JP5480519B2 - 樹脂塗布装置 - Google Patents
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Description
(1)樹脂塗布装置の構成
図1および図2は、円板状の半導体ウェーハ(以下、ウェーハと略称)1の表面(一の面)に液状の樹脂を塗布して薄膜を形成する一実施形態に係る樹脂塗布装置10を示している。ウェーハ1は、厚さが例えば100〜700μm程度であって、表面には格子状の分割予定ラインにより多数の矩形状のチップ2が区画されている。各チップ2の表面には、図示せぬICやLSI等の電子回路が形成されている。
なお、以下では第1のノズル51、第2のノズル52、第3のノズル53を、それぞれ樹脂ノズル(樹脂供給手段)51、エアノズル52、洗浄水ノズル(洗浄水供給手段)53と称する。
次に、上記樹脂塗布装置10の動作を説明する。
(2−1)樹脂のスピンコート
予めバキューム装置が運転され、かつ、ウェーハ受け渡し位置に上昇して待機しているスピンナテーブル40上に、適宜な搬送手段によって搬送されたウェーハ付きフレーム7が同心状に吸着、保持される。続いてスピンナテーブル40が処理位置に下降し、樹脂ノズル51が内側に旋回して樹脂ノズル51の先端がウェーハ1の中心付近の直上に位置付けられる。
樹脂塗布工程を終えたら、スピンナテーブル40の回転を続行させたまま、一体となっているエアノズル52と洗浄水ノズル53をウェーハ1上において往復旋回させながら、乾燥エアを、エアノズル52の先端からウェーハ1の表面に塗布された樹脂Pに吹き付けて該樹脂Pを乾燥させる。乾燥時もスピンナテーブル40を回転させるが、回転速度は樹脂塗布工程の時よりも速い方が速やかに乾燥するので好ましいので、例えば100〜3000rpmに回転速度を増してスピンナテーブル40を回転させる。これにより樹脂Pは硬化して保護膜となる。
ウェーハ1にレーザダイシング加工が施されたら、ウェーハ付きフレーム7は再び樹脂塗布装置10に供給され、次のようにしてウェーハ1の表面に形成された保護膜が除去されて洗浄される。
以上は樹脂塗布装置10のメインの動作、すなわちウェーハ1に樹脂Pを塗布し乾燥させて保護膜を形成し、また、形成した保護膜をレーザダイシング後に除去してウェーハ1を洗浄するといった動作である。本装置10においては、上記メインの動作中においてケーシング20内に発生する樹脂Pと洗浄水Wのミストをケーシング20の外部に排出するとともに捕獲するといった機能を有しており、以下にその作用を説明する。
上記メインの動作中においては、吸引源72を連続的に運転させておく。吸引源72が運転されることにより、ケーシング20内の空気を含む流体は、常に、排気口23から排気管70に導かれ、チャンバー部81内を通過して外部に排出される。
次に、レーザダイシングされたウェーハ1を再び本装置10にセットして保護膜の除去および洗浄を行う工程においては、回転するウェーハ1にかけられる洗浄水Wが飛散してミスト化する場合がある。
樹脂ミストおよび洗浄水ミストを捕獲するミスト捕獲部は、上記傾斜板85といった形態に限定はされず、ミストを的確に捕獲可能なものであればいかなる形態であってもよい。図7は、チャンバー部81の第1の開口部82aから第2の開口部82bにわたり互いに重畳して配設された複数の重畳板91が、ミスト捕獲部を構成している。チャンバー部81内は、これら重畳板91によって上流側室81aと下流側室81bに仕切られ、重畳板91の間に、空気を通過させる気体通路92が迷路状(ジグザグ状)に形成されている。この形態では、樹脂ミストおよび洗浄水ミストは主に最も下方の重畳板91の下面に衝突することにより捕獲され、迷路状の気体通路92を通っていく間にも、順次重畳板91の下面に付着して捕獲されていく。そして、空気は気体通路92を通って上方に抜けていく。
10…樹脂塗布装置
20…ケーシング(筐体)
21…側壁部
22…底部
23…排気口
40…スピンナテーブル(保持手段、吸着テーブル)
42a…吸着部の上面(保持面)
51…樹脂ノズル(樹脂供給手段)
53…洗浄水ノズル(洗浄水供給手段)
70…排気管
71…鉛直部(流体上昇部)
72…吸引源
80…気液分離手段
81…チャンバー部
82a…第1の開口部
82b…第2の開口部
85…傾斜板(ミスト捕獲部)
91…重畳板(ミスト捕獲部)
92…気体通路
95,96…網状板(ミスト捕獲部)
95b,96b…孔(気体通路)
P…樹脂
P1…傾斜板に堆積した樹脂
P2…傾斜板から落下する樹脂溶液
Claims (3)
- 板状のワークの一の面に液状の樹脂を塗布する樹脂塗布装置であって、
排気口を有する筐体と、
該筐体内に収容され、前記一の面が露出する状態に前記ワークを保持する保持面を有する保持手段と、
前記保持面に保持された前記ワークの前記一の面に前記液状の樹脂を供給する樹脂供給手段と、
前記保持面に保持された前記ワークに洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、
前記筐体の前記排気口と吸引源とを連通させて、該筐体内の流体を該吸引源に導く排気管と、
該排気管の途中に設けられ、該排気管を流れる前記流体中に含まれる前記筐体内で発生したミストを捕獲するミスト捕獲部を有する気液分離手段と、
を備え、
前記ミスト捕獲部では、前記保持手段で保持された前記ワークに前記樹脂供給手段によって液状の樹脂が供給される際に生じる樹脂ミストが捕獲されるとともに、前記保持手段で保持された前記ワークに前記洗浄水供給手段によって洗浄水が供給される際に生じる洗浄水ミストが捕獲され、該洗浄水ミストによって該ミスト捕獲部に捕獲された前記樹脂ミストが洗浄されること
を特徴とする樹脂塗布装置。 - 前記ミスト捕獲部は、上下方向に対し傾斜して配設されて前記ミストが衝突させられる傾斜板からなり、該傾斜板の前記ミストの進行方向から外れた側縁部に、気体通路が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂塗布装置。
- 前記保持手段は、前記保持面に前記ワークの他の面を吸着して保持する円板状の吸着テーブルであり、
前記筐体は、前記吸着テーブルの外周部を囲繞する側壁部と、該吸着テーブルの下側に配設され、該側壁部の下部開口を閉塞する底部とを有する筒状を呈し、前記排気口は該側壁部に形成されており、
前記排気管は、上流側が下側、かつ、下流側が上側とされた上下方向に延びる流体上昇部を有しており、
前記気液分離手段は、
該流体上昇部の途中に配設されたチャンバー部と、
該チャンバー部に形成されて前記排気管の上流側に開口する第1の開口部と、
該チャンバー部に形成されて前記排気管の下流側に開口する第2の開口部と、
該チャンバー部内に配設されて該第1の開口部から該チャンバー部内に流入した前記ミストが衝突させられる前記傾斜板と、
該傾斜板の側縁部に形成されて、前記流体中の気体を前記第1の開口部から前記第2の開口部に流通させる前記気体通路と、
を有することを特徴とする請求項2に記載の樹脂塗布装置。
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