JPS59153153A - Ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、Ｘ線源と、モノクロメータと、変位可能な対
象物ホルダと、検出器とを備えるＸ線分析装置に関する
。

かかるＸ線分析装置は刊行物”　Ｊ　ｏｕｒｎａｌＡｐ
ｐｌ　、　Ｃｒｙａｔｓｌｌｏｏｒａｐｈｙ５　、　（
１９７２＞’＋第３３８〜３４２頁から既知である。こ
れに記載されたＱｕｉｌｌｉｅｒＸ線回折カメラでは測
定に当り対象物を、Ｘ線ビームの主線と合致する直線に
沿って移動する。検出器はフォーカス円に沿って配置す
るフィルム■条で構成されている。対象物によって回折
された放＠線を検出器入口に正しく集束するため、かか
る装置では対象物も常にフォーカス円の周縁上に位置す
るようにする必要かある。Ｘ線ビームにおける対象物の
位置及び方向は測定精度に直接影響するから、対象物の
変位は高精度で行う必要がある。回転自在に配置したア
ームに連結した検出器と共に目盛に沿って対象物を移動
する上記刊行物に記載された方法を使用する場合、対象
物の所定位置において内勤に当面Ｊ−る。

本発明の目的は、この点を改善するにあり、この目的の
ため本発明のＸ線分析装置は、Ｘ線ビームに対して変位
する際対象物が、Ｘ線ビー１８のビーム・フォーカスの
周りに固定配置した補助円筒の周りで回動できるフォー
カス円筒の表面上に一定位置を占め、一方、検出器をフ
ォーカス円筒の表面に沿って回転自在とするよう構成し
たことを特徴とする。

本発明のＸ線分析装置では対象物が常に回動円筒の一部
を構成しているため、その変位に当り不安定状態は生ぜ
ず、連続的変位が保障される。各測定位置につき対象物
が、）Ａ−カス円筒と合致するフォーカス円の周縁上の
一定位置を占めることのため、放射線ビームに対する対
象物の角度位置決めをきわめて正しく行うことができる
。更に、本発明にお【ノる変位方法は正確な独立した角
痘測定にぎわめて好適であり、その理由は対象物の角度
方向を自動的に正しい角度方向ならしめることのため、
及び検出器をフォーカス円筒上に位置決め（ることのた
め、入射ビーム及び検出器の間の角度を直接測定するこ
とができるからである。検出器及び放射線ビームの間の
角度を測定するため、本発明の好適な実施例ではエン」
−ダを設ける。

本発明の好適な実施例では補助円筒が基板の一部を構成
し、かつフォーカス円の直径に等しい半径を有するよう
にする。）Ａ−カス円筒の外面には、フォーカス円筒を
補助円筒の内面に沿ってスリップを生じない態様で回動
さゼる手段を設ける。

特に、フォーカス円筒の外側上及び補助円筒の内側上に
、スリップを生じない態様で共動Ｊる歯を設ける。

他の好適な実施例ではフォーカス円筒に、例えば、補助
円筒の半径の半分に等しい半径を有する同心配置駆動円
筒を設け、かつフォーカス円筒は、例えばスリップを生
じないベルト伝動部、例えば、有歯プーリと、ビーム・
フォーカスと合致する補助円筒の軸の周りに回転自在に
配置しノた回転アームとによって変位する。移動は全周
有爾輪伝動部に他の有歯幅を付加することによっても実
現できる。

選択された構造によっては、標準有歯幅だ４−Ｊ使用づ
るようにすることもできる。この目的に好適な実施例で
はフォーカス円筒に、フォーカス円と同心配置した第１
駆動円筒を設け、かつ第１駆動円筒、の周縁に等しい周
縁を有する付加的円筒に、この付１ｊ［１的円筒と同心
配置されかつこの付加的円筒の周縁の４分の１の周縁を
有する第２駆動円筒を設ける。ビーム・フォーカスの周
りに固定配置した補助円筒は２個の駆動円筒の周縁の間
の値の周縁を有づ゛る。

