それらの酸化物などの貴金属材料を用い、スパッタ法、CVD法等で形成すれば良い。下部電極16の厚さは、例えば200nm程度とする。
(2)圧電体膜の形成
次いで、下部電極16上に圧電体膜19を形成する(図3(A))。圧電体膜19としては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等を用い、スパッタ法、CVD法等で成膜すれば良い。圧電体膜19の厚さは、例えば3μm程度とする。
(3)マスクの形成
次いで、圧電体膜19をパターニングするためのマスク30を形成する(図3(B))。
マスク30は、酸化膜(SiO)、クロムなどのハードマスク、あるいは、フォトレジスト(ネガ型レジスト又はポジ型レジスト)などの感光性樹脂を用いて形成すれば良い。工程数を少なくするなどの観点からフォトレジストを用いてマスク30を形成することが望ましい。フォトレジストとしては、例えば、東京応化工業社のOFPRシリーズ、TSMRシリーズ、AZ社の1500シリーズ、10XTシリーズなどを用いれば良い。
例えば、AZ社の10XTを用いて10μmの膜厚を有するレジストマスクを形成する場合は、基板上にレジストを滴下し、スピンコータにて1000rpmにて30秒回転しレジスト膜を形成する。
圧電体膜19上にスピンコート法、スプレーコート法などでレジストを塗布した後、レジストのソフトベークを行う。レジストは、ドライエッチング時にマスクとして機能し、かつ、ドライエッチング後に容易に除去できるように、ソフトベーク後の厚みが、例えば、0.1〜20μm程度となるように形成する。ソフトベークは、ホットプレート、オーブンなどの加熱手段により各種レジスト材料の最適温度(例えば60〜150℃で、1〜15分間)で行う。例えばホットプレートを用いて、100℃で90秒間加熱して行う。
次いで、フォトリソグラフィ(露光及び現像)により、レジストをマスク形状にパターニングする。現像後のレジストがマスク30となり、ドライエッチング後の圧電体膜19が所望のパターン形状となるようにフォトマスクを介して露光を行う。
露光はアライナーやステッパーを用い、各種レジスト材に最適な露光量で行えば良い。例えば、コンタクトアライナーを用いて露光を行う。コンタクトアライナーは、市販の装置を用いれば良く、例えばズースマイクロテック社のMA−6などが挙げられる。露光量が例えば800mJ/cmとなるように露光を行えば良い。
使用するレジストによっては、露光後ベーク(PEB:Post Exposure Bake)を行っても良い。露光後、現像前にPEBを施すことで、露光量不足を補うことや露光時の定在波の影響によるパターン形状の変形を軽減することができる。
続いて現像を行う。基板12を現像液に浸漬後、純水でリンスし、その後、乾燥させる。現像液は市販のされているものを用いる。例えば、AZ社のAZ300MIFを用いれば良い。現像液に10分間程度浸漬後、純水リンスを180秒×2回行い、その後、スピンドライヤ等で基板12に付着している水分を取り除く。
現像後、必要に応じてポストベークを行う。ポストベークを行う場合は、ホットプレート、オーブンなどの加熱手段を用い、例えば100〜200℃程度で1〜60分間行えば良い。この時の加熱温度により、レジストマスク30の断面形状が異なってくるので、必要に応じた温度で行う。例えばホットプレートを用いて任意の温度で120秒間程度行えば良い。
(4)圧電体膜のパターニング
次いで、圧電体膜19のマスク30から露出する部分をドライエッチングによって薄膜化することにより、マスク30で覆われた部分を凸部(本体)20Bに形成する(図3(C))。
ドライエッチング装置としては、例えば、誘導結合型プラズマ(Inductive Coupling Plasma:ICP)のドライエッチング装置で行えば良い。なお、本発明で用いるドライエッチング装置は特に限定されるものではなく、例えば、ヘリコン波励起プラズマ(Helicon Wave Plasma:HWP)、電子サイクロトン共鳴プラズマ(Electron Cyclotron resonance Plasma:ECP)、マイクロ波励起表面波プラズマ(Surface Wave Plasma:SWP)などのプラズマ源を用いた方式を適用して圧電体膜19を加工することも可能である。
圧電体膜19であるPZTをドライエッチングする場合、ドライエッチング装置のチャンバー内に導入するプロセスガスとしては、Cl(塩素)、BCl(三塩化ホウ素)、HBr(臭化水素)、SF(六フッ化硫黄)、CF(四フッ化炭素)、CHF(トリフルオロメタン)、C(六フッ化エタン)、C(八フッ化プロパン)、C(六フッ化ブタジエン)、C(八フッ化シクロブタン)、C(オクタフルオロシクロペンテン)、あるいは、それらの混合ガスと、アルゴンなどの不活性ガス、さらに、必要に応じて酸素や窒素などを添加した混合ガスを用いる。
プラズマ生成用のアンテナに高周波を印加してプラズマを生成し、処理基板を設置したステージへバイアス用の高周波を印加することでエッチングを行う。例えばアンテナ用の高周波電源には13.56MHzを使用し、バイアス用の高周波電源には低周波である500kHzを使用する。アンテナ用のRF周波数としては13.56〜60MHzを用い、低周波電源としては100kHz〜2MHzを使用すれば良い。
