KR101628864B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR101628864B1
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김기범
장재환
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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 특히, 기판을 이송하는 기판이송수단이 롤러의 좌우측으로 틀어짐을 감지하여, 기판이송수단을 정상 위치로 이동시킬 수 있는, 기판 이송 장치 및 그 구동 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 보조구동부에 의해 회전하는 보조롤러; 상기 보조롤러와 일정 간격 이격되게 배치되는 메인롤러; 상기 보조롤러와 상기 메인롤러 사이에 장착되어 회전하며, 기판이 안착되는 기판이송수단; 상기 메인롤러를 상기 보조롤러와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동부; 상기 메인롤러를 이동시키는 전후진 구동기에 장착되어 있으며, 상기 전후진 구동기에 인가되는 회전력의 크기를 감지하는 토크 감지부; 상기 토크 감지부로부터 전송된 상기 회전력의 크기를 이용하여, 상기 기판이송수단의 처짐여부를 판단하며, 상기 판단결과에 따라 상기 전후진 구동기를 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 태양전지(Solar Cell), 반도체 소자, 평판 디스플레이 등을 제조하기 위해서는 기판 표면에 소정의 박막층, 박막 회로 패턴, 또는 광학적 패턴을 형성하여야 하며, 이를 위해서는 기판에 특정 물질의 박막을 증착하는 박막 증착 공정, 감광성 물질을 사용하여 박막을 선택적으로 노출시키는 포토 공정, 선택적으로 노출된 부분의 박막을 제거하여 패턴을 형성하는 식각 공정 등의 반도체 제조 공정을 수행하게 된다.
이러한 반도체 제조 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 기판 처리 장치의 내부에서 진행되며, 최근에는 플라즈마를 이용하여 증착 또는 식각 공정을 수행하는 기판 처리 장치가 많이 사용되고 있다.
플라즈마를 이용한 기판 처리 장치는 종형(Vertical type) 기판 처리 장치와 기판 이송형(Belt Conveyer type) 기판 처리 장치로 구분될 수 있다.
상기 종형 기판 처리 장치는 진공 챔버 내에서 서셉터(Susceptor) 위에 기판을 올려놓고 박막을 증착하거나 식각하는 방식이며, 상기 기판 이송형 기판 처리 장치는 기판이송수단, 예를 들어, 컨베이어 벨트 위에 기판을 올려놓고 상기 컨베이어 벨트에 의해 이동되는 기판 상에 연속적으로 박막을 증착하거나 식각하는 방식이다.
도 1은 일반적인 기판 이송형 기판 처리 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
일반적인 기판 이송형 기판 처리 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(10), 기판 이송 모듈(20), 기판 가열 모듈(30), 및 가스 분사 모듈(50)을 구비한다.
진공 챔버(10)는 기판 처리 공정을 위한 공정 공간을 제공하는 것으로, 펌핑 장치(12)의 펌핑에 의해 진공 상태를 유지한다. 상기 진공 챔버(10)의 일측 벽에는 기판이 반입되는 제1기판출입구(14)가 마련되고, 상기 진공 챔버(10)의 타측 벽에는 기판 처리 공정이 완료된 기판이 반출되는 제2기판출입구(16)가 마련된다.
기판 이송 모듈(20)은 진공 챔버(10)의 내부에 설치되어 제1기판출입구(14)로부터 반입되는 기판(S)을 제2기판출입구(16) 쪽으로 이동시킨다. 이를 위해, 기판 이송 모듈(20)은 제 1 및 제 2 구동 롤러(22, 24)와 기판이송수단(26)을 구비한다.
제 1 구동 롤러(22)는 제1기판출입구(14)에 인접하도록 진공 챔버(10)의 일측에 설치되고, 제 2 구동 롤러(24)는 제2기판출입구(16)에 인접하도록 진공 챔버(10)의 타측에 설치된다. 이러한 제 1 및 제 2 구동 롤러(22, 24) 중 어느 하나는 롤러 구동 수단, 예를 들어, 구동 모터(미도시)에 의해 소정 방향으로 회전된다.
기판이송수단(26)은 제 1 및 제 2 구동 롤러(22, 24) 간에 걸쳐지도록 설치되어 제 1 및 제 2 구동 롤러(22, 24)의 회전에 따라 회전(순환)한다. 상기 기판이송수단(26)에는 제1기판출입구(14)를 통해 복수의 기판(S)이 일정한 간격으로 로딩된다.
기판 가열 모듈(30)은 제 1 및 제 2 구동 롤러(22, 24)의 상면 쪽으로 회전하는 기판이송수단(26)의 하면에 대향되도록 설치된다. 이러한 기판 가열 모듈(30)은 기판이송수단(26)에 의해 이동하는 기판(S)을 기판 처리 공정에 적합한 온도로 가열한다.
가스 분사 모듈(50)은 기판이송수단(26)을 사이에 두고 기판 가열 모듈(30)과 대향되도록 진공 챔버(10)의 상부에 설치된다. 이러한 가스 분사 모듈(50)은 플라즈마 전원 공급부(52)로부터 공급되는 플라즈마 전원과 가스 공급부(54)로부터 공급되는 공정 가스를 이용하여 가열된 기판(S) 상에 플라즈마를 형성함으로써 가열된 기판(S) 상에 박막을 증착하거나 가열된 기판(S)에 형성된 박막을 식각하는 기판 처리 공정을 수행한다.
이와 같은, 일반적인 벨트 컨베이어형 기판 처리 장치는 기판 이송 모듈(20)의 기판이송수단(26)에 기판(S)을 안착시키고, 기판 이송 모듈(20)의 구동을 통해 기판이송수단(26)에 안착된 기판(S)을 기판 가열 모듈(30)과 가스 분사 모듈(50) 사이로 이동시키면서 가스 분사 모듈(50)을 통해 기판(S) 상에 플라즈마를 형성함으로써 기판(S)에 대한 박막 증착 또는 박막 식각 공정을 연속적으로 수행한다.