本発明の他の実施例は、ビーム・フォーカスの周りに配
置した円筒と、フォーカス円に同心配置されかつ、例え
ば、第１円筒上の部分に配置づ−る円筒と、第１円筒の
外面と係合する２個の案内円筒を備える。ペル１〜伝動
部により、第１円筒から案内円筒を介して第２円筒従っ
てフォーカス円を回転し、第１円筒に沿って回動して、
対象物の直視できる態様での移動が実現される。ペル１
〜伝動部のベルトは、各円筒とスリップの生じない態様
で共動し、かつ回転に当り軸方向の力が生じない点にお
いて各円筒に固定結合され、かつ回転に当り軸方向の力
が生じないピッチで各円筒を囲むよう配設する。その形
態及び構造が任意なベルトを、円筒の直径に逆比例する
巻回数で各円筒の周りに巻装する。

次に、図面につき本発明の詳細な説明づる。

第１図には本発明が関連する形式のｘｉ分析装置にお【
）るビーム通路を明瞭に示しである。またかかるＸ線分
析装置におけるＸ線源のアノード・ターゲット１と、モ
ノクロメータ結晶又は結晶ホルダ３と、分析もしくは試
験すべき対象物又は対象物本ルダ５と、検出器入日スリ
ツ１−７と、検出器９も示しである。アノード・ターゲ
ット１１における直線フォーカス１１から出射したＸ線
ビーム１０はモノクロメータ結晶３ににつでフォーカス
直線１３に集束される。対象物において回析されたＸ線
ビーム１０の部分１５はフォーカス直線１７に集束され
、このフォーカス直線１７の区域に検出器人口スリット
７を配設する。７　Ａ−カス直線１３及び１７並びにｘ
＃ｊ＋！ビーム１０の中央に配置した対象物の直線１９
のすべてが、正しく位置決めされた場合物理的円筒であ
ると仮定されるフォーカス円筒２１の表面直線を構成す
る。同様に、フォーカス直線１３及び直線フォーカス１
１はフォーカス円筒２３の表面直線を構成し、この場合
モノクロメータ結晶３は湾曲しており、例えば円筒状（
こ湾曲しており、フォーカス円筒２３のセグメントを構
成している。対象物における互に異なる結晶表面距離と
共に結晶表面によって回析されたＸ線ビーム１０の部分
２５は対応する態様でフォーカス円筒２１上に）Ａ−カ
ス直線２６を形成する。検出器人ロスリツ１〜７と共に
検出器９をフォーカス円筒２１【こ沿って移動した場合
、対象物を各位置において分析することができるか、又
は静止対象物の回折像を記録りることができる。

これは、フォーカス円筒の関連する部分にフィル１１細
条を配設することによっても達成できる。対象物の詳し
い分析のためには、対象物をＸ線ビーｌ第１０の通路に
おいて変位できるようにすることが所望される。正しい
ビーム集束を得るためには対象物を、フォーカス円筒に
対し外接状態になるように又はフォーカス円筒と合致す
るように連続的に配置する必要がある。

第２図は本発明の好適な実施例のモノクロメータ結晶３
．４つの異なる位置における対象物５、Ｘ線ビーム１０
の断面、及び同じく４つの位置におけるフォーカス円筒
２１を示しである。対象物は、ビーム・フォーカス１３
の周りにフォーカス円筒２１の直径に等しい半径で固定
配置した補助円筒２７を介して変位する。フォーカス円
筒２１の外表面には補助円筒２７の内表面に沿って滑り
の４ｒい態様で回動できるようにし、従ってフォーカス
円筒２１の外表面及び補助円筒２７の内表面にはこの目
的のための手段をそれぞれ設ける。フォーカス円筒２１
が補助円筒２７の内側に沿って回動する場合、装置はＸ
線ビーム１０内において２つの究極位置５−１及び５−
４の間を移動する。この移動に当り、Ｘ線ど一ム１０で
照射される対象物５の部分は、このようにして実現され
る角度適応に起因して同一表面積を有する。検出器入口
スリットも常にフォーカス円筒２１ど合致するから、位
置５−４及びビーム・フォーカス１３の間の定角軌道を
透過測定に使用づる一方、ビーム・フォーカス１３及び
位置５−１の間の定角軌道を反射測定に使用する。補助
円筒２７の軸と合致するフォーカス１３は回動に当りフ
ォーカス円筒２１の表面直線に留る。従って対象物の連
続的変位は透過定角軌道及び反躬定角軌通の両方を含む
こととなる。この変位に当り不安定な状態は生じない。

第３ａ図は対象物のための変位機構の好適な実施例を示
す。本例の変位機構はビーム・フォーカス１３の周りに
固定前ｔｆＺ　シた補助円筒３０を備える。

補助円筒３０はスリップ無し伝動ベル１へ３２を介し伝
動比１：２で円筒３５に結合する。更に補助円筒３０は
ビーム・フォーカス１３及び円筒３５の軸３７の周りで
回転自在なアーム３４を介して円筒３５に結合１−る。

