JPH03273145A - Ｘ線回折法およびｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折法およびｘ線回折装置Info
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- JPH03273145A JPH03273145A JP2071870A JP7187090A JPH03273145A JP H03273145 A JPH03273145 A JP H03273145A JP 2071870 A JP2071870 A JP 2071870A JP 7187090 A JP7187090 A JP 7187090A JP H03273145 A JPH03273145 A JP H03273145A
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- ray
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000001028 reflection method Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、カウンタ法によって集中法を実施するＸ線
回折法およびＸ線回折装置に関する。
回折法およびＸ線回折装置に関する。
［従来の技術］
Ｘ線回折法は、Ｘ線検出手段によって分類すると、カメ
ラ法（写真法）とカウンタ法（計数法）があり、Ｘ線の
発散性によって分類すると平行ビム法と集中法がある。
ラ法（写真法）とカウンタ法（計数法）があり、Ｘ線の
発散性によって分類すると平行ビム法と集中法がある。
この発明は、カウンタ法における集中法に関するもので
ある。
ある。
カウンタ法における従来の集中法は、Ｘ線源を固定して
試料とＸ線検出器（カウンタ）を１対２の角速度比で回
転させる、いわゆるθ−２θ走査法を利用するのが一般
的である。この場合、試料の回転中心とＸ線検出器の回
転中心とは一致している。このθ−２０走査法では、Ｘ
線検出器の回転と同時に試料も回転するので、試料に対
するＸ線の入射角は変化し、焦点円の半径も変化する。
試料とＸ線検出器（カウンタ）を１対２の角速度比で回
転させる、いわゆるθ−２θ走査法を利用するのが一般
的である。この場合、試料の回転中心とＸ線検出器の回
転中心とは一致している。このθ−２０走査法では、Ｘ
線検出器の回転と同時に試料も回転するので、試料に対
するＸ線の入射角は変化し、焦点円の半径も変化する。
ところで、試料に対するＸ線入射角を変化させずに（す
なわち焦点円を固定して）試料のＸ線回折パターンを測
定したい場合もある。例えば、薄膜試料の回折パターン
を測定する場合がそうであり、この場合、薄膜試料中を
進行するＸ線の進行距離を長くとるために薄膜試料に対
して非常に低角度でＸ線を入射させることになる。
なわち焦点円を固定して）試料のＸ線回折パターンを測
定したい場合もある。例えば、薄膜試料の回折パターン
を測定する場合がそうであり、この場合、薄膜試料中を
進行するＸ線の進行距離を長くとるために薄膜試料に対
して非常に低角度でＸ線を入射させることになる。
このようにＸ線焦点と試料との相対位置を固定して回折
パターンを測定したい場合には、試料を回転できないの
で、上述のθ−２０走査法は使えない。そこで、Ｘ線焦
点と試料を固定しても試料の回折パターンが得られる方
法として、ゼーマン・ボーリン法が知られている。この
方法は、Ｘ線検出器の回転中心を、試料軸に一致させる
のではなくて、焦点円の中心に一致させている。こうす
ると、Ｘ線検出器が回転したときに、受光スリットは常
に焦点円上に来ることになる（Ｘ線焦点と試料は静止し
ているので焦点円は変化しない）。
パターンを測定したい場合には、試料を回転できないの
で、上述のθ−２０走査法は使えない。そこで、Ｘ線焦
点と試料を固定しても試料の回折パターンが得られる方
法として、ゼーマン・ボーリン法が知られている。この
方法は、Ｘ線検出器の回転中心を、試料軸に一致させる
のではなくて、焦点円の中心に一致させている。こうす
ると、Ｘ線検出器が回転したときに、受光スリットは常
に焦点円上に来ることになる（Ｘ線焦点と試料は静止し
ているので焦点円は変化しない）。
この場合、Ｘ線検出器と受光スリットを検出器支持台に
固定しておくと、検出器支持台が回転したときに受光ス
リットとＸ線検出器が試料の方向を向かなくなるので、
検出器支持台の回転に伴って検出器支持台に対する受光
スリットとＸ線検出器の取り付は角度を変化させていく
必要がある。
固定しておくと、検出器支持台が回転したときに受光ス
リットとＸ線検出器が試料の方向を向かなくなるので、
検出器支持台の回転に伴って検出器支持台に対する受光
