KR101964208B1 - 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법 - Google Patents

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Abstract

본 개시는 하부몸체, 하부몸체에 구비되는 회전휠, 회전휠과 하부몸체에 연결된 스프링, 회전휠에 의해 회전하는 기어 및 기어에 의해 회전하는 고정부를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 있어서, 모터와 웨이퍼 고정 장치를 연결하는 단계; 모터를 구동하는 단계; 모터의 구동에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전하는 단계; 센서를 이용하여 모터의 회전력을 감지하는 단계; 그리고, 센서와 연결된 제어부가 감지된 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 판단하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법{METHOD OF DETECTING STATUS OF WAFER FIXING APPARATUS}
본 개시(Disclosure)는 전체적으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 고정 장치의 이상상태로 인한 2차사고 및 사고예방을 위한 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 관한 것이다.
여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
도 1은 한국 공개특허공보 제10-2012-0072530호에 제시된 웨이퍼 고정 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
종래 기술에 의한 스핀 스크러버는 웨이퍼(W)가 장착되고 회전되는 웨이퍼 고정 장치(10)와 웨이퍼 고정 장치(10)의 상측으로 웨이퍼(W) 표면에 초순수를 공급하는 초순수 분사노즐(20)과 초순수 분사노즐(20)로부터 초순수가 분사된 웨이퍼(W)의 표면에서 웨이퍼(W) 중심과 웨이퍼(W) 가장자리로 수평운동하는 브러쉬(30)가 포함된다. 즉, 웨이퍼(W)는 웨이퍼 고정 장치(10)에 장착된 뒤 회전되고, 회전되는 웨이퍼(W)의 표면에는 초순수 분사노즐(20)에서 초순수가 분사되며, 웨이퍼(W)의 표면을 브러쉬(30)가 수평이동하면서 웨이퍼(W)의 표면으로부터 파티클을 제거시키게 된다. 웨이퍼 고정 장치(10)는 원판 형상의 하부몸체(14)에 회전구동수단(미 도시됨)과 연결된 회전축(12)이 형성되고, 하부몸체(14)의 상측변의 가장자리를 따라 일전한 간격으로 고정부(13)들이 구비된다. 고정부(13)는 웨이퍼 고정 장치(10)에 장착되어 회전되는 웨이퍼(W) 하부면의 가장자리를 지지하는 원통 형상의 지지부재(13a)와 이 지지부재(13a)의 상측으로 돌출되어 웨이퍼(W)의 측면을 지지하는 고정핀(13b)으로 이루어진다. 따라서, 웨이퍼(W)가 고정부(13)에 의해 웨이퍼(W)의 하부면 가장자리와 측면이 지지된 상태에서 하부몸체(14)와 함께 회전된다.
도 2는 한국 공개특허공보 제10-2013-0095180호에 제시된 웨이퍼 고정 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
상부몸체(11) 및 기어(23)뿐만 아니라 회전휠(33)도 볼 수 있으며, 회전휠(33)의 치부(37)는 각 핀 어셈블리(23)의 저부 상에 형성된 치부(27)와 맞물리는 관계(meshing engagement)에 있다. 코일 스프링들(43)은 일 말단이 링 기어(33)의 각 스포크들(32)에 연결되고, 그 반대측 말단이 상부몸체(11)에 연결된다. 핀들(25)을 그 방사상 내부 위치로 가져가기 위해서 기어(23)가 피보팅되도록, 스프링들(43)은 회전휠(33)이 상부몸체(11)에 대해 회전하도록 힘을 더하며(urge), 여기서 고정부(미도시)가 웨이퍼(미도시)와 콘택되며, "닫힘 위치"가 된다.
웨이퍼(W)를 상부몸체(11)에 고정하고, 웨이퍼 고정 장치의 회전으로 인해 생긴 원심력에 의해 스프링(43)은 탄성한계를 넘어설 수 있다. 이로 인해 스프링이 늘어나 탄성이 변하거나 끊어지는 문제점이 생길 수 있다.
