JP3027361B2 - イメージングプレートｘ線回折装置 - Google Patents
イメージングプレートｘ線回折装置Info
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
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- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、イメージングプレ
ートＸ線回折装置に係り、特に、露光エリアが拡大さ
れ、高速、高分解能で、しかも使い勝手のよい省スペー
スタイプのイメージングプレートＸ線回折装置に関する
ものである。
ートＸ線回折装置に係り、特に、露光エリアが拡大さ
れ、高速、高分解能で、しかも使い勝手のよい省スペー
スタイプのイメージングプレートＸ線回折装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば以下に開示されるようなものがあった。
例えば以下に開示されるようなものがあった。
【０００３】一般的に有機物や無機物の結晶構造の解析
には、単結晶を作製し、Ｘ線回折測定を行う方法がとら
れている。
には、単結晶を作製し、Ｘ線回折測定を行う方法がとら
れている。
【０００４】しかし、今後の研究には、これまでに比べ
て、迅速で分解能の高いデータ測定を行える装置の開発
が必要となっている。例えば、１台のＸ線回折装置でも
って、Ｍｏ（モリブデン）Ｋα線（波長０．７１０Å）
の測定に止まらず、銅（Ｃｕ）Ｋα線（波長１．５４２
Å）の測定が必要になってきている。
て、迅速で分解能の高いデータ測定を行える装置の開発
が必要となっている。例えば、１台のＸ線回折装置でも
って、Ｍｏ（モリブデン）Ｋα線（波長０．７１０Å）
の測定に止まらず、銅（Ｃｕ）Ｋα線（波長１．５４２
Å）の測定が必要になってきている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そのような、単結晶の
Ｘ線による構造解析装置として、 （１）３次元スポットの測定を自在に行うことができる
単結晶自動Ｘ線解析装置が開発されている。この単結晶
自動Ｘ線解析装置は、Ｘ線発生装置と、４軸ゴニオメー
タと、このゴニオメータの２θ軸に搭載されたシンチレ
ーションカウンタと、回折データの処理を行うコンピュ
ータシステムを備えている。
Ｘ線による構造解析装置として、 （１）３次元スポットの測定を自在に行うことができる
単結晶自動Ｘ線解析装置が開発されている。この単結晶
自動Ｘ線解析装置は、Ｘ線発生装置と、４軸ゴニオメー
タと、このゴニオメータの２θ軸に搭載されたシンチレ
ーションカウンタと、回折データの処理を行うコンピュ
ータシステムを備えている。
【０００６】この単結晶自動Ｘ線解析装置は、試料のあ
らゆるＸ線回折データ収集が可能である反面、３次元ス
ポットの測定であるために、試料の全Ｘ線回折データ収
集に、３日から４日を要するとともに、装置のスペース
が大きくなるといった問題もあった。
らゆるＸ線回折データ収集が可能である反面、３次元ス
ポットの測定であるために、試料の全Ｘ線回折データ収
集に、３日から４日を要するとともに、装置のスペース
が大きくなるといった問題もあった。
【０００７】（２）更に、Ｘ線回折データ収集時間を短
縮するために、円筒状のイメージングプレートを横方向
に配置して、Ｘ線回折データを一度に取り込めるように
したイメージングプレートＸ線回折装置が開発されてい
る。
縮するために、円筒状のイメージングプレートを横方向
に配置して、Ｘ線回折データを一度に取り込めるように
したイメージングプレートＸ線回折装置が開発されてい
る。
【０００８】このイメージングプレートＸ線回折装置
