JP2014178125A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力センサ1は、カバー10内に固定されるベース40にダイアフラム50が取り付けられてオイルが封入される受圧空間52が形成される。半導体形圧力検出装置60はボンディングワイヤ80により、複数本の端子ピン70に接続される。半導体形圧力検出装置60の周囲に取り付けられる除電板100は、アース用ボンディングワイヤ82によりアース端子ピン72に結線され、受圧空間52内に封入された絶縁性媒質の帯電を防止する。
【選択図】図1
Description
半導体形圧力検出装置は、ダイアフラムで区画されてオイルが封入された受圧室内に配置され、受圧空間内の圧力変化を電気信号に変換して外部に出力する機能を備える。
ダイアフラムは可撓性の金属板であって、半導体形圧力検出素子との間で電位差が発生したり、封入されたオイルが静電気を帯びたりすると、半導体形圧力検出素子に不具合が生ずる場合がある。
皿状のベース40とダイアフラム50で区画される受圧空間52にはオイル等の絶縁性の液状媒質が充填される。
ベース40の受圧空間52側の中央部には半導体形圧力検出装置60が搭載される。圧力検出装置60は、ガラス製の台座62とそれに貼付された圧力検出素子(半導体チップ)64とからなる。
半導体形圧力検出素子64はこの圧力変動を検知して電気信号に変換し、端子ピン70を介して電気信号を外部に出力する。
そして、除電板100とアース端子ピン72の間はアース用ボンディングワイヤ82で結線される。
これにより、受圧空間52の高さ寸法を従来の圧力センサのものと同様としたままで、除電板100を配設することが可能となり、圧力センサのサイズの変更を必要とすることなくオイル等の封入媒質の除電を効果的に発揮させることができる。
図5は、端子ピン70やアース端子ピン72に植設されたベース40をその受圧空間52側を上に向けて設置し、ベース40中央部に半導体形圧力検出装置60を固着する工程を示す。
半導体形圧力検出装置60の位置決めのために、この実施形態では、ベース40の中央部に凹部42を設けてある。半導体形圧力検出装置60は接着剤層によりベース40に固着される。
除電板100は、中央部に窓孔102を有し、この窓孔102内に半導体形圧力検出装置60を収容する姿勢で導電層を上向きにした状態で除電板100を接着剤層100aによりベース40上に固着する。
図4に示すように、除電板100の受圧空間52側の高さ位置H2は、ガラス製台座部62の高さ位置H1に比べて低くなるように構成されている。
圧力検出素子64と除電板100の上側の空間には何らの部材が存在しないので、この結線作業は通常のワイヤボンディングと同一の工程で容易に実施することができる。
スリット404を設けることにより、確実な除電作用が得られる。
本実施形態にあっては、アース用ボンディングワイヤを複数本(この実施例では3本)のボンディングワイヤ282で構成してある。
各ボンディングワイヤは他の結線用ボンディングワイヤ80と同一のものを用いてあり、アース用に特別なワイヤを用意する必要はない。
この構成によっても除電作用はより確実に遂行される。他の構成は先の実施形態と同様である。
また、除電板102は、使用環境のノイズレベルに応じて、受圧空間内への設置の有無を適宜に選択することが可能である。
また、除電板の高さ位置を半導体形圧力検出装置の高さ位置より低くすることにより、ワイヤボンディングの作業性を損なうことなく圧力センサの製造工程が簡素化され、サイズも従来のものと同様に保つことができる。
20 流体導入部 30 取付部材
32 流体導入室 40 ベース
50 ダイアフラム 52 受圧空間
60 半導体形圧力検出装置 62 ガラス台座
64 検出素子 70 端子ピン
72 アース端子ピン 74 ハーメチックシール
80 ボンディングワイヤ 82 アース用ボンディングワイヤ
90 中継基板 92 コネクタ
94 リード線
100、200、300、400 除電板
102、202、302、402 窓孔
404 スリット
Claims (7)
- 流体の圧力を受圧するダイアフラムと、
前記ダイアフラムとの間でオイル等の絶縁性媒質が封入された受圧空間が形成され前記受圧空間内に半導体形圧力検出装置が設けられるベースと、
前記ベースに植設され前記半導体形圧力検出装置とボンディングワイヤを介して結線される複数の端子ピン及びアース端子ピンとを具備し、
前記ダイアフラムと前記ベースとからなる圧力検出部が一体的に装備される圧力センサであって、
前記ベース上には、前記半導体形圧力検出装置と、その周囲位置に配置される除電板とが搭載されており
前記除電板は、前記ベースからの高さが前記半導体形圧力装置の前記ベースからの高さよりも低い位置に配置されており、
前記除電板は、アース用ボンディングワイヤを介して前記アース端子ピンに電気的に導通させてある
ことを特徴とする圧力センサ。 - 前記アース用ボンディングワイヤの線径は他のボンディングワイヤの線径よりも大径にしてあることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記アース用ボンディングワイヤが複数本からなることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記除電板は、外郭形状が四角形状であって中央部に窓孔を有することを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記除電板は、外郭形状が八角形状であって中央部に窓孔を有することを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記除電板は、外郭形状が円形状であって中央部に窓孔を有することを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記除電板にはその一部にスリットが設けてあることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の圧力センサ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013050489A JP6205145B2 (ja) | 2013-03-13 | 2013-03-13 | 圧力センサ |
CN201410039882.2A CN104048792B (zh) | 2013-03-13 | 2014-01-27 | 压力传感器 |
TW103108102A TWI633289B (zh) | 2013-03-13 | 2014-03-10 | 壓力感測器 |
US14/204,400 US9506830B2 (en) | 2013-03-13 | 2014-03-11 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013050489A JP6205145B2 (ja) | 2013-03-13 | 2013-03-13 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014178125A true JP2014178125A (ja) | 2014-09-25 |
JP6205145B2 JP6205145B2 (ja) | 2017-09-27 |
Family
ID=51698244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013050489A Active JP6205145B2 (ja) | 2013-03-13 | 2013-03-13 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6205145B2 (ja) |
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---|---|
JP6205145B2 (ja) | 2017-09-27 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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