JP6709486B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
流体の圧力を受けるダイアフラムと、
前記ダイアフラムとの間に絶縁性媒質が封入された受圧空間を形成するベースと、
前記受圧空間内において前記ベースに配置され、前記絶縁性媒質に伝達された圧力を検出して電気的圧力信号に変換する圧力検出装置と、
前記圧力検出装置と外部の電気回路との間で、電気的接続を行うための複数の端子ピンと、
前記圧力検出装置の表面に対向して配置された導電板と、前記導電板を支持する脚部とを備えた導電部材と、を有し、
少なくとも前記導電板は、前記端子ピンのいずれかに電気的に接続されている、
ことを特徴とする。
以下、図面を参照して、本発明にかかる実施の形態を説明する。図1は、圧力センサの一実施形態を示す縦断面図である。図1に示すように、圧力センサ1は、横断面が例えば円管状である大筒部10aと、横断面が円環状、長円状、楕円状等である小筒部10bとが同軸に配列され、それぞれの端部同士を、段部10dを介して接合した形状の樹脂製のカバー10を有する。カバー10の大筒部10aの内側には、圧力検出ユニット2が取り付けられている。
各図において、ベース40とダイアフラム50で区画される受圧空間(受圧室)52には、オイル等の絶縁性の液状媒質が充填される(特に図3参照)。この液状媒質を受圧空間内に充填した後、これを密閉するため、図1に示されたように、ボール40bがベース40に溶接等の手段で固着される。
次に、図面を参照して第2の実施形態について説明する。図8は、本発明の第2の実施形態にかかる圧力センサ1Aの縦断面図である。図9は、図8の圧力センサ1Aのうち圧力検出ユニット2A及びその近傍を拡大して示す断面図である。図10は、図9に示す圧力検出ユニット2AをC−C線で切断して矢印方向に見た横断面図である。図11は、図9に示す圧力検出ユニット2Aを矢印D方向に見た図である。図12は、導電部材150Aの斜視図である。
Claims (4)
- 流体の圧力を受けるダイアフラムと、
前記ダイアフラムとの間に絶縁性媒質が封入された受圧空間を形成するベースと、
前記受圧空間内において前記ベースに配置され、前記絶縁性媒質に伝達された圧力を検出して電気的圧力信号に変換する圧力検出装置と、
前記圧力検出装置と外部の電気回路との間で、電気的接続を行うための複数の端子ピンと、
前記圧力検出装置の表面に対向して配置された導電板および前記導電板を支持する脚部とを備えた導電部材と、を有し、
前記導電板は、前記圧力検出装置の電源電圧端子に接続された端子ピンまたは前記圧力検出装置の電気的圧力信号を出力する端子ピンに、電気的に接続されている、
ことを特徴とする圧力センサ。 - 前記ベース上には、前記圧力検出装置の周囲に除電板が設けられており、
前記導電部材の脚部は導電性であって、前記除電板に接合されており、
前記除電板は、前記端子ピンのいずれかに電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記導電部材の脚部は導電性であって、前記ベースに固定された導電性の支持ピンに接続されており、
前記支持ピンは、前記端子ピンのいずれかに電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記導電部材は、金属の板をプレスすることにより、前記導電板と前記脚部とが一体的に形成される、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧力センサ。
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