スリットとＸ線検出器の取り付は角度を変化させていく
必要がある。
［発明が解決しようとする課題］
上述のように、ゼーマン・ボーリン法を使用すれば、Ｘ
線焦点と試料との相対位置を固定しても試料の回折パタ
ーンが得られるが、ゴニオメータが特殊なものになる。
線焦点と試料との相対位置を固定しても試料の回折パタ
ーンが得られるが、ゴニオメータが特殊なものになる。
すなわち、θ〜２θ走査法が可能な通常のゴニオメータ
では検出器支持台が試料を中心として回転するのに対し
て、ゼーマン・ボーリン法のゴニオメータては検出器支
持台は焦点円中心の回りを回転する。したがって、ゼー
マン・ボーリン法を実施するためには、この特殊なゴニ
オメータを準備する必要があった。
では検出器支持台が試料を中心として回転するのに対し
て、ゼーマン・ボーリン法のゴニオメータては検出器支
持台は焦点円中心の回りを回転する。したがって、ゼー
マン・ボーリン法を実施するためには、この特殊なゴニ
オメータを準備する必要があった。
この発明の目的は、Ｘ線焦点と試料との相対位置を固定
する型式のＸ線回折法において通常のθ−２０走査法の
ゴニオメータを活用できるＸ線回折法を提供することで
あり、また、そのためのＸ線回折装置を提供することで
ある。
する型式のＸ線回折法において通常のθ−２０走査法の
ゴニオメータを活用できるＸ線回折法を提供することで
あり、また、そのためのＸ線回折装置を提供することで
ある。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、この発明に係るＸ線回折
法は以下の特徴を備えている。すなわち、このＸ線回折
法は、Ｘ線焦点と試料との相対位置を固定して、受光ス
リットとＸ線検出器とを搭載した検出器支持台を試料を
中心として回転させ、受光スリットが常に焦点円上に位
置するように、検出器支持台の回転に伴って受光スリ・
ノドとＸ線検出器を検出器支持台の回転方向と直交する
方向に移動することを特徴としている。
法は以下の特徴を備えている。すなわち、このＸ線回折
法は、Ｘ線焦点と試料との相対位置を固定して、受光ス
リットとＸ線検出器とを搭載した検出器支持台を試料を
中心として回転させ、受光スリットが常に焦点円上に位
置するように、検出器支持台の回転に伴って受光スリ・
ノドとＸ線検出器を検出器支持台の回転方向と直交する
方向に移動することを特徴としている。
また、この発明に係るＸ線回折装置は、試料を中心とし
て回転する検出器支持台と、この検出器支持台に対して
移動可能な移動台とを有し、この移動台に受光スリット
とＸ線検出器とが取り付けられ、前記移動台が、検出器
支持台の回転方向と直交する方向に移動可能となってい
ることを特徴としている。
て回転する検出器支持台と、この検出器支持台に対して
移動可能な移動台とを有し、この移動台に受光スリット
とＸ線検出器とが取り付けられ、前記移動台が、検出器
支持台の回転方向と直交する方向に移動可能となってい
ることを特徴としている。
移動台が、検出器支持台の回転方向と直交する方向に移
動することにより、受光スリットとＸ線検出器は、回折
Ｘ線に沿って試料に近付く方向および試料から遠ざかる
方向に移動できる。
動することにより、受光スリットとＸ線検出器は、回折
Ｘ線に沿って試料に近付く方向および試料から遠ざかる
方向に移動できる。
［作用］
試料のＸ線回折パターンを測定するには、検出器支持台
を回転させながら、Ｘ線検出器と受光スリットを検出器
支持台の回転方向と直角方向に移動して、受光スリット
が常に焦点円上に来るようにする。
を回転させながら、Ｘ線検出器と受光スリットを検出器
支持台の回転方向と直角方向に移動して、受光スリット
が常に焦点円上に来るようにする。
検出器支持台は試料を中心として回転するので、この発
明ではθ−２θ走査法のゴニオメータを活用できる。す
なわち、θ−２θ走査法のゴニオメータにおいても検出
器支持台は試料を中心として回転するので、検出器支持
台を兼用できる。θ２θ走査法のゴニオメータを利用し
て、この発明のＸ線回折法を実施するには、試料台と検
出器支持台を連動させずに試料台を静止しておいて、検
出器支持台の上に移動台を載せて、検出器支持台の回転
に伴って移動台を検出器支持台の回転方向と直角方向に
移動させればよい。受光スリットとＸ線検出器は移動台
に固定しておく。
明ではθ−２θ走査法のゴニオメータを活用できる。す
なわち、θ−２θ走査法のゴニオメータにおいても検出
器支持台は試料を中心として回転するので、検出器支持
台を兼用できる。θ２θ走査法のゴニオメータを利用し
て、この発明のＸ線回折法を実施するには、試料台と検
出器支持台を連動させずに試料台を静止しておいて、検
出器支持台の上に移動台を載せて、検出器支持台の回転
