JP5381479B2 - 基板固定治具及び基板加工装置 - Google Patents
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Description
12 基板
12A 回路基板
12B 開口溝
12C 接続部
14 基板収容部
14a 開口部
14b 基板収容部吸引通路
16 蓋部
16a 貫通溝
16b 蓋部吸引通路
16c 裏面
20 基板加工装置
22 テーブル
22a 載置面
24 工具駆動装置
26 工具ヘッド
28 垂直移動機構
30 水平移動機構
32 集塵機
34 ダクト
36 吸引部
38 パレット支持部
38a 支持部吸引通路
40 支柱
42 ベース
50 回転切削工具
Claims (10)
- 基板を基板加工装置に装着するための基板固定治具であって、
前記基板の部品搭載面を下側にして前記基板を収容する基板収容部と、
該基板収容部に収容された前記基板を覆う蓋部と、
該蓋部を貫通して延在し、前記基板を切削するための回転切削工具を挿入可能な開口溝と、
前記蓋部の中に延在し、前記開口溝の内面に開口する蓋部吸引通路と
を有する基板固定治具。 - 請求項1記載の基板固定治具であって、
前記蓋部は前記基板収容部に対して回動可能に支持される基板固定治具。 - 請求項1又は2記載の基板固定治具であって、
前記蓋部吸引通路は、前記蓋部が前記基板を覆うように前記基板収容部に取り付けられた状態で、前記基板収容部を貫通して延在する基板収容部吸引通路に接続される基板固定治具。 - 請求項3記載の基板固定治具であって、
前記基板収容部吸引通路は前記基板収容部の中を延在して前記基板収容部の底面に開口する基板固定治具。 - 請求項1乃至4のうちいずれか一項記載の基板固定治具であって、
前記基板収容部の上面から底面まで貫通して延在する蓋吸着通路を有し、
該蓋吸着通路は、前記蓋部が前記基板を覆うように前記基板収容部に取り付けられた状態で、前記基板収容部の上面において前記蓋部の裏面に覆われる位置に開口する基板固定治具。 - 請求項3又は4記載の基板固定治具と、
前記基板固定治具が取り付けられる載置台と、
前記基板を切削するための前記回転切削工具を駆動する工具駆動部と、
前記載置台に取り付けられた前記基板固定治具の前記基板収容部吸引通路に接続された集塵機吸引通路と、
前記蓋部吸引通路、前記基板収容部吸引通路、及び前記集塵機吸引通路を介して、前記回転切削工具から排出される切り粉を吸引する集塵機と
を有する基板加工装置。 - 請求項6記載の基板加工装置であって、
前記基板固定治具が取り付けられる支柱部材が前記載置台に固定される基板加工装置。 - 請求項7記載の基板加工装置であって、
前記基板固定治具の前記基板収容部吸引通路は、前記支柱部材の長手方向に延在する支持部吸引通路を介して、前記集塵機吸引通路に接続される基板加工装置。 - 請求項6記載の基板加工装置であって、
前記基板収容部の上面から底面まで貫通して延在する蓋部吸着通路を有し、
該蓋部吸着通路は、前記蓋部が前記基板を覆うように前記基板収容部に取り付けられた状態で、前記基板収容部の上面において前記蓋部の裏面に覆われる位置に開口する基板加工装置。 - 請求項9記載の基板加工装置であって、
前記基板固定治具が取り付けられる支柱部材が前記載置台に固定され、
前記基板固定治具の前記蓋部吸着通路は、前記支柱部材の長手方向に延在する支持部吸引通路を介して、前記集塵機吸引通路に接続される基板加工装置。
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