JP2016205871A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体の圧力を受圧するダイアフラムと、前記ダイアフラムとの間でオイル等の絶縁性媒質が封入された受圧空間が形成されるベースと、前記受圧空間内に設けられるとともにアースパッドを含む複数のボンディングパッドを備えた圧力検出素子と、前記ベースを貫通するとともに前記圧力検出素子と電気的に接続される複数の端子ピン及び1つのアース端子ピンと、を具備した圧力センサであって、前記ベースと前記圧力検出素子との間に除電板が配置されており、前記除電板は、前記圧力検出素子側の表面に導電層が形成されているとともに、前記導電層が前記アースパッド及び前記アース端子ピンとそれぞれ電気的に接続されている。
【選択図】図1
Description
半導体型圧力検出装置は、上記受圧室内に配置され、受圧空間内の圧力変化を電気信号に変換して外部に出力する機能を有している。
受圧空間内に配置されるダイアフラムは、可撓性の金属板であって、半導体からなる圧力検出素子との間で電位差が発生し、封入されたオイルが静電気を帯びると、圧力検出素子あるいはその出力信号に不具合が生ずる場合がある。
したがって、これらの取り付けの際には、上記圧力検出素子又は導電性部材を上記上側部材に対してそれぞれ位置決めする必要があるため、取り付け作業が煩雑となり、組立効率が低下するとともに、複数回の位置決めに関わる製品精度が低下する懸念がある。
さらに、本発明の圧力センサの別の実施例において、前記圧力検出素子は、前記除電板上に直接形成されている。
図1は、本発明の実施例1による圧力センサの縦断面図である。また、図2は、本発明の実施例1による圧力センサの圧力検出素子を取り付けた部分の近傍を受圧空間側から見た概略図であり、図1のA−A断面図よりカバーを取り除いた図である。
図1に示すように、圧力センサ1は、段付の円筒形状のカバー10を有し、カバー10の大径の開口部10aには、後述する半導体型圧力検出装置60が搭載されたベース40、図示されない流体流入管が接続される接続ナット20を支持する取付部材30、ベース40及び取付部材30によりその外周部が挟持されたダイアフラム50等より成る圧力検出ユニット2が挿入される。
実施例1による圧力センサ1において、ベース40の受圧空間52側の中央部には、例えばガラス等の絶縁体からなる除電板62を介して半導体型圧力検出装置60が取り付けられている。
そして、半導体型圧力検出装置60と除電板62、及び除電板62とベース40は、いずれも接着や拡散接合、あるいは常温接合等の任意の接合方法で取り付けられる。
また、導電層の材料としては、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル等が代表的であるが、高電圧耐久性を得るためにタングステンやモリブデン等が高融点材料を用いることもできる。
図2に示すように、複数の端子ピンのうちの1つはアース端子ピン72として機能する。そして、当該アース端子ピン72とそれ以外の7本の端子ピン70とは、中継基板90に接続される。
また、リード線94は、当該圧力センサ1が設置された冷凍冷蔵装置や空調装置等の制御盤内に設けられた図示されない電気回路に接続される。これにより、アース端子ピン72は、リード線94を介して外部アースに接続される。
このような構成により、中継基板90は、コネクタ92を挟んで両側の位置に端子ピン70,72との接続点を備える構造となっているため、リード線94に引張力等が加えられた場合であっても、端子ピン70,72に横方向の応力が加わることがなく、結果として端子ピン70,72とベース40とを固定するハーメチックシール74が破損するのを防止できる。
そして、上述の圧力検出ユニット2がカバー10内に配置された後、カバー10の大径の開口部10a側及び小径の開口部10b側(リード線94が導出される側)からカバー10の内部に樹脂P(図1においては、ハッチングによる図示を省略している)が充填、固化され、これによりカバー10内に圧力検出ユニット2が固定される。
圧力検出素子64はこの圧力変動を検知して電気信号に変換し、ボンディングワイヤ80、端子ピン70を介して電気信号を外部に出力する。