に伴って移動台を検出器支持台の回転方向と直角方向に
移動させればよい。受光スリットとＸ線検出器は移動台
に固定しておく。
［実施例］
次に、図面を参照してこの発明の詳細な説明する。
第１図はこの発明の第１実施例の平面図である。
この実施例は、反射法によって試料のＸ線回折パターン
を測定する例である。
を測定する例である。
このＸ線回折装置は、Ｘ線焦点１０を有するＸ線源と、
発散スリット１２と、回転可能な試料台（図示せず）と
、試料台の回転中心の回りに回転する検出器支持台２０
と、Ｘ線検出器３０と、受光スリット４０と、散乱スリ
ット５０を備えている。試料台には試料６０を取り付け
て、試料台の回転中心が試料表面を通るようにする。検
出器支持台２０には、この検出器支持台２０の回転に連
動してこの回転方向と直交方向２１に移動可能な移動台
２２が搭載されている。この移動台２２に、散乱スリッ
ト５０、受光スリット４０、Ｘ線検出器３０を固定して
いる。移動台２２は、受光スリット４０が常に焦点円１
上に来るように検出器支持台２０上を直線運動できるよ
うになっている。
発散スリット１２と、回転可能な試料台（図示せず）と
、試料台の回転中心の回りに回転する検出器支持台２０
と、Ｘ線検出器３０と、受光スリット４０と、散乱スリ
ット５０を備えている。試料台には試料６０を取り付け
て、試料台の回転中心が試料表面を通るようにする。検
出器支持台２０には、この検出器支持台２０の回転に連
動してこの回転方向と直交方向２１に移動可能な移動台
２２が搭載されている。この移動台２２に、散乱スリッ
ト５０、受光スリット４０、Ｘ線検出器３０を固定して
いる。移動台２２は、受光スリット４０が常に焦点円１
上に来るように検出器支持台２０上を直線運動できるよ
うになっている。
次に、このＸ線回折装置の動作を説明する。
試料６０を試料台に取り付け、Ｘ線焦点１０と試料６０
を静止した状態で、Ｘ線焦点１０から試料６０にＸ線を
照射し、検出器支持台２０を回転しながらＸ線検出器３
０で回折Ｘ線強度を測定する。Ｘ線焦点１０と試料６０
は静止しているので、焦点円１は変化しない。検出器支
持台２０の回転に伴って、受光スリット４０が常に焦点
円１上に来るように移動台２２を検出器支持台２０上で
直線移動させる。
を静止した状態で、Ｘ線焦点１０から試料６０にＸ線を
照射し、検出器支持台２０を回転しながらＸ線検出器３
０で回折Ｘ線強度を測定する。Ｘ線焦点１０と試料６０
は静止しているので、焦点円１は変化しない。検出器支
持台２０の回転に伴って、受光スリット４０が常に焦点
円１上に来るように移動台２２を検出器支持台２０上で
直線移動させる。
このＸ線回折装置は、従来のθ−２θ走査法のゴニオメ
ータを活用している。すなわち、θ−２０走査法のゴニ
オメータの検出器支持台２０の上に、移動台２２を載せ
ている。そして、試料台駆動機構と検出器支持台駆動機
構とを切り離して、検出器支持台２０が回転しても試料
台が静止状態を保つようにしている。これにより、従来
のθ−２θ走査法のゴニオメータを活用して本発明のＸ
線回折法を実施することが可能になる。
ータを活用している。すなわち、θ−２０走査法のゴニ
オメータの検出器支持台２０の上に、移動台２２を載せ
ている。そして、試料台駆動機構と検出器支持台駆動機
構とを切り離して、検出器支持台２０が回転しても試料
台が静止状態を保つようにしている。これにより、従来
のθ−２θ走査法のゴニオメータを活用して本発明のＸ
線回折法を実施することが可能になる。
第２図はこの発明の第２実施例の平面図であり、第１実
施例と異なるところは、Ｘ線入射側に湾曲結晶モノクロ
メータを挿入した点にある。第１図と同一部分について
は同じ符号を付けである。
施例と異なるところは、Ｘ線入射側に湾曲結晶モノクロ
メータを挿入した点にある。第１図と同一部分について
は同じ符号を付けである。
この実施例では、Ｘ線焦点１０からのＸ線を、発散スリ
ット１２を通して湾曲結晶モノクロメータ７０に入射し
、その回折Ｘ線をＸ線出射スリット１４のところで集束
させる。すなわち、第１図のＸ線焦点１０を第２図のモ
ノクロメータ焦点１１に置き換えている。湾曲結晶モノ
クロメータ７０は、Ｘ線焦点１０からのＸ線を単色化す
るためのものである。符号２はモノクロメータ７０の焦
点円である。この装置の動作は、第１図の装置と同様で
ある。
ット１２を通して湾曲結晶モノクロメータ７０に入射し
、その回折Ｘ線をＸ線出射スリット１４のところで集束
させる。すなわち、第１図のＸ線焦点１０を第２図のモ
ノクロメータ焦点１１に置き換えている。湾曲結晶モノ
クロメータ７０は、Ｘ線焦点１０からのＸ線を単色化す
るためのものである。符号２はモノクロメータ７０の焦
点円である。この装置の動作は、第１図の装置と同様で
ある。
第３図はこの発明の第３実施例の平面図であり、第１実