Ｘ線ビームのビーム通路３６内で変位ずべき対象物５を
変位するため、フォーカス円筒２１は円筒３５と共に回
転し、フォーカス円筒２１はビーム・フ１−カス１３を
通り、かつ両方の円筒３５及び２１はアーム３４を介し
てこのフォーカス１３の周りを回動する。

第３ｂ図の実施例は、ベルトによる伝動に代えて、有歯
円筒３０及び３５の間に付加的有爾輪３８を用いる点を
除き第３ａ図の実施例にほぼ等しい。有歯輪３８は、例
えは、４５個の歯を有し、かつ、本例でもビーム・フォ
ーカス１３の周りに固定配置する円筒１３は９０個の歯
を有する。円筒３０及び３５は連結部材３９を介して互
に結合する。

第３Ｃ図は全体を標準有歯輸で構成できる変位機構の実
施例を示す。本例はビーム・フォーカス１３の周りに固
定配置されかつ例えば６０個の歯を有する有歯輪４０を
備え、この有歯輪は有歯輪伝動部を介して３０個の歯を
有する有歯輪４２に結合する。

有歯輪４２と同心状態で同一軸上に有歯輸４４を配置し
、この有歯輸は有歯輪伝動部４５を介して有歯輪４６に
結合する。有歯輪４４及び４６は伝動比１：１を有し、
本例ではそれぞれ１２０個の歯を有Ｊ−る。有歯輪４６
の周りに同心配置されかつ対象物５を固定配置されるフ
ォーカス円筒２１は有歯輸の回転に当りビーム・フォー
カス１３を通る一方、対象物５はＸ線ビーム通路３６に
おいて正しい角石関係で変位される。有歯輪４４及び４
６を回転自在に結合する連結部材４５はこれら有歯輪の
間の連結を確立する。

第４図はベルト又はケーブル伝動機構を設けた変位機構
の実施例を示す。この目的のため第４ａ図ではビーム・
フォーカス１３の周りに固定配置され、かつ例えば２０
０　ｍ　ｎ＋の直径を有する円筒６０と、ビーム・フォ
ーカスに沿って移動しかつ１００　ｍ　ｍの直径を有す
る円ｗＵ６２と、それぞれ５０１１　ＩＩＩの直径を右
りる２個の補助円筒６４及び６６とを示しである。各円
筒６０．６２．６１１．６６に点６９において固定連結
したベルト６８により、これら円筒を第４ｂ図に示した
スリップを生じない態様で互に結合り゛る。これら円筒
６０．６２．６４．６６にはベルト６８に対するら旋状
ガイドを設け、その円筒当りのピッチが円筒の直径に逆
比例し、円筒６４及び６６のピッチの符号は円筒６０及
び６２のピッチと反対になるようにしたため、回転に当
り各円筒において高さ方向のベル１〜の変位は同一とな
り、従って軸方向の力は生じない。

円筒６２並びに補助円筒６４及び６６の集合体は固定さ
れだ円筒６０の周りにおけるベルトの移動に当り回動し
、円筒６２の周りに配設したフォーカス円筒２１はＸ線
ビームのビーム・フォーカス１３を通り、かつ試験すべ
き対象物はＸ′線ビーム通路３６内を直線性で変位リ−
る。この場合連続部材６１によって各円筒間の連結を確
実にりる。

例えばビーム・フォーカスの周りにおける角１ａ運動で
表わした回転の範囲はベルトの移動を適合させることに
より選定することができる。９０°を充分カバーする回
転だけが所望される場合には、短いかつ比較的簡単なベ
ルト移動機構で充分である。しかし、ベルトが充分良い
場合には３６０’を充分カバーする回転も実現すること
ができる。

検出器が連続的に対象物に指向するようにするため、使
用ずべき各移動機構に検出器回転装置を付加することが
できる。この装置により検出器の方向はフォーカス円に
つぎ所定角度の回転に当りその半分の角度にわたって戻
り、その結果フォーカス円の中心の周りでの回転に当り
検出器はフォーカス円の周縁に配置される対象物に常に
指向する。これは、例えば、駆動円筒によって又はイ１
加的有歯輪を介して駆動覆るベルト伝動部により実用で
きる。

好適な実施例では対象物ホルダに対し、ホルダに配置し
た対象物をホルダの平面において既知の角度だけ回動で
きる移動機構を付加づる必要がある。この回動は組織試
験に特に重要であり、その理由は、その場合組織試験と
直接関連する最大強度従ってその方向を決定できるから
である。この目的のためには対象物ホルダに、駆動Ｊべ
き軸を設けることだけ必要とするに過ぎない。駆動には
対象物ホルダの移動に追従する七−夕を使用するか又は
減結合できるモータを介する駆動手段を使用することが
できる。代案として、対象物ホルダに、対象物の傾斜移
動を実現する移動機構を付加して、対象物に対し直角の
軸をフォーカス円の平面から移動覆るようにすることも
できる。

−第５図は本発明のＸ線分析装置、例えば、Ｘ線粉末回
折、応力試験、組織試験その仙結晶構造に直接相関する
試験のための装置の構成を詳細に示す。

かかる装置の一部を切除した第５ａ図では、電子ビーム
７２が図面の平面に直角に直線状ターゲツト面７３を形
成覆るアノード・ターゲット７１を有覆るＸ線管１０と
、モノクロメータ・ハウジング７４と、ゴニオメータ・
ハウジング７５とを示しである。モノクロメータ・ハウ
ジング７４はモノクロメータ結晶７６を備え、モノクロ
メータ結晶７６を適切に配設してこのモノクロメータ結
晶は異なる波長の放射線用の結晶７７によって直換でき
るようにし、この目的のためＸ線管を交換できるか又は
Ｘ線管に２つの異なるターゲット材料を設けるように１
−る。

例えば、Ｘ線管のアノードは０．１５４ｎＩＩｌの波長
を有する銅Ｋｏｃ１放射線を発生する銅のターゲット及
び０．２９９ｎｎの波長を有するクロムＫｏＣ１放銅線
を発生するクロムのターゲットを、個別照射のために備
えことができる。

窓７８から出射するＸ線ビーム７９のビーム通路には減
衰フィルタ８０．シャッタ８１及びビーム絞り８２を配
設することができる。絞り８２は、例えば、図面の平面
に直角な方向に延在するスリットの形態とするが、この
絞りは、他方向においては一部が遮蔽されるように構成
することもできる。厚い絞りと共に絞りの縁部における
反射をできるだけ制限Ｊ゛るため、例えば（１１１）結
晶面に沿ってカットしたブレーナ・シリコン単結晶から
絞りを構成Ｊると好適である。Ｘ線ど−ム７９はモノク
ロメータ結晶１６に入射し、このモノクロメータ結晶は
、例えば、湾曲したＳｉ単結晶とする。好適な実施例で
はＸ線分析装置は本願の優先権主張日と同日出願の本件
出願人のオランダ固持的出願に記載された形態のシリコ
ン単結晶を備える。モノクロメータ結晶の結晶面を介し
て絞られたＸ線ビームは窓８６を介してゴニオメータ・
ハウジング１５に入る。

第５ｂ図に断面で示したゴニオメータ部分は、本例では
内表面に歯９０を設けた円筒８８を備える。この歯はフ
Ａ−カス円筒９４の外周縁に設けた歯９２とスリップを
生じない態様で共動する。フＡ−カス円筒９４に固着し
た試験ずべき対象物９６を変位するため、対象物９６に
対ザる２つの究極位置９６−〇及び９６−３の間で固定
円筒８８の内側歯のピッチ円に沿ってフォーカス円筒９
４を回動する。その場合対象物はＸ線ど−ム８４のビー
ム通路内を、透過試験のため、円筒８８に対する入口窓
と対向する第１究極位置９６−Ｏから中間位置９６−１
を介してＸ線ビーム８４のビーム・フォーカス９８へ移
動し、引き続き、反射試験のため、ビーム・フォーカス
９８がら中間位置９６−２を介して、入口窓と直径方向
反対の位置９６−３へ移動する。回動運動を駆動するた
め本例では付加的有爾輪１００を使用し、この有爾輪は
装着板９９上に装着したモータ（図示１！ｆ　）によっ
て駆動し、かつフォーカス円筒９４の歯９２とも共動す
る。その場合有歯輪１００の１１＋　１０２は固定円筒
８８に対□し円の周りを移動する。フォーカス円筒９４
の軸１１０はビーム・フォーカス９８の周りの円１０４
に沿って移動する。検出器１０６はフォーカス円筒９４
の円周」二に配設し、かつアーム　１０８を介してフォ
ーカス円筒９４の軸１１０に回転自在に結合する。フォ
ーカス円筒９４の各位置に対し検出器をフォーカス円筒
の周縁に沿って移動することかでき、従って、例えば、
同じく装着板９９上に装着した駆動モータ（図示せず）
を使用することができる。

このモータにより軸１１０を介し−Ｃ検出器支持ディス
ク１０５を駆動する。この運動は対象物の各位置におい
て行うことができる。エンコーダ　１１２により、例え
ば、入射ビーム及び検出器の間の角度を常にきわめで精
密に測定することができる。従って実際上、エンコーダ
は角度４θを測定し、ここでθは測定位置における対象
物に対重るブラッグ角度を示す。またこの場合、他の有
歯輸又は他の適当な結合もしくは駆動機構１０７を付加
りることにより、対象物及び検出器の回転に当り検出器
を連続的に再調整しく一検出器を連続的に対象物に指向
させるようにすることができる。カバ一部１１４ににり
移動ＩＮ　４ｉ６全体を開成することができ、従ってこ
の機構内のスペースをモノクロメータ結晶用のハウジン
グど共に適切な状態にすることができる。対象物の位置
の選定における高い自由度に起因して、モノクロメータ
結゛晶においてＸ線に起るか又はモノクロメータ以前に
おいて既にＸ線に起っている分散を、対象物における分
散によって少なくとも部分的に補正するか又は増幅でき
るような対象物を配置することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のＸ線分析装置の概要を示す斜視図、 第２図は本発明のＸ線分析装置の変位機構の実施例の基
本構成を示す図、 第３図は本発明のＸ線分析装置の変位Ｉ幾構の他の３つ
の実施例の基本構成を−示す図、第４ａ図は本発明のＸ
線分析装置の変位ｍ、横の他の実施例の基本構成を示す
平面図、 第４ｂ図は第４ａ図の要部斜視図、 第５ａ図は第２図に示した種類の変位機構の実施例を詳
細に示す平面図、 第５ｂ図は第５ａ図のカバ一部の断面図である。 １・・・アノード・ターゲラ１〜 ３・・・モノクロメータ結晶 ５・・・対象物　　　　　　７・・・人ロスリツ１〜９
・・・検出器　　　　　１０・・・Ｘ線ビーム１１・・
・直線フォーカス　１３・・・フォーカス直線１１・・
・フォーカス直線 ２１、２１−　１〜２１−４・・・フォーカス円筒２３
・・・フォーカス円＠　　２６・・・フォーカス直線２
７、３０・・・補助円筒　　３２・・・伝動ベル１〜３
４・・・アーム　　　　　３５・・・円筒３６・・・Ｘ
線ビーム通路　３８・・・有歯輪３９・・・連結部材　
　　　４０．４２．　ｔｒ４・・・有歯輸４５・・・有
歯輪伝動部　　４６・・・有歯輪６０・・・円筒　　　
　　　６１・・・連結部材６２・・・円筒　　　　　　
６４．６６・・・補助円筒６８・・・ベルト　　　　　
７０・・・Ｘ線管７１・・・アノード・ターゲラ１〜 ７２・・・電子ビーム　　　７３・・・直線状ターゲツ
ト面７４・・・モノクロメータ・ハウジング７５・・・
ゴニオメータ・ハウジング ７６・・・モノクロメータ結晶 ７７・・・結晶　　　　　　７８・・・窓７９・・・Ｘ
線ビーム　　　８０・・・減衰フィルタ８１・・・シャ
ッタ　　　　８２・・・ビーム絞り８４・・・Ｘ線ビー
ム　　　８６・・・窓８８・＝・円ｊｉ−ｉ　　　　　
　　９０．９２・＠９４・・・フォーカス円間９６・・
・対象物９８・・・ビーム・フＡ−カス ９９・・・装着板　　　　　１００・・・付加的有歯輪
１０２・・・軸　　　　　　１０５・・・検出器支持デ
ィスク１０６・・・検出器　　　　１０７・・・駆動機
構１０８・・・アーム　　　　１１０・・・軸１１２・
・・■ンコータ゛１１４・・・カバ一部ＦＩＧ、２ ４少　４点Ｚ 〉 ０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　ＸｍｇＭ　（１）と、モノクロメータ（３）と、
   変位可能な対象物ホルダと、検出器（９）とを備えるＸ
   線分析装置において、Ｘ線ビームに対して変位する際対
   象物が、Ｘ線ビームのビー１トフォーカスの周りに固定