그러나, 일반적인 기판 이송형 기판 처리 장치에서는, 컨베이어 벨트와 같은 기판이송수단(26)이 열팽창됨에 따라, 기판이송수단(26)의 장력이 저하되며, 이에 따라, 기판이송수단(26)이 롤러(22, 24)의 좌우측 방향으로 틀어지거나 또는 상기 기판이송수단이 처지는 현상이 발생될 수 있다. 상기한 바와 같은 현상에 의해, 기판이 원활하게 이송되지 못하며, 이에 따라, 기판 이송형 기판 처리 장치가 원활하게 동작되지 못하고 있다.
또한, 기판이송수단이 틀어지는 현상 및 기판이송수단이 처지는 현상은, 도 1을 참고하여 설명된 기판 이송형 기판 처리 장치에서 뿐만 아니라, 상기한 바와 같은 기판 이송 모듈(20)을 구비하고 있는 모든 장치들에서 동일하게 발생될 수 있다. 예를 들어, 기판 이송 모듈(20)을 구성하는 기판이송수단(26)은, 열팽창 이외에도, 다양한 원인에 의해, 롤러(22, 24)의 좌우측 방향으로 틀어질 수 있으며, 또한, 오랜 기간 동안의 지속적인 구동에 의해 처질 수 있다.
본 발명은 상술된 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판을 이송하는 기판이송수단이 롤러의 좌우측으로 틀어짐을 감지하여, 기판이송수단을 정상 위치로 이동시킬 수 있는, 기판 이송 장치 및 그 구동 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
또한, 본 발명은 상술된 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판을 이송하는 기판이송수단의 처짐을 감지하여, 기판이송수단의 텐션을 정상적으로 유지시킬 수 있는, 기판 이송 장치 및 그 구동 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 보조구동부에 의해 회전하는 보조롤러; 상기 보조롤러와 일정 간격 이격되게 배치되는 메인롤러; 상기 보조롤러와 상기 메인롤러 사이에 장착되어 회전하며, 기판이 안착되는 기판이송수단; 상기 메인롤러를 상기 보조롤러와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동부; 상기 메인롤러를 이동시키는 전후진 구동기에 장착되어 있으며, 상기 전후진 구동기에 인가되는 회전력의 크기를 감지하는 토크 감지부; 상기 토크 감지부로부터 전송된 상기 회전력의 크기를 이용하여, 상기 기판이송수단의 처짐여부를 판단하며, 상기 판단결과에 따라 상기 전후진 구동기를 제어하는 제어부를 포함한다.
본 발명에 따른 또 다른 기판 이송 장치는, 보조구동부에 의해 회전하는 보조롤러; 상기 보조롤러와 일정 간격 이격되게 배치되는 메인롤러; 상기 보조롤러와 상기 메인롤러 사이에 장착되어 회전하며, 기판이 안착되는 기판이송수단; 상기 기판이송수단의 틀어짐 여부를 감지하는 틀어짐 감지부; 상기 틀어짐 감지부로부터 전송된 감지신호를 이용하여, 상기 기판이송수단이 상기 메인롤러의 좌측 또는 우측 방향으로 틀어져 있는지의 여부를 판단하는 제어부; 및 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 메인롤러의 양쪽 끝단 일측 끝단을, 상기 보조롤러와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러와 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동부를 포함한다.본 발명에 따른 기판 이송 장치 구동 방법은, 보조롤러에 장착되어 있는 보조구동부를 구동시켜, 상기 보조롤러와 메인롤러 사이에 장착되어 있는 기판이송수단을 회전시켜, 상기 기판이송수단에 안착되는 기판을 이동시키는 단계; 상기 메인롤러를 상기 보조롤러 방향으로 전후진 시키는 전후진 구동부의 회전력의 크기를 이용하여, 상기 기판이송수단의 처짐여부를 판단하는 단계; 및 상기 판단결과, 상기 기판이송수단이 처져있다고 판단되면, 상기 전후진 구동부를 구동시켜, 상기 메인롤러를 상기 보조롤러로부터 멀어지는 방향으로 이동시키며, 상기 회전력의 크기가 기 설정된 값 이상이라고 판단되면, 상기 전후진 구동부를 구동시켜 상기 메인롤러를 상기 보조롤러와 가까워지는 방향으로 이동시키는 단계를 포함한다.
본 발명에 의하면, 메인롤러를 전후진 이동시키는 전후진 구동기의 회전력(토크)의 변화를 감지하는 것에 의해, 기판이송수단이 처졌는지의 여부가 판단될 수 있으며, 상기 기판이송수단이 처져 있다고 판단되는 경우, 상기 기판이송수단의 텐션이 자동적으로 보정될 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 보조롤러 및 메인롤러에 의해 회전하는 기판이송수단이 상기 메인롤러의 좌우측으로 이동되는 경우, 상기 기판이송수단의 위치가 자동적으로 보정될 수 있다.
도 1은 일반적인 기판 이송형 기판 처리 장치를 개략적으로 나타내는 도면.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용되는 기판 처리 장치의 정면을 개략적으로 나타내는 일예시도.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 일실시예 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 정면을 나타내는 일예시도.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 기판 이송 장치에서 기판이송수단의 텐션이 조정되는 방법을 나타낸 예시도.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명에 따른 기판 이송 장치에서 기판이송수단의 틀어짐이 조정되는 방법을 나타낸 예시도.