代表的なエッチング条件は、以下のとおりである。
プロセスガスとしては、塩素を10%〜60%とCを40%〜90%(いずれも容量%)含む混合ガスを用いる。例えば塩素の流量を20sccm、Cを80sccmとすれば良い。
プロセスガスの圧力は0.1〜5Pa、例えば1.0Paにすれば良い。
アンテナRF電力は350〜1000W、例えば500Wにする。基板バイアス電力は50〜500W、例えば200Wにする。
マスクにレジストを用いる場合、ステージの温度は−20〜150℃、例えば5℃にすれば良い。
圧電体膜19のエッチングでは、マスク30から露出している部分の厚みを薄くすることで凹凸が形成され、マスク30が形成されている部分は凸状に形成される。このとき、圧電体膜19の露出部分を全て除去せず、ある程度残るところでエッチングを止める。圧電体膜19の露出部分の残存量(厚さ)が段差部20Aの高さ(厚さ)に相当するため、エッチング時間を制御することで段差部20Aの高さを制御することができる。圧電体膜19の残存量、即ち段差部20Aの高さは、例えば100nm〜1μmにすれば良い。
(5)エッチング保護膜の形成
圧電体膜19にドライエッチングを施して凸部20Bを形成した後、圧電体膜の凸部20Bの少なくとも側面にエッチング保護膜32を形成する。
例えば、ドライエッチングを停止した後、エッチング保護膜32を基板全面に形成する(図3(D))。エッチング保護膜32はSiOなどの酸化膜を用いても良く、スパッタ法、CVD法、大気圧CVD法などで形成すれば良い。ただし、酸化膜などの場合は、後の工程で除去するのが困難であり、また、保護膜32を除去するときに圧電体層20にダメージを与え易い。このような観点から、保護膜32として炭化フッ素(CF)系のポリマーを用いることが望ましい。
CF系のポリマーの保護膜32を形成する方法としては、例えば圧電体膜19のドライエッチングに用いた装置を使用することができ、CF(四フッ化炭素)、CHF(トリフルオロメタン)、C(六フッ化エタン)、C(八フッ化プロパン)、C(六フッ化ブタジエン)、C(八フッ化シクロブタン)、C(オクタフルオロシクロペンテン)など、CとFが含まれるガスを用いてプラズマ処理すれば良い。
具体的には、Cを25sccm流し、圧力を3Paに制御し、プラズマ生成用RF電源の出力は1000Wとする。このとき、基板12へのバイアスの印加は必要に応じて行えば良い。このような条件下で処理時間を調整することにより保護膜32の厚さを制御することができる。ここで、保護膜32の厚さ、より具体的には圧電体の凸部20B側面に形成される保護膜32の厚さによって段差部20Aの突出部分(水平部分)の長さを制御することができる。このように保護膜32の厚さによって圧電体層20の段差部20Aの長さを制御することができるため、制御性が良い。具体的には、処理時間を5分間とし、凸部20B側面で厚さ1μm程度となるCF系ポリマーの保護膜32を形成する。
(6)エッチング保護膜の一部除去(ディスカム(Descum)処理)
基板全面に形成された保護膜32のうち、圧電体層の凸部20B側面に形成された保護膜を残し、凸部20Bの上面や凸部20B以外の部分(平面部)に形成された保護膜を除去するため、ディスカム処理を行う(図4(A))。
ディスカム処理は、前述した「(4)圧電体膜のパターニング」、及び、「(5)保護膜の形成」に用いたドライエッチング装置を用いて行うことができる。このように1台のドライエッチング装置で複数の工程を行えば効率が良く、低コスト化を図ることができる。例えば、酸素流量を50sccm、圧力を0.5Paに制御し、プラズマ生成用RF出力を1000W、基板バイアス出力を300Wとし、処理時間を1分間程度として行うことで、凸部20B側面以外の部分の保護膜32を除去する。1Pa以下の真空度で処理することで、イオンの指向性を用い、凸部20B側面の保護膜32をほとんどエッチングすることなく、平面部に形成されている保護膜を選択的に除去することができる。
(7)段差部の形成
圧電体膜19の薄膜化された部分のうちエッチング保護膜32から露出している部分をエッチングによって除去することにより、凸部20Bの下部電極16側の周囲に段差部20Aを形成する(図4(B))。
例えば、「(4)圧電体膜のパターニング」と同様の方法でドライエッチングを行うことで、圧電体膜のレジストマスク30及び保護膜32から露出する部分を全て除去する。圧電体膜の凸部20Bの上面にはレジストマスク30が形成されており、また、凸部20Bの側面には保護膜32が形成されているため、凸部20Bはエッチングされることはない。また、圧電体膜の凸部20B以外の薄膜化されている部分のうち、凸部20Bの下部電極16側の周囲では保護膜32の厚さ分だけ保護されてエッチングされない。これにより、凸部20Bの下部電極16側の周囲には圧電体の段差部(鍔部)20Aが形成される。なお、オーバーエッチングによって圧電体膜19の下地にある下部電極16を構成する材料が飛散しても、圧電体凸部20Bの側面には保護膜32が形成されているため、圧電体層20の側壁に直接付着するのを防止することができ、リーク電流を確実に防止することができる。