   配置した補助円筒（２７，，３０，４０，６０＞の周り
   で回動できるフォーカス円Ｍ（２？）の表面上に一定位
   置を占め、一方、検出器をフォーカス円筒の表面に沿っ
   て回転自在とするよう構成したことを特徴とするＸ線分
   析装置。 ２、入射Ｘ線ビーム及び検出器の間の角度を測定するた
   めエンコーダ（１１２）を設ける特許請求の範囲第１項
   記載のＸ線分析装置。 ３、補助円ｎ　（２７＞がフォーカス円筒（２１）の直
   径に等しい半径を有し、かつフォーカス円筒を補助円筒
   の内面に沿ってスリップを生じない態様で回動できる特
   許請求の範囲Ｍ１又は２項記載のＸ線分析装置。 ４、補助円筒の内面及びフォーカス円筒の外面に、スリ
   ップを生じない態様で共動する歯を設ける特許請求の範
   囲第３項記載のＸ線分析装置。 ５、フォーカス円筒（２１）にこれと同心配置した駆動
   円筒（３５）を設け、駆動円筒をスリップを生じないペ
   ル１〜伝動部（３２）を介して、ビーム・フォーカス（
   １３）の周りに固定配置されかつ駆動円筒の直径に等し
   い半径を有する補助円筒（３０）に結合する特許請求の
   範囲第１又は２項記載のＸ線分析装置。 ６、フォーカス円筒（２１）にこれと同心配置した駆動
   円筒（３５）を設け、駆動円筒の外部に歯を設け、かつ
   駆動円筒を中間有歯幅（３８）を介して補助円筒（３０
   ）に結合し、補助円筒の外部に、ビーム・フォーカス（
   １３）の周りに固定配置されかつ駆動円筒の歯の数の２
   倍の数を有する歯を設ける特許請求の範囲第１又は２項
   記載のＸ線分析装置。 ７、ビーム・フォーカス（１３）の周りに固定配置した
   補助円筒（４０）が中間案内部材（４２）と共に１：２
   の伝動比で共動し、中間案内部が同心結合した円筒（４
   ４）を介して円筒（４６）と共動し、この円筒（４６）
   がフォーカス円筒（２１）に同心配置されかつ円筒（４
   ４）の直径に等しい直径を有する特許請求の範囲第１又
   は２項記載のＸ線分析装置。 ８、ビーム・フォーカス（１３）の周りに配置した補助
   円筒（６０）をベルト伝動部（６８）　、第１中間円ｆ
   ｍ（６２）及び第２中間円筒（６６）を介してフォーカ
   ス円筒に結合し、ベルト伝動部のベルトが各円筒に共通
   な点を有し、かつ回転に当り軸方向の力発生しない案内
   部を通る特許請求の範囲第１又は２項記載のＸ線分析装
   置。 ９、対象物ホルダ及び検出器に対する移動ｔａＷＪに、
   測定時に検出器を連続的に対象物に指向させるｍ横（１
   ０７）を付加する特許請求の範囲第１乃至８項中のいず
   れか一項記載のＸ線分析装置。 １０、転位の少ない単結晶で構成したダブル・フォーカ
   ス・モノクロメータ結晶（１６）を設ける特許請求の範
   囲第１乃至９項中のいずれか一項記載のＸ線分析装置。 １１、対象物ホルダに対する移動機構に、照射ずべぎ結
   晶の表面に直角でありかつフォーカス円の平面にある軸
   の周りで対象物を回転する移動装置を付加する特許請求
   の範囲第１乃至１０項中のいずれか一項記載のＸ線分析
   装置。 １２、照射すべき結晶の表面に直角でありかつフォーカ
   ス円の平面にある軸に対し対象物ホルダに配置した対象
   物の傾斜運動を行わせる装置を対象物ホルダに付加する
   特許請求の範囲第１乃至１１Ｔｊｉ中のいずれか一項記
   載のＸ線分析装置。 １３、対象物を照射すべきＸ線ビームに対するビーム阻
   止絞り（８２）を、（１１１）結晶面に沿ってカットし
   た転位の少ない単結晶材料のスライスで構成する特許請
   求の範囲第１乃至１２項中のいずれか一項記載のＸ線分
   析装置。