이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 하부몸체, 하부몸체에 구비되는 회전휠, 회전휠과 하부몸체에 연결된 스프링, 회전휠에 의해 회전하는 기어 및 기어에 의해 회전하는 고정부를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 있어서,모터와 웨이퍼 고정 장치를 연결하는 단계;모터를 구동하는 단계;모터의 구동에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전하는 단계;센서를 이용하여 모터의 회전력을 감지하는 단계; 그리고,센서와 연결된 제어부가 감지된 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치, 베어링, 웨이퍼 고정 장치에 연결된 기구물의 상태를 판단하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법이 제공된다.
이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
도 1은 한국 공개특허공보 제10-2012-0072530호에 제시된 웨이퍼 고정 장치의 일 예를 나타내는 도면,
도 2는 한국 공개특허공보 제10-2013-0095180호에 제시된 웨이퍼 고정 장치의 일 예를 나타내는 도면,
도 3은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 일 예를 나타내는 도면,
도 4는 본 개시에 따른 고정부의 일 예를 나타내는 도면,
도 5는 본 개시에 따른 스프링과 지지부를 설명하는 도면,
도 6은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 다른 예를 나타내는 도면,
도 7은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치가 웨이퍼를 고정하는 것을 나타내는 도면,
도 8은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 또 다른 예들을 나타내는 도면,
도 9는 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법을 나타내는 순서도,
도 10은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법의 일 예를 나타내는 도면,
도 11은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법을 도식으로 나타내는 도면,
도 12는 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 상태를 나타내는 데이터의 예들을 나타내는 도면.
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).
도 3은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3(a)는 웨이퍼 고정 장치의 사시도를 나타내는 도면이며, 도 3(b)는 도 3(a)에서 상부몸체(160)와 고정부(170)를 제거한 뒤 나타낸 웨이퍼 고정 장치이다. 도 3(c)는 웨이퍼 고정 장치의 움직임을 설명하기 위해 도 3(b)의 일부를 확대한 도면이다.
웨이퍼 고정 장치는 하부몸체(110), 회전휠(120), 스프링(140) 및 지지부(150)를 포함하며, 상부몸체(160), 고정부(170), 기어(130)를 더 포함할 수 있다. 하부몸체(110)에는 회전휠(120), 스프링(140) 및 지지부(150), 기어(130)가 구비될 수 있다. 회전휠(120)은 하부몸체(110)에 구비되어 하부몸체(110)와 상관없이 회전가능하다. 즉, 회전휠(120)은 하부몸체(110)와 다른 방향 및 같은 방향으로 회전가능하며, 회전휠(120)은 하부몸체(110)로부터 시계방향, 반시계방향으로 회전 가능하다. 스프링(140)은 양단을 가지고, 일단은 회전휠(120)과 연결되고, 다른 일단은 하부몸체(110)와 연결된다. 회전휠(120)은 하부몸체(110)로부터 일정거리를 회전한 후, 스프링(140)의 탄성력을 이용하여 제자리로 돌아온다. 지지부(150)는 하부몸체(110)가 회전할 때, 스프링(140)이 휘어져 탄성을 잃거나, 스프링(140)이 끊어지는 것을 방지하기 위해 구비되며, 지지부(150)는 스프링(140)보다 하부몸체(110)의 중심으로부터 스프링(140)이 구비된 거리보다 먼 거리에 구비될 수 있다. 또한, 지지부(150)는 스프링(140)과 하부몸체(110)의 엣지 사이에 구비될 수 있다. 