ここで、圧電体層20の本体20B及び段差部20Aの厚さ、角度等について具体的に説明する。
図2に示されるように、圧電体層20全体の厚さをTとし、圧電体層20の段差部20Aの厚さ(段差部20Aの底面から上面までの距離)をT1、段差部20Aの上面から圧電体層20の上面までの厚さをT2とする。また、圧電体層20の底面と段差部20Aの側面との成す角度(適宜「段差部の傾斜角」という。)をθ1、圧電体層20の底面と本体20B(段差部20Aが形成されていない部分)の側面との成す角度(適宜「本体の傾斜角」という。)をθ2とする。
圧電体層20の厚さTは、1μm以上であれば、インクジェットヘッドに利用する場合に十分な変位量が得られ、一方、5μm以下であれば、圧電体層20中のクラックの発生が抑制され、スパッタ法、CVD法等の気相法でも比較的短い時間で成膜することができ、製造コストの上昇を抑制することができる。これらの理由から圧電体層20の厚さTは、1μm〜5μmが望ましく、例えば3μm程度とする。
また、圧電体層20の段差部20Aの厚さT1は、十分な変位量を得るため、圧電体層20の厚さTの3分の1以下であることが望ましい。例えば、圧電体層20の厚さTが3μmの場合は、段差部20Aの厚さT1を1μm以下とし、段差部20Aを除いた部分20Bの厚さT2を2μm以上とすることが好ましい。ただし、段差部20Aの厚さT1が薄過ぎると、圧電体層20が変位したときに段差部20Aにクラックが入りやすくなるため、段差部20Aの厚さT1は、圧電体層20全体の厚さTの1/10以上であることが望ましい。
また、図2に示す圧電体層20の厚さ方向の断面において、段差部20Aの側面部分の長さをL1、段差部20Aの上面部分の長さ(適宜「上面長さ」という。)をL2、圧電体層20の段差部20Aより上の部分(本体)20Bの長さをL3、圧電体層20の沿面距離をLとすると、L=L1+L2+L3と表され、Lが長いほど沿面距離が長くなる。沿面距離を長くするためには、圧電体層20の段差部20Aの上面長さL2が長い方が良いが、圧電体層本体20Bの側面に保護膜32を形成してエッチングマスクにするためには、100nm以上3μm以下であることが望ましい。段差部20Aの上面長さL2が100nm以上であれば、段差部20Aによって沿面距離をかせぐことができ、また、段差部20Aを形成する際のエッチングマスクに相当する保護膜32を所望の厚みに制御して形成することができる。一方、段差部20Aの上面長さL2が3μm以下であれば、エッチング保護膜32の形成が容易であり、短時間で成膜することができるとともに、ディスカム工程も比較的短時間で行うことができ、生産性の低下を抑制することができる。
圧電体層本体20Bの傾斜角θ2に関しては、インクジェットヘッドのように複数の圧電素子を高密度で配置する観点からは、垂直に近い角度が望ましい。また、製造上の観点からは、段差部20Aを形成するために圧電体膜19のエッチングを2回に分けて行う場合、1回目のエッチングでは、圧電体層本体20Bの厚みT2に相当する深さまでエッチングを行い、エッチング保護膜32の形成、ディスカム、さらに2回目のエッチングを行うことで段差部20Aが形成される。
1回目のエッチングで圧電体層本体20Bの形状がほぼ決まり、ドライエッチングでは本体20Bの傾斜角θ2が90°を超えるように形成することはそもそも困難であるが、90°を超える角度に形成できたとしても、再現性が悪く、また、保護膜形成時のカバレッジが悪くなるため、θ2は90°以下とすることが好ましい。
一方、保護膜形成後に2回目のエッチングを行うときに圧電体層本体20Bの傾斜角θ2が75°未満である場合は、エッチング時にイオンが保護膜32に当たり易く、保護膜自体がエッチングされて段差部20Aの形状が悪化するおそれがある。
このような観点から、凸部(圧電体層本体)20Bの傾斜角θ2は75°以上90°以下であることが望ましい。
一方、段差部20Aの傾斜角θ1は、45°以上であれば、隣接する圧電体素子との距離が近くなり過ぎることが抑制され、高密度化を図ることができる。また、段差部20Aの傾斜角θ1が75°以下であれば、後の工程で絶縁膜18や配線22のカバレッジの悪化を効果的に抑制することができる。従って、段差部20Aの傾斜角θ1は45°以上75°以下であることが望ましい。
また、上記のような理由から、圧電体層の段差部20Aの傾斜角θ1は、本体20Bの傾斜角θ2より小さいことが好ましい。
なお、側面(外周面)がある程度傾斜した段差部20Aを形成する場合には、例えば、保護膜32を形成するガスを積極的に添加する方法(添加するガス流量を増やす)、基板12に印加するバイアス出力を大きくし、保護膜32を後退(薄膜化)させながらエッチングを行う方法などが挙げられる。
代表的なエッチング条件は以下のとおりである。
プロセスガスは、塩素を10%〜60%とCを40%〜90%の混合ガスを用いる。例えば塩素の流量を20sccm、Cを80sccmとすれば良い。
プロセスガスの圧力は0.1〜5Pa、例えば1.0Paにすれば良い。
アンテナRF電力は350〜1000W、例えば500Wに設定する。基板バイアス電力は50〜500W、例えば250Wに設定する。
ステージの温度は、レジストマスクを用いた場合は、−20〜150℃、例えば5℃に設定すれば良い。
(8)マスク及び保護膜の除去
エッチングによって圧電体層20に段差を形成した後、レジストマスク30及びエッチング保護膜32を除去する(図4(C))。
これらの除去方法としては、市販のポリマー除去液を用いるウエット処理による方法、ドライアイスブラストによる方法、水蒸気によって除去する方法などが挙げられる。
ポリマー除去液を用いてレジストマスク30と保護膜32を除去する場合は、例えば、デュポン社製のEKCシリーズ、AZ社製のAZリムーバーなどを用いれば良い。
ドライアイスブラストを用いてマスク30等を除去する場合は、ドライアイス粒を圧縮空気により処理基板12へ吹き付けてサーマルショックを発生させると同時にドライアイス粒が昇華する際の膨張エネルギーを利用してレジストマスク30及び保護膜32を剥離除去する。
水蒸気によってマスク30等を除去する場合は、高圧(0.01〜1MPa)の水蒸気に純水や微量の薬液を混合した純水を処理基板に吹き付けることでレジストマスク30や保護膜32を除去する。
いずれの方法にせよ、レジストマスク30と保護膜32を除去することで、ドライエッチングの際、これらの膜上に堆積した堆積物も一緒に除去することができる。
以上のような工程に沿って圧電体膜19を加工することで、基板12上には、下部電極16側の側面に段差部20Aを有し、下部電極16側の面が上部電極側の面よりも大きい圧電体層20(2段階のテーパー部分20A,20Bを有する圧電体層20)が、圧電素子ごとにそれぞれ独立して形成される。
(9)上部電極等の形成
段差部20Aを有する圧電体層20を形成した後、圧電体層20上に、上部電極24、絶縁膜(バリア膜)18としてシリコン酸化膜などを形成する。さらに絶縁膜18にはパターニングにより上部電極24からの配線引き出し用の開口部を形成し、上部電極24からの配線22をパターニングする。これにより図1に示すような構成を有する圧電素子10を製造することができる。
前記のように圧電体層20の側面に下部電極16側の面が大きくなるような段差部20Aを有する構造とし、好ましくは圧電体層20の段差部20Aの側面を緩やかなテーパー角度に加工しておくことで、絶縁膜18や配線22を形成する際に圧電体層20の下部におけるカバレッジ性を向上させることができ、応力集中をより緩和することができる。
<第2の方法>
図5は、本発明に係る圧電素子の製造方法の他の例(第2の方法)を示している。この方法では、マスクを2回形成して圧電体層の段差部を形成する。
まず、シリコン基板上に、絶縁膜、密着層、圧電体膜を順次形成する工程、圧電体膜上にレジストマスクを形成する工程、圧電体膜をドライエッチングによりパターニングする工程については第1の方法と同様であるので、説明を省略する。
図5(A)に示すようにレジストマスク30を介して圧電体膜の一部が凸状となるようにパターニングした後、第1のマスク30を除去する。
次いで、凸部(本体)20Bとその周囲を覆うように、フォトリソグラフィ法によって段差部20Aを形成するための第2のレジストマスク34を形成する(図5(B))。第2のマスク34を形成した後、ドライエッチングを行う。これにより、圧電体膜のうち、マスク34によって覆われていない部分を除去する(図5(C))。
ドライエッチング後、マスク34を除去することで、凸部20Bの下部電極16側の周囲に段差部20Aを有する圧電体層20が得られる(図5(D))。
なお、このようにマスク30,34を2段階に分けて形成する場合、マスク30,34は、必ずしもレジストのみで形成する必要はなく、例えば、クロム等のハードマスクとレジストマスクを用いた方法でも良い。また、異なるマスクパターンを形成してそれぞれのマスクを形成した後の2回のエッチングによって段差部20Aを形成しても良い。
以上、本発明について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、段差部20Aを形成する際のエッチングはドライエッチングに限定されず、ウエットエッチングを行ってもよい。
また、上記実施形態では、段差部20Aを有する圧電体層20を形成した後に上部電極24を形成する場合について説明したが、圧電体膜と上部電極を一緒にエッチングしてパターニングしてもよい。すなわち、圧電体膜19をパターニングする前に圧電体膜19上に上部電極となる金属膜を形成する。次いで、この金属膜上にマスクを形成してドライエッチングを行うことで、圧電体層とともに上部電極をパターニングしてもよい。
10 圧電素子
12 基板(支持体)
14 酸化膜(絶縁膜)
16 下部電極
18 絶縁膜
19 圧電体膜
20 圧電体層
20A 段差部
20B 凸部(圧電体層本体)
22 配線
24 上部電極
30 マスク
32 エッチング保護膜
100 インクジェットヘッド
104 絶縁膜
106 下部電極
108 圧電体層
110 上部電極
114 配線
120 圧力室
122 流路
124 吐出口
126 供給孔
130 基板

