JP5345955B2 - 無接着剤フレキシブルラミネート - Google Patents

無接着剤フレキシブルラミネート Download PDF

Info

Publication number
JP5345955B2
JP5345955B2 JP2009552395A JP2009552395A JP5345955B2 JP 5345955 B2 JP5345955 B2 JP 5345955B2 JP 2009552395 A JP2009552395 A JP 2009552395A JP 2009552395 A JP2009552395 A JP 2009552395A JP 5345955 B2 JP5345955 B2 JP 5345955B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coat layer
layer
tie coat
metal
flexible laminate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009552395A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2009098832A1 (ja
Inventor
修仁 牧野
章人 保倉
肇 稲住
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JX Nippon Mining and Metals Corp
Original Assignee
JX Nippon Mining and Metals Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JX Nippon Mining and Metals Corp filed Critical JX Nippon Mining and Metals Corp
Priority to JP2009552395A priority Critical patent/JP5345955B2/ja
Publication of JPWO2009098832A1 publication Critical patent/JPWO2009098832A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5345955B2 publication Critical patent/JP5345955B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B15/08Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/388Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of a metallic or inorganic thin film adhesion layer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B15/08Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • B32B15/088Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin comprising polyamides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/032Organic insulating material consisting of one material
    • H05K1/0346Organic insulating material consisting of one material containing N
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0137Materials
    • H05K2201/0154Polyimide
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/09Treatments involving charged particles
    • H05K2203/095Plasma, e.g. for treating a substrate to improve adhesion with a conductor or for cleaning holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/381Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the substrate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12556Organic component
    • Y10T428/12569Synthetic resin