또한, 지지부(150)는 하부몸체(110)의 스프링(140)이 중심으로부터 스프링(140)보다 바깥쪽에 구비되어 스프링(140)이 휠 때, 지지부(150)에 닿아 스프링(140)이 더 이상의 힘을 받지 않도록 지지하는 것이 바람직하다. 이때, 스프링(140)은 지지부(150)의 측면에 닿을 수 있다. 본 예에서, 지지부(150)와 스프링(140) 사이의 거리는 1mm~5mm일 수 있다. 스프링(140)으로부터 지지부(150)는 1mm이상 떨어지는 것이 바람직하다. 왜냐하면 1mm이하의 거리를 가지고 스프링(140)과 지지부(150)가 구비되면, 스프링(140)에의해 회전휠(120)이 회전할 때, 회전휠(120)과 지지부(150)가 닿을 수 있기 때문이다. 회전휠(120)과 지지부(150)가 닿으면 회전휠(120)이 회전할 수 없기 때문이다. 회전휠(120)은 하부몸체(110)와 상관없이 회전할 수 있기 때문에, 지지부(150)와 닿지 않도록 지지부(150)가 회전휠(120)로부터 떨어지도록 5mm 이상의 거리를 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 지지부(150)와 스프링(140) 사이의 거리는 5mm이하로 떨어지는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 5mm이상으로 스프링(140)과 지지부(150) 사이의 거리가 떨어지면, 회전으로 인해 늘어난 스프링(140)의 탄성력이 변할 수 있기 때문이다. 본 예에서는 2mm이하의 거리가 가장 바람직하다. 또한, 지지부(150)의 길이는 20mm~40mm인 것이 바람직하며, 지지부(150)와 스프링(140)사이의 거리는 탄성이 변하기 전 스프링(140)의 탄성한계 전까지 가장 많이 늘어났을 때 길이보다는 짧고, 스프링(140)의 길이가 늘어나지 않았을 때 길이보다는 같거나 큰 것이 바람직하다.
웨이퍼 고정 장치는 상부몸체(160)를 포함할 수 있으며, 상부몸체(160)는 하부몸체(110)와 결합된다. 상부몸체(160)를 관통하여 고정부(170)가 구비될 수 있다. 고정부(170)는 기어(130)에 연결되어 회전할 수 있고, 웨이퍼를 고정하고, 반대방향으로 회전하여 고정된 웨이퍼를 고정해제한다. 도 3(c)와 같이 회전휠(120)은 기어(130)와 연결되며, 회전휠(120)이 회전하면 기어(130)도 회전한다. 회전휠(120)은 스프링(140)을 늘어나게 하고, 늘어난 스프링(140)은 줄어들며 회전휠(120)이 반대방향으로 회전하여 기어(130)도 반대방향으로 회전하도록 한다.
도 4는 본 개시에 따른 고정부의 일 예를 나타내는 도면이다.
고정부(170)는 상부몸체(160)를 관통하여, 상부몸체(160)에 복수개 구비되며, 상부몸체(160)의 가장자리를 따라서 복수개 구비될 수 있다. 고정부(170)는 하부몸체(110)의 기어(130)와 연결되어 회전할 수 있다. 고정부(170)는 몸체(171), 고정핀(173)을 포함한다. 몸체(171)는 기어(130)와 연결되며, 기어(130)에 의해 몸체(171)가 회전할 수 있고, 몸체(171)의 상면(172)에 구비된 고정핀(173)은 하부몸체(110)의 중심으로부터 거리가 변화할 수 있다. 고정핀(173)은 웨이퍼를 고정하고 고정을 해제하며, 상면(172)의 중심에서 치우쳐 위치할 수 있다.
도 5는 본 개시에 따른 스프링과 지지부를 설명하는 도면이다.
회전휠(120)에 의해서 기어(130)가 회전하면서 고정부(170) 사이에 웨이퍼를 넣을 수 있도록 하부몸체(110)의 중심에서 고정핀(173) 사이의 거리가 가장 멀어진다. 이때, 늘어난 스프링(140)이 다시 회전휠(120)을 잡아당겨 회전휠(120)이 반대방향으로 회전하게 되고, 기어(130)도 반대방향으로 돌면서 고정부(170)가 웨이퍼를 고정한다. 이후, 고정부(170)에 의해서 웨이퍼가 고정된 후, 하부몸체(110)를 전체적으로 회전시켜 고정된 웨이퍼와 함께 회전한다. 도 5(a)는 스프링(140)이 2500rpm에서 회전하고 있는 모습이다. 회전으로 인해 원심력(F)이 스프링(140)에 작용하면서 스프링(140)이 늘어난 모습이다. 도 5(a)와 같이 스프링(140)이 탄성 한계 이상의 힘이 작용되면 스프링(140)은 원래의 모습으로 돌아오지 못한다. 이로 인해, 웨이퍼를 고정하지 못해 회전하다가 웨이퍼가 빠질 수 있는 문제점이 생긴다. 이를 방지하기 위해 스프링(140)이 늘어나는 곳에 도 5(b)와 같이 지지부(150)가 구비된 것이다. 지지부(150)는 스프링(140)이 원심력(F)이 작용하여 늘어날 방향에 구비되는 것이 바람직하다. 이로 인해 하부몸체(110)가 회전할 때, 지지부(150)와 스프링(140)은 접촉할 수 있다.