は、Ｘ線回折データ収集時間の短縮に寄与するところは
大であるが、２θ測角範囲は、±６０度で、ＭｏＫα線
（波長０．７１０Å）の測定専用であった。つまり、Ｃ
ｕＫα線（波長１．５４２Å）を使用すると、少なくと
も０度から１４０度の２θ測角範囲が必要となり、この
２θ測角範囲を確保するためには、結晶へのアクセスス
ペースを著しく狭めざるを得ず、使い勝手に難があっ
た。
は、Ｘ線回折データ収集時間の短縮に寄与するところは
大であるが、２θ測角範囲は、±６０度で、ＭｏＫα線
（波長０．７１０Å）の測定専用であった。つまり、Ｃ
ｕＫα線（波長１．５４２Å）を使用すると、少なくと
も０度から１４０度の２θ測角範囲が必要となり、この
２θ測角範囲を確保するためには、結晶へのアクセスス
ペースを著しく狭めざるを得ず、使い勝手に難があっ
た。
【０００９】したがって、上記したＭｏＫα線（波長
０．７１０Å）の測定と、ＣｕＫα線（波長１．５４２
Å）の測定との両方の測定を行うためには、上記した
（１）の装置を用い、長いデータ収集時間を許容する
か、使い勝手を犠牲にせざるを得ないという問題があっ
た。
０．７１０Å）の測定と、ＣｕＫα線（波長１．５４２
Å）の測定との両方の測定を行うためには、上記した
（１）の装置を用い、長いデータ収集時間を許容する
か、使い勝手を犠牲にせざるを得ないという問題があっ
た。
【００１０】また、上記（２）の装置は横型であり、特
に、幅方向のサイズが大きくなるといった問題があっ
た。
に、幅方向のサイズが大きくなるといった問題があっ
た。
【００１１】本発明は、上記問題点を解決するために、
２θ測角範囲が拡大され、高速、高分解能で、しかも使
い勝手のよい省スペースタイプのイメージングプレート
Ｘ線回折装置を提供することを目的とする。
２θ測角範囲が拡大され、高速、高分解能で、しかも使
い勝手のよい省スペースタイプのイメージングプレート
Ｘ線回折装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕イメージングプレートＸ線回折装置において、Ｘ
線光学系とゴニオメータを備え、セットされた単結晶試
料にＸ線回折を起こさせる手段と、前記試料のＸ線回折
線を記憶できるように、鉛直方向に配置され、かつ、−
６０°〜＋１４４°の２θ測角範囲をカバーするととも
に、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折線測定を可能にした円
筒状イメージングプレートと、この円筒状イメージング
プレートの裏面の全面を支持する円筒状の移動台と、こ
の移動台に支持された前記円筒状イメージングプレート
を鉛直方向に移送する移送手段と、移送された円筒状イ
メージングプレートと同軸状に配置され、この円筒状イ
メージングプレートの内周面のＸ線回折線データを読み
取る回転式読み取り装置とを備え、前記ゴニオメータ
が、前記円筒状イメージングプレートの内側下部にＸ線
光学系やイメージングプレートと機械的干渉なく配置さ
れ、試料の軸を立てるようにしたものである。
成するために、 〔１〕イメージングプレートＸ線回折装置において、Ｘ
線光学系とゴニオメータを備え、セットされた単結晶試
料にＸ線回折を起こさせる手段と、前記試料のＸ線回折
線を記憶できるように、鉛直方向に配置され、かつ、−
６０°〜＋１４４°の２θ測角範囲をカバーするととも
に、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折線測定を可能にした円
筒状イメージングプレートと、この円筒状イメージング
プレートの裏面の全面を支持する円筒状の移動台と、こ
の移動台に支持された前記円筒状イメージングプレート
を鉛直方向に移送する移送手段と、移送された円筒状イ