Claims (4)

  1. 支持体と、
    前記支持体上に形成されている下部電極と、
    前記下部電極上に形成されている圧電体層と、
    前記圧電体層上に前記下部電極と対向するように形成されている上部電極と、を有し、
    前記圧電体層の前記下部電極側の面が前記上部電極側の面よりも大きくなるように前記圧電体層の前記下部電極側の周囲に段差部が形成されており、
    前記圧電体層の底面と前記段差部の側面との成す角度θ1が、前記圧電体層の底面と本体の側面との成す角度θ2より小さく、
    前記段差部の厚さが、前記圧電体層の厚さの10分の1以上3分の1以下であり、
    前記角度θ1が45°以上75°以下であり、前記角度θ2が75°以上90°以下である圧電素子。
  2. 前記段差部の上面部分の長さが、100nm以上3μm以下である請求項1に記載の圧電素子。
  3. 請求項1又は請求項に記載の圧電素子を有するインクジェットヘッド。
  4. 請求項1又は請求項に記載の圧電素子を製造する方法であって、
    支持体上に下部電極を形成する工程と、
    前記下部電極上に圧電体膜を形成する工程と、
    前記圧電体膜上の一部にマスクを形成する工程と、
    前記圧電体膜の前記マスクから露出する部分をドライエッチングによって薄膜化することにより前記マスクで覆われた部分を凸部に形成する工程と、
    前記凸部の少なくとも側面にエッチング保護膜を形成する工程と、
    前記圧電体膜の前記薄膜化された部分のうち前記エッチング保護膜から露出している部分をエッチングによって除去することにより、前記凸部の前記下部電極側の周囲に段差部を形成する工程と、
    を含む圧電素子の製造方法。
JP2009061782A 2009-03-13 2009-03-13 圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド Expired - Fee Related JP5398315B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009061782A JP5398315B2 (ja) 2009-03-13 2009-03-13 圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド
US12/717,816 US8628174B2 (en) 2009-03-13 2010-03-04 Piezoelectric element, method of manufacturing the same, and ink jet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009061782A JP5398315B2 (ja) 2009-03-13 2009-03-13 圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010219153A JP2010219153A (ja) 2010-09-30
JP5398315B2 true JP5398315B2 (ja) 2014-01-29

