JP7129624B2 - X線検出器及び当該x線検出器の制御方法 - Google Patents
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Description
(面内及び面外での)回転も、試料台120に結合される対応駆動ユニットによって実装されてよいことは明らかである(簡明を期すために駆動ユニットは図1では省略されており、かつ、試料台120の可能な運動のみが矢印430,440によって示されていることに留意して欲しい)。
(図2には示されていない)によって実行され、かつ、図2の矢印460a,460bで示される。さらに角度θは入射ビーム210と試料台120の平坦面122とのなす角で、かつ、角度2θは回折ビーム220と試料300を通り抜ける入射ビーム210とのなす角である(図2参照)。
Claims (17)
- 被調査試料によって回折されるX線ビームを測定するX線分析システムで用いられるX線検出器であって、
相互に関節接続される少なくとも2つのX線検出器モジュールであって、前記少なくとも2つのX線検出器モジュールはそれぞれ独立したX線検出器として設計される、X線検出器モジュールと、
前記試料の周りに前記少なくとも2つの関節接続されるX線検出器モジュールを位置設定するように構成される駆動機構、
前記X線検出器と前記試料との間の選択された距離に依存する曲率を有する事前計算された曲線に沿って前記試料の周りに配置されるように前記少なくとも2つのX線検出器モジュールを相互に動かすように前記駆動機構を制御するように構成される制御ユニット、
を有するX線検出器。 - 請求項1に記載のX線検出器であって、前記少なくとも2つのX線検出器モジュールが沿って配置される前記曲線の曲率は、前記X線検出器と前記試料との間の距離の減少とともに増大する、X線検出器。
- 請求項1又は2に記載のX線検出器であって、前記少なくとも2つのX線検出器モジュールが沿って配置される前記曲線の曲率は、前記X線検出器と前記試料との間の距離に依存して計算され、その際前記試料は前記曲線の曲率の中心に位置する、X線検出器。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載のX線検出器であって、
前記駆動機構は少なくとも1つの枢動機構を有し、かつ、
前記少なくとも2つの検出器モジュールの移動は枢動軸で前記X線検出器モジュールを相互に枢動する動きを含む、
X線検出器。 - 請求項4に記載のX線検出器であって、前記少なくとも2つのX線検出器モジュールは、前記X線検出器と前記試料との間の距離に依存する曲率を有する結合検出器表面を構成するように、相互に枢動可能である、X線検出器。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載のX線検出器であって、中央X線検出器モジュールと少なくとも2つの横に配置されるX線検出器モジュールを含む少なくとも3つの前記X線検出器モジュールを有し、かつ、前記横に配置されるX線検出器モジュールは、前記中央X線検出器モジュールと、該中央X線検出器モジュールの対向する側面で関節接続される、X線検出器。
- 請求項6に記載のX線検出器であって、前記少なくとも2つの横に配置されるX線検出器モジュールは、前記中央X線検出器モジュールに対して個別に枢動可能である、X線検出器。
- 請求項6又は7に記載のX線検出器であって、
前記少なくとも2つの横に配置されるX線検出器モジュールは枢動可能で、それにより前記少なくとも2つの横に配置されるX線検出器モジュールのうちの前記中央X線検出器モジュールの一の側部に設けられるものは、前記中央X線検出器モジュールと共に、第1曲率を有する第1部分検出器表面を構成し、かつ、
前記少なくとも2つの横に配置されるX線検出器モジュールのうちの前記中央X線検出器モジュールの他の側部に設けられるものは、前記中央X線検出器モジュールと共に、第2曲率を有する第2部分検出器表面を構成する、
X線検出器。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のX線検出器であって、前記関節接続されるX線検出器モジュールは、前記曲線の曲率が変化するときにも前記曲線に沿った隣接するX線検出器モジュール間での距離が変化しないように枢動される、X線検出器。
- 請求項1乃至9のいずれか一項に記載のX線検出器であって、前記少なくとも2つのX線検出器モジュールは、2次元平面X線検出器として設計される、X線検出器。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載のX線検出器であって、前記少なくとも2つのX線検出器モジュールは、特定の選択された前記X線検出器と前記試料との間の距離において、少なくとも134°である、2θの範囲をカバーするように設計される、X線検出器。
- 請求項1乃至11のいずれか一項に記載のX線検出器であって、
前記少なくとも2つのX線検出器モジュールを受け入れる筐体、及び、
前記少なくとも2つのX線検出器モジュールの前面に配置される曲率を有するX線透明窓、
のうちの少なくとも1つを有する、X線検出器。 - 試料上でX線回折を実行するX線分析システムであって、
X線ビームを生成して被調査試料へ結像するように構成されるX線光学デバイス、
前記試料を保持及び位置設定して入射X線ビームに対する方位を設定するように構成される試料台、並びに、
散乱X線ビームを測定する請求項1乃至12のいずれか一項に記載のX線検出器、
を有するX線分析システム。 - 相互に関節接続される少なくとも2つのX線検出器モジュールであって、前記少なくとも2つのX線検出器モジュールはそれぞれ独立したX線検出器として設計される、X線検出器モジュール、及び、前記少なくとも2つの関節接続されるX線検出器モジュールを互いに対して移動させるように構成される駆動機構を有する、回折X線ビームを測定するX線分析システムで用いられるX線検出器の動作を制御する方法であって、
被調査試料と前記X線検出器との間の所望の距離を調節する段階、及び、
前記X線検出器と前記試料との間の調節された距離に依存する曲率を有する事前計算された曲線に沿って前記試料の周りに配置されるように前記少なくとも2つのX線検出器モジュールを相互に動かす段階、
を有する方法。 - 請求項14に記載の方法であって、
受信した入力信号に基づいて所望の距離を決定する段階、及び、
前記X線検出器と前記試料との間の調節された距離に依存して前記曲線を計算する段階であって、前記の計算された曲線の曲率は、前記X線検出器と前記試料との間の半径方向の距離に依存して調節される段階、
のうちの少なくとも1つの段階を有する、方法。 - コンピュータ上で実行されるときに請求項14又は15に記載の方法を実行するコンピュータプログラムコードを有する、コンピュータプログラム。
- 請求項16に記載のコンピュータプログラムを格納したコンピュータ可読媒体。
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