メージングプレートと同軸状に配置され、この円筒状イ
メージングプレートの内周面のＸ線回折線データを読み
取る回転式読み取り装置とを備え、前記ゴニオメータ
が、前記円筒状イメージングプレートの内側下部にＸ線
光学系やイメージングプレートと機械的干渉なく配置さ
れ、試料の軸を立てるようにしたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を参照しながら詳細に説明する。
て図を参照しながら詳細に説明する。
【００１４】図１は本発明の実施例を示すイメージング
プレートＸ線回折装置の全体構成図、図２はそのイメー
ジングプレートＸ線回折装置の要部正面図、図３はその
イメージングプレートＸ線回折装置の上面図である。な
お、以下に示す各部品の仕様は、単なる１例に過ぎず、
これに限定されるものではない。
プレートＸ線回折装置の全体構成図、図２はそのイメー
ジングプレートＸ線回折装置の要部正面図、図３はその
イメージングプレートＸ線回折装置の上面図である。な
お、以下に示す各部品の仕様は、単なる１例に過ぎず、
これに限定されるものではない。
【００１５】これらの図において、１は試料としての結
晶３をセットするゴニオメータであり、（１）φは３６
０°回転可能であり、０．０２°／ステップの駆動が可
能である。（２）ｘは−１５〜５５°：０．００２°／
ステップの駆動が可能である。（３）ωは−８５〜２６
５°：０．００２°／ステップの駆動が可能である。軸
交差精度は、例えば、２０μｍ程度である。（４）ゴニ
オメータヘッドはＩＵＣｒ規格（４９ｍｍタイプ）アー
クレスゴニオヘッド１個を設けている。
晶３をセットするゴニオメータであり、（１）φは３６
０°回転可能であり、０．０２°／ステップの駆動が可
能である。（２）ｘは−１５〜５５°：０．００２°／
ステップの駆動が可能である。（３）ωは−８５〜２６
５°：０．００２°／ステップの駆動が可能である。軸
交差精度は、例えば、２０μｍ程度である。（４）ゴニ
オメータヘッドはＩＵＣｒ規格（４９ｍｍタイプ）アー
クレスゴニオヘッド１個を設けている。
【００１６】また、５はＸ線光学系であり、（１）カメ
ラ部は縦型ワイセンベルグカメラ、カメラ長は１２７．
３８ｍｍ、測角範囲２θ＝−６０°〜＋１４４°、軸方
向は±４５°である。（２）モノクロメータは平板グラ
ファイト結晶である。（３）コリメータは０．３ｍｍ，
０．５ｍｍ，０．８ｍｍダブルである。（４）ビームス
トッパーは結晶直後に配置し、試料観察用として、例え
ば、ＣＣＤカメラ（倍率モニター上で約７０倍）を備え
ている。（５）層線スクリーンは０層線用スクリーン
（幅５ｍｍ固定）である。
ラ部は縦型ワイセンベルグカメラ、カメラ長は１２７．
３８ｍｍ、測角範囲２θ＝−６０°〜＋１４４°、軸方
向は±４５°である。（２）モノクロメータは平板グラ
ファイト結晶である。（３）コリメータは０．３ｍｍ，
０．５ｍｍ，０．８ｍｍダブルである。（４）ビームス
トッパーは結晶直後に配置し、試料観察用として、例え
ば、ＣＣＤカメラ（倍率モニター上で約７０倍）を備え
ている。（５）層線スクリーンは０層線用スクリーン
（幅５ｍｍ固定）である。
【００１７】そこで、図４及び図５に示すように、ゴニ
オメータ１に試料としての単結晶３をセットし、Ｘ線光
学系５からＸ線がその結晶３に照射されるようにする
と、その単結晶３によりＸ線回折が起き、そのＸ線回折
線がイメージングプレート２１に記憶される。
オメータ１に試料としての単結晶３をセットし、Ｘ線光
学系５からＸ線がその結晶３に照射されるようにする
と、その単結晶３によりＸ線回折が起き、そのＸ線回折
線がイメージングプレート２１に記憶される。
【００１８】更に、図１に示した７は移動台２３に搭載
されるイメージングプレート２１を鉛直方向の下部に移