이하, 도면을 참조로 본 발명에 따른 바람직한 실시가 상세히 설명된다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용되는 기판 처리 장치의 정면을 개략적으로 나타내는 일예시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 일실시예 사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 정면을 나타내는 일예시도이다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 각종 표시장치의 제조 공정 중에, 기판을 이송하는 기능을 수행할 수도 있고, 각종 반도체의 제조 공정 중에, 웨이퍼를 이송하는 기능을 수행할 수도 있으며, 기타 다양한 종류의 제품을 이송하는 기능을 수행할 수도 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 도 2에 도시된 바와 같은 기판 처리 장치 이외에도 다양한 형태의 기판 처리 장치에 적용될 수도 있다. 그러나, 이하에서는 설명의 편의상, 도 2에 도시된 바와 같은 기판 처리 장치 내부에서, 표시장치의 기판을 이송하는 기판 이송 장치(100)가, 본 발명의 일예로서 설명된다.
예를 들어, 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용되는 기판 처리 장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(10), 기판 이송 장치(100), 기판 가열 모듈(30), 및 가스 분사 모듈(50)을 구비한다.
상기 진공 챔버(10)는 기판 처리 공정을 위한 공정 공간을 제공하는 것으로, 펌핑 장치(12)의 펌핑에 의해 진공 상태를 유지한다. 상기 진공 챔버(10)의 일측 벽에는 기판(S)이 반입되는 제1기판출입구(14)가 마련되고, 상기 진공 챔버(10)의 타측 벽에는 기판 처리 공정이 완료된 기판이 반출되는 제2기판출입구(16)가 마련된다.
상기 기판 가열 모듈(30)은 보조롤러(120)와 메인롤러(110)에 의해 회전하는 기판이송수단(130)의 하면에 대향되도록 설치된다. 상기 기판 가열 모듈(30)은 상기 기판이송수단(130)에 의해 이동하는 기판(S)을 기판 처리 공정에 적합한 온도로 가열한다.
상기 가스 분사 모듈(50)은 상기 기판이송수단(130)을 사이에 두고 상기 기판 가열 모듈(30)과 대향되도록 상기 진공 챔버(10) 내부의 상부에 설치된다. 상기 가스 분사 모듈(50)은 플라즈마 전원 공급부(52)로부터 공급되는 플라즈마 전원과 가스 공급부(54)로부터 공급되는 공정 가스를 이용하여 가열된 기판(S) 상에 플라즈마를 형성함으로써 가열된 기판(S) 상에 박막을 증착하거나 가열된 기판(S)에 형성된 박막을 식각하는 기판 처리 공정을 수행한다. 이를 위해, 상기 기판 이송 장치(100)의 상기 기판이송수단(130)에는 기판(S)이 안착되고, 상기 기판 이송 장치(100)의 구동을 통해 상기 기판이송수단(130)에 안착된 기판(S)이 상기 기판 가열 모듈(30)과 상기 가스 분사 모듈(50) 사이로 이동된다. 이 경우, 상기 가스 분사 모듈(50)을 통해 기판(S) 상에 플라즈마가 형성됨으로써 기판(S)에 대한 박막 증착 또는 박막 식각 공정이 연속적으로 수행될 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는 상기 진공 챔버(10)의 내부에 설치되어, 제1기판출입구(14)로부터 반입되는 기판(S)을, 기판이송수단을 이용해, 제2기판출입구(16) 쪽으로 이동시킨다.
특히, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는, 상기 기판이송수단(130)이 처져, 상기 기판이송수단(130)의 텐션이 기 설정된 값 이하로 떨어졌다고 판단되면, 상기 기판이송수단(130)의 텐션을 자동적으로 조정할 수 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는, 보조구동부(190)에 의해 회전하는 보조롤러(120), 상기 보조롤러(120)와 일정 간격 이격되게 배치되는 메인롤러(110), 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110) 사이에 장착되어 회전하며, 기판(S)이 안착되는 기판이송수단(130), 상기 메인롤러(110)를 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동부(150), 상기 메인롤러(110)를 이동시키는 전후진 구동기(154a)에 장착되어 있으며, 상기 전후진 구동기(154a)에 인가되는 회전력의 크기를 감지하는 토크 감지부(160), 상기 토크 감지부(160)로부터 전송된 상기 회전력의 크기를 이용하여, 상기 기판이송수단(130)의 처짐여부를 판단하며, 상기 판단결과에 따라 상기 전후진 구동기(154a)를 제어하는 제어부(180)를 포함한다.
첫째, 상기 보조롤러(120)는, 상기 보조구동부(190)에 의해 회전된다. 상기 보조구동부(190)는 예를 들어, 모터가 될 수 있다.
둘째, 상기 메인롤러(110)는 상기 보조롤러(120)와 일정 간격 이격되게 배치되어 있다. 상기 메인롤러(110)는 상기 보조롤러(120)에 의해 회전하는 상기 기판이송수단(130)과의 마찰력에 의해 회전된다.
셋째, 상기 기판이송수단(130)은, 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110) 사이에 장착되어, 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110)와의 마찰력에 의해 회전된다. 상기 기판이송수단(130)은 예를 들어, 컨베이어 벨트가 될 수 있다.
상기 보조롤러(120)는 상기 제1기판출입구(14)에 인접하도록 상기 진공 챔버(10)의 일측에 설치되고, 상기 메인롤러(110)는 상기 제2기판출입구(16)에 인접하도록 상기 진공 챔버(10)의 타측에 설치된다. 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110)들 중, 어느 하나, 특히, 상기 보조롤러(120)는 모터와 같은 보조구동부(190)에 의해 일정한 방향으로 회전된다. 상기 기판이송수단(130)은 상기 보조롤러(120) 및 상기 메인롤러(110) 사이에 걸쳐지도록 설치되어, 상기 보조롤러(120) 및 상기 메인롤러(110)의 회전에 따라 회전(순환)된다. 상기 기판이송수단(130)에는 상기 제1기판출입구(14)를 통해 복수의 기판(S)이 일정한 간격으로 로딩된다.