このとき、導電層62aは、上記除電板62における半導体型圧力検出装置60の取り付け面の全面に形成されても良いが、上記半導体型圧力検出装置60の取り付け部分を除く部分、あるいは上記取り付け部分以外の一部のみに形成されても良い。
このような構成により、圧力検出ユニット2の内部に帯電する電荷を効率的に外部に逃がすことができるため、半導体型圧力検出装置60の周囲あるいは受圧空間52内に充填された液状媒質に電荷が帯電するのを抑制することができ、結果として、半導体型圧力検出装置60の帯電に起因する作動不良が防止される。
したがって、圧力検出ユニットを組み立てる際の取り付け作業を簡素化できるため、組立効率が低下することがなく、結果として位置決めに関わる製品精度の低下を抑制することができる。
このような構成によれば、圧力検出ユニットの組立ラインにおける半導体型圧力検出装置60と除電板62との位置決め作業を省略できるため、組立効率及び製品精度をさらに向上させることができる。
図3は、本発明の実施例2による圧力センサの縦断面図である。
なお、本発明の実施例2による圧力センサ1は、その主要な構成部分が図1に示した実施例1による圧力センサ1と共通するため、図3においては、実施例1の場合と異なる部分を含む要部にのみ符号を付して説明する。
そして、上記除電板162の表面には、導電層162aと圧力検出素子(半導体層)164とが隣接して直接形成されている。すなわち、実施例2による圧力センサ1においては、実施例1の除電板162と支持基板163とを共通化することにより、除電機能を併せ持つ半導体型圧力検出装置160を構成している。
このとき、除電板162の表面に導電層162aと圧力検出素子164とを形成する方法としては、例えばフォトリソグラフィ等の従来公知の手法を適用することができる。
そして、除電板162とベース40は、実施例1の場合と同様に、接着や拡散接合、あるいは常温接合等の任意の接合方法で取り付けられる。
したがって、圧力検出ユニット2を組み立てる際の取り付け作業を簡素化できるため、組立効率が低下することがなく、結果として位置決めに関わる製品精度の低下を抑制することができる。
また、圧力検出素子164の支持基板を省略できるため、圧力検出ユニット2全体の軽量化を行うこともできる。
きる。
例えば、上記実施例1及び2において、除電板62,162のダイアフラム50と対向する面(表面)に導電層を形成する場合を例示したが、当該導電層を除電板62,162の側面に形成するように構成してもよい。
また、図2には、除電板62が四角形である場合を例示したが、除電板62の機能を損なわない範囲で、円形やその他の多角形(例えば五角形や六角形、あるいは八角形)等の形状を採用することも可能である。
20 接続ナット 30 取付部材
32 流体導入室 40 ベース
50 ダイアフラム 52 受圧空間
60、160 半導体型圧力検出装置 62、162 除電板
63、163 支持基板 64、164 圧力検出素子
70 端子ピン 74 ハーメチックシール
80 ボンディングワイヤ 81 アース用ボンディングワイヤ
90 中継基板 92 コネクタ
94 リード線
Claims (3)
- 流体の圧力を受圧するダイアフラムと、
前記ダイアフラムとの間でオイル等の絶縁性媒質が封入された受圧空間が形成されるベースと、
前記受圧空間内に設けられるとともにアースパッドを含む複数のボンディングパッドを備えた圧力検出素子と、
前記ベースを貫通するとともに前記圧力検出素子と電気的に接続される複数の端子ピン及び1つのアース端子ピンと、を具備した圧力センサであって、
前記ベースと前記圧力検出素子との間に除電板が配置されており、
前記除電板は、前記圧力検出素子側の表面に導電層が形成されているとともに、前記導電層が前記アースパッド及び前記アース端子ピンとそれぞれ電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧力検出素子は、支持基板上に形成されており、
前記支持基板が、前記除電板と接合されていることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。 - 前記圧力検出素子は、前記除電板上に直接形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
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