送するためのリニアガイド部、１１はそのイメージング
プレート２１の搬送のための駆動モータであり、１２は
伝導機構部である。
されるイメージングプレート２１を鉛直方向の下部に移
送するためのリニアガイド部、１１はそのイメージング
プレート２１の搬送のための駆動モータであり、１２は
伝導機構部である。
【００１９】上記した主な装置は、読み取り装置のチャ
ンバ１５の上に配置され、そのチャンバ１５の内部に回
転式読み取り装置２０が収納される。１３はＸ線測定部
の防Ｘ線を兼ねたカバー、２３はイメージングプレート
２１の裏面の全体を支持する円筒状の移動台（図１にお
いてその縦断面が、図３においてその横断面がそれぞれ
示されている）。
ンバ１５の上に配置され、そのチャンバ１５の内部に回
転式読み取り装置２０が収納される。１３はＸ線測定部
の防Ｘ線を兼ねたカバー、２３はイメージングプレート
２１の裏面の全体を支持する円筒状の移動台（図１にお
いてその縦断面が、図３においてその横断面がそれぞれ
示されている）。
【００２０】そこで、その回転式読み取り装置２０につ
いて説明すると、（１）読み取り方式は内周読み取り
（光学系回転）方式である。（２）イメージングプレー
ト２１は検出面積：４６０ｍｍ×２５５ｍｍ、画素サイ
ズ：１００×１００μｍ，１００×１０５μｍ，２００
×２００μｍ、画素数：４６００×２５５０，４６００
×１７００，２３００×１２７５である。（３）カメラ
半径は１２７．３８ｍｍである。（４）検出器は光電子
増倍管である。（５）読み取り光源は半導体レーザ（最
大定格出力２５ｍＷである。（６）ダイナミックレンジ
１〜１０6 （０〜１０４８４８０）である。（７）読み
取り感度は１−Ｘ線ホトン／ピクセルである。（８）出
力データは約２３．５ＭＢ／（１００×１００μｍ）で
ある。（９）ＩＰ枚数は１枚である。（１０）読み取り
時間は１５００ライン／分、約１００ｓｅｃ／（１００
×１００μｍ）である。（１１）消去時間は２０秒であ
る。（１２）デューティタイムは約１４０ｓｅｃであ
る。
いて説明すると、（１）読み取り方式は内周読み取り
（光学系回転）方式である。（２）イメージングプレー
ト２１は検出面積：４６０ｍｍ×２５５ｍｍ、画素サイ
ズ：１００×１００μｍ，１００×１０５μｍ，２００
×２００μｍ、画素数：４６００×２５５０，４６００
×１７００，２３００×１２７５である。（３）カメラ
半径は１２７．３８ｍｍである。（４）検出器は光電子
増倍管である。（５）読み取り光源は半導体レーザ（最
大定格出力２５ｍＷである。（６）ダイナミックレンジ
１〜１０6 （０〜１０４８４８０）である。（７）読み
取り感度は１−Ｘ線ホトン／ピクセルである。（８）出
力データは約２３．５ＭＢ／（１００×１００μｍ）で
ある。（９）ＩＰ枚数は１枚である。（１０）読み取り
時間は１５００ライン／分、約１００ｓｅｃ／（１００
×１００μｍ）である。（１１）消去時間は２０秒であ
る。（１２）デューティタイムは約１４０ｓｅｃであ
る。
【００２１】この回転式読み取り装置２０は、図６に示
すように、既に、本願発明者等によって提案されている
（特開平６−１９０１４号公報参照）ように、大別する
と、レーザ光源２６と、回転体２８の内部に収納された
読み取り光学系と、蛍光検出装置３０とから構成されて
いる。
すように、既に、本願発明者等によって提案されている
（特開平６−１９０１４号公報参照）ように、大別する
と、レーザ光源２６と、回転体２８の内部に収納された
読み取り光学系と、蛍光検出装置３０とから構成されて
いる。
【００２２】そこで、レーザ光源２６で発生したレーザ
光４０は、ミラー３２，３４で反射して、移動台（図示
なし）に搭載されたイメージングプレート２１の記録面
２２に垂直な方向に向けられる。このレーザ光４０は、