Description

本発明は、フレキシブルプリント基板、TAB、COF等の電子部品の実装素材として用いられる無接着剤フレキシブルラミネートに関する。
ポリイミドフィルムに、主として銅からなる金属導体層を積層したFCCL(Flexible Copper Clad Laminate)は電子産業における回路基板の素材として広く用いられている。中でも、ポリイミドフィルムと金属層との間に接着剤層を有しない無接着剤フレキシブルラミネート(特に、二層メタライジング積層体)は、回路配線幅のファインピッチ化に伴い注目されている材料である。
無接着剤フレキシブルラミネート、特にファインピッチに対応した無接着剤フレキシブルラミネートの製造に際して、ポリイミドフィルム上にスパッタリング、CVD、蒸着などの乾式法により、ポリイミドとの接着が良好な材料から構成されるタイコート層および次工程の電気メッキにおけるカソード兼電流の導電体として働く金属シード層を予め形成し、次いで電気めっきにより回路基板の導体層となる金属層を製膜する、いわゆるメタライジング法が主に行われている(特許文献1参照)。
このメタライジング法においては、金属層とポリイミドフィルムとの密着力を高めるために、金属層を形成するに先立ち、ポリイミドフィルム表面をプラズマ処理により、表面の汚染物質の除去ならびに表面粗さの向上を目的として改質を行うことが行われている(特許文献2及び特許文献3参照)。
このメタライジング法においては、一般に、ポリイミドフィルム上にスパッタリングなどの乾式メッキ法により金属層を予め形成する際に、中間層の材料の選択により、密着性やエッチング性を改良する工夫がなされているが(特許文献4参照)、回路形成時の熱処理や使用環境での長期信頼性などの観点から、さらに改善が必要である。しかし、十分な改良がなされているところに至っていないのが現状である。
特許第3258296号公報 特許第3173511号公報 特表2003−519901号公報 特開平6−120630号公報
本願発明は、無接着剤フレキシブルラミネート(特に、二層メタライジング積層体)の金属層とポリイミドフィルムの密着力を高めることを課題とするものである。
上記の課題に鑑み、本発明は以下の発明を提供するものである。
少なくとも一方の面をプラズマ処理されたポリイミドフィルムと、プラズマ処理された面に形成したタイコート層と、タイコート層上に形成した金属導体層からなる無接着剤フレキシブルラミネートであって、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比ρ/ρtが、ρ/ρt>0.6、さらに望ましくはρ/ρt>0.7であることを特徴とする無接着剤フレキシブルラミネートを提供する。
タイコート層としては、ニッケル、クロム、コバルト、ニッケル合金、クロム合金、コバルト合金のいずれか1種を使用することができる。これらはいずれもポリイミドフィルム層と金属導体層との密着性を高めることができる材料であり、さらに回路設計に際してエッチングが可能である。これらの材料は、無接着剤フレキシブルラミネートの作製に際して有用である。
しかし、本願発明の主眼はタイコート層の密度、ひいてはタイコート層とポリイミドの接触面積を増大させることによる密着力向上であり、材料固有の特性に依存するものではないので、上記以外の材料の選択は、本願発明において否定されるものでないことは理解されるべきことである。
金属シード層および金属導体層としては、銅または銅合金を使用することができる。これも同様に他の材料の選択を否定するものではない。
本願発明において、最も重要なことは、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比、ρ/ρt>0.6、さらに好ましくは、ρ/ρt>0.7とすることである。これによって、無接着剤フレキシブルラミネートの密着力を高めることが可能となる。
本願発明は、少なくとも一方の面をプラズマ処理されたポリイミドフィルムと、プラズマ処理された面に形成したタイコート層と、タイコート層上に形成した金属導体層からなる無接着剤フレキシブルラミネートであって、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比、ρ/ρtをρ/ρt>0.6とすることによって、ポリイミドフィルムと金属層間の積層後の密着力を高めることが可能であるという優れた効果を有する。
次に、本願発明の具体例について説明する。なお、以下の説明は本願発明を理解し易くするためのものであり、この説明に発明の本質を制限されるものではない。すなわち、本発明に含まれる他の態様または変形を包含するものである。
ポリイミドフィルムの少なくとも一方の面にタイコート層を、さらにその表面に金属導体層を形成することにより、無接着剤フレキシブルラミネートを作製することを、基本とする。ここで、ポリイミドフィルム表面をプラズマ処理することにより、表面の汚染物質の除去と表面の改質を行う。
次に改質したポリイミド表面にタイコート層と、その上に金属シード層をスパッタリングにより形成する。次いで電気めっきにより回路基板の導体層となる金属層を製膜する。その際、本願発明者は、スパッタリング条件を種々変更することによって、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比、ρ/ρtが異なることを見出し、それらのサンプルの密着強度を測定した結果、ρ/ρtが密着力に重要であることを見出した。
タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比、ρ/ρtが1であれば、タイコート層は完璧に形成され全く隙間がないため、ポリイミドとタイコート層は全面で接触し、理論的な最密接触面積となっている。
一方、ρ/ρt<1であるということは、タイコート層中に空隙が生じていることになり、その空隙がタイコート層中ではなくタイコート層のポリイミドと接する領域に形成された場合は、タイコート層とポリイミドの実効的な接触面積の低下となる。
タイコート層とポリイミドの密着の強度は、接触部分の結合の強度×接触面積であるから、接触面積の減少はすなわち密着強度の減少である。したがってρ/ρt=1が最適なタイコート層であることは自明であるが、現実の工業的なスパッタリング技術を考えるときρ/ρt=1であることは考えにくい。
また、ρ/ρt=1でないからといって、それがすぐに実効的な接触面積の低下につながるわけではない。
その第1の理由はρ/ρt=1でないからといって、生じた空隙が全てタイコート層とポリイミドの界面に生じるわけではないからである。第2の理由は、ポリイミドは高分子鎖からなっておりその1分子は数10nmにおよぶので、タイコート層とポリイミドの界面に空隙が生じたとしてもその空隙がポリイミドの分子鎖よりも小さいものであれば、実効的な接触面積は低下しないとみなせるからである。
本願発明者は、ρ/ρtと密着力の関係を鋭意検討した結果、ρ/ρt<0.6では密着力が低下した。この場合、接着力に影響を与えるレベルの空隙がタイコート層とポリイミドの界面に生じていることが分った。この関係を見出したことが、本願発明における大きな要因となっている。
ポリイミドフィルムをプラズマ処理した面にタイコート層及び金属導体層を形成した無接着剤フレキシブルラミネートのポリイミドフィルムと金属層間の積層後の密着力については、一般に「ピール強度」として測定するが、このピール強度は、ρ/ρt=0.6を境に、それ以上の時に上昇する。
ピール強度が十分強い場合、剥離はポリイミド内部で生じる。これを、通常凝集破壊と称している。これは、金属/ポリイミド界面の密着力がポリイミド自体の強度より強いためである。一方、タイコート層とポリイミドの接触面積が減少すると、非接触領域は、その部位(界面)で簡単に剥離するので、金属/ポリイミド界面近傍の剥離(界面破壊)とポリイミド内部での剥離(凝集破壊)の混在モードとなり、常態ピールが低下する。
本願発明は、プラズマ処理されたポリイミドフィルムと、プラズマ処理された面に形成したタイコート層と、タイコート層上に形成した金属導体層からなる無接着剤フレキシブルラミネートにおけるタイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比ρ/ρtを、ρ/ρt>0.6とすることにより、上記の問題を解決するものである。
スパッタリングにより形成した膜の密度に関しては、Ar圧力、基板温度が影響することは広く知られている。その他にも、スパッタリングにおけるターゲット形状、載置方法、プラズマ放電の電圧、周波数、磁場の強度およびその分布形状等、製造工程における多種の条件およびその相互作用が膜密度に影響を与える。
本発明においては、これらの条件から、好適な条件を選択し、ρ/ρt>0.6を達成するものである。これは、本発明を理解し得る当業者ならば容易に行うことができる条件である。
次に、実施例および比較例に基づいて説明する。なお、本実施例はあくまで一例であり、この例のみに制限されるものではない。すなわち、本発明に含まれる他の態様または変形を包含するものである。
ポリイミドフィルムに使用する材料は、特に制限はない。例えば、宇部興産製ユーピレックス、DuPont/東レ・デュポン製カプトン、カネカ製アピカルなどが上市されているが、いずれのポリイミドフィルムにおいても本発明は適用できる。このような特定の品種に限定されるものではない。本実施例及び比較例では、ポリイミドフィルムとして宇部興産製ユーピレックス-SGAを使用した。
(実施例1)
ポリイミドフィルムを真空装置内にセットし真空排気後、酸素を用いたポリイミドのプラズマ処理を実施した。
続いてタイコート層および金属シード層をスパッタリングにより形成した。タイコート層はNi−20wt%Cr:理論密度で25nm相当、金属シード層はCu:300nmとした。
タイコート層のスパッタリングは、ターゲット−スパッタ間距離:80mmのDCマグネトロン方式、電力密度0.95W/cm、Arガス圧力0.24Paにて行った。
次に、上記の金属シード層の上に電気メッキにより銅からなる金属導体層(厚さ8μm)を形成することにより、二層メタライジング積層体を作製した。
このようにして得られた試料について、密着力を測定した。密着力の測定はJISC6471(フレキシブルプリント配線板用銅張積層板試験方法)により実施した。また、作製した二層メタライジング積層体の、正確に面積が測定されたサンプルの銅層をエッチング除去後、タイコート層をエッチング溶解しその溶液の湿式分析を行って、タイコート層を定量し、理論密度の場合の厚さttを算出した。
次に、作製した二層メタライジング積層体の一部をエッチング液から保護した状態で、残部を金属が完全に除去されポリイミド表面がむき出しになるまでエッチングした。次に、保護用の膜を除去し、硝酸系のエッチング液で残っていた銅層を完全に除去した。
こうして作製したポリイミドフィルム上の一部の領域にタイコート層のみが残っているサンプルを作製し、タイコート層部分とポリイミド部分の段差を測定することによって、タイコート層の実際の厚さtを測定した。
測定は、下記の条件で行った。
装置 島津製作所製 走査型プローブ顕微鏡 SPM-9600
条件 ダイナミックモード
走査範囲 100μm×100μm
画素数 512×512
こうして得られた実際のタイコート層の厚さtと、湿式分析により求めた理論密度における厚さttの比t/ttは、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比ρ/ρtと等しい。
表1に、測定、算出したρ/ρtとそのサンプルのピール強度を示す。すなわち、この表1は、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比、ρ/ρtとピール強度の関係を示す表である。
なお、理論密度については、タイコート層を構成する各成分元素単体の密度と各成分元素の比から算出したもので、Ni密度(8.9mg/m)×0.8+Cr密度(7.2mg/m)×0.2=8.56mg/mを用いた。
表1に示すように、本実施例1ではρ/ρtは0.73であり、このときのピール強度は0.76kN/mとなり、ピール強度は大きく向上した。
タイコート層のスパッタリングの電力密度1.9W/cmに変更した以外は実施例1と同一の方法でサンプルを作製し、二層メタライジング積層体を作製した。得られたサンプルのρ/ρt、およびそのサンプルのピール強度を実施例1と同じ方法で測定した。その結果を、同様に表1に示す。
表1に示すように、本実施例2ではρ/ρtは0.80であり、このときのピール強度は0.74kN/mとなり、ピール強度は大きく向上した。
タイコート層のスパッタリングの電力密度2.9W/cmに変更した以外は実施例1と同一の方法でサンプルを作製し、二層メタライジング積層体を作製した。得られたサンプルのρ/ρt、およびそのサンプルのピール強度を実施例1と同じ方法で測定した。その結果を、同様に表1に示す。
表1に示すように、本実施例3ではρ/ρtは0.90であり、このときのピール強度は0.76kN/mとなり、ピール強度は大きく向上した。
(比較例)
まず、最初にポリイミドフィルムを真空装置内にセットし真空排気後、酸素を用いたポリイミドのプラズマ処理を実施した。続いてタイコート層および金属シード層をスパッタリングにより形成した。
タイコート層はNi−20wt%Cr:25nm、金属シード層はCu:300nmとした。タイコート層のスパッタリングはターゲット−スパッタ間距離:50mmのDCマグネトロン方式、電力密度を2.3W/cm、Arガス圧力0.24Paにて行った。
次に、上記の金属シード層の上に電気メッキにより銅からなる金属導体層(厚さ8μm)を形成することにより、二層メタライジング積層体を作製した。
得られたサンプルのρ/ρt、およびそのサンプルのピール強度を実施例1と同じ方法で測定した。その結果を、同様に表1に示す。
比較例1では、ρ/ρtは0.55であり、ピール強度0.69kN/mであり、実施例1〜3に比べてピール強度が劣っていることが分る。
上記の通り、ρ/ρt>0.6でピール強度が向上し、ピール強度0.70kN/m以上を達成できた。また、表1に示すようにρ/ρt>0.7で、ピール強度が0.70kN/mを超え、ほぼ安定したピール強度を有することが分る。
以上から、タイコート層の密度の向上がピール強度を高める大きな因子であることが分る。すなわち、タイコート層の密度を実測し(ρ)、理論密度(ρt)との比をとり、このρ/ρtを指標とすることにより、確実にピール強度を高めることが可能となるものである。
これによって、ピール強度の高い無接着剤フレキシブルラミネートを製造し、同無接着剤フレキシブルラミネートを得ることが可能となる。
本願発明は、少なくとも一方の面をプラズマ処理されたポリイミドフィルムと、プラズマ処理された面に形成したタイコート層と、タイコート層上に形成した金属導体層からなる無接着剤フレキシブルラミネートであって、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比ρ/ρtを、ρ/ρt>0.6とすること、さらにはρ/ρt>0.7とすることによって、ポリイミドフィルムと金属層間の積層後の密着力を高めることを可能とするものであるが、上記から本願発明の有効性が確認できる。
本願発明は、少なくとも一方の面をプラズマ処理されたポリイミドフィルムと、プラズマ処理された面に形成したタイコート層と、タイコート層上に形成した金属導体層からなる無接着剤フレキシブルラミネートであって、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比、ρ/ρt>0.6とすることによって密着力を高めることが可能であるという優れた効果を有するので、フレキシブルプリント基板、TAB、COF等の電子部品の実装素材として用いられる無接着剤フレキシブルラミネートとして有用である。

Claims (3)

  1. 少なくとも一方の面をプラズマ処理されたポリイミドフィルムと、プラズマ処理された面に形成したタイコート層と、タイコート層上に形成した金属シード層、さらに金属シード層上に形成した金属導体層からなる無接着剤フレキシブルラミネートであって、タイコート層の実測密度:ρと理論密度:ρtの比ρ/ρtが、0.90≧ρ /ρ t ≧0.73であることを特徴とする無接着剤フレキシブルラミネート。
  2. タイコート層が、ニッケル、クロム、コバルト、ニッケル合金、クロム合金、コバルト合金のいずれか1種からなることを特徴とする請求項1記載の無接着剤フレキシブルラミネート。
  3. 金属シード層および金属導体層が、銅または銅合金のいずれか1種からなることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の無接着剤フレキシブルラミネート。
JP2009552395A 2008-02-04 2008-12-25 無接着剤フレキシブルラミネート Expired - Fee Related JP5345955B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009552395A JP5345955B2 (ja) 2008-02-04 2008-12-25 無接着剤フレキシブルラミネート

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008024019 2008-02-04
JP2008024019 2008-02-04
PCT/JP2008/073531 WO2009098832A1 (ja) 2008-02-04 2008-12-25 無接着剤フレキシブルラミネート
JP2009552395A JP5345955B2 (ja) 2008-02-04 2008-12-25 無接着剤フレキシブルラミネート

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2009098832A1 JPWO2009098832A1 (ja) 2011-05-26
JP5345955B2 true JP5345955B2 (ja) 2013-11-20

Family

ID=40951915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009552395A Expired - Fee Related JP5345955B2 (ja) 2008-02-04 2008-12-25 無接着剤フレキシブルラミネート

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20110003169A1 (ja)
EP (1) EP2241436A4 (ja)
JP (1) JP5345955B2 (ja)
KR (2) KR20130012592A (ja)
TW (1) TW200934657A (ja)
WO (1) WO2009098832A1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101288641B1 (ko) 2008-11-25 2013-07-22 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 인쇄 회로용 동박
EP2366469A1 (en) * 2008-11-25 2011-09-21 JX Nippon Mining & Metals Corporation Method of winding up copper foil or copper-clad laminate
JP2009143234A (ja) 2008-12-24 2009-07-02 Nippon Mining & Metals Co Ltd キャリア付金属箔
JP5346040B2 (ja) 2008-12-26 2013-11-20 Jx日鉱日石金属株式会社 フレキシブルラミネート及び該ラミネートを用いて形成したフレキシブル電子回路基板
JP2011177899A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Jx Nippon Mining & Metals Corp 無接着剤フレキシブルラミネート及びその製造方法
KR101875946B1 (ko) * 2011-11-29 2018-08-02 엘지이노텍 주식회사 칩 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조 방법
CN103167731B (zh) * 2011-12-08 2015-09-09 祝琼 一种无胶软板基材及其制备方法
JP5555749B2 (ja) * 2012-01-20 2014-07-23 エル エス エムトロン リミテッド 軟性回路銅張積層板及びそれを用いた印刷回路基板、並びにその製造方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996023910A1 (fr) * 1995-02-01 1996-08-08 Asahi Glass Company Ltd. Moulages en resine synthetique et leur procede de production
JPH1187353A (ja) * 1997-07-08 1999-03-30 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法
JPH11162873A (ja) * 1997-11-21 1999-06-18 Nec Corp 半導体装置の製造方法
JP2000064028A (ja) * 1998-06-09 2000-02-29 Sumitomo Heavy Ind Ltd Cu成膜方法
JP2002047565A (ja) * 2000-03-13 2002-02-15 Canon Inc 薄膜の製造方法および光学装置
JP2002280684A (ja) * 2001-03-16 2002-09-27 Sumitomo Electric Printed Circuit Inc フレキシブル銅張回路基板とその製造方法
JP2006152340A (ja) * 2004-11-26 2006-06-15 Asahi Glass Co Ltd 合成樹脂成形物の製造方法
JP2006253185A (ja) * 2005-03-08 2006-09-21 Toray Ind Inc ポリイミドフィルム、及びこれを用いた耐熱性樹脂積層フィルム、金属層付き積層フィルム

