JP5334736B2 - ウェハステープル - Google Patents
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Description
前記キャップウェハは複数の接続テープにより前記基板ウェハと接合されており、
前記空洞部は、複数の接続テープにより外部に対して気密に封鎖されており、
前記センサ素子はそれぞれ前記空洞部に配置されており、
前記各空洞部の外では前記基板ウェハに接点線路が配置されており、
該接点線路は、センサ素子の電気接続を行い、
前記基板ウェハ上で隣接するセンサ素子のペア間では、ちょうど1つの接点孔が前記キャップウェハに設けられており、
該接点孔を通って前記接点線路は前記センサ素子に接近し、
前記基板ウェハ上で隣接する別のセンサ素子のペア間には、ちょうど1つの接続テープが配置されており、
前記1つの接続テープは、前記別のペアのセンサ素子が配置されている前記空洞部を相互に分離する、ことを特徴とする個別化されないウェハステープルにより解決される。
3 キャップウェハ
4 ブリッジ
5 接続テープ
9 接点孔
Claims (5)
- 基板ウェハ(1)と、該基板ウェハの上に設けられた少なくとも2つのセンサ素子(2)と、前記基板ウェハに取り付けられたキャップウェハ(3)と、電気接点(16)と、空洞部(17)とを有し、
前記キャップウェハ(3)は複数の接続テープ(5)により前記基板ウェハ(1)と接合されており、
前記空洞部(17)は、複数の接続テープにより外部に対して気密に封鎖されており、
前記空洞部(17)にはそれぞれ前記センサ素子(2)が配置されており、
前記電気接点(16)は、前記各空洞部(17)の外で前記基板ウェハに配置されており、
前記電気接点(16)は、センサ素子の電気接続を行い、
前記基板ウェハ(1)上で隣接するセンサ素子(2)のペア間では、ちょうど1つの接点孔(9)が前記キャップウェハ(3)に設けられており、
該接点孔(9)を通って前記電気接点は前記センサ素子に接近し、
前記基板ウェハ(1)上で隣接する別のセンサ素子(2)のペア間には、ちょうど1つの接続テープ(5)が配置されており、
前記1つの接続テープ(5)は、前記別のペアのセンサ素子が配置されている前記空洞部(17)を相互に分離する、
ことを特徴とする個別化されないウェハステープル。 - 請求項1記載のウェハステープルにおいて、
前記センサ素子(2)は、前記基板ウェハ上で相互に横にずれて配置されているウェハステープル。 - 請求項1または2記載のウェハステープルにおいて、
前記キャップウェハ(3)は、隆起部の形態のブリッジ(4)を有し、該ブリッジに前記接続テープ(5)が取り付けられているウェハステープル。 - 請求項3記載のウェハステープルにおいて、
前記ブリッジ(4)は一体的に前記キャップウェハ(3)から切り出されているウェハステープル。 - 請求項1から4までのいずれか一項記載のウェハステープルにおいて、
前記基板ウェハ(1)はソケット(20)を有し、
前記キャップウェハ(3)の接続テープ(5)は前記ソケット(20)上に配置されているウェハステープル。
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