도 6은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 스프링(140)이 회전휠(120)의 홈(121)에 구비되고, 스프링(140) 주위의 홈(121)에 지지부(150)가 될 수 있다. 지지부(150)는 스프링(140)과 회전휠(120) 사이의 거리를 알맞게 유지해준다. 지지부(150)는 스프링(140)과 1mm~5mm사이의 거리를 유지하는 것이 바람직하다. 왜냐하면 지지부(150)와 스프링(140) 사이의 거리가 1mm 이하이면, 스프링(140)이 지지부(150)와 간섭이 일어날 수 있고, 5mm이상의 거리가 형성되면 지지부(150)가 스프링(140)을 지지하는 것이 힘들기 때문이다.
도 7은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치가 웨이퍼를 고정하는 것을 나타내는 도면이다.
웨이퍼(W)는 고정부(170)에 의해서 고정되며, 도 7(a)와 같이 고정핀(173)이 회전하여 고정핀(173)과 웨이퍼(W) 사이에 거리가 형성되어 웨이퍼(W)를 넣을 수 있도록 여유가 생기는 모습이다. 도 7(b)는 웨이퍼(W)가 고정부(170)에 의해서 고정되는 예이다.
도 8은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 또 다른 예들을 나타내는 도면이다.
도 8의 회전휠(220)은 도 3의 회전휠(120)과 다른 형태를 가진 방사형으로 형성된 회전휠(220)이다. 지지부(250)는 스프링(240) 주위에 구비되며, 회전휠(220)에 지지부(250)가 구비되는 예이다.
도 8(b)의 회전휠(220)은 스프링(140) 주위에 구비되어 하부몸체(110)에 구비되는 예이다. 지지대는 스프링(140)의 길이와 같도록 형성될 수 있다.
도 9는 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법을 나타내는 순서도이다.
하부몸체, 하부몸체에 구비되는 회전휠, 회전휠과 하부몸체에 연결된 스프링, 회전휠에 의해 회전하는 기어 및 기어에 의해 회전하는 고정부를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 있어서, 먼저, 센서를 구비하는 모터와 웨이퍼 고정 장치를 연결한다.(S1) 이후, 모터를 구동한다.(S2) 이후, 모터의 구동에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전한다.(S3) 이후, 센서가 모터의 회전력을 감지한다.(S4) 이후, 센서와 연결된 제어부가 감지된 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 판단한다.(S5)
도 10은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 10(a)와 같이, 센서(320)를 구비하는 모터(310)와 웨이퍼 고정 장치(100)를 연결한다. 예를 들면, 센서(320)는 광센서일 수 있으며, 일 예로 포토커플러(photocoupler)타입의 광센서를 사용할 수 있다. 모터(310)는 웨이퍼 고정 장치(100)와 직접적으로 연결될 수 있고, 연결부(미도시)를 통해서 연결될 수 있다. 센서(320)는 모터(310)의 내부 및 외부 중 적어도 하나 이상에 구비될 수 있다.