Family

ID=42730337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009061782A Expired - Fee Related JP5398315B2 (ja) 2009-03-13 2009-03-13 圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8628174B2 (ja)
JP (1) JP5398315B2 (ja)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5510162B2 (ja) * 2010-07-30 2014-06-04 日立金属株式会社 圧電体薄膜ウェハの製造方法、圧電体薄膜素子、及び圧電体薄膜デバイス
JP5556514B2 (ja) * 2010-09-06 2014-07-23 日立金属株式会社 圧電体薄膜ウェハの製造方法、圧電体薄膜素子、及び圧電体薄膜デバイス
JP5744486B2 (ja) * 2010-11-17 2015-07-08 株式会社ディスコ 保護膜剥離装置
JP2012156348A (ja) * 2011-01-27 2012-08-16 Ulvac Japan Ltd 誘電体デバイスの製造方法及びエッチング方法
JP2012164922A (ja) * 2011-02-09 2012-08-30 Yuutekku:Kk 圧電体の製造方法、圧電体及び電子装置
JP5743069B2 (ja) * 2011-03-15 2015-07-01 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置
JP5708098B2 (ja) * 2011-03-18 2015-04-30 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および画像形成装置
JP5766027B2 (ja) * 2011-05-20 2015-08-19 富士フイルム株式会社 ドライエッチング方法及びデバイス製造方法
JP6226121B2 (ja) * 2012-11-12 2017-11-08 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置
JP6181477B2 (ja) * 2013-08-29 2017-08-16 住友化学株式会社 ニオブ酸アルカリ系圧電体薄膜素子の製造方法
WO2015198536A1 (ja) * 2014-06-27 2015-12-30 パナソニックIpマネジメント株式会社 角速度センサ
JP2016060164A (ja) * 2014-09-19 2016-04-25 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子の製造方法
JP6130085B1 (ja) 2015-09-11 2017-05-17 住友精密工業株式会社 圧電素子および圧電素子の製造方法
KR102411668B1 (ko) * 2016-03-17 2022-06-20 니폰 제온 가부시키가이샤 플라즈마 에칭 방법
JP6944116B2 (ja) * 2017-12-14 2021-10-06 ミツミ電機株式会社 光走査装置
JP6780072B2 (ja) * 2019-07-19 2020-11-04 ローム株式会社 圧電素子ならびにそれを備えた圧電アクチュエータおよび圧電センサ
DE102020210117A1 (de) 2020-08-11 2022-02-17 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Piezovorrichtung und Verfahren zu einem Strukturieren zumindest eines Piezoelements, insbesondere einer Piezovorrichtung
US11847263B2 (en) 2021-02-26 2023-12-19 Beljing BOE Technology Development Co., Ltd. Haptic feedback base plate, haptic feedback apparatus and haptic feedback method
CN112689376B (zh) * 2021-03-15 2021-06-18 四川大学 一种采用压电材料的微波等离子体射流激发装置
US20220371880A1 (en) * 2021-05-19 2022-11-24 Microsoft Technology Licensing, Llc Piezoelectric actuator stack with tapered sidewall

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3552013B2 (ja) 1996-12-09 2004-08-11 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド
JPH1034922A (ja) 1996-07-23 1998-02-10 Murata Mfg Co Ltd 圧電型インクジェットヘッドおよびその製造方法
JP3387380B2 (ja) 1997-09-02 2003-03-17 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド
JP2000085124A (ja) * 1998-09-14 2000-03-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd インクジェットヘッド及びその製造方法
JP3829861B2 (ja) * 2002-08-07 2006-10-04 松下電器産業株式会社 角速度センサ
JP2005119199A (ja) * 2003-10-17 2005-05-12 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2006332594A (ja) * 2005-04-27 2006-12-07 Toshiba Corp 強誘電体記憶装置及びその製造方法
JP2008010528A (ja) * 2006-06-28 2008-01-17 Seiko Epson Corp アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
JP4953877B2 (ja) * 2006-08-30 2012-06-13 京セラ株式会社 コンデンサ及び高周波部品
JP4844750B2 (ja) 2007-03-20 2011-12-28 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンター
JP2009252757A (ja) * 2008-04-01 2009-10-29 Seiko Epson Corp 圧電素子およびその製造方法、圧電アクチュエータ、並びに、液体噴射ヘッド
JP4897767B2 (ja) * 2008-10-21 2012-03-14 Tdk株式会社 薄膜圧電体素子及びその製造方法並びにそれを用いたヘッドジンバルアセンブリ、及びそのヘッドジンバルアセンブリを用いたハードディスクドライブ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010219153A (ja) 2010-09-30
US20100231657A1 (en) 2010-09-16
US8628174B2 (en) 2014-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5398315B2 (ja) 圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド
TWI613848B (zh) 用於封裝有機發光二極體的方法
US8053955B2 (en) Piezoelectric device and method of production thereof
WO2017147952A1 (zh) 一种基于喷墨打印技术的有机发光显示装置及其制造方法
CN108206131B (zh) 半导体结构以及半导体结构的形成方法
JP4606967B2 (ja) 半導体素子の製造方法
JP5203340B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP2009226660A (ja) ドライエッチングによるパターニング方法及びそれに用いるモールド並びにインクジェットヘッドの製造方法
JP2008126374A (ja) 高アスペクト比の開口を有するシリコン構造体、その製造方法、その製造装置、及びその製造プログラム
US9676193B2 (en) Substrate processing method and method of manufacturing substrate for liquid discharge head including forming hole in substrate by dry etching
US20040082184A1 (en) Polysilicon etching method
JP5766027B2 (ja) ドライエッチング方法及びデバイス製造方法
JP2009267192A (ja) 半導体装置の製造方法および半導体製造装置
KR19980080876A (ko) 실리콘층 에칭 방법 및 반도체 장치 형성 방법
JP2001522127A (ja) ゲート電極形成中の重合体粒子の空間的に均一な付着
JP2009229620A (ja) ドライエッチングによるパターニング方法及びインクジェットヘッドの製造方法
JP2011029562A (ja) 半導体ウェハ端面の処理方法および半導体装置の製造方法
JP7387332B2 (ja) 積層構造体の製造方法及び液体吐出ヘッド用基板の製造方法
JP2007144915A (ja) 液滴吐出ヘッドの製造方法およびパターン形成方法
JP2007059496A (ja) 半導体装置の製造方法
KR100567057B1 (ko) 반도체 소자의 게이트 형성방법
JP5520266B2 (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法
US20080124914A1 (en) Method of fabricating flash memory device
JP2014060210A (ja) ドライエッチング方法および圧電デバイスの製造方法
US20080081475A1 (en) Method for forming pattern in semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110804

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130416

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130418

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130513

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130709

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130813

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20130909

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131001

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131022

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5398315

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees