CN105500100A - 基板切断装置的运转方法和基板切断装置 - Google Patents

Abstract

基板切断装置的运转方法和基板切断装置。本发明的课题在于，提供在基板切断装置中无需在切断后对基板进行清扫的那样的浮游物高效去除技术。基板切断装置的运转方法中包括如下工序：基板切断工序，利用工具将基板切断，在该切断中产生的切屑经切断夹具通过排气机构被排出；以及浮游物排出工序，在将完成切断的基板从切断夹具取下并将下一基板载置到切断夹具上时，向切断夹具的周围飞散或浮游的切屑经多孔板通过排气机构被排出。由于在浮游物排出工序中强制地将浮游物排出，因此无需担心浮游物附着于基板。

Description

基板切断装置的运转方法和基板切断装置

技术领域

本发明涉及基板、特别是安装基板的切断装置及其运转方法。

背景技术

在将设备安装于基板后将安装基板的边缘切除、以及将安装基板切断、分割。使用被称为铣刀的旋转工具进行切断。伴随切断而产生切屑。若对该切屑置之不理，则会发生附着于基板等不良情况。

因此，以往提出有切屑排出技术(例如，参照专利文献1(图1、图4))。

如专利文献1中的图4所示，在载置基板的托盘主体(21)(带括弧数字表示专利文献1中记载的标号。下面，同样)安装有集尘嘴(9)。

如专利文献1中的图1所示，集尘嘴(9)经管道(11)而与抽吸装置(10)连结。并且，利用高速旋转的铣刀(6)将基板切断。伴随切断而产生切屑。该切屑在专利文献1的图4中如实线箭头及虚线箭头那样被抽吸到集尘嘴(9)内。

然而，铣刀(6)按每分钟几万转旋转。产生的切屑的大部分经集尘嘴(9)而被排出，但产生的切屑的一部分由于高速旋转的铣刀的离心力而向基板上方飞散、浮游。若该浮游物附着到基板上，则产品价值降低。因此，在切断后增加对基板进行清扫的作业，生产成本增高。

在寻求减少生产成本的过程中，期望无需在切断后对基板进行清扫的浮游物高效去除技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-52097号公报

发明内容

本发明的课题在于，提供在基板切断装置中无需在切断后对基板进行清扫的那样的浮游物高效去除技术。

用于解决课题的手段

本发明第一方面为一种基板切断装置的运转方法，所述基板切断装置具备：切断夹具，其载置基板；多孔板，其配置在该切断夹具的周围；工具，其将上述基板切断；以及排气机构，其经上述切断夹具或上述多孔板对该工具产生的切屑进行抽吸，所述基板切断装置的运转方法的特征在于，包括如下工序：

基板切断工序，利用上述工具将上述基板切断，在该切断中产生的切屑经上述切断夹具通过上述排气机构被排出；以及

浮游物排出工序，在将完成切断的上述基板从上述切断夹具取下并将下一基板载置到上述切断夹具上时，向上述切断夹具的周围飞散或浮游的切屑经上述多孔板通过上述排气机构被排出。

本发明第二方面的特征在于，顺次地重复进行基板切断工序和浮游物排出工序，并且连续地运转排气机构。

根据本发明的第三方面，一种基板切断装置，其特征在于，所述基板切断装置具备：切断夹具，其载置基板；工具，其将上述基板切断；工作台，其支撑上述切断夹具；装置外壳，其以由该工作台划分出上室和下室的方式收纳上述工作台；连结部件，其覆盖上述切断夹具的下方；第一管道，其从该连结部件延伸；多孔板，其以围绕上述切断夹具的方式设置于上述工作台；腔室，其覆盖该多孔板的下方；第二管道，其从该腔室延伸；排气机构，其与上述第一管道和上述第二管道连接并产生负压；挡板，其将上述第一管道和上述第二管道中的一方堵塞；致动器，其使该挡板摆动；以及控制部，在利用上述工具切断上述基板时，所述控制部通过上述挡板堵塞上述第二管道，在更换上述基板时，所述控制部通过上述挡板堵塞上述第一管道。

根据第四方面的发明，其特征在于，控制部连续地运转排气机构。

发明效果

根据本发明的第一方面，由于在浮游物排出工序中强制地将浮游物排出，因此无需担心浮游物附着于基板。

因此，根据本发明，能够提供在基板切断装置中无需在切断后对基板进行清扫的那样的浮游物高效去除方法。

根据本发明的第二方面，顺次地重复进行基板切断工序和浮游物排出工序，并且连续地运转排气机构。排气机构通过马达等驱动源被驱动。使用开关功能部件来接通、断开驱动源。在该情况下，由于连续地运转排气机构，因此开关功能部件的通断频率特别低，其结果是，能够大幅地延长开关功能部件的寿命，能够大大地降低部件更换成本。

根据本发明的第三方面，由于经多孔板而强制地将浮游物排出，因此无需担心浮游物附着于基板。

因此，根据本发明，能够提供无需在切断后对基板进行清扫的那样的可实施浮游物高效去除的切断装置。

在装置上，仅在现有的基板切断装置常备的连结部件、第一管道和排气机构的基础上追加腔室、第二管道、挡板和致动器即可。无需担心基板切断装置大型化，即使进行改造，改造费用也不那么高。即便新设置，也无需担心设备成本过于增高。因此，能够提供与以往的基板切断装置同等大小且可充分地压缩成本增高的基板切断装置。

根据本发明的第四方面，控制部连续地运转排气机构。排气机构通过马达等驱动源而被驱动。使用开关功能部件来接通、断开驱动源。在该情况下，由于连续地运转排气机构，因此开关功能部件的通断频率特别低，其结果是，能够大幅地延长开关功能部件的寿命，能够大大地降低部件更换成本。

附图说明

图1是基板、盘和切断夹具的立体图。

图2是切断夹具的要部放大图。

图3是说明基板切断作业的概要的图。

图4是基板切断装置的纵剖视图。

图5是基板切断装置的俯视剖视图。

图6是说明防止工具破损的方法的流程图。

图7是说明另外的防止破损的方法的流程图。

图8是说明挡板的作用的时间图，其中(a)是比较例，(b)是实施例。

图9是工具的侧视图。

图10是图9中的10-10线剖视图。

图11是说明工具的磨损的图。

图12是喷射筒的剖视图。

图13是说明工具的刀头段的图。

图14是说明刀头段的切换的流程图。

标号说明

10：基板；40：切断夹具；58：工具；60：基板切断装置；63：工作台；64：装置外壳；66：连结部件；67：第一管道；68：排气机构；71：多孔板；72：腔室；73：第二管道；74：挡板；75：致动器；93：控制部。

具体实施方式

下面，根据附图对本发明的实施方式进行说明。另外，本发明方法主要根据图8(b)来进行说明。在图4至图5中对适合实施本发明方法的本发明装置进行说明。

[实施例]

如图1所示，基板10以所安装的半导体设备11朝下的方式被载置于盘33上，并且被载置于切断夹具40。

基板10在中央设置有横穿开口部12，在左右边的一方，第一U字缺口13、第一长孔14、横穿开口部12、第二长孔15、第三长孔16和第二U字缺口17形成为一列。左右边的另一方也同样。并且，以隔着横穿开口部12的方式设置有四个定位孔18。

在左边，在第一U字缺口13与第一长孔14之间存在第一切断预定部21，在第一长孔14与横穿开口部12之间存在第二切断预定部22，在横穿开口部12与第二长孔15之间存在第三切断预定部23，在第二长孔15与第三长孔16之间存在第四切断预定部24，在第三长孔16与第二U字缺口17之间存在第五切断预定部25。

在右边，在第一U字缺口13与第一长孔14之间存在第六切断预定部26，在第一长孔14与横穿开口部12之间存在第七切断预定部27，在横穿开口部12与第二长孔15之间存在第八切断预定部28，在第二长孔15与第三长孔16之间存在第九切断预定部29，在第三长孔16与第二U字缺口17之间存在第十切断预定部31。

盘33具备：框部34；把手35、35，其设置在该框部34；多个侧引导件36，它们设置在框部34上，对基板10的水平方向的位置进行临时确定；多个(在本示例中是8根)臂部37，它们从框部34向开口的中央延伸；下销38，其以向下延伸的方式被安装于臂部37的末端；以及支承销39，其以向上凸出的方式被安装于臂部37的末端，对基板10进行支撑。

切断夹具40具备大致为基板10的大小的凹部41。该凹部41由底42、立于该底42并防止基板10挠曲的支承件43、44、以及从底42的周围向上延伸的左壁45、右壁46、前壁47、内壁48形成。

