JP2005136102A - 半導体装置の歩留予測システムおよびその予測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
欠陥モデルデータ記憶部59から欠陥モデルの直径値を読出し、欠陥モデルの直径値以下の線幅を有する配線レイアウトデータを読み出し、不良候補個所の図形を生成し、この図形の面積値を含む不良候補個所の図形データを不良候補個所データ記憶部58へ記憶するパターン認識処理部63と、不良候補個所データ記憶部58に記憶した不良候補個所の図形データと欠陥モデル散布データベース56に記憶した欠陥モデル図形の図形データとを読み出して、不良候補個所の図形と欠陥モデル図形とが重なり合う確率を算出し、歩留予測データ記憶部62へ半導体装置の歩留まり計算結果として記憶させるデータ演算部60と、を備える。
【選択図】 図1
Description
{W0−(R1−Grid)}+(R1−Grid)
の関係が成立し、ディフェクトの半径R1と線幅W0を再構成して演算を繰り返し、半導体装置のCA領域の面積を算出することができる。
21、21a、21b、21c 下端部
22 上ポリゴン
22a 上拡張ポリゴン
22b 上部拡張ポリゴン
23 下ポリゴン
23a 下拡張ポリゴン
23b 下部拡張ポリゴン
24、24a、24b、24c、24d 重複部
25、26、27 配線ライン
28、28a、29、29a、 削除部
31、31a コンタクト領域
32 実レイアウトメタル領域
33 上層の配線
50 歩留予測装置
51、51a コンピュータ本体
52、52a ディスプレイ
53、53a キーボード
54 予測演算構造
55 配線レイアウトデータベース
56、56a 欠陥モデル散布データベース
57 ネットワーク
58 不良候補個所データ記憶部
59 欠陥モデルデータ記憶部
60 データ演算部
61 プログラム記憶部
62 歩留予測データ記憶部
63 パターン認識処理部
64、65 配線
Claims (5)
- 半導体装置の配線レイアウト記憶部から欠陥モデルの大きさで計算対象となる配線レイアウトデータを読み出して、不良候補個所の図形をコンピュータ画像処理により生成するパターン認識処理部と、
欠陥モデル散布データベースから欠陥モデル図形のデータを読み出して、該欠陥モデル図形と前記不良候補個所の図形とが重なり合う確率を算出し、前記半導体装置の歩留まり予測演算をするデータ演算部と、
半導体装置の複数の配線位置、配線長、及び配線幅を含む配線レイアウトデータを記憶する前記配線レイアウト記憶部と、
配線不良の原因となる欠陥モデルの直径値を記憶する欠陥モデルデータ記憶部と、
断線不良による不良候補個所の図形データを記憶する不良候補個所データ記憶部と、
前記欠陥モデルデータ記憶部から欠陥モデルの直径値を読出し、該欠陥モデルの直径値以下の線幅を有する配線レイアウトデータを前記配線レイアウト記憶部から読み出し、前記配線位置、配線長、配線幅、及び前記欠陥モデルの直径値から算出した半径値に基づいて不良候補個所の図形を生成し、該図形の面積値を含む不良候補個所の図形データを前記不良候補個所データ記憶部へ記憶する前記パターン認識処理部と、
ネットワークを通して前記不良候補個所データ記憶部へアクセスし、欠陥モデル散布データベースに記憶したインライン製造プロセスによる断線不良を示す欠陥モデル図形の図形データと前記不良候補個所の図形データとが重なり合う確率を算出し、前記半導体装置の歩留まりを予測するコンピュータ手段と、
を備えることを特徴とする半導体装置の歩留予測システム。 - 半導体装置の配線レイアウトデータベースから欠陥モデルの大きさで計算対象となる配線レイアウトデータを読出し、不良候補個所の図形をコンピュータ画像処理により生成する不良候補個所生成工程と、
前記不良候補個所の図形と欠陥モデル図形とが重なり合う確率を算出して、前記半導体装置の歩留まり予測演算をする歩留演算工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置の歩留まり予測方法。 - 半導体装置の配線レイアウトデータから配線領域の長手方向に延在する両端辺を特定し、該両端辺を基準として欠陥モデルの半径に対応させた不良候補個所の図形をコンピュータ画像処理により算出してメモリに記憶する前記不良候補個所算出工程と、
前記不良候補個所の図形と欠陥モデル図形とが重なり合う確率を算出して、前記半導体装置の歩留まり予測演算をする前記歩留演算工程と、
を備えることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の歩留まり予測方法。 - 前記欠陥モデルの直径を変化させながら、配線幅の異なる前記不良候補個所の図形同士が重畳する面積を不良候補個所の総面積から減算する工程を更に備えることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の半導体装置の歩留まり予測方法。
- 前記半導体装置は、複数の配線層を有し、各層の配線レイアウトデータ毎に欠陥モデルの直径に対応させた不良候補個所の図形をコンピュータ画像処理で生成する前記不良候補個所生成工程と、
所定数の配線レイアウトデータに基づく前記不良候補個所生成工程を処理した段階で、前記不良候補個所の図形の面積を積分する積分工程と、
インライン製造工程で測定した欠陥情報に基づく欠陥図形と前記積分工程で積分した不良候補個所の図形とが重なり合う確率を算出する前記歩留算出工程と、を備えることを特徴とする請求項2乃至請求項4の何れか1項に記載の半導体装置の歩留まり予測方法。
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