SU851211A1 - Рентгеновский дифрактометр по схемезЕЕМАНА-бОлиНА - Google Patents

Description

(54) РЕНТГЕНОВСКИЙ ДИФРАКТОМЕТР ПО СХЕМЕ ЗЕЕМАНА-БОЛИНА

I

Изобретение относитс  к. исследованию химических и физических свойств веществ с помощью дифракции и предназначено дл  использовани  в области рентгеноструктурного анализа, в частности дл  исследовани  тонких пленок.

Известен дифрактометр, выполненный по схеме Зеемана-Болина, содержащий источник рентгеновских лучей, состо щий из рентгеновской трубки и монохроматора, фокусирующего рентгеновский пучок в точке на фокусирующей окружности, держатель образца , выполненный с возможностью вращени  вокруг оси гониометра; детектор и средства ориентировани  детектора и источника на образец, вбшолненные в виде системы рычагов и направл ющих линейного перемещени  1 .

Известен также дифрактометр по схеме Зеемана-Болина, в котором ориентирование источника и детектора обеспечиваетс  след щей системой, выполненной на основе зубчатых передач.2.

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  рентгеновский дифрактометр по схеме Зеемана-Болина, содержащий источник рентгеновского излучени , держатель образца , детектор и средства ориентировани  источника и детектора на образец, выполненные в виде кривошипно-кулисных механизмов с общей осью качани  кулис, пересека . ющей фокусирующую окружность и перпендикул рной плоскости последней 3.

Недостаток указанного устройства состоит в невозможности изменени  углов дифрактометрических измерений в щироком диапазоне , особенно в сторону приближени  к углам в нуль градусов, без потери универIQ сальности прибора.

Цель изобретени  - расщирение углового диапазона измерений.

Claims (3)

1. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в рентгеновском дифрактометре по схеме Зеемана-Болина, содержащем источник рентгеновского излучени , держатель образца, детектор и средства ориентировани  источника и детектора на образец, выполненные в виде кривощипно кулисных механизмов с общей осью качани  кулис, пересекающей фокусирующую окружность и перпендикул рной плоскости, последней держатель образца либо источник рентгеновского излучени  смонтирован на поворотной платформе , ось вращени  которой перпендикул рна плоскости фокусирующей окружности и проходит через ее центр, а обща  ось качани  кулис установлена на этой же платформе. Кроме того, источник излучени  выполнен в виде рентгеновской трубки с фокусирующим монохроматором, фокус которого расположен на фокусирующей окружности. На чертеже показана кинематическа  схема предлагаемого дифрактомера. На поворотной платформе 1 находитс  детектор 2 рентгеновского излучени , а на поворотной платформе 3 установлены держатель 4 образца и обща  ось 5 кулис 6 и 7. Оси 8 и 9 поворотных платформ 1 и 3 коаксиальны и их геометрическое продолжение проходит через центр фокусирующей окружности 10 радиуса R. Геометрическое продолжение оси 5 пересекает фокусирующую окружность Б точке II, а центр 12 приемной щели 12 детектора 2 расположен на фокусирующей окружности в точке пересечени  оси 13 с фокусирующей окружностью. Исследуема  поверхность образца 14 посто нно касаетс  в процессе измерени  фокусирующей окружности. На поворотной платформе 15 находитс  рентгеновска  трубка 16 и монохроматор 17. Фокус 18 монохроматора расположен на фокусирующей окружности в точке пересечени  геометрического продолжени  оси 19 платформы 15 с фокусирующей окружностью. В ходе проведени  измерений точка касани  образца 14 фокусирующей окружности и центр приемной щели 12 детектора 2 перемещаютс  соответственно на платформах 1 и 3 независимых приводов по фокусирующей окружности. Сохранение посто нной ориентации падающего рентгеновского пучка на образец и отраженного пучка на приемную щель детектора обеспечиваетс  кривощипно-кулисными механизмами, обща  ось качани  которых находитс  на платформе 3, а кулисы 6 и 7 соответственно пересекают оси 13 и 19. При этом центр 12 приемной щели, перемеща сь на фокусирующей окружности совместно с детектором 2, разворачиваетс  кулисой 6 вместе с осью 13, а рентгеновска  трубка с монохроматором разворачиваетс  кулисой 7 вместе с осью 19 и платформой 15. Наличие средств ориентации источника и детектора, выполненных в виде кривощипно-кулисных механизмов с общей осью качани  кулис, расположенной на фокусирующей окружности между держателем образца и детектором, расположение держател  образца на поворотной платформе с возможностью премещени  исследуемой точки образца по фокусирующей окружности, а также установка общей оси качани  кулис на той же поворотной платформе позвол ют расширить угловой диапазон измерений и получить углы падени  первичного пучка на образец , близкие к нулю градусов. Выполнение при этом источника в виде рентгеновской трубки с монохроматором, фокус которого расположен на фокусирующей окружности, позвол ет совместить фокус источника с исследуемой поверхностью образца, что дает возможность получить весьма малые углы падени  первичного пучка на образец, так как трубка не преп тствует подведению источника вплотную к образцу, использу  мнимый фокус источника. Рентгеновский дифрактометр с фокусировкой по Зееману-Болину, обладающий воаможностью изменени  углов падени  первичного пучка вплоть до 0°, позвол ет проводить более полное исследование тонких пленок и дает возможность послойного изучени  поверхностных слоев поликристаллов Формула изобретени  1.Рентгеновский дифрактометр по схеме Зеемана-Болина, содержащий источник рентгеновского излучени , держатель образца, детектор и средства ориентировани  источника и детектора на образец, выполненные в виде кривощипно-кулисных механизмов с общей осью качани  кулис, пересекающей фокусирующую окружность и перпендикул рной плоскости последней, отличающийс  тем, что, с целью расширени  углового диапазона измерений, держатель образца либо источник рентгеновского излучени  смонтирован на поворотной платформе, ось вращени  которой перпендикул рна плоскости фокусирующей окружности и проходит через ее центр, а обща  ось качани  кулис установлена на этой же платформе. 2.Дифрактометр по п. 1, отличающийс  тем, что источник излучени  выполнен в виде рентгеновской трубки с фокусирующим монохроматором, фокус которого расположен на фокусирующей окружности. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Ком к Н. И., М сников Ю. Г. Рентгеновские методы и аппаратура дл  определени  напр жений. Л., «Машиностроение, 1972, с. 38.
2. 2.Feder R., Berry В. S. Seeman-Bohlin Xray diffractometer for thin films. - J. Appl. Cryst., 1970, 2, p. 372.
3. 3.Патент Японии № 46-34269, кл. 112 J О, опублик. 1971 (прототип).

   5 Г

   /УЮ 8

   15