JP2014030923A - 貫通口を有する基板、液体吐出ヘッド用基板及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板の第一の面と反対側の第二の面側から前記第一の面までドライエッチングを行うことにより貫通口を形成する貫通口含有基板の製造方法であって、(a)前記基板の前記第一の面における前記貫通口を形成する領域の周囲に溝を形成する工程と、(b)前記基板の前記第一の面における前記貫通口を形成する領域及び前記溝内にエッチングストップ層を形成する工程と、(c)前記第二の面側から前記ドライエッチングを行うことにより、前記貫通口を形成する工程と、をこの順で有することを特徴とする貫通口含有基板の製造方法である。
【選択図】図1
Description
基板の第一の面と反対側の第二の面側から前記第一の面までドライエッチングを行うことにより貫通口を形成する貫通口含有基板の製造方法であって、
(a)前記基板の前記第一の面における前記貫通口を形成する領域の周囲に溝を形成する工程と、
(b)前記基板の前記第一の面における前記貫通口を形成する領域及び前記溝内にエッチングストップ層を形成する工程と、
(c)前記第二の面側から前記ドライエッチングを行うことにより、前記貫通口を形成する工程と、
をこの順で有することを特徴とする貫通口含有基板の製造方法である。
前記貫通口含有基板の製造方法を用いて液体供給口を形成することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。
液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子を第一の面に有する基板と、該基板の前記第一の面側に、前記液体を吐出する液体吐出口及び該液体吐出口に連通する液体流路を構成する流路形成部材と、を備え、前記基板は前記液体流路に前記液体を供給する液体供給口を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(a)前記基板の前記第一の面における前記液体供給口を形成する領域の周囲に溝を形成する工程と、
(b)前記基板の前記第一の面における前記液体供給口を形成する領域及び前記溝内にエッチングストップ層を形成する工程と、
(c)前記第一の面と反対側の第二の面側からドライエッチングを行うことにより、前記液体供給口を形成する工程と、
をこの順で有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
次に、図1を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッド用基板の製造方法について実施例によって説明する。
以下に、図2を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッド用基板の製造方法について実施例によって説明する。
102、202、302、402 液体供給口
502 液体供給口が形成される領域
103、203、303、403 シリコン基板
104、204 絶縁層
105、205、405、505 吐出エネルギー発生素子
106、206、406 ノズルプレート
107、207 流路型材
108、208、308 液体流路
109、209 エッチングマスク
110、210、410 第一の面
111、211、411 第二の面
312 エッチングストップ層
113、213、313、513 溝
514 梁
115、215 保護膜
Claims (15)
- 基板の第一の面と反対側の第二の面側から前記第一の面までドライエッチングを行うことにより貫通口を形成する貫通口含有基板の製造方法であって、
(a)前記基板の前記第一の面における前記貫通口を形成する領域の周囲に溝を形成する工程と、
(b)前記基板の前記第一の面における前記貫通口を形成する領域及び前記溝内にエッチングストップ層を形成する工程と、
(c)前記第二の面側から前記ドライエッチングを行うことにより、前記貫通口を形成する工程と、
をこの順で有することを特徴とする貫通口含有基板の製造方法。 - 前記工程(c)において、前記ドライエッチングが前記エッチングストップ層に到達した後にオーバーエッチングを行うことにより、前記貫通口の前記第一の面側の開口部を前記溝まで広げさせる請求項1に記載の貫通口含有基板の製造方法。
- 前記工程(c)の後に、前記エッチングストップ層のうち少なくとも前記貫通口の前記第一の面側の開口部に相当する部分を除去する工程を有する請求項1又は2に記載の貫通口含有基板の製造方法。
- 前記ドライエッチングはボッシュプロセスを用いる請求項1乃至3のいずれかに記載の貫通口含有基板の製造方法。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の貫通口含有基板の製造方法を用いて液体供給口を形成することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子を第一の面に有する基板と、該基板の前記第一の面側に、前記液体を吐出する液体吐出口及び該液体吐出口に連通する液体流路を構成する流路形成部材と、を備え、前記基板は前記液体流路に前記液体を供給する液体供給口を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(a)前記基板の前記第一の面における前記液体供給口を形成する領域の周囲に溝を形成する工程と、
(b)前記基板の前記第一の面における前記液体供給口を形成する領域及び前記溝内にエッチングストップ層を形成する工程と、
(c)前記第一の面と反対側の第二の面側からドライエッチングを行うことにより、前記液体供給口を形成する工程と、
をこの順で有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(c)において、前記ドライエッチングが前記エッチングストップ層に到達した後にオーバーエッチングを行うことにより、前記液体供給口の前記第一の面側の開口部を前記溝まで広げさせる請求項6に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記エッチングストップ層は前記液体流路の流路型材も兼ねる請求項6又は7に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(b)において、前記液体流路に相当する部分、前記液体供給口を形成する領域及び前記溝内に、溶解可能な樹脂を用いて前記流路型材を形成することにより、前記エッチングストップ層を形成する請求項8に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(c)の後、前記流路型材を溶解除去する工程を有する請求項9に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記エッチングストップ層は前記吐出エネルギー発生素子を保護する絶縁層も兼ねる請求項6又は7に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(b)において、前記絶縁層を、前記基板上であって、前記吐出エネルギー発生素子の上、前記液体供給口を形成する領域の上及び前記溝内に形成することにより、前記エッチングストップ層を形成する請求項11に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(c)の後、前記エッチングストップ層のうち少なくとも前記液体供給口の前記第一の面側の開口部に連通する部分を除去する工程を有する請求項12に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ドライエッチングはボッシュプロセスを用いる請求項6乃至13のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記溝の深さは1〜30μmである請求項6乃至14のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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