넷째, 상기 토크 감지부(160)는, 상기 전후진 구동기(154a) 의 토크, 즉, 회전력의 크기를 감지하는 기능을 수행한다.
토크는, 물체에 작용하여 물체를 회전시키는 원인이 되는 물리량으로서, 비틀림모멘트라고도 한다. 토크의 단위로는 N·m 또는 kgf·m가 사용된다.
상기 토크 감지부(160)는, 토크 측정을 위해 현재 이용되고 있는 다양한 종류의 토크 측정기들 중 어느 하나가 이용될 수 있다.
상기 토크 감지부(160)는, 기본적으로 상기 전후진 구동기(154a), 즉, 모터에 장착되어, 상기 모터의 토크를 감지할 수 있다. 여기서, 상기 전후진 구동기(154a)는 텐션모터(tension motor)가 될 수 있다.
다섯째, 상기 제어부(180)는 상기 토크 감지부(160)로부터 전송된 상기 회전력(토크)의 크기를 이용하여, 상기 기판이송수단(130)의 처짐여부를 판단한다.
상기 판단을 위해, 상기 제어부(180)에는, 상기 전후진 구동기(154a)의 기준토크가 저장되어 있다.
상기 기준토크는, 상기 기판이송수단(130)이, 상기 메인롤러(110)와 상기 보조롤러(120) 사이에서, 정상적인 텐션(tension, 팽팽함)을 갖고 장착되어 회전되는 경우의, 상기 전후진 구동기(154a)의 토크이다.
상기 제어부(180)는, 상기 기판 이송 장치(100)가 구동되는 동안, 상기 토크 감지부(160)로부터 수신되는 토크를 측정한다.
예를 들어, 측정된 토크가 상기 기준토크보다 작다는 것은, 상기 기판이송수단(130)이 처지거나, 상기 기판이송수단(130)의 텐션이 줄어들어, 상기 전후진 구동기(154a)에 인가되는 토크가 줄어들었다는 것을 의미한다. 또한, 측정된 토크가 상기 기준토크보다 크다는 것은, 상기 기판이송수단(130)이 너무 팽팽하게 장착되어, 상기 전후진 구동기(154a)에 인가되는 토크가 커졌다는 것을 의미한다.
이 경우, 상기 제어부(180)는 상기 이동부(150)를 구동시켜, 상기 기판이송수단(130)의 처짐을 방지하거나, 또는, 상기 기판이송수단(130)이 너무 팽팽하게 장착되어 있는 상태를 방지할 수 있다.
구체적인 예로서, '100'이라는 Setting 값이 상기 기준토크라고 할 때, 상기 전후진 구동부(154a)에 인가되는 토크가 상기 기준토크에 해당되면, 상기 기판이송수단(130)은 처지지 않은 상태로 상기 메인롤러(110)와 상기 보조롤러(120) 사이를 회전한다.
그러나, 상기 기판이송수단(130)이 처지게 되면, 상기 전후진 구동부(154a)에 인가되는 토크가 줄어들게 된다.
예를 들어, 상기 전후진 구동부(154a)에 인가되는 토크가 '90'이 되면, 상기 제어부(180)는 상기 전후진 구동부(154a)가 '100'이라는 상기 기준토크가 될 때까지, 상기 전후진 구동부(154a)를 회전시켜, 상기 메인롤러(110)를 이동시킨다.
여섯째, 상기 이동부(150)는, 상기 제어부(180)의 제어에 따라, 상기 메인롤러(110)를 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러(120)와 멀어지는 방향으로 이동시킨다.
예를 들어, 상기 제어부(180)는 상기 기판이송수단(130)이 처져있다고 판단되는 경우에는, 상기 이동부(150)를 구동시켜, 상기 메인롤러(110)를 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킨다.
또한, 상기 제어부(180)는 상기 기판이송수단(130)이 너무 팽팽하게 장착되어 있다고 판단되는 경우에는, 상기 이동부(150)를 구동시켜, 상기 메인롤러(110)를 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시킨다.
상기한 바와 같은 기능을 수행하기 위해, 상기 이동부(150)는, 상기 메인롤러(110)의 회전축이 배치되는 X축과 수직한 Z축 방향으로 배치되어 있는 전후진 이동부(152), 상기 X축 및 상기 Z축과 수직한 Y축에 나란하며, 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110)의 중심부를 가로지는 라인 상에, 가이드홈(151a)이 형성되어 있으며, 상기 가이드홈(151a)에 상기 전후진 이동부(152)가 장착되어 있는 메인 지지부(151), 상기 메인롤러(110)의 양쪽 끝단을 지지하며, 상기 전후진 이동부(152)에 장착되어 있는 메인롤러 지지부(153) 및 상기 메인 지지부(151)에 장착되어 있으며, 상기 전후진 이동부(152)를 이동시키는 전후진 구동부(154)를 포함한다.
상기 전후진 이동부(152)는 상기 메인 지지부(151)에 형성되어 있는 상기 가이드홈(151a)에 장착되어 있으며, 상기 가이드홈(151a)을 따라 전후진될 수 있다. 상기 전후진 이동부(152)는 상기 메인 지지부(151)의 평면에 수직하게 장착되어 있다. 즉, 상기 전후진 이동부는, 상기 메인롤러(110)의 회전축이 배치되는 X축 및 상기 기판이송수단(130)의 평면에 나란한 Y축과 수직을 이루도록 상기 메인 지지부(151)에 장착된다.
