JP2021060273A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021060273A JP2021060273A JP2019184504A JP2019184504A JP2021060273A JP 2021060273 A JP2021060273 A JP 2021060273A JP 2019184504 A JP2019184504 A JP 2019184504A JP 2019184504 A JP2019184504 A JP 2019184504A JP 2021060273 A JP2021060273 A JP 2021060273A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm
- pressure sensor
- insulating layer
- pressure detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 45
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 23
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims description 18
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims description 18
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
流体の圧力を受けるダイアフラムと、
前記ダイアフラムとの間に絶縁性媒質が封入された受圧空間を形成するベースと、
前記受圧空間内に配置され、前記絶縁性媒質に伝達された圧力を検出して電気的圧力信号に変換する圧力検出装置と、
外部の電気回路に電気的に接続された配線層を備えた中継基板と、
前記圧力検出装置と前記中継基板の配線層との間で、電気的接続を行うための複数の端子ピンと、を具備した圧力センサであって、
前記受圧空間内における前記ダイアフラムの面に、前記圧力検出装置に対向して、前記絶縁性媒質よりも誘電率が高い絶縁層を形成した、ことを特徴とする。
以下、図面を参照して、本発明にかかる実施形態を説明する。図1は、第1の実施形態にかかる圧力センサ1を示す縦断面図である。図2は、第1の実施形態にかかる圧力検出ユニット2の縦断面図である。図3は、圧力検出ユニット2の上面図である。図4は、圧力検出ユニット2における図2のA−A線における断面を底面視した図である。図5は、圧力検出ユニット2における図2のB−B線における断面を上面視した図である。
図6は、第2の実施形態にかかる圧力センサ1Aを示す縦断面図である。本実施形態においては、上述した実施形態に対し、圧力検出ユニット2Aの除電板100Aの形状が異なる。より具体的には、上記実施の形態に比して除電板100Aの厚さが厚くなっており、除電板100Aの導電層102Aが、圧力検出装置60の下面より下方に突出している。すなわち圧力検出装置60と絶縁層51との間隔は、除電板100Aとダイアフラム50との間隔よりも広くなっている。それ以外の構成は、上述した実施形態と同様であるため、同じ符号を付して重複説明を省略する。
2、2A 圧力検出ユニット
10 カバー
20 接続ナット
30 取付部材
32 流体導入室
40 ベース
50 ダイアフラム
52 受圧空間
60 圧力検出装置
62 ガラス製の台座
64 圧力検出素子
70 グラウンド用の端子ピン
72 端子ピン
74 ハーメチックシール
80 ボンディングワイヤ
82 グラウンド用のボンディングワイヤ
90 中継基板
92 コネクタ
94 リード線
100,100A 除電板
Claims (6)
- 流体の圧力を受けるダイアフラムと、
前記ダイアフラムとの間に絶縁性媒質が封入された受圧空間を形成するベースと、
前記受圧空間内において前記ベースに配置され、前記絶縁性媒質に伝達された圧力を検出して電気的圧力信号に変換する圧力検出装置と、
前記ベースを貫通して配置され、前記受圧空間内で前記圧力検出装置と電気的に接続された複数の端子ピンと、を具備した圧力センサであって、
前記受圧空間内における前記ダイアフラムの面に、前記圧力検出装置に対向して、前記絶縁性媒質よりも誘電率が高い絶縁層を形成した、ことを特徴とする圧力センサ。 - 前記ダイアフラムは、中央の平坦部と、前記平坦部の周囲に形成された同心円状の環状凹凸部とを有し、前記絶縁層は前記平坦部に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記絶縁層は円形または矩形である、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力センサ。
- 前記受圧空間内において前記圧力検出装置に近接して配置された除電板を有し、前記除電板は、前記圧力検出装置の周囲を囲っており、グラウンドに接続される前記端子ピンと、前記除電板の導電層との間で電気的接続が行われる、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記圧力検出装置と前記絶縁層との間隔は、前記除電板と前記ダイアフラムとの間隔よりも狭い、ことを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
- 前記圧力検出装置と前記絶縁層との間隔は、前記除電板と前記ダイアフラムとの間隔よりも広い、ことを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019184504A JP7345173B2 (ja) | 2019-10-07 | 2019-10-07 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019184504A JP7345173B2 (ja) | 2019-10-07 | 2019-10-07 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021060273A true JP2021060273A (ja) | 2021-04-15 |
JP7345173B2 JP7345173B2 (ja) | 2023-09-15 |
Family
ID=75379987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019184504A Active JP7345173B2 (ja) | 2019-10-07 | 2019-10-07 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7345173B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08159900A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Fuji Electric Co Ltd | 圧力センサ用感圧ダイアフラムの製造方法 |
JP2004279326A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2005249595A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Denso Corp | 圧力センサ |
CN101520356A (zh) * | 2006-06-26 | 2009-09-02 | 阮志成 | 绝缘式集成电路压力感测装置 |
JP2014178125A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2015004591A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
-
2019
- 2019-10-07 JP JP2019184504A patent/JP7345173B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08159900A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Fuji Electric Co Ltd | 圧力センサ用感圧ダイアフラムの製造方法 |
JP2004279326A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2005249595A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Denso Corp | 圧力センサ |
CN101520356A (zh) * | 2006-06-26 | 2009-09-02 | 阮志成 | 绝缘式集成电路压力感测装置 |
JP2014178125A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2015004591A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7345173B2 (ja) | 2023-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI633289B (zh) | 壓力感測器 | |
JP6111151B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3987386B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6205145B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6892404B2 (ja) | 圧力センサ | |
KR20170096574A (ko) | 압력 검출 유닛 및 이것을 이용한 압력 센서 | |
US10481029B2 (en) | Pressure sensor, relay substrate therefor, and relay substrate unit therefor | |
JP2003172665A (ja) | 圧力センサ | |
JP2016205871A (ja) | 圧力センサ | |
JP6709486B2 (ja) | 圧力センサ | |
WO2021065554A1 (ja) | 圧力検出ユニット及びこれを用いた圧力センサ | |
JP7345173B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2002333377A (ja) | 圧力センサ | |
JP7308522B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2021060250A (ja) | 圧力センサ | |
JP7345174B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP7291948B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2021056070A (ja) | 圧力検出ユニット及びこれを用いた圧力センサ | |
JP6498021B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6422383B2 (ja) | 圧力センサ | |
WO2018016610A1 (ja) | 圧力センサ | |
CN214309248U (zh) | 传感器 | |
JP2005114734A (ja) | 圧力センサ | |
JP6793809B2 (ja) | 圧力検出装置 | |
JP2021167758A (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220804 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230704 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7345173 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |