JP5520266B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッドの製造方法Info
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Description
図4は、プラズマ処理を行うためのドライエッチング装置の構成図である。ドライエッチング装置110は、例えば誘電結合方式(Inductive Coupling Plasma:ICP)の装置を用いる。その他には、ヘリコン波励起プラズマ(Helicon Wave Plasma:HWP)、電子サイクロトン共鳴(Electron Cyclotron resonance:ECR)プラズマ、マイクロ波励起表面波プラズマ(Surface Wave Plasma:SWP)などのプラズマ源を用いた方式を適用することも可能である。
本実施形態によれば、次の作用効果を奏する。
上述の実施形態では、反射防止膜(BARC)付きドライフィルムレジストを例示したが、本発明の実施に際しては、反射防止膜に代えて、非感光材料層22にSiO2膜やSiN膜などの無機膜を用いることができる。
非感光材料層22と感光性樹脂層24の積層構造を持つドライフィルムレジスト26は、2層構造が最も簡単な構成であり、好ましい態様であるが、3層以上の複数層の積層構造を持つドライフィルムレジストを採用することも可能である。
上述の実施形態では、フッ素含有ガスを用いたプラズマ処理によって、エッチングと同時に撥液処理を行う例を説明したが、エッチングによって非感光材料層22を除去する工程と、撥液層を形成する工程とを分けて、これら工程を段階的に実施する構成も可能である。この場合、エッチング条件や撥液膜の形成条件の自由度が広がる。
上記の実施形態では、インクジェット記録装置の記録ヘッドに用いられる液体吐出ヘッドを例に説明したが、本発明の適用範囲はこの例に限定されない。例えば、電子回路の配線パターンを描画する配線描画装置、各種デバイスの製造装置、吐出用の機能性液体として樹脂液を用いるレジスト印刷装置、カラーフィルター製造装置、マテリアルデポジション用の材料を用いて微細構造物を形成する微細構造物形成装置など、液状機能性材料を用いて様々な形状やパターンを描画する装置の液体吐出ヘッドの製造方法として、広く適用できる。
上記に詳述した実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書では以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
Claims (11)
- 液体吐出ヘッドの製造方法であって、
吐出エネルギーを発生させるエネルギー発生素子が形成された基板上に、流路となる凹部と前記流路の側壁部分となる凸部とを含んだ流路パターンを形成する工程と、
前記流路パターンの前記凹部を中空状態としたまま当該流路パターンを被覆するように、前記流路パターンに接する側から非感光材料層と感光性樹脂層とが順に積層された積層構造を有するドライフィルムレジストを前記基板上の前記流路パターンに重ねて形成する工程と、
前記基板上の前記流路パターンに重ねて形成された前記ドライフィルムレジストの前記感光性樹脂層の一部を除去することによりノズル開口部を形成する工程と、
前記ノズル開口部が形成された前記ドライフィルムレジストの前記ノズル開口部の中に残る前記非感光材料層をドライエッチングにより除去する工程と、
前記ノズル開口部が形成された前記感光性樹脂層の表面に撥液層を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記ノズル開口部が形成された前記ドライフィルムレジストを備えた前記基板にプラズマ処理を行うことにより、前記ドライエッチングを行うと同時に前記撥液層を形成することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記プラズマ処理は、フッ素含有ガスを用いることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムレジストは、前記非感光材料層として反射防止膜を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムレジストは、前記非感光材料層として無機膜を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記無機膜は、SiO2膜又はSiN膜であることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記流路パターンを形成する工程は、
前記基板上に感光性材料層を形成する工程と、
当該感光性材料層に対し、前記流路の側壁に対応するパターンが形成されたマスクを介して露光を行う工程と、
その露光後に現像処理を行う工程と、
を含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記流路となる前記凹部は、前記基板上の前記エネルギー発生素子の位置に対応して形成されることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記積層構造を有する前記ドライフィルムレジストは、前記流路パターンが形成された前記基板にラミネート法によって貼り付けられることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ラミネート法による貼り合わせは減圧状態で行われることを特徴とする請求項9に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ノズル開口部は、パターン露光後に現像処理を行うフォトリソグラフィーの工程によって形成されることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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