JP6456049B2 - 貫通基板の形成方法 - Google Patents
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Description
[実施例1]
まず、図2A(a)に示すように、インゴットの引き出し方位が<100>のシリコン単結晶基板の片面に液体吐出用のエネルギー発生素子19およびそれを駆動するための配線(不図示)が形成された液体吐出ヘッド用の基板11を用意した。基板11の表面に、密着向上層41(日立化成社製のHIMAL(商品名))がフォトリソグラフィープロセスでパターン形成された。
実施例2は、第1の溝13の形成に図4A(b)で示したボッシュプロセスを用いる例である。図5Aおよび図5Bは、第1の溝13の形成ステップの最後に保護膜43を成膜する場合の液体吐出ヘッド10の製造工程を示す図である。
実施例3は、第1の溝13の形成に図4A(c)で示したボッシュプロセスを用いる例である。実施例3は、第1の溝13を形成する工程以外は実施例1と同様であるため、以下、実施例1と異なる部分を主に説明する。
実施例4は、第1の溝13の形成に図4B(a)で示したボッシュプロセスを用いる例である。実施例4は、第1の溝13の形成工程以外は実施例1と同様であるため、以下、実施例1と異なる部分を主に説明する。
実施例5は、第1の溝13の形成に図4B(b)で示したボッシュプロセスを用いて、成膜条件のうちガス流量を変更する例である。実施例5は、第1の溝13の形成工程以外は実施例1と同様であるため、以下、実施例1と異なる部分を主に説明する。
実施例6は、第1の溝13の形成に図4B(b)で示したボッシュプロセスを用いて、成膜条件としてチャンバー圧力を変更する例である。実施例6は、第1の溝13の形成工程以外は実施例1と同様であるため、以下、実施例1と異なる部分を主に説明する。
実施例7は、第1の溝13の形成に図4B(b)で示したボッシュプロセスを用いて、成膜条件としてコイルパワーを変更する例である。実施例7は、第1の溝13の形成工程以外は実施例1と同様であるため、以下、実施例1と異なる部分を主に説明する。
12 第1の面
13 第1の溝
14 第2の面
15 第2の溝
43 保護膜
Claims (7)
- 基板の第1の面と前記第1の面の反対側の面である第2の面とを貫通させる貫通基板の形成方法であって、
ドライエッチングを用いて、前記基板の前記第1の面側から、側面に保護膜が形成された第1の溝を形成する、第1の工程と、
ドライエッチングを用いて、前記第2の面側から、前記第1の溝と連通する第2の溝を形成する、第2の工程と、を含み、
前記第2の工程は、前記第1の溝の側面に前記保護膜が形成された状態で行われ、
前記第1の工程は、前記基板をエッチングして溝を形成する溝形成ステップと、前記溝の側面に前記保護膜を形成しながら溝の深さを調整して、前記溝を前記第1の溝として形成する深さ調整ステップと、前記深さ調整ステップの後に前記保護膜の状態を調整する保護膜調整ステップと、を含み、
前記保護膜調整ステップは、前記第1の面上へ保護膜を成膜することと、前記ドライエッチングのエッチング方向と交わる方向に形成された保護膜をエッチングすることと、を交互に繰り返すことを含む、貫通基板の形成方法。 - 前記深さ調整ステップでは、前記第1の面上へ保護膜を成膜することと、前記ドライエッチングのエッチング方向と交わる方向に形成された保護膜をエッチングすることと、前記基板をエッチングすることとを順番に繰り返す、請求項1に記載の貫通基板の形成方法。
- 前記保護膜調整ステップは、前記保護膜を成膜することを最後に行う、請求項1または2に記載の貫通基板の形成方法。
- 前記保護膜調整ステップは、前記保護膜をエッチングすることを最後に行う、請求項1または2に記載の貫通基板の形成方法。
- 前記保護膜調整ステップで成膜する保護膜の厚みは、前記深さ調整ステップで成膜する保護膜の厚みよりも厚い、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の貫通基板の形成方法。
- 前記基板がシリコン単結晶基板である請求項1ないし5のいずれか1項に記載の貫通基板の形成方法。
- 前記基板は、液体吐出ヘッド用の基板である、請求項1ないし6のいずれか1項に記載の貫通基板の形成方法。
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