在底42设置有多个排气孔49。

分别在左壁45、右壁46、前壁47、内壁48形成有供下销38嵌入的半圆部50。

在左边设置有长孔状的第一至第五抽吸孔51～55。在右边也设置有第一至第五抽吸孔51～55。

并且，在左边附近立设有定位销56、56，所述定位销56、56嵌于定位孔18中，所述定位孔18设置于基板10。右边附近也同样地立设有定位销56、56。

基板10以载置于盘33上的方式被搬运。切断夹具40被固定于后述的基板切断装置(图4中的标号60)。通过将盘33嵌于切断夹具40，从而基板10被载置于切断夹具40。此时，基板10借助于多个定位销56而实现水平方向(x-y方向)的定位，并借助于多个支承销39而实现上下方向(z方向)的定位。

如图2所示，第二抽吸孔52和第三抽吸孔53设置成彼此相邻。

在图3中，对第二、第三抽吸孔52、53与第二、第三切断预定部22、23的相互关系进行说明，但为了简化说明，省略了盘33。

使图3(a)所示的定位孔18、18与图3(b)所示的定位销56、56嵌合，以将基板10载置于切断夹具40。

在图3(c)中，由于经第二、第三抽吸孔52、53和排气孔49而排气，因此基板10被大气压按压于切断夹具40。即使对基板10施加水平力或朝上的力，也无需担心基板10错位。

因此，如图3(c)所示，将高速旋转的工具58从第一长孔14侧向第二抽吸孔52插入，并如箭头所示地使其前进(下面，同样)。这样，第二切断预定部22被切断。接着，将工具58抬起、使之前进并向第三抽吸孔53插入、前进。这样，第三切断预定部23被切断。

切断时产生的切屑经第二、第三抽吸孔52、53而被排出。因此，抽吸孔52、53兼起到向下方抽吸基板10的作用和抽吸切屑的作用。

在以上步骤中，图1所示的基板10的第一切断预定部21至第十切断预定部31全部被切断。

下面，对将高速旋转的工具58三维地(x-y-z方向)移动的基板切断装置60的优选例进行说明。

如图4所示，基板切断装置60具备：工作台63，其划分出下室61和上室62并支撑切断夹具40；装置外壳64，其具备该工作台63；门65，其开关自如地被设置在该装置外壳64，在切断作业时被关闭，在取出放入基板时被打开；连结部件66，其覆盖切断夹具40的下方；第一管道67，其从该连结部件66延伸并穿过下室61而向装置外壳64外延伸；排气机构68，其设置在第一管道67的末端；多孔板71，其配置在切断夹具40的周围并被固定于工作台63；箱型的腔室72，其覆盖该多孔板71的下方；第二管道73，其从该腔室72延伸而与第一管道67连接；挡板74，其设置在该第二管道73的出口附近，将第一管道67和第二管道73选择性地堵塞；致动器75，其驱动该挡板74；y轴轨道76，其设置在工作台63上方并从门65侧向里水平地延伸；y轴滑动件77，其能够水平移动地被嵌于该y轴轨道76；y轴移动马达78，其使该y轴滑动件77移动；支柱81，其从y轴滑动件77向上延伸；x轴轨道82，其从该支柱81的上部向附图表里方向延伸；x轴滑动件83，其能够水平移动地被嵌于该x轴轨道82；x轴移动马达(图5中标号84)，其使该x轴滑动件83移动；z轴轨道86，其被固定于x轴滑动件83并上下延伸；z轴滑动件87，其能够垂直移动地被嵌于该z轴轨道86；z轴移动马达88，其使该z轴滑动件87移动；支架91，其以旋转轴处于铅垂的方式被安装于z轴滑动件87，并将工具58支撑成旋转自如；工具旋转马达92，其使工具58高速旋转；以及控制部93，其对四个马达78、84、88、92和致动器75进行控制。

另外，在实施例中，在第一管道67的末端设置排气机构68，将第二管道73的末端连接于第一管道67的中途，但也可以这样：在第二管道73的末端设置排气机构68，并将第一管道67的末端连接于第二管道73的中途。或者，也可以从排气机构68延伸出公共管道并将第一管道67和第二管道73连接于该公共管道。

要点是，将第一管道67和第二管道73直接或间接地连接于排气机构68并始终通过挡板74堵塞一方管道即可，管道可自由设计。

连结部件66是将切断夹具40与第一管道67连结起来的部件，形态任意，但在切断夹具40是矩形、第一管道67是较小径的管的情况下，优选的是流路面积(截面积)朝向第一管道67逐渐变小的棱锥管。

排气机构68优选真空泵或排气送风机，但也可以是利用高压空气产生真空的喷射式真空产生装置。

此外，设置在多孔板71上的孔的形状可以是圆形、方形、棱形中的任一形状。孔的直径任意。此外，多孔板71除了可以是金属冲压件以外，也可以是格栅(格子)、网眼(网)，若是含有空气通路的板体，则形状、形态任意。

通过x马达负荷监视部95监视由x马达驱动器94驱动的x轴移动马达(图5中标号84)的负荷值。同样地，通过y马达负荷监视部97监视由y马达驱动器96驱动的y轴移动马达78的负荷值，通过z马达负荷监视部99监视由z马达驱动器98驱动的z轴移动马达88的负荷值，通过工具旋转马达负荷监视部102监视由工具旋转马达驱动器101驱动的工具旋转马达92的负荷值。

另外，x轴移动马达的负荷值可以采用x轴移动马达的负荷电流、或者基于该负荷电流的值等负荷值。此外，也可以在x轴移动马达的马达轴安装转矩传感器并根据负荷转矩求出负荷值。即，若是作用于马达的负荷值，则形态任意。其它负荷值也同样。

控制部93内置有判定部103，通过x马达负荷监视部95监视的x轴移动马达的负荷值和通过y马达负荷监视部97监视的y轴移动马达的负荷值被读入到判定部103。判定部103的作用在后面描述。

如图5所示，矩形的切断夹具40配置在工作台63的大致中央，该切断夹具40被多孔板71围绕。在工作台63的一边铺设有y轴轨道76，通过嵌于该y轴轨道76的y轴滑动件77支撑x轴轨道82，z轴轨道86被安装于x轴滑动件83，该x轴滑动件83嵌于该x轴轨道82，支架91被安装于z轴滑动件87，该z轴滑动件87嵌于该z轴轨道86。通过x轴移动马达84、y轴移动马达78、z轴移动马达88使支撑工具的支架91沿x轴、y轴和z轴三维地移动并被定位。

下面，对由以上结构构成的基板切断装置60的作用进行说明。

在图6中，在ST(步骤号码。下面，同样)01中，在判定部(图4中标号103)预先设定x轴移动马达的负荷阈值LxMax，并且预先设定y轴移动马达的负荷阈值LyMax。切断基板，积累负荷值，参考积累数据来确定负荷阈值LxMax、LyMax。

接着，发出将基板切断的指令(ST02)。这样，开始切断基板。通过x马达负荷监视部监视x轴移动马达的负荷值Lxa，并读入到判定部，并且，通过y马达负荷监视部监视y轴移动马达的负荷值Lya，并读入到判定部(ST03)。

通过判定部判定x轴移动马达的负荷值Lxa是否在负荷阈值LxMax以下(ST04)。若为否，则判定为x轴移动马达的负荷值Lxa超过负荷阈值LxMax，并输出x轴超负荷错误信息(ST05)。此时，工具尚未折断。在x轴超负荷错误信息被输出时，优选进行“x轴异常”等显示，并发出通知异常的声音。

在ST04中，若判定为x轴移动马达的负荷值Lxa在负荷阈值LxMax以下，则进入到ST06，通过判定部判定y轴移动马达的负荷值Lya是否在负荷阈值LyMax以下。若为否，则判定为y轴移动马达的负荷值Lya超过负荷阈值LyMax，并输出y轴超负荷错误信息(ST07)。此时，工具尚未折断。在y轴超负荷错误信息被输出时，优选进行“y轴异常”等显示，并发出通知异常的声音。

在ST05和ST07中均对未输出超负荷错误信息进行确认(ST08)。若未输出超负荷错误信息，则为否，因此，在ST09中停止基板切断装置。

若在ST08中确认到未输出超负荷错误信息，则进入到ST10，检查是否完成切断作业，在继续切断作业的情况下，回到ST02。

即，虽然通过图4所示的控制部93控制所有的马达78、84、88、92，但在监视负荷值而判定正常/异常时，读入x轴移动马达的负荷值Lxa和y轴移动马达的负荷值Lya，并与阈值比较来进行判定。