상기 메인 지지부(151)에는 상기 전후진 이동부(152)가 장착된다. 특히, 상기 전후진 이동부(152)는 상기 X축 및 상기 Z축과 수직한 Y축에 나란하며, 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110)의 중심부를 가로지는 라인 상에 형성되어 있는 상기 가이드홈(151a)에 장착된다. 상기 메인 지지부(151)는 일정한 위치에 고정되어 있다. 예를 들어, 상기 기판 이송 장치(100)의 외관을 형성하고, 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110)를 일정한 간격으로 유지시키는 메인 프레임(미도시)의 일정한 위치에, 상기 메인 지지부(151)는 고정될 수 있다.
상기 메인롤러 지지부(153)는 상기 메인롤러(110)의 양쪽 끝단을 지지하는 기능을 수행한다. 상기 메인롤러 지지부(153)는, 상기 전후진 이동부(152)에 장착되어 있다. 상기 메인롤러 지지부(153)는, 예를 들어, 상기 메인롤러(110)의 제1측 끝단을 지지하는 제1메인롤러 지지대(153a), 상기 메인롤러(110)의 제2측 끝단을 지지하는 제2메인롤러 지지대(153b) 및 상기 제1메인롤러 지지재(153a)와 상기 제2메인롤러 지지대(153b)가 장착되어 있으며 상기 전후진 이동부(152)에 장착되는 제3메인롤러 지지대(153c)를 포함한다.
상기 전후진 구동부(154)는, 상기 메인 지지부(151)에 장착되어 있으며, 상기 전후진 이동부(152)를 이동시킨다. 이를 위해, 상기 전후진 구동부(154)는 상기 메인 지지부(151)에 장착되어 있으며 회전력을 발생시키는 전후진 구동기(154a), 상기 전후진 이동부(152)에 장착되어 있는 전후진 이동기(154c) 및 상기 전후진 구동기(154a)에 의해 회전되어, 상기 전후진 이동기(154c)를 전후진 시키는 회전기(154b)를 포함한다. 이 경우, 상기 회전기(154b)와 상기 전후진 이동기(154c)는 암나사와 수나사의 형태로 구성될 수 있다. 상기 회전기(154b)가 회전하면, 상기 회전기(154b)는 상기 전후진 이동기(154c)의 내부에 형성되어 있는 나사산을 따라, 상기 전후진 이동기(154c)의 내부에서 전진하거나 또는 후진할 수 있다. 상기 전후진 구동부(154)에 의해 기판이송수단(130)의 텐션(tension)이 보정되는 방법은, 이하에서, 도 5a 내지 도 5c를 참조하여 설명된다.
일곱째, 상기 이동부(150)는, 상기 제어부(180)의 제어에 따라, 상기 메인롤러(110)의 양쪽 끝단 중 일측 끝단을, 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러(120)와 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다.
이를 위해, 상기 이동부(150)는, 상기 Y축과 나란한 방향으로 전후진 운동을 수행하여, 상기 메인롤러 지지부(153)의 양쪽 끝단 중 일측 끝단을 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러(120)와 멀어지는 방향으로 이동시키는 틀어짐 보정부(155)를 더 포함할 수 있다.
상기 틀어짐 보정부(155)는, 상기 이동부(150)에 장착되어 있는 보정용 지지기(155d), 상기 보정용 지지기(155d)에 장착되어 있으며 회전력을 발생시키는 틀어짐 구동기(155a), 상기 메인롤러 지지부(153) 중 특히 상기 제3메인롤러 지지대(153c)의 일측 끝단에 장착되어 있는 틀어짐 보정기(155c), 상기 틀어짐 구동기(155a)에 의해 회전되어, 상기 제3메인롤러 지지대(153c)의 일측 끝단을 전후진 시키는 보정용 회전기(154b)를 포함한다.
이 경우, 상기 전후진 이동부(152)는, 상기 메인롤러 지지부(153), 특히, 상기 제3메인롤러 지지대(153c)의 중심부분에 장착되어 있으며, 상기 제3메인롤러 지지대(153c)는 상기 전후진 이동부(152)의 외주면을 따라 회전될 수 있도록 상기 제3메인롤러 지지대(153c)에 장착되어 있다.
상기 틀어짐 보정부(155)가 상기 이동부(150)에 구비되는 경우, 상기 기판이송수단(130) 주변, 예를 들어, 상기 기판이송수단(130)의 하단부의 양쪽에는 상기 기판이송수단(130)의 틀어짐을 감지할 수 있는 틀어짐 감지부(170)가 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 틀어짐 감지부(170)는 상기 메인롤러(110) 근처에 배치될 수도 있고, 상기 보조롤러(120) 근처에 배치될 수도 있다. 이하에서는, 설명의 편의상, 상기 틀어짐 감지부(170)가 상기 메인롤러(110) 근처에 배치되어 있는 경우를 일예로 하여 본 발명이 설명된다.
상기 제어부(180)는 상기 틀어짐 감지부(170)로부터 전송되어온 감지신호를 분석하여, 상기 기판이송수단(130)이 상기 메인롤러(110)의 양쪽 끝단 중 어느 한 쪽 끝단으로 틀어져 있다고 판단되면, 상기 틀어짐 보정부(155)를 구동시켜, 상기 기판이송수단(130)가 상기 메인롤러(110)의 중심부분으로 이동되도록 한다.
상기 틀어짐 보정부(155)에 의해 상기 기판이송수단(130)의 틀어짐이 보정되는 방법은, 이하에서, 도 6a 내지 도 6e를 참조하여 설명된다.
여덟째, 상기 틀어짐 감지부(170)는 현재 이용되고 있는 다양한 종류의 광학센서를 이용하여 구성될 수 있다. 상기 틀어짐 감지부(170)가 상기한 바와 같이, 상기 기판이송수단(130)의 하단부에 위치되는 경우, 상기 기판이송수단(130)로부터 떨어지는 이물질 또는 상기 가스 분사 모듈(50)로부터 생성된 물질들에 의해, 상기 틀어짐 감지부(170)의 표면이 오염될 수 있다.