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06120630A (ja) 1992-10-07 1994-04-28 Ulvac Japan Ltd プリント配線基板用の銅箔
US5543222A (en) * 1994-04-29 1996-08-06 E. I. Du Pont De Nemours And Company Metallized polyimide film containing a hydrocarbyl tin compound
US6651381B2 (en) * 1995-02-01 2003-11-25 Asahi Glass Company Ltd. Synthetic resin molded material and method for its production
US6171714B1 (en) * 1996-04-18 2001-01-09 Gould Electronics Inc. Adhesiveless flexible laminate and process for making adhesiveless flexible laminate
US6146480A (en) * 1999-03-12 2000-11-14 Ga-Tek Inc. Flexible laminate for flexible circuit
JP3258296B2 (ja) 1999-08-06 2002-02-18 ジーエイテック インコーポレイテッド 非金属の電気絶縁性基板上に金属を電着させる方法およびこの方法によって製造される金属コートされたポリマーフィルム、非導電性材料のストリップ上にプリント配線回路を形成する方法およびこの方法によって製造されたプリント配線回路基板
JP3258308B2 (ja) * 2000-02-03 2002-02-18 株式会社日鉱マテリアルズ レーザー穴開け性に優れた銅箔及びその製造方法
KR100811586B1 (ko) * 2000-02-14 2008-03-10 가부시키가이샤 가네카 폴리이미드와 도체층을 포함하는 적층체, 이의 제조방법 및 이를 사용한 다층 배선판
EP1134303B1 (en) * 2000-03-13 2010-06-09 Canon Kabushiki Kaisha Thin film production process
US20020182432A1 (en) * 2000-04-05 2002-12-05 Masaru Sakamoto Laser hole drilling copper foil
JP3628585B2 (ja) * 2000-04-05 2005-03-16 株式会社日鉱マテリアルズ 銅張り積層板及び銅張り積層板のレーザーによる穴開け方法
JP2003051673A (ja) * 2001-08-06 2003-02-21 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd プリント配線板用銅箔及びそのプリント配線板用銅箔を用いた銅張積層板
JP4006618B2 (ja) * 2001-09-26 2007-11-14 日鉱金属株式会社 キャリア付銅箔の製法及びキャリア付銅箔を使用したプリント基板
JP4298943B2 (ja) * 2001-10-18 2009-07-22 日鉱金属株式会社 銅箔表面処理剤
JP4379854B2 (ja) * 2001-10-30 2009-12-09 日鉱金属株式会社 表面処理銅箔
CN1301046C (zh) * 2002-05-13 2007-02-14 三井金属鉱业株式会社 膜上芯片用软性印刷线路板
JP4397702B2 (ja) * 2004-02-04 2010-01-13 三菱伸銅株式会社 金属化ポリイミドフィルムの製造方法
WO2005079130A1 (ja) * 2004-02-17 2005-08-25 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 黒化処理面又は層を有する銅箔
US7655333B2 (en) * 2004-06-30 2010-02-02 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Sub-micron solid oxide electrolyte membrane in a fuel cell
JP4266360B2 (ja) * 2004-07-26 2009-05-20 株式会社神戸製鋼所 半導体装置のCu系配線形成方法
KR20060051831A (ko) * 2004-09-29 2006-05-19 우베 고산 가부시키가이샤 폴리이미드 필름 및 폴리이미드 복합 시트
US7402770B2 (en) * 2005-06-10 2008-07-22 Lsi Logic Corporation Nano structure electrode design
WO2006137240A1 (ja) * 2005-06-23 2006-12-28 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. プリント配線板用銅箔
US8449987B2 (en) * 2006-06-12 2013-05-28 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Rolled copper or copper alloy foil with roughened surface and method of roughening rolled copper or copper alloy foil
JP4943450B2 (ja) * 2006-11-29 2012-05-30 Jx日鉱日石金属株式会社 2層銅張積層板
US7976687B2 (en) * 2006-12-28 2011-07-12 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Roll unit dipped in surface treatment liquid
US8276420B2 (en) * 2006-12-28 2012-10-02 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Roll unit for use in surface treatment of copper foil