由于读入信息少，因此能够迅速地进行比较运算，能够在工具折断前迅速地使装置停止。

此外，若如以往的技术那样仅监视主轴马达的负载，则不清楚在x轴、y轴、z轴、旋转轴的哪处有问题。在这方面，根据本发明，能够通过ST05、ST07判别问题存在于x轴和y轴中的哪一个。由于能够确定异常部位，因此能够容易采取对策。

以上的发明着眼于工具利用侧面将基板切断的情况。即，若侧面磨损，则所谓的锋利度逐渐变差。若在锋利度变差的状态下仍使工具按一定速度前进，则前进阻力增加。其结果是，x轴移动马达的负荷值Lxa和y轴移动马达的负荷值Lya增加。

另一方面，虽然由于工具的磨损而使工具旋转马达的负荷值增加，但由于在旋转，因此负荷的变化变得稳定。因此，监视x轴移动马达的负荷值Lxa和y轴移动马达的负荷值Lya更能够提前使装置停止。

另外，x轴移动马达的负荷值Lxa和y轴移动马达的负荷值Lya的增加除了由于如上所述地工具的锋利度变差的状态以外、当然也由于x轴自身的动作异常(超负荷)或者y轴自身的动作异常(超负荷)而产生。

此外，即使工具的磨损进一步发展，z轴移动马达的负荷值也几乎不变化。

但是，不妨碍辅助地监视工具旋转马达的负荷值及z轴移动马达的负荷值并监视负荷值的增加。

在该情况下，向图4中的判定部103还输入工具旋转马达的负荷值及z轴移动马达的负荷值。并且，实施图7所示的流程。

在图7中，在ST21中，在判定部预先设定x轴移动马达的负荷阈值LxMax，并预先设定y轴移动马达的负荷阈值LyMax，并预先设定z轴移动马达的负荷阈值LzMax，并预先设定工具旋转马达的负荷阈值LwMax。

另外，根据通过人为地将工具的末端触碰到基板而监视的负荷值来确定负荷阈值LzMax。切断基板，积累负荷值，并参考积累数据来确定负荷阈值LwMax。

接着，发出将基板切断的指令(ST22)。这样，开始切断基板。通过x马达负荷监视部监视x轴移动马达的负荷值Lxa，通过y马达负荷监视部监视y轴移动马达的负荷值Lya，通过z马达负荷监视部监视z轴移动马达的负荷值Lza，通过工具旋转马达负荷监视部监视工具旋转马达的负荷值Lwa，并将各负荷值读入到判定部(ST23)。

通过判定部判定x轴移动马达的负荷值Lxa是否在负荷阈值LxMax以下(ST24)。若为否，则判定为x轴移动马达的负荷值Lxa超过负荷阈值LxMax，并输出x轴超负荷错误信息(ST25)。此时，工具尚未折断。在x轴超负荷错误信息被输出时，优选进行“x轴异常”等显示，并发出通知异常的声音。

在ST24中，若判定为x轴移动马达的负荷值Lxa在负荷阈值LxMax以下，则进入到ST26，通过判定部判定y轴移动马达的负荷值Lya是否在负荷阈值LyMax以下。若为否，则判定为y轴移动马达的负荷值Lya超过负荷阈值LyMax，并输出y轴超负荷错误信息(ST27)。此时，工具尚未折断。在y轴超负荷错误信息被输出时，优选进行“y轴异常”等显示，并发出通知异常的声音。

通过判定部判定z轴移动马达的负荷值Lza是否在负荷阈值LzMax以下(ST28)。若为否，则判定为z轴移动马达的负荷值Lza超过负荷阈值LzMax，并输出z轴超负荷错误信息(ST29)。此时，工具尚未折断。在z轴超负荷错误信息被输出时，优选进行“z轴异常”等显示，并发出通知异常的声音。

在ST28中，若判定为z轴移动马达的负荷值Lza在负荷阈值LzMax以下，则进入到ST30，通过判定部判定工具旋转马达的负荷值Lwa是否在负荷阈值LwMax以下。若为否，则判定为工具旋转马达的负荷值Lwa超过负荷阈值LwMax，并输出工具旋转轴超负荷错误信息(ST31)。此时，工具尚未折断。在工具旋转轴超负荷错误信息被输出时，优选进行“工具旋转轴异常”等显示，并发出通知异常的声音。