상기 틀어짐 감지부(170)는 상기한 바와 같이 광학센서로 구성되기 때문에, 상기 틀어짐 감지부(170)의 표면이 오염되면, 상기 틀어짐 감지부(170)의 센싱 기능이 저하될 수 있다.
이를 방지하기 위해, 상기 틀어짐 감지부(170)에는 상기 틀어짐 감지부(170)의 표면을 커버할 수 있는 감지부 커버(171)가 장착될 수 있다. 상기 제어부(180) 또는 상기 기판 처리 장치의 제어부(미도시)는 상기 틀어짐 감지부(170)의 구동이 요구되지 않을 때에는, 상기 감지부 커버(171)를 구동시켜, 상기 감지부 커버(171)가 상기 틀어짐 감지부(170)의 표면을 커버하도록 할 수 있다.
상기 설명에서는, 상기 전후진 구동부(154)가 포함되어 있는 상기 이동부(150)에, 상기 틀어짐 보정부(155)가 더 추가되는 것을 일예로 하여 본 발명이 설명되었다. 그러나, 상기 틀어짐 보정부(155)가 포함되어 있는 상기 이동부(150)에, 상기 전후진 구동부(154)가 더 추가될 수도 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 기판 이동 장치(100)의 구동 방법을 간단히 정리하면 다음과 같다.
우선, 상기 보조롤러(120)에 장착되어 있는 상기 보조구동부(190)를 구동시켜, 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110) 사이에 장착되어 있는 상기 기판이송수단(130)를 회전시켜, 상기 기판이송수단(130)에 안착되는 기판(S)을 이동시킨다.다음, 상기 메인롤러(110)를 상기 보조롤러(120) 방향으로 전후진 시키는 전후진 구동부(154a)의 회전력의 크기(토크(Torque))를 이용하여, 상기 기판이송수단(130)의 처짐여부를 판단한다. 다음, 상기 판단결과, 상기 기판이송수단(130)이 처져있다고 판단되면, 상기 제어부(180)는 상기 메인롤러(110)를 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동시키며, 상기 회전력의 크기가 기 설정된 값 이상이라고 판단되면, 상기 메인롤러(110)를 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시킨다.
다음, 상기 제어부(180)는 상기 틀어짐 감지부(170)로부터 수신되는 감지신호들을 이용하여, 상기 기판이송수단(130)의 틀어짐 여부를 판단한다.
마지막으로, 상기 판단 결과, 상기 기판이송수단(130)이 상기 메인롤러의 양쪽 끝단 중 어느 하나의 방향으로 틀어져 있다고 판단되면, 상기 제어부(180)는 상기 메인롤러(110)의 양쪽 끝단 중 일측 끝단을, 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동시켜, 상기 벨트(130)를 상기 메인롤러의 중심부분에 위치시킨다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 기판 이송 장치에서 기판이송수단의 텐션이 조정되는 방법을 나타낸 예시도이다.
우선, 도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 이동부(150)는, 상기 메인롤러(110)의 회전축이 배치되는 X축과 수직한 Z축 방향으로 배치되어 있는 전후진 이동부(152), 상기 X축 및 상기 Z축과 수직한 Y축에 나란하며, 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110)의 중심부를 가로지는 라인 상에, 가이드홈(151a)이 형성되어 있으며, 상기 가이드홈(151a)에 상기 전후진 이동부(152)가 장착되어 있는 메인 지지부(151), 상기 메인롤러(110)의 양쪽 끝단을 지지하며, 상기 전후진 이동부(152)에 장착되어 있는 메인롤러 지지부(153), 상기 메인 지지부(151)에 장착되어 있으며, 상기 전후진 이동부(152)를 이동시키는 전후진 구동부(154) 및 상기 Y축과 나란한 방향으로 전후진 운동을 수행하여, 상기 메인롤러 지지부(153)의 양쪽 끝단 중 일측 끝단을 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러(120)와 멀어지는 방향으로 이동시키는 틀어짐 보정부(155)를 포함한다.
이 경우, 상기 기판이송수단(130)의 텐션은 정상적인 값, 즉, 기설정된 범위의 값을 가지고 있으며, 따라서, 상기 토크 감지부(160)에서 감지된 토크는, 상기 기준토크에 해당되는 범위의 값을 갖는다.
다음, 도 5a를 참조하여, 상기 기판이송수단(130)이 처진 경우, 상기 기판이송수단(130)의 텐션을 상승시키는 과정이 설명된다.
상기 토크 감지부(160)로부터 전송되어온 감지신호를 분석한 결과, 상기 기판이송수단(130)의 텐션이 감소되었다고 판단된 경우, 즉, 상기 기판이송수단(130)이 처져있다고 판단된 경우, 상기 제어부(180)는 상기 전후진 구동부(154)를 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킨다.
이를 위해, 상기 제어부(180)는 상기 전후진 구동기(154a)를 구동시킨다.
상기 전후진 구동기(154a)에 의해 상기 회전기(154b)가 회전된다.
상기 회전기(154b)가 회전하면, 상기 회전기(154b)는 상기 전후진 이동기(154c)의 내부에 형성되어 있는 나사산을 따라, 상기 전후진 이동기(154c)의 내부에서 전진한다.
상기 회전기(154b)가 상기 전후진 이동기(154c)의 내부에서 전진하는 경우, 상기 회전기(154b)는 상기 전후진 구동기(154a)에 고정되어 있기 때문에, 상기 전후진 이동기(154c)가, 상기 전후진 구동기(154a) 방향으로 이동된다.
이 경우, 상기 전후진 이동부(152) 역시, 상기 가이드홈(151a)을 따라 상기 전후진 구동기(154a) 방향으로 이동된다.
따라서, 상기 메인롤러(110)는 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동된다. 즉, 상기 메인롤러(110)는 도 5a에 도시된 화살표 방향으로 이동된다. 이에 따라, 상기 기판이송수단의 텐션(팽팽함)은 더 증가된다.
마지막으로, 도 5b를 참조하여, 상기 기판이송수단(130)이 너무 팽팽한 상태로 상기 보조롤러(120)와 상기 메인롤러(110) 사이에 장착되어 있는 경우, 상기 기판이송수단(130)의 텐션을 감소시키는 과정이 설명된다.
상기 토크 감지부(160)로부터 전송되어온 감지신호를 분석한 결과, 상기 기판이송수단(130)가 너무 팽팽하다고 판단된 경우, 상기 제어부(180)는 상기 전후진 구동부(154)를 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동시킨다.
이를 위해, 상기 제어부(180)는 상기 전후진 구동기(154a)를 구동시킨다.
상기 전후진 구동기(154a)에 의해 상기 회전기(154b)가 회전된다.
상기 회전기(154b)가 회전하면, 상기 회전기(154b)는 상기 전후진 이동기(154c)의 내부에 형성되어 있는 나사산을 따라, 상기 전후진 이동기(154c)의 내부에서 후진한다.
상기 회전기(154b)가 상기 전후진 이동기(154c)의 내부에서 후진하는 경우, 상기 회전기(154b)는 상기 전후진 구동기(154a)에 고정되어 있기 때문에, 상기 전후진 이동기(154c)가 상기 전후진 구동기(154a)로부터 멀어지는 방향으로 이동된다.
이 경우, 상기 전후진 이동부(152) 역시, 상기 가이드홈(151a)을 따라 상기 전후진 구동기(154a)로부터 멀어지는 방향으로 이동된다.
따라서, 상기 메인롤러(110)는 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 방향으로 이동된다. 즉, 상기 메인롤러(110)는 도 5b에 도시된 화살표 방향으로 이동된다. 이에 따라, 상기 기판이송수단의 텐션(팽팽함)은 감소될 수 있다.
상기한 바와 같이, 도 5a는 상기 메인롤러(110)가 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 상태를 나타내고, 도 5b는 상기 메인롤러(110)가 상기 보조롤러(120)와 가까워지는 상태를 나타낸다. 따라서, 도 5a에서의 상기 메인롤러(110)와 상기 보조롤러(120) 간의 간격(L1)은, 도 5b에서의 상기 메인롤러(110)와 상기 보조롤러(120) 간의 간격(L2)보다 커진다. 또한, 도 5a에 도시된 상기 전후진 구동기(154a)로부터 상기 메인롤러(110)까지의 길이(a), 도 5b에 도시된 전후진 구동기(154a)로부터 상기 메인롤러(110)까지의 길이(b)보다 짧아진다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명에 따른 기판 이송 장치에서 기판이송수단의 틀어짐이 조정되는 방법을 나타낸 예시도이다.
우선, 도 6a는 상기 기판이송수단(130)이 정상적으로 상기 메인롤러(110)에 장착되어 있는 상태를 나타낸다.
다음, 도 6b는 상기 기판이송수단(130)이 상기 메인롤러(110)의 일측 끝단 방향, 예를 들어, 도 6b의 하단 방향, 즉, 상기 메인롤러(110)의 제1측 끝단 방향으로 틀어져 있는 상태를 나타낸다.
상기 제어부(180)는 상기 틀어짐 감지부(170)로부터 전송되어온 감지신호를 분석하여, 상기 기판이송수단(130)의 틀어짐 여부를 판단할 수 있다.
이 경우, 상기 틀어짐 구동기(155a)로부터 상기 메인롤러 지지부(153)까지의 길이는 도 6b에 도시된 바와 같이 c라 한다.
다음, 도 6c를 참조하면, 상기 제어부(180)는 상기 틀어짐 구동기(155a)를 구동시켜, 상기 보정용 회전기(155b)를 기 설정된 방향으로 회전시킨다. 상기 보정용 회전기(155b)가 회전되면, 도 5a 및 도 5b에서 설명된 바와 같은 원리에 의해, 틀어짐 보정기(155c)가 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동된다. 따라서, 상기 틀어짐 보정기(155c)가 장착되어 있는 상기 메인롤러 지지부(153) 역시, 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동된다. 또한, 상기 메인롤러 지지부(153)에 의해 지지되고 있는 상기 메인롤러(110) 역시, 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동된다.
이 경우, 상기 틀어짐 보정기(155c)가 상기 메인롤러 지지부(153)의 양쪽 끝단 중 일측 끝단에 장착되어 있으며, 상기 메인롤러 지지부(153)가 상기 전후진 이동부(152)에 회전가능하게 장착되어 있다. 따라서, 실질적으로는, 상기 메인롤러(110)의 양쪽 끝단들 중, 상기 틀어짐 보정기(155c)가 장착되어 있는 제1측 끝단은 상기 보조롤러(120)로부터 멀어지며, 상기 틀어짐 보정기(155c)가 장착되어 있지 않은 제2측 끝단은 상기 보조롤러(120)와 더 가까워진다.
따라서, 상기 틀어짐 구동기(155a)로부터 상기 메인롤러 지지부(153)까지의 길이(d)는, 도 6b에 도시된 길이(c) 보다 짧아진다.
상기한 바와 같은 동작에 의해, 상기 메인롤러(110)의 제1측 끝단 방향으로 틀어져 있던 상기 기판이송수단(130)는, 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤러(120)의 제2측 끝단 방향(도 6c의 상단방향)으로 이동된다.
마지막으로, 도 6d를 참조하면, 상기 제어부(180)는 도 6c를 참조하여 설명된 방법을 이용하여, 상기 틀어짐 구동기(155a)로부터 상기 메인롤러 지지부(153)까지의 길이를 지속적으로 가변시키면서, 상기 기판이송수단(130)이 상기 메인롤러(110)의 중심부분에 위치되도록 한다. 도 6d는 상기한 바와 같은 과정에 의해, 상기 기판이송수단(130)이 상기 메인롤러(110)의 중심부분에 위치되어 있는 상태를 나타낸다.
따라서, 상기 틀어짐 구동기(155a)로부터 상기 메인롤러 지지부(153)까지의 길이(c)는, 도 6b에 도시된 길이(c)와 동일하다.
상기에서 설명된 본 발명을 간단히 정리하면 다음과 같다.
본 발명은, 상기 기판이송수단(130)의 사행(좌/우 틀어짐)을 방지할 수 있고, 상기 기판이송수단(130)의 처짐 발생 시 자동적으로 텐션(Tension)을 인가할 수 있다. 또한, 본 발명은 상기 기판이송수단(130)의 처짐 또는 사행을 자동적으로 인지할 수 있다. 특히, 본 발명은 상기 처짐을 상기 전후진 구동기(154a) 에 인가되는 토크를 이용하여 자동적으로 판단할 수 있다. 본 발명은 상기 기판이송수단(130)의 사행을 감지하기 위한 상기 틀어짐 감지부(170)에 상기 감지부 커버(171)를 장착시킴으로써, 상기 틀어짐 감지부(170)의 센싱 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명은 상기 기판이송수단(130)의 사행을 방지하고, 상기 기판이송수단(130)에 텐션을 인가하기 위한 것으로서, 특히, 고온/진공/증착 환경에서 상기 기판이송수단(130)의 좌우 틀어짐을 보정하고, 상기 기판이송수단(130)에 텐션을 인가할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 기판 이송 장치 110 : 메인롤러
120 : 보조롤러 130 : 기판이송수단
150 : 이동부 160 : 토크 감지부
170 : 틀어짐 감지부 180 : 제어부
190 : 보조구동부 151 : 메인 지지부
152 : 전후진 이동부 153 : 메인롤러 지지부
154 : 전후진 구동부 155 : 틀어짐 보정부

Claims (8)

  1. 보조구동부에 의해 회전하는 보조롤러;
    상기 보조롤러와 일정 간격 이격되게 배치되는 메인롤러;
    상기 보조롤러와 상기 메인롤러 사이에 장착되어 회전하며, 기판이 안착되는 기판이송수단;
    상기 메인롤러를 상기 보조롤러와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동부;
    상기 메인롤러를 이동시키는 전후진 구동기에 장착되어 있으며, 상기 전후진 구동기에 인가되는 회전력의 크기를 감지하는 토크 감지부; 및
    상기 토크 감지부로부터 전송된 상기 회전력의 크기를 이용하여, 상기 기판이송수단의 처짐여부를 판단하며, 상기 판단결과에 따라 상기 전후진 구동기를 제어하는 제어부를 포함하고,
    상기 이동부는,
    상기 메인롤러의 회전축이 배치되는 X축과 수직한 Z축 방향으로 배치되어 있는 전후진 이동부;
    상기 X축 및 상기 Z축과 수직한 Y축에 나란하며, 상기 보조롤러와 상기 메인롤러의 중심부를 가로지는 라인 상에, 가이드홈이 형성되어 있으며, 상기 가이드홈에 상기 전후진 이동부가 장착되어 있는 메인 지지부;
    상기 메인롤러의 양쪽 끝단을 지지하며, 상기 전후진 이동부에 장착되어 있는 메인롤러 지지부; 및
    상기 메인 지지부에 장착되어 있으며, 상기 전후진 이동부를 이동시키는 전후진 구동부를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 보조구동부에 의해 회전하는 보조롤러;
    상기 보조롤러와 일정 간격 이격되게 배치되는 메인롤러;
    상기 보조롤러와 상기 메인롤러 사이에 장착되어 회전하며, 기판이 안착되는 기판이송수단; 및
    상기 메인롤러를 상기 보조롤러와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동부를 포함하고,
    상기 이동부는,
    상기 메인롤러의 회전축이 배치되는 X축과 수직한 Z축 방향으로 배치되어 있는 전후진 이동부;
    상기 X축 및 상기 Z축과 수직한 Y축에 나란하며, 상기 보조롤러와 상기 메인롤러의 중심부를 가로지는 라인 상에, 가이드홈이 형성되어 있으며, 상기 가이드홈에 상기 전후진 이동부가 장착되어 있는 메인 지지부;
    상기 메인롤러의 양쪽 끝단을 지지하며, 상기 전후진 이동부에 장착되어 있는 메인롤러 지지부; 및
    상기 메인 지지부에 장착되어 있으며, 상기 전후진 이동부를 이동시키는 전후진 구동부를 포함하는 기판 이송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이동부는,
    상기 Y축과 나란한 방향으로 전후진 운동을 수행하여, 상기 메인롤러 지지부의 양쪽 끝단 중 일측 끝단을 상기 보조롤러와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러와 멀어지는 방향으로 이동시키는 틀어짐 보정부를 더 포함하는 기판 이송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 전후진 이동부는, 상기 메인롤러 지지부의 중심부분에 장착되어 있으며, 상기 메인롤러 지지부는 상기 전후진 이동부의 외주면을 따라 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동부는,
    상기 제어부의 제어에 따라, 상기 메인롤러의 양쪽 끝단 중 일측 끝단을, 상기 보조롤러와 가까워지는 방향으로 이동시키거나 또는 상기 보조롤러와 멀어지는 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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