도 10(b)와 같이, 모터(310)를 구동하고, 모터(310)의 구동에 의해 웨이퍼 고정 장치(100)의 회전휠(120)이 회전한다. 도 10(b)의 상태에서 센서(320)가 모터(310)의 회전력을 감지한다. 이때, 모터(310)에 의해 회전휠(120)이 화살표 방향으로 회전하고, 회전휠(120)에 의해 스프링(140)이 늘어나고, 회전휠(120)에 의해 기어(130)가 회전하고, 기어(130)에 의해 고정부(170)가 회전하며, 고정부(170)에 의해 고정되었던 웨이퍼(W)의 고정이 풀린다. 모터(310)가 구동하면서 회전휠(120)이 화살표 방향으로 회전할 때, 하부몸체(110)는 모터(310)와 함께 회전하지 않는다.
이후, 센서(320)와 연결된 제어부(330)가 구비된 모터(310)의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치(100)의 상태를 판단한다. 이때, 도 10(c)의 일 예와 같은 제어부(330)와 센서(320)가 구비되는 장치를 이용하여 모터(310)의 회전력을 측정하고, 모터(310)의 회전력을 이용해 웨이퍼 고정 장치(100)의 상태를 판단할 수 있다. 또한, 모터(310)의 회전력을 이용해, 웨이퍼 고정 장치와 연결된 베어링, 웨이퍼 고정장치에 연결된 기구물의 상태를 판단할 수 있다.
도 10(d)와 같이, 센서(320)와 연결된 제어부(330)가 모터(310)의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치(100)의 상태를 판단할 때, 회전력의 범위가 55±10[Nmm]~60±10[Nmm] 이내에서는 정상상태로 판단하고, 55±10[Nmm]~60±10[Nmm]를 벗어나면 이상상태로 판단할 수 있다.
예를 들면, 회전력의 범위가 45[Nmm]이하에서 회전휠(120)이 회전하면 이상상태로 판단한다. 왜냐하면, 회전휠(120)이 회전하는 범위는 평균적으로 55±10[Nmm]~60±10[Nmm] 사이인데, 회전력이 변했다는 것을 알려줄 수 있다. 특히, 적어도 하나 이상의 스프링(140)이 끊어졌을 때, 회전력이 15[Nmm]이상 변하기 때문에 정상상태를 벗어나면 바로 감지 할 수 있다. 회전력이 70[Nmm]이상을 벗어나면, 모터(310), 모터(310)와 웨이퍼 고정 장치(100)의 연결부에서 기구물 파손, 연결부의 윤활성분 부족 등을 예상할 수 있다. 이로 인해, 2차사고의 위험을 예방가능하다.
이후, 제어부(330)가 표시한 웨이퍼 고정 장치(100)의 상태를 표시한다. 예를 들면, 제어부(330)는 표시부(340)를 포함할 수 있다. 제어부(330)가 이상상태로 판단하였을 때, 웨이퍼 고정 장치(100)의 상태를 표시부(340)에 표시하는 단계를 포함할 수 있다. 표시부(340)에 표시하는 단계에서 웨이퍼 고정 장치(100)의 이상상태를 소리 및 LED의 점멸 중 적어도 하나 이상으로 표시할 수 있다. 사용자가 이상상태를 인지할 수 있도록 함으로써, 웨이퍼 고정 장치(100), 웨이퍼 고정 장치(100)와 모터(310) 사이의 연결부(미도시), 모터(310) 및 웨이퍼(W) 등의 고장을 미연에 방지할 수 있다.
이후, 웨이퍼 고정 장치(100)의 상태가 이상상태일 때, 모터(310)를 일시 중지하여 웨이퍼 고정 장치(100), 웨이퍼 고정 장치(100)와 모터(310) 사이의 연결부(미도시), 모터(310) 및 웨이퍼(W) 등의 고장이 더 진행되는 것을 막을 수 있다.
도 11은 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법을 도식으로 나타내는 도면이다.
웨이퍼 고정장치(100)와 모터(310)는 기계적으로 연결된다. 모터(310)의 회전력을 측정하는 센서(320)가 구비될 수 있고, 센서(320)에서 측정된 회전력은 제어부(330)에 의해서 정상상태의 회전력인지, 이상상태의 회전력인지 판단될 수 있다. 제어부(330)에서 판단된 상태는 표시부(340)에서 표시할 수 있다. 표시부(340)는 이상상태 및 정상상태 중 적어도 하나 이상을 나타낼 수 있다.
도 12는 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치의 상태를 나타내는 그래프의 예들을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 개시에 따른 웨이퍼 고정 장치(100)에 구비된 스프링(140) 중 적어도 하나 이상이 고장난 데이터와 정상일 때의 데이터를 그래프로 나타낸 도면이다.
(a)그래프는 도 3과 같은 하부몸체(110) 및 회전휠(120)과 연결된 스프링(140)이 모두 부착되어 있을 때, 모터(310)의 회전력을 측정한 데이터를 나타낸 그래프이다. 정상상태의 데이터를 나타낸다.
(b)그래프는 도 12(a)의 스프링(140) 중 하나가 끊어졌을 때, 모터(310)의 회전력을 측정한 데이터를 나타낸 그래프이다. 정상상태보다 약 15[Nmm]정도 차이가 나며, 초기단계에서 데이터 값이 최소 10[Nmm]이상 올라갔다가 내려오는 특징이 있다. 제어부(330)에서는 초기단계에서 데이터 값이 올라갈 때, 일시적인 데이터 값이므로, 정상상태라고 인식하지 않는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 모터가 회전을 시작할 때, 데이터 값이 올라가는 것이 빈번하기 때문에 이상상태임에도 정상상태라고 표시하면 사용자가 혼란을 일으킬 수 있기 때문이다. 사용자의 혼란을 야기하지 않기 위해 일 예로 초기의 데이터 중 1초~2초 동안의 데이터는 무시하는 방법을 사용할 수 있다.
(c)그래프는 도 3의 스프링(140) 중 두 개가 끊어졌을 때, 모터(310)의 회전력을 측정한 데이터를 나타낸 그래프이다. 정상상태보다 약 20[Nmm]정도 차이가 난다. 또한, 스프링(140)의 개수에 따른 모터(310)의 회전력을 이용하여 단계별로 표시부(340)에 표시할 수 있다.
스프링(140) 중 적어도 하나 이상이 끊어지면, 회전휠(120)이 고정되는 힘이 적어지고, 회전휠(120)이 회전하게 되면, 기어(130)가 회전하게 되고, 기어(130)에 의해 고정핀(170)이 회전하게 되면 고정핀(170)에 의해 웨이퍼 고정 장치(100)에 고정되던 웨이퍼(W)가 빠지게 된다. 회전 중에 웨이퍼(W)가 빠지게 되면 웨이퍼(W)가 날아가 산산조각이 나는 등의 사고가 나고, 이를 처리하는데 시간이 오랫동안 걸리게 되어 비용이 발생하고, 2차 사고도 발생할 수 있게 되므로, 이를 방지할 수 있다.
또한, 웨이퍼 고정 장치의 상태라 함은 베어링, 웨이퍼 고정장치에 연결된 기구물 중 적어도 하나 이상에 의한 상태를 포함할 수 있다.
이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.
(1) 하부몸체, 하부몸체에 구비되는 회전휠, 회전휠과 하부몸체에 연결된 스프링, 회전휠에 의해 회전하는 기어 및 기어에 의해 회전하는 고정부를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 있어서, 모터와 웨이퍼 고정 장치를 연결하는 단계; 모터를 구동하는 단계; 모터의 구동에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전하는 단계; 센서를 이용하여 모터의 회전력을 감지하는 단계; 그리고, 센서와 연결된 제어부가 감지된 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 판단하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(2) 센서와 연결된 제어부가 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 판단하는 단계에서, 회전력의 범위가 55±10[Nmm]~60±10[Nmm]을 벗어나면 이상상태로 판단하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(3) 모터에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전하는 단계;에서, 모터에 의해 회전휠이 회전하고, 회전휠에 의해 기어가 회전하고, 기어에 의해 고정부가 회전하며, 고정부에 의해 고정되었던 웨이퍼의 고정이 풀리는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(4) 센서는 광센서인 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(5) 센서와 연결된 제어부가 감지된 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 판단하는 단계;이후, 웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(6) 웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;에서, 웨이퍼 고정 장치의 상태가 이상상태 일 때 이상상태를 표시하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(7) 웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;에서, 웨이퍼 고정 장치의 이상상태를 소리로 표시하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(8) 웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;에서, 웨이퍼 고정 장치의 이상상태를 LED의 점멸로 표시하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(9) 웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;이후, 웨이퍼 고정 장치의 상태가 이상상태일 때, 모터를 일시 중지하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
(10) 웨이퍼 고정 장치는 스프링을 포함하며, 모터의 구동에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전하는 단계;에서, 웨이퍼 고정 장치의 스프링이 끊어져 모터의 회전력이 변하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
본 개시에 의하면, 웨이퍼 고정 장치를 회전시키는 모터의 회전력을 통해 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법을 제공한다.
또한, 본 개시에 의하면, 웨이퍼 고정 장치의 스프링의 갯수에 따라 달라지는 모터의 회전력을 통해 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법을 제공한다.
또한, 본 개시에 의하면, 웨이퍼 고정 장치의 이상상태로 인한 2차사고 및 사고예방을 위한 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 관한 것이다.
또한, 본 개시에 의하면, 웨이퍼 고정 장치의 스프링의 갯수에 따라 달라지는 모터의 회전력을 통해 웨이퍼 고정 장치의 상태를 단계별로 검출하는 방법을 제공한다.
또한, 본 개시에 의하면, 모터의 회전력을 통하여, 모터, 웨이퍼 고정 장치, 웨이퍼 고정 장치와 모터가 연결되는 연결부에서 기구부 파손, 연결부의 윤활성분 부족 등의 이상상태를 검출하는 방법을 제공한다.
110;하부몸체 120;회전휠 130;기어 140;스프링 150;지지부
160;상부몸체 170;고정부 310;모터 320;센서 W;웨이퍼
100;웨이퍼 고정 장치

Claims (10)

  1. 하부몸체, 하부몸체에 구비되는 회전휠, 회전휠과 하부몸체에 연결된 스프링, 회전휠에 의해 회전하는 기어 및 기어에 의해 회전하는 고정부를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법에 있어서,
    모터와 웨이퍼 고정 장치를 연결하는 단계;
    모터를 구동하는 단계;
    모터의 구동에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전하는 단계;
    센서를 이용하여 모터의 회전력을 감지하는 단계; 그리고,
    센서와 연결된 제어부가 감지된 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 판단하는 단계;를 포함하며,
    웨이퍼 고정 장치는 스프링을 포함하며,
    모터의 구동에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전하는 단계;에서,
    웨이퍼 고정 장치의 스프링이 끊어져 모터의 회전력이 변하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    센서와 연결된 제어부가 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 판단하는 단계에서,
    회전력의 범위가 55±10[Nmm]~60±10[Nmm]을 벗어나면 이상상태로 판단하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    모터에 의해 웨이퍼 고정 장치가 회전하는 단계;에서,
    모터에 의해 회전휠이 회전하고, 회전휠에 의해 기어가 회전하고, 기어에 의해 고정부가 회전하며, 고정부에 의해 고정되었던 웨이퍼의 고정이 풀리는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    센서는 광센서인 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    센서와 연결된 제어부가 감지된 모터의 회전력으로 웨이퍼 고정 장치의 상태를 판단하는 단계;이후,
    웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;에서,
    웨이퍼 고정 장치의 상태가 이상상태 일 때 이상상태를 표시하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;에서,
    웨이퍼 고정 장치의 이상상태를 소리로 표시하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  8. 청구항 6에 있어서,
    웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;에서,
    웨이퍼 고정 장치의 이상상태를 LED의 점멸로 표시하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  9. 청구항 6에 있어서,
    웨이퍼 고정 장치의 상태를 표시하는 단계;이후,
    웨이퍼 고정 장치의 상태가 이상상태일 때, 모터를 일시 중지하는 웨이퍼 고정 장치의 상태를 검출하는 방법.
  10. 삭제
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