施例と異なるところは、Ｘ線入射系に湾曲結晶モノクロ
メータを挿入した点と、透過法を採用した点にある。第
１図および第２図と同一部分については同じ符号を付け
である。
施例と異なるところは、Ｘ線入射系に湾曲結晶モノクロ
メータを挿入した点と、透過法を採用した点にある。第
１図および第２図と同一部分については同じ符号を付け
である。
この実施例では、試料６０を透過して回折したＸ線を測
定している。この場合の焦点円１は、湾曲結晶モノクロ
メータ７０の焦点８０と試料６０とによって定まり、こ
の焦点円１上に受光スリット４０が来るようになってい
る。
定している。この場合の焦点円１は、湾曲結晶モノクロ
メータ７０の焦点８０と試料６０とによって定まり、こ
の焦点円１上に受光スリット４０が来るようになってい
る。
このような透過法では、Ｘ線入射側に湾曲結晶モノクロ
メータ７０を挿入することは必須である。
メータ７０を挿入することは必須である。
これに対して、反射法では、モノクロメータを挿入する
測定法（第２図）と、挿入しない測定法（第１図）とを
選択できる。
測定法（第２図）と、挿入しない測定法（第１図）とを
選択できる。
［発明の効果コ
以上説明したようにこの発明は、試料を中心とした検出
器支持台の回転と、検出器支持台に対する受光スリット
およびＸ線検出器の直線移動とを組み合わせることによ
り、Ｘ線焦点と試料との相対位置を固定して回折パター
ンを得ることができ、検出器支持台が試料を中心として
回転するため、従来のθ−２θ走査法のゴニオメータを
活用できる効果がある。
器支持台の回転と、検出器支持台に対する受光スリット
およびＸ線検出器の直線移動とを組み合わせることによ
り、Ｘ線焦点と試料との相対位置を固定して回折パター
ンを得ることができ、検出器支持台が試料を中心として
回転するため、従来のθ−２θ走査法のゴニオメータを
活用できる効果がある。
第１図はこの発明の第１実施例の平面図、第２図は第２
実施例の平面図、 第３図は第３実施例の平面図である。 １・・・焦点円 １０・・・Ｘ線焦点 ２０・・・検出器支持台 ２２・・・移動台 ３０・・・Ｘ線検出器 ４０・・・受光スリッ ト ６０・・・試料
実施例の平面図、 第３図は第３実施例の平面図である。 １・・・焦点円 １０・・・Ｘ線焦点 ２０・・・検出器支持台 ２２・・・移動台 ３０・・・Ｘ線検出器 ４０・・・受光スリッ ト ６０・・・試料
Claims (2)
- （１）Ｘ線焦点と試料との相対位置を固定して、受光ス
リットとＸ線検出器とを搭載した検出器支持台を試料を
中心として回転させ、受光スリットが常に焦点円上に位
置するように、検出器支持台の回転に伴って受光スリッ
トとＸ線検出器を検出器支持台の回転方向と直交する方
向に移動することを特徴とするＸ線回折法。 - （２）試料を中心として回転する検出器支持台と、この
検出器支持台に対して移動可能な移動台とを有し、この
移動台に受光スリットとＸ線検出器とが取り付けられ、
前記移動台が、検出器支持台の回転方向と直交する方向
に移動可能となっていることを特徴とするＸ線回折装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2071870A JPH03273145A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | Ｘ線回折法およびｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2071870A JPH03273145A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | Ｘ線回折法およびｘ線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03273145A true JPH03273145A (ja) | 1991-12-04 |
Family
ID=13472985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2071870A Pending JPH03273145A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | Ｘ線回折法およびｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03273145A (ja) |
-
1990
- 1990-03-23 JP JP2071870A patent/JPH03273145A/ja active Pending
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