JP5503564B2 - 処理装置の異常判定システム及びその異常判定方法 - Google Patents
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Description
M=N±k×σ±N×H……(1)
ここで各記号は、
M:上下変動閾値データ値
N:時系列毎の平均データ値
k:係数
σ:その時系列時点における複数のモデルデータ値の標準偏差
H:補正値 である。
S=A±k×σ±A×H……(2)
ここで各記号は、
S:上下変動閾値データ45の時系列時点tnにおける値(図7(b)参照。図中、上限の変動閾値データ値をSa、下限の変動閾値データ値をSbで表す。)
A:平均データ44の時系列時点tnにおける値(図7(a)参照)
k:係数
σ:複数のモデルデータ43の時系列時点tnにおける値(a1,a2…ax)の標準偏差(図6(b)参照)
H:補正値 である。
T1〜T4,P1〜P3,D1〜D5 時系列区間
20 異常判定システム
22 データ収集部
23 データ選択部
24 平均データ算出部
25 閾値設定部
26 判定部
30 センサ
30a 温度センサ
30b,30c,30d 圧力センサ
30e 流量センサ
37 検査装置
41 時系列データ
42 評価データ
43 モデルデータ
44 平均データ
45 上下変動閾値データ
46 係数データ(係数)
47 補正値データ(補正値)
50 処理液供給部(処理部)
70 熱処理装置(処理部)
Claims (20)
- 被処理体を処理する処理装置に設置されるセンサによって出力される信号から、時間と共に変動する時系列データを収集するデータ収集部と、
上記データ収集部が収集した時系列データから、上記処理装置で正常に処理された被処理体に関する時系列データであるモデルデータのみを選択するデータ選択部と、
上記データ選択部が選択した上記モデルデータから、時間と共に変動する変動閾値データを算出する閾値設定部と、
上記データ収集部が収集した後の時系列データを、上記変動閾値データと比較することにより、異常の発生を判定する判定部と、
を具備することを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項1記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記データ収集部は、上記処理装置の処理単位毎の時系列データを収集する、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項1記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記被処理体は、上記処理装置を構成する複数の処理部により複数の処理がなされ、上記データ収集部は、上記処理部に設置されるセンサによって出力される信号から、上記処理部の処理単位毎の時系列データを収集する、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項2又は3に記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記閾値設定部は、上記処理単位における少なくとも一部の時系列区間の変動閾値データを算出する、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記データ選択部は、複数のモデルデータを選択し、その複数のモデルデータから平均データを算出する平均データ算出部を更に備え、上記閾値設定部は、上記平均データから、上記変動閾値データを算出する、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記閾値設定部は、上限及び下限の変動閾値データを算出する、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記閾値設定部は、上記変動閾値データの許容範囲を、少なくとも一部の時系列区間で変更可能に設定されている、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項6又は7記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記上限の変動閾値データは、時系列毎の平均データ値に、その時系列時点における複数のモデルデータ値の標準偏差に係数を乗じた値を加えて算出され、上記下限の変動閾値データは、上記平均データ値に、上記標準偏差に上記係数を乗じた値を減じて算出される、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項6又は7記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記上限の変動閾値データは、時系列毎の平均データ値に、その時系列時点における複数のモデルデータ値の標準偏差に係数を乗じた値を加え、更に上記平均データ値に補正値を乗じた値を加えて算出され、上記下限の変動閾値データは、上記平均データ値に、上記標準偏差に上記係数を乗じた値を減じ、更に上記平均データ値に補正値を乗じた値を減じて算出される、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載の処理装置の異常判定システムにおいて、
上記データ選択部は、上記処理装置によって上記被処理体を処理した後に、上記処理装置による上記被処理体の処理状態の正常又は異常を評価する検査装置の評価結果に基づいて上記モデルデータを選択する、ことを特徴とする処理装置の異常判定システム。 - 被処理体を処理する処理装置に設置されるセンサによって出力される信号から、時間と共に変動する時系列データを収集するデータ収集ステップと、
上記データ収集ステップによって収集された時系列データから、上記処理装置で正常に処理された被処理体に関する時系列データであるモデルデータのみを選択するデータ選択ステップと、
上記データ選択ステップによって選択された上記モデルデータから、時間と共に変動する変動閾値データを算出する閾値設定ステップと、
上記データ収集ステップにて収集した後の時系列データを、上記変動閾値データと比較することにより、異常の発生を判定する判定ステップと、
を具備することを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項11記載の処理装置の異常判定方法において、
上記データ収集ステップは、上記処理装置の処理単位毎の時系列データを収集する、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項12記載の処理装置の異常判定方法において、
上記被処理体は、上記処理装置を構成する複数の処理部により複数の処理がなされ、上記データ収集ステップは、上記処理部に設置されるセンサによって出力される信号から、上記処理部の処理単位毎の時系列データを収集する、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項12又は13に記載の処理装置の異常判定方法において、
上記閾値設定ステップは、上記処理単位における少なくとも一部の時系列区間の変動閾値データを算出する、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項11ないし14のいずれかに記載の処理装置の異常判定方法において、
上記データ選択ステップは、複数のモデルデータを選択し、その複数のモデルデータから平均データを算出する平均データ算出ステップを更に備え、上記閾値設定ステップは、上記平均データから、上記変動閾値データを算出する、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項11ないし15のいずれかに記載の処理装置の異常判定方法において、
上記閾値設定ステップは、上限及び下限の変動閾値データを算出する、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項11ないし16のいずれかに記載の処理装置の異常判定方法において、
上記閾値設定ステップは、上記変動閾値データの許容範囲を、少なくとも一部の時系列区間で変更可能に設定されている、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項16又は17記載の処理装置の異常判定方法において、
上記上限の変動閾値データは、時系列毎の平均データ値に、その時系列時点における複数のモデルデータ値の標準偏差に係数を乗じた値を加えて算出され、上記下限の変動閾値データは、上記平均データ値に、上記標準偏差に上記係数を乗じた値を減じて算出される、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項16又は17記載の処理装置の異常判定方法において、
上記上限の変動閾値データは、時系列毎の平均データ値に、その時系列時点における複数のモデルデータ値の標準偏差に係数を乗じた値を加え、更に上記平均データ値に補正値を乗じた値を加えて算出され、上記下限の変動閾値データは、上記平均データ値に、上記標準偏差に上記係数を乗じた値を減じ、更に上記平均データ値に補正値を乗じた値を減じて算出される、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。 - 請求項11ないし19のいずれかに記載の処理装置の異常判定方法において、
上記データ選択ステップは、上記処理装置によって上記被処理体を処理した後に、上記処理装置による上記被処理体の処理状態の正常又は異常を評価する検査装置の評価結果に基づいて上記モデルデータを選択する、ことを特徴とする処理装置の異常判定方法。
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