在ST25、ST27、ST29和ST31中均对未输出超负荷错误信息进行确认(ST32)。若未输出超负荷错误信息，则为否，因此，在ST33中停止基板切断装置。

若在ST32中确认到未输出超负荷错误信息，则进入到ST34，检查是否完成切断作业，在继续切断作业的情况下，回到ST22。

另外，在反复进行细致的试验运转后实施的生产运转中，工具的末端面碰撞到基板的概率极低。因此，在ST21中，省去z轴移动马达的负荷阈值LzMax的设定，在ST23中，省去z轴移动马达的负荷值Lza的读入，可省略ST28～ST29。通过减少步骤的数量，从而能够缩短判定时间。

下面，对挡板74的作用进行说明。

在图4中，控制部93通过致动器75驱动挡板74，并将第一管道67和第二管道73中的一方关闭。

然而，以往的基板切断装置不具备多孔板71、腔室72、第二管道73、挡板74和致动器75。

本发明的装置60具备多孔板71、腔室72、第二管道73、挡板74和致动器75，并且，切断夹具40具备连结部件66，并具备第一管道67和排气机构68。

在本发明中，在切断夹具40上载置有基板时、即在切断工序时使排气机构68成为运转状态，在切断夹具40上未载置基板时、即在非切断工序时也使排气机构68运转。通过图8所示的时间图对以上的作用进行说明。

在图8(a)所示的比较例中，在将第一张基板切断期间，使排气机构运转，抽吸切屑。在更换基板时，使排气机构停止。以后，重复进行。具有这样的优点：能够节约作为排气机构的驱动源的马达消耗的电能。

另一方面，作为将向马达的通电接通和断开的开关功能部件的磁力继电器的切换频率增高，需要定期地更换磁力继电器。在马达方面，也高频率地进行起动、停止，因此，寿命变短，或者需要耐运转的那样的高性能的马达。

并且，在比较例中，在图4中，虽然切屑的大部分经排气孔49而被排出，但可知切屑的一部分由于高速旋转的工具58的离心力而向基板10的上方空间(上室62)分散、浮游。由于该浮游物堆积在切断夹具40的周围，因此需要定期地进行清扫。

希望减轻对马达及磁力继电器的负担和针对浮游物的对策。在图8(b)中对该对策示例进行说明。

在图8(b)所示的实施例中，在将第一张基板切断期间，通过挡板将第二管道关闭，使第一管道成为连通状态，运转排气机构，抽吸切屑。在更换基板时，通过挡板将第一管道关闭，使第二管道成为连通状态，运转排气机构。这样，浮游物通过多孔板71而被抽吸到腔室72中，并经第二管道73而被排出。排气机构连续地运转。

由于起动停止的频率低，因此能够增长磁力继电器的寿命，并且还能够减轻马达的负担。由于浮游物始终被去除，因此切断夹具40的周围变得干净，无需作业人员进行清扫作业。

可如下总结以上说明的基板切断装置的运转方法。

即，在图8(b)中，在更换基板时，第一管道被关闭、第二管道被打开、排气机构运转时实施如下的浮游物排出工序：在将完成切断的基板从切断夹具取下并将下一基板载置到切断夹具上时，向切断夹具的周围飞散或浮游的切屑经多孔板并通过排气机构被排出。

此外，在图8(b)中，在更换基板时以外的期间实施如下的基板切断工序：利用工具将基板切断，在该切断中产生的切屑经切断夹具并通过排气机构被排出。在更换基板时以外的期间，例如，第一张板被切断，第二管道被关闭，第一管道被打开，排气机构运转。

由此，能够连续地运转排气机构。

由于使排气机构连续地运转，因此，磁力继电器的通断频率格外变低，能够大幅地延长磁力继电器的寿命，能够大大降低部件更换成本。并且，由于在浮游物排出工序中强制地将浮游物排出，因此无需担心浮游物附着于基板。

另外，在着眼于在切断夹具周围分散或浮游的切屑的去除对策的情况下，可断续地运转排气机构。即，重要的是在切断夹具的周围配置多孔板，经该多孔板而将浮游的切屑向排气机构抽吸即可，在基板切断工序中使排气机构运转一定时间，然后停止，在下一浮游物排出工序中使排气机构运转一定时间，然后停止，即使是这样的运转也能够实施切屑的去除。

如图9所示，工具58由柄105和从该柄105延伸的刃部106构成，在刃部106设置有螺旋状的切屑排出槽107。切屑沿切屑排出槽107呈螺旋状地移动，即向轴向移动并从末端被排出。

如图10所示，新品的工具58的外径是D1，切屑排出槽107的深度是g1。

当用于切削时，外周面磨损，外径减少。使用后的工具的外径D2变得小于D1。在使用后的工具中，切屑排出槽的深度成为小于g1的g2。即，供切削的使用时间越长，切屑排出槽107变得越浅。

图11(a)所示的工具58是新品，通过高速旋转并前进，从而在基板10形成切断槽108。切屑109容纳到深度为g1的切屑排出槽107中并沿附图表里方向流动，因此不会从切屑排出槽107溢出。

另一方面，图11(b)所示的工具58外周的磨损进一步发展，切屑109从深度为g2的切屑排出槽107溢出。溢出的部分112的切屑109附着于切断槽108的切断面而变成异物111。由附着于切断面的切屑形成的异物111使产品品质降低，因此需要采取对策。

以往，寻求出如下的对策：从径外方朝向切屑排出槽107的底部喷射高压空气而将切屑109排出。本发明人尝试后，发现该对策效果极差。

因此，本发明人利用高速摄像机拍摄了图11(b)中的形态，对图像进行了分析。根据图像可观察到：产生的切屑109在以每分钟几万转旋转的工具58(准确地说是刃部106)的表面与空气层一同连带着旋转。连带旋转的层的厚度是2.0mm左右。可以考虑到，即使从径外方朝向中心喷射空气，该空气流也被2.0mm的层阻碍，无助于切屑109的去除。

因此，改变构思，考虑与其去除积存在切屑排出槽107中的切屑109、不如直接去除残留在切断面上的异物111。

因此，制成图12所示的模型而进行了实验。即，在支架(图4中标号91)附设了围绕刃部106的喷射筒114。并且，改变喷射筒114的喷嘴115的直径。根据(喷嘴115的直径-刃部106的外径)÷2＝间隙G的算式求出间隙G。

○实验条件：

基板：厚度1.6mm的安装用基板

刃部的外径：2.0mm

工具的旋转速度：每分钟40000转

空气的压力(通过压力计116测量的计示压力)：0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa

喷射筒的喷嘴的直径：5mm、6mm、7mm、8mm、9mm、10mm、12mm

表1中示出了实验的结果

[表1]

×：残余切屑

○：去除切屑

○是良好，Х是不合格。(喷嘴直径-2.0mm)÷2＝间隙G。

若间隙G是2.5mm～5.0mm的范围，则结果是○。若间隙G是2.0mm以下，则结果是×。

可以说，由于空气向形成于刃部106的表面的2.0mm的层(切屑和空气的层)的外侧流动，因此能够利用该空气流去除异物111。

另外，如图11(b)所示，异物111的位置基本确定，但工具58的移动方向未确定。因此，空气流为环状流。若是环状，则不会受移动方向影响，能够使空气流可靠地碰到异物111。

此外，间隙G也可以超过5.0mm，但由于供给的空气量增大，因此以5.0mm为上限。此外，空气的压力若为0.2～0.4MPa，则能够使用所谓的工厂空气，因此是优选的。

下面，研究延长工具58的寿命。

如图13所示，工具58由柄105和刃部106构成，刃部106的长度约为6mm。基板的厚度为1.6mm，因此，相对于基板的厚度，刃部106足够长。

因此，将刃部106从末端朝向基部地划分成多个刀头段St1～St3。在实施例中，多个刀头段由第一刀头段St1、第二刀头段St2、第三刀头段St3构成。但是，刀头段的数量除3以外，也可以是2或4以上。

可以利用图4所示的z轴移动马达88变更工具58的高度。通过流程图对采用该z轴移动马达88实施的刀头段切换步骤进行说明。

在图14的ST41中，将规定刀头段的段位置的n值清空。接着，赋予n为“1”(ST42)。这样，选择第一刀头段St1，控制部在基板的高度(level)设置第一刀头段St1(ST43)。开始对第一张基板进行切断(ST44)。

如图1所示，每一张基板10存在第1至第10切断预定部21～31。因此，在ST45中，使第一张基板的切断预定部(例如10处)全部被切断。在全部被切断后进入下一步骤。

赋予n为“2”(ST46)。这样，选择第二刀头段St2，控制部在基板的高度设置第二刀头段St2(ST47)。开始对第二张基板进行切断(ST48)。在ST49中，使第二张基板的切断预定部全部被切断。在全部被切断后进入下一步骤。

赋予n为“3”(ST50)。这样，选择第三刀头段St3，控制部在基板的高度设置第三刀头段St3(ST51)。开始对第三张基板进行切断(ST52)。在ST53中，使第三张基板的切断预定部全部被切断。在全部被切断后进入下一步骤。

对下一第四张基板使用第一刀头段St1。

因此，赋予n为“1”(ST54)。这样，选择第一刀头段St1，控制部在基板的高度设置第一刀头段St1(ST55)。开始对第四张基板进行切断(ST56)。在ST57中，使第四张基板的切断预定部全部被切断。在全部被切断后进入下一步骤。

对下一第五张基板使用第二刀头段St2。

因此，赋予n为“2”(ST58)。这样，选择第二刀头段St2，控制部在基板的高度设置第二刀头段St2(ST59)。开始对第五张基板进行切断(ST60)。

以上流程的刀头段与被切断处理的基板之间的关系如表2所示。

[表2]

从均使用三个第一刀头段St1～第三刀头段St3的观点来看，还推荐下面所示的表3中的循环。

[表3]

若是表3，则能够缩短z轴方向上的工具的移动距离。即，在表2中，在从第三刀头段St3向第一刀头段St1移动时移动距离变长，但在表3中，由于始终向相邻的刀头段移动，因此移动距离变短。

另外，在实施例中，将基板10的左右边切离而成为两张，但也可以将本发明方法应用于将一张基板10分割成例如2张以上的多张的切断。

此外，在实施例中，作为排气机构68的驱动源，在真空泵或排气送风机的情况下采用了马达，但在喷射式真空装置的情况下，也可以采用对高压空气的供给进行切换的螺线管(电磁阀)。

此外，在实施例中，作为将排气机构68的驱动源的动作接通和断开的开关功能部件，以磁力继电器作为一个示例进行了说明，但不限于此，开关功能部件中还包括电源开关及启动开关。

产业上的可利用性

本发明适合于对切断基板时产生的切屑的处理重视的切削装置。

Claims (4)

1.一种基板切断装置的运转方法，上述基板切断装置具备：切断夹具，其载置基板；多孔板，其配置在该切断夹具的周围；工具，其将上述基板切断；以及排气机构，其经上述切断夹具或上述多孔板对该工具产生的切屑进行抽吸，上述基板切断装置的运转方法的特征在于，包括如下工序：

基板切断工序，利用上述工具将上述基板切断，在该切断中产生的切屑经上述切断夹具被上述排气机构排出；以及

浮游物排出工序，在将完成切断的上述基板从上述切断夹具取下并将下一基板载置到上述切断夹具上时，向上述切断夹具的周围飞散或浮游的切屑经上述多孔板被上述排气机构排出。

2.根据权利要求1所述的基板切断装置的运转方法，其特征在于，

顺次地重复进行上述基板切断工序和上述浮游物排出工序，并且连续地运转上述排气机构。

3.一种基板切断装置，其特征在于，

上述基板切断装置具备：

切断夹具，其载置基板；

工具，其将上述基板切断；

工作台，其支撑上述切断夹具；

装置外壳，其以由该工作台划分出上室和下室的方式收纳上述工作台；

连结部件，其覆盖上述切断夹具的下方；

第一管道，其从该连结部件延伸；

多孔板，其以围绕上述切断夹具的方式设置于上述工作台；

腔室，其覆盖该多孔板的下方；

第二管道，其从该腔室延伸；

排气机构，其与上述第一管道和上述第二管道连接并产生负压；

挡板，其将上述第一管道和上述第二管道中的一方堵塞；

致动器，其使该挡板摆动；以及

控制部，在利用上述工具切断上述基板时，上述控制部通过上述挡板堵塞上述第二管道，在更换上述基板时，上述控制部通过上述挡板堵塞上述第一管道。

4.根据权利要求3所述的基板切断装置，其特征在于，

上述控制部连续地运转上述排气机构。