SU614367A1 - Флуоресцентный рентгеновский спектрометр - Google Patents

Флуоресцентный рентгеновский спектрометр

Info

Publication number
SU614367A1
SU614367A1 SU752174672A SU2174672A SU614367A1 SU 614367 A1 SU614367 A1 SU 614367A1 SU 752174672 A SU752174672 A SU 752174672A SU 2174672 A SU2174672 A SU 2174672A SU 614367 A1 SU614367 A1 SU 614367A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
sample
ray
spectrometer
circle
distance
Prior art date
Application number
SU752174672A
Other languages
English (en)
Inventor
Климент Владиславович Анисович
Николай Иванович Комяк
Original Assignee
Предприятие П/Я М-5659
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я М-5659 filed Critical Предприятие П/Я М-5659
Priority to SU752174672A priority Critical patent/SU614367A1/ru
Priority to US05/724,231 priority patent/US4091282A/en
Priority to NLAANVRAGE7610384,A priority patent/NL172594C/xx
Priority to DE2642637A priority patent/DE2642637C2/de
Priority to FR7628628A priority patent/FR2325926A1/fr
Priority to GB39475/76A priority patent/GB1564534A/en
Application granted granted Critical
Publication of SU614367A1 publication Critical patent/SU614367A1/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G01N23/2076Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

1
Изойретение относитс  к технике рентгеноспектрального флуоресцентного анализа.
Известные рентгеновские флуоресцентные спектрометры,, содержащие рентгеновскую трубку, держатель образца , фокусирующий кристалл-анализатор и детектор рентгеновского излучени  1.
Дл  получени  хорошей светосилы в таких спектрометрах необходимо использовать мс дные рентгеновские трубки, что значительно увеличивает габариты спектрометра.
Дл  повышени  светосилы спектрометров рентгеновского излучени  примен ют кристаллы-анализаторы с большим раствором угла и источники возбуждающего излучени , дающие ленточный пучок электронов |j2 .
Наиболее близок по технической сущности к предложенному - флуоресцентный рентгеновский спектрометр, содержапшй источник рентгеновского излучени , держатель образца,фокусирующий кристаланализатор ,.положение которого определ ет положение фокусирующей окружности, детектор рентгеновского излучени  з.
Недостатке этого устройства  вл етс  низка  светосила.
Цель изобретени  заключаетс  в том, чтобы повысить светосилу спектрометра .
Поставленна  цель достигаетс  тем, что рассто ние от фокуса источника рентгеновского излучени  до поверхности образца не превышает четверти высоты кристалла-анализатора, а рассто ние от поверхности образца до фокусирующей окружности не превышает четверти произведени  диаметра фокусирующей окружности на отношение высоты кристалла-анализатора к его длине.
На фиг. 1 представлена оптическа  схема флуоресцентного рентгеновского спектрометра; на фиг. 2 - график интенсивности флуоресценции освещаемых участков образца в зависимости от рассто ни  их ДО центра освещенной области в единицах рассто ни  от фокусного п тна трубки до центра освещенной области .

Claims (3)

  1. Флуоресцентный рентгеновский спектрометр содержит торцовую рентгеновскую трубку 1 прострельного типа с фокусным п тном 2, держатель образца с образцом 3, исследуемый участок которого имеет высоту а и ширину , входную 4 и приемную 5 щели, расположенные на фокальном круге 6, фокусиругстций кристалл-анализатор 7 длиной и высотой Н , расположенный за фокаль ным -кругом, и детектор 8 рентгеновско излучени . Первичное излучение рентгеновской трубки 1t исход щее из фокусного п тна 2, освещает образец 3, в котором возбуждаетс  вторичное флуоресцентное рентгеновское излучение. Флуоресцентное излучение образца прохо;Е|ит: через BxoAHjno щель 4, отражаетс  от кристалла-анализатора 1ф фокусиру сь на приемной щели 5, и регистрируетс  детектор « 8 рентгеновского излучени  BыЬoтa а исследуемого участка .образца ограничена высотой кристалла-анализатора и ргизнаК . Ширина исследуемого участка образца овусловлена рассто нием от его аоверхности до фокального круга и рав ыа (ФигЛ) :Ъ--| ,. где. Я рассто ние от входной ще/д до кристалла-анализатора ; D диаметр фркального круга, 9 - угол Брег га. Рассто ние fi от фокусного п тна 2до поверхности образца 3 не превыша ет четверти высоты И кристалла-анализатора 7.Так как крайние точки исследуемого участка поверхности образц 3отсто т.от центра поверхности на ве личину -j-i - , то такое рассто ние от фокусного п тна 2 до поверхности образца 3 позвол ет осветить исследуе мый участок поверхности практически всем потоке излучени  от- -ренфг-виоах ш кой трубки I в вертикальной плоскости {см .фиг. 2), Держатель образца расположен так, что рассто ние t« QTJ поверхности образца 3 до фокального круга б в спектрометре не больше PИ этом ширина в исследуемого участ ка поверхности образца 3 меньше или равна , т.е. в горизонтальной плоскости осве1ценност.ь исследуемого учасхка поверхности образца 3 равномерна (см.фиг.2). Чувствительность фокусирующего ре геновского спектрометра определ етс  освещенностью исследуемого участка п верхности образца. yMSHbtrjeHHe исслед МОГ.О, участка поверхности приводит к (е ьи1ёнию необходимого потока излучени  рентгеновской трубки,а тем самьв и к повьааению светрс лы спектрометра , ч При выполнении требований: fl I - освещенность исследуемого участка поверхности образца велика, а площгдфь исследуемого Участка мини67 мальна, т.е. светосила спектрометра аксимальна. Схема спектрометра реализуетс  при образце, расположенном как вне, так и внутри -фокального: круга, однако наилучшие результаты получают при расположении образца вне фокального круга. Исследуемый участок поверхности образца в предлагаемом варианте спектрометра мал.Поэтому дл  устранени  результатов анализа образец в процессе измерени  целесообразно перемещать. Повышение светосилы флуоресцентного рентгеновского спектрометра позвол ет при сохранении мощности рентгеновской трубки повысить чувствительность в 10-30 раз или при сохранении чувствительности снизить мощность рентгеновской трубки на два-три пор дка. Например , применение малсмощной рентгеновской трубки прострельного типа, имеющей малое рассто ние от фокусного п тна до выходного окна, резко снижает габариты спектрометра и его себестоимость . Формула изобретени  Флуоресцентный рентгеновский спектрометр, содержащий источник рентгеновского излучени , держатель образца, фокусирующий кристалл-аналидатор , положение которого определ ет положение фокусирующей окружности, и детектор излучени , отличающийс  тем, что, с целью повышени  светосилы спектрометра, источник рентгеновского излучени  и держатель образца расположены таким образ т, что рассто ние от Фокуса источника рентгеновского излучени  до поверхности образца не превышает Четверти высоты кристалла-анализатора, а рассто ние от поверхности образца до фокусирующей окружности не превышает четверти произведени  диаметра фокусирующей окружности на отношение высоты кристалла-анализатора к его длине. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе: 1 .Toghio Stiiraiwa pnd Nofau1(at«u Fujitio. Miefo feuopescent X- dgahofcsset. Advances in X-Kav Anatysis ,v.-HjPEenum , Jofk,Y96e.
  2. 2.ВЕ ложенна  за вка ФРГ № 2329190, КЛ..42 t 3/08, 1973.
  3. 3.Русанов A. A. Рентгенографи  металлов, ч. Ш М., МИФИ, 1969, с. 99.
SU752174672A 1975-09-26 1975-09-26 Флуоресцентный рентгеновский спектрометр SU614367A1 (ru)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU752174672A SU614367A1 (ru) 1975-09-26 1975-09-26 Флуоресцентный рентгеновский спектрометр
US05/724,231 US4091282A (en) 1975-09-26 1976-09-17 X-ray fluorescence spectrometer
NLAANVRAGE7610384,A NL172594C (nl) 1975-09-26 1976-09-17 Een met roentgenstralen werkende fluorescentiespectrometer.
DE2642637A DE2642637C2 (de) 1975-09-26 1976-09-22 Röntgenfluoreszenzspektrometer
FR7628628A FR2325926A1 (fr) 1975-09-26 1976-09-23 Spectrometre radioscopique a fluorescence
GB39475/76A GB1564534A (en) 1975-09-26 1976-09-23 Ray fluorescence spectrometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU752174672A SU614367A1 (ru) 1975-09-26 1975-09-26 Флуоресцентный рентгеновский спектрометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU614367A1 true SU614367A1 (ru) 1978-07-05

Family

ID=20632495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU752174672A SU614367A1 (ru) 1975-09-26 1975-09-26 Флуоресцентный рентгеновский спектрометр

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4091282A (ru)
DE (1) DE2642637C2 (ru)
FR (1) FR2325926A1 (ru)
GB (1) GB1564534A (ru)
NL (1) NL172594C (ru)
SU (1) SU614367A1 (ru)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4417355A (en) * 1981-01-08 1983-11-22 Leningradskoe Npo "Burevestnik" X-Ray fluorescence spectrometer
NL8300420A (nl) * 1983-02-04 1984-09-03 Philips Nv Roentgen analyse apparaat.
US4785470A (en) * 1983-10-31 1988-11-15 Ovonic Synthetic Materials Company, Inc. Reflectivity and resolution X-ray dispersive and reflective structures for carbon, beryllium and boron analysis
NL8700488A (nl) * 1987-02-27 1988-09-16 Philips Nv Roentgen analyse apparaat met saggitaal gebogen analyse kristal.
GB2214769A (en) * 1988-03-04 1989-09-06 Le N Proizv Ob Burevestnik Multichannel x-ray spectrometer
RU94022820A (ru) * 1994-06-14 1996-04-10 К.В. Анисович Рентгеновский флюоресцентный спектрометр
DE29517080U1 (de) * 1995-10-30 1997-03-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80636 München Vorrichtung für die Röntgenfluoreszenzmikroskopie
CN101883980B (zh) * 2007-03-15 2013-06-12 X射线光学系统公司 用于确定样品价态的x射线荧光方法
JP7418208B2 (ja) 2016-09-15 2024-01-19 ユニバーシティ オブ ワシントン X線分光計及びその使用方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2805343A (en) * 1954-07-12 1957-09-03 Andrew R Lang Diffractometer
US2805341A (en) * 1954-07-12 1957-09-03 Andrew R Lang Diffractometer
GB1148646A (en) * 1967-02-16 1969-04-16 Cambridge Instr Co Ltd X-ray microanalysers

Also Published As

Publication number Publication date
NL172594C (nl) 1983-09-16
FR2325926B1 (ru) 1978-11-03
DE2642637C2 (de) 1982-02-11
FR2325926A1 (fr) 1977-04-22
NL172594B (nl) 1983-04-18
DE2642637A1 (de) 1977-04-07
US4091282A (en) 1978-05-23
NL7610384A (nl) 1977-03-29
GB1564534A (en) 1980-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4195930A (en) Optical Raman microprobe with laser
US3556659A (en) Laser-excited raman spectrometer
SU614367A1 (ru) Флуоресцентный рентгеновский спектрометр
JP2003515164A (ja) X線蛍光装置
US3460880A (en) Point illumination and scanning mechanism for microscopes
US4417355A (en) X-Ray fluorescence spectrometer
JP2006519364A (ja) 分光光度計
GB2158231A (en) Laser spectral fluorometer
US3963922A (en) X-ray fluorescence device
JP2002189004A (ja) X線分析装置
JP2007017350A (ja) X線分析装置
JP2002195963A (ja) X線分光装置およびx線分析装置
US3005098A (en) X-ray emission analysis
KR100703819B1 (ko) 형광 엑스-레이 분석장치
US3155827A (en) Electron microscope with a secondary electron source utilized for electron probe analysis
US3247759A (en) Spectrometer with multiple entrance slits
JPH02259515A (ja) ケイ光x線膜厚測定装置
SU974230A2 (ru) Флуоресцентный рентгеновский спектрометр
US3463592A (en) Shifting beam microspectrophotometer with means for selectively varying paths of reference and sample beams through a common optical system
SU320195A1 (ru) Флуоресцентный рентгеновский спектрометр
SU273005A1 (ru) Рентгеновска трубка дл возбуждени спектров флуоресценции
JP3860641B2 (ja) 蛍光x線分析装置
SU972348A2 (ru) Флуоресцентный рентгеновский анализатор с рентгеновским зондом
WO1983001111A1 (en) Apparatus for the measurement of fluorescence
US3503686A (en) Atomic absorption spectrophotometer