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996023910A1 (fr) * 1995-02-01 1996-08-08 Asahi Glass Company Ltd. Moulages en resine synthetique et leur procede de production
JPH1187353A (ja) * 1997-07-08 1999-03-30 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法
JPH11162873A (ja) * 1997-11-21 1999-06-18 Nec Corp 半導体装置の製造方法
JP2000064028A (ja) * 1998-06-09 2000-02-29 Sumitomo Heavy Ind Ltd Cu成膜方法
JP2002047565A (ja) * 2000-03-13 2002-02-15 Canon Inc 薄膜の製造方法および光学装置
JP2002280684A (ja) * 2001-03-16 2002-09-27 Sumitomo Electric Printed Circuit Inc フレキシブル銅張回路基板とその製造方法
JP2006152340A (ja) * 2004-11-26 2006-06-15 Asahi Glass Co Ltd 合成樹脂成形物の製造方法
JP2006253185A (ja) * 2005-03-08 2006-09-21 Toray Ind Inc ポリイミドフィルム、及びこれを用いた耐熱性樹脂積層フィルム、金属層付き積層フィルム

Also Published As

Publication number Publication date
EP2241436A1 (en) 2010-10-20
EP2241436A4 (en) 2012-06-06
KR20100095658A (ko) 2010-08-31
TW200934657A (en) 2009-08-16
WO2009098832A1 (ja) 2009-08-13
US20110003169A1 (en) 2011-01-06
JPWO2009098832A1 (ja) 2011-05-26
KR20130012592A (ko) 2013-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5345955B2 (ja) 無接着剤フレキシブルラミネート
KR101133488B1 (ko) 무접착제 플렉시블 라미네이트 및 그 제조 방법
JP5706386B2 (ja) 2層フレキシブル基板、並びに2層フレキシブル基板を基材としたプリント配線板
JP6299226B2 (ja) 金属張積層基板、配線基板、および多層配線基板
JP2005219259A (ja) 金属化ポリイミドフィルム
JP4397702B2 (ja) 金属化ポリイミドフィルムの製造方法
JP5346040B2 (ja) フレキシブルラミネート及び該ラミネートを用いて形成したフレキシブル電子回路基板
TW201228820A (en) Method for forming circuit on flexible laminate substrate
JP2005262707A (ja) 銅張り積層フィルムおよびフレキシブル回路基板用材料
JP5313391B2 (ja) フレキシブルラミネート基板への回路形成方法
JP2007208251A (ja) フレキシブル基板用基材およびそれを用いたフレキシブル基板ならびにそれらの製造方法
JP4752357B2 (ja) 積層板の製造方法およびプリント配線基板の製造方法
JP2008118105A (ja) イオンガン処理方法、ならびにそれを用いて作製された銅張積層板およびプリント配線基板
JP2006179827A (ja) フレキシブル基板用基材およびそれを用いたフレキシブル基板ならびそれらの製造方法
JP4135171B2 (ja) フレキシブルプリント配線用基板の製造方法
JP2021172006A (ja) 銅張積層板および銅張積層板の製造方法
JP2005329559A (ja) 積層体
JP5255496B2 (ja) 金属張積層体及び金属張積層体の製造方法
JP2008016493A (ja) 配線基板、プリント配線板及びプリント配線板製造方法
JP2011177899A (ja) 無接着剤フレキシブルラミネート及びその製造方法
JP2003324274A (ja) フレキシブルプリント配線用基板の製造方法
JP2007081275A (ja) フレキシブル回路用基板
JP2010030304A (ja) 金属化ポリイミドフィルム
JP2006253546A (ja) フレキシブル金属箔ポリイミド基板

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121002

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130730

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130815

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees