JP5324735B2 - 結晶方位測定方法及びその装置 - Google Patents
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11…コリメータ
20…試料ステージ
30…蛍光板30
40…CCDカメラ。
Claims (9)
- X線源からの短波長のX線を試料の測定表面に対して側方から入射して得られる反射X線回折像を、その一部にX線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた検出器により検出することにより、当該試料の結晶方位を測定する結晶方位測定方法であって、
前記X線を前記試料の測定表面に対して所望の角度ωで入射させ、
前記検出器の有感面を、前記試料の測定表面上のX線入射点を通り、当該X線入射方向に対して直交し、かつ、前記試料の測定表面に平行な軸を中心として前記検出器を角度ψだけ回動させることで前記試料の測定表面から得られる反射X線回折像が投射される方向に配置して前記試料からの反射X線回折像を形成すると共に、当該検出器の有感面を、前記軸と平行な軸であり、かつ当該有感面を通る軸を中心として角度τ回転して設定し、前記試料と前記検出器の有感面とが接触しないようにすることを特徴とする結晶方位測定方法。 - 前記請求項1に記載された結晶方位測定方法において、更に、前記検出器を、その有感面が当該有感面と平行な方向に移動して設定することを特徴とする結晶方位測定方法。
- 前記請求項1に記載された結晶方位測定方法において、前記得られる反射X線回折像は、ラウエ像であることを特徴とする結晶方位測定方法。
- 前記請求項1に記載された結晶方位測定方法において、X線の前記測定表面に対する入射角を20°〜30°に設定すると共に、前記検出器の前記試料の測定表面上のX線入射点を通り、当該X線入射方向に対して直交し、かつ、前記試料の測定表面に平行な軸を中心とする回動角度ψを60°〜40°に設定し、前記検出器の有感面の前記軸と平行な軸であり、かつ当該有感面を通る軸を中心とした回転角度τを50°〜30°に設定したことを特徴とする結晶方位測定方法。
- 前記請求項1に記載された結晶方位測定方法において、更に、前記検出器の傾斜に伴って得られる検出結果を補正することを特徴とする結晶方位測定方法。
- X線源からの短波長のX線を試料の測定表面に対して側方から入射して得られる反射X線回折像を、その一部にX線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた検出器により検出する結晶方位測定装置であって、
前記X線を前記試料の測定表面に対して所望の角度ωで入射させるω回動機構と、
前記検出器の有感面を、前記試料の測定表面上のX線入射点を通り、当該X線入射方向に対して直交し、かつ、前記試料の測定表面に平行な軸を中心として前記検出器を角度ψだけ回動させることで前記試料の測定表面から得られる反射X線回折像が投射される方向に配置して前記試料からの反射X線回折像を形成すると共に、当該検出器の有感面を、前記軸と平行な軸であり、かつ当該有感面を通る軸を中心として角度τ回転して設定し、前記試料と前記検出器の有感面とが接触しないようにするτ回動機構とを備えたことを特徴とする結晶方位測定装置。 - 前記請求項6に記載された結晶方位測定装置において、前記検出器は、更に、平行移動機構を介して、その有感面が、当該有感面と平行な方向に移動可能に取り付けられていることを特徴とする結晶方位測定装置。
- 前記請求項6に記載された結晶方位測定装置において、更に、前記検出器の傾斜に伴って得られる検出結果を補正する手段を備えていることを特徴とする結晶方位測定装置。
- 前記請求項6に記載された結晶方位測定装置において、更に、前記検出器を、そのカメラ長を可変可能に取り付けていることを特徴とする結晶方位測定装置。
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