選択ミラー３６と集光レンズ３８を通過して、イメージ
ングプレート２１の記録面２２上に照射される。レーザ
光４０の当たった部分に潜像が記録されていると、そこ
から蛍光が発生する。
光４０は、ミラー３２，３４で反射して、移動台（図示
なし）に搭載されたイメージングプレート２１の記録面
２２に垂直な方向に向けられる。このレーザ光４０は、
選択ミラー３６と集光レンズ３８を通過して、イメージ
ングプレート２１の記録面２２上に照射される。レーザ
光４０の当たった部分に潜像が記録されていると、そこ
から蛍光が発生する。
【００２３】この蛍光は、集光レンズ３８で集められ
て、平行光線となり、選択ミラー３６で反射して、中心
線２４に平行な方向に向けられる。蛍光４２はレーザ光
源２６の方向には戻らずに、レーザ光源２６とは反対の
側に配置されている蛍光検出装置３０の方向に向けられ
る。この蛍光４２は、フィルター４４で赤色光をカット
されて、蛍光検出装置３０でその強度が検出される。２
５は移動台（図示なし）に搭載されたイメージングプレ
ート２１の移動方向を示している。
て、平行光線となり、選択ミラー３６で反射して、中心
線２４に平行な方向に向けられる。蛍光４２はレーザ光
源２６の方向には戻らずに、レーザ光源２６とは反対の
側に配置されている蛍光検出装置３０の方向に向けられ
る。この蛍光４２は、フィルター４４で赤色光をカット
されて、蛍光検出装置３０でその強度が検出される。２
５は移動台（図示なし）に搭載されたイメージングプレ
ート２１の移動方向を示している。
【００２４】そこで、イメージングプレート２１が読み
取り装置のチャンバ１５に移送されると、回転式読み取
り装置２０により、潜像としての試料のＸ線回折線が読
み取られる。
取り装置のチャンバ１５に移送されると、回転式読み取
り装置２０により、潜像としての試料のＸ線回折線が読
み取られる。
【００２５】したがって、図４及び図５に示すように、
例えば、ＣｕＫα線による試料からの回折データが、イ
メージングプレート２１の測角範囲２θ＝−６０°〜＋
１４４°に記録される場合にも、回転式読み取り装置２
０の１回転により、測角範囲２θ＝±６０°の場合と同
程度の高速で読み取ることができる。
例えば、ＣｕＫα線による試料からの回折データが、イ
メージングプレート２１の測角範囲２θ＝−６０°〜＋
１４４°に記録される場合にも、回転式読み取り装置２
０の１回転により、測角範囲２θ＝±６０°の場合と同
程度の高速で読み取ることができる。
【００２６】また、この装置では、読み取りが終了した
イメージングプレート２１の記録されたデータを消去し
て、駆動モータ１１の駆動により、鉛直方向上方に移送
して、再び、Ｘ線回折線の記憶を行うために使用するこ
とができる。
イメージングプレート２１の記録されたデータを消去し
て、駆動モータ１１の駆動により、鉛直方向上方に移送
して、再び、Ｘ線回折線の記憶を行うために使用するこ
とができる。
【００２７】また、図示しないが、コントローラとし
て、（１）Ｘ線露光、読み取り、データ転送のためのシ
ーケンス制御と、（２）イメージングプレートデータ読
み取り用として、高速１６ビットＡＤＣと、（３）制御
用Ｉ／ＦとしてＲＳ−２３２Ｃと、（４）データ用Ｉ／
ＦとしてＳＣＳＩ２が設けられる。
て、（１）Ｘ線露光、読み取り、データ転送のためのシ
ーケンス制御と、（２）イメージングプレートデータ読
み取り用として、高速１６ビットＡＤＣと、（３）制御
用Ｉ／ＦとしてＲＳ−２３２Ｃと、（４）データ用Ｉ／
ＦとしてＳＣＳＩ２が設けられる。
【００２８】更に、制御・データ処理用コンピュータを
設けて、制御を行うとともに、Ｘ線回折データの処理と
その表示を行うことができる。
設けて、制御を行うとともに、Ｘ線回折データの処理と
その表示を行うことができる。
【００２９】本発明によれば、上記のように構成したの
で、以下のような利点がある。
で、以下のような利点がある。
【００３０】（１）高速、高分解能でＸ線回折データ収
集・解析を行うことができる。例えば、上記した先行技
術（１）によれば、データ収集に、３〜４日要していた
が、本発明によれば、３〜４時間でデータ収集を行うこ
とができる。
集・解析を行うことができる。例えば、上記した先行技
術（１）によれば、データ収集に、３〜４日要していた
が、本発明によれば、３〜４時間でデータ収集を行うこ
とができる。
【００３１】（２）Ｘ線検出部にイメージングプレート
を、試料の周囲に縦型に円筒状に設置することにより、
多量のＸ線回折データを１度に収集し、高速化を図ると
ともに、高分解能化を実現することができる。
を、試料の周囲に縦型に円筒状に設置することにより、
多量のＸ線回折データを１度に収集し、高速化を図ると
ともに、高分解能化を実現することができる。
【００３２】（３）また、イメージングプレートは２次
元検出器（記憶媒体）として、高感度で、かつ、広いダ
イナミックレンジと大きな検出（記憶）面積を有し、更
に、半永久的に繰り返し使用が可能である。
元検出器（記憶媒体）として、高感度で、かつ、広いダ
イナミックレンジと大きな検出（記憶）面積を有し、更
に、半永久的に繰り返し使用が可能である。
【００３３】（４）従来品に比べて、Ｘ線源と試料間の
距離を約４０％短縮することで、Ｘ線強度を向上させら
れる。また、ＣｕＫα線での測定を可能にしたことによ
り、高精度の測定が可能となる。
距離を約４０％短縮することで、Ｘ線強度を向上させら
れる。また、ＣｕＫα線での測定を可能にしたことによ
り、高精度の測定が可能となる。
【００３４】（５）例えば、φ軸：３６０°、ｘ軸：−
１５〜５５°、ω軸：−８５〜２６５°回転可能なゴニ
オメータとの組合せにより、広い測角範囲、つまり、２
θ＝−６０°〜＋１４４°を実現することができる。
１５〜５５°、ω軸：−８５〜２６５°回転可能なゴニ
オメータとの組合せにより、広い測角範囲、つまり、２
θ＝−６０°〜＋１４４°を実現することができる。
【００３５】なお、上記実施例では、図示していない
が、試料としての結晶に向けて、例えば、上方に放射口
を有する導入管を配置して、その導入管の放射口から冷
却用ガス、例えば、窒素ガスを放出して、試料を冷却し
ながら、Ｘ線回折測定を行うことができる。更に、種々
の試料の雰囲気の設定を行うようにすることもできる。
が、試料としての結晶に向けて、例えば、上方に放射口
を有する導入管を配置して、その導入管の放射口から冷
却用ガス、例えば、窒素ガスを放出して、試料を冷却し
ながら、Ｘ線回折測定を行うことができる。更に、種々
の試料の雰囲気の設定を行うようにすることもできる。
【００３６】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００３７】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次のような効果を奏することができる。
よれば、次のような効果を奏することができる。
【００３８】（１）２θ測角範囲が拡大され、高速、高
分解能で、しかも使い勝手のよい省スペースタイプのイ
メージングプレートＸ線回折装置を提供することができ
る。
分解能で、しかも使い勝手のよい省スペースタイプのイ
メージングプレートＸ線回折装置を提供することができ
る。
【００３９】（２）上記したゴニオメータ（１／４χゴ
ニオメータ）によれば、試料としての結晶の軸を立てる
場合、Ｘ線光学系やイメージングプレートとの機械的干
渉がなく、結晶の軸を立てることができる。また、測角
範囲は２θ＝−６０°〜＋１４４°と広い測角範囲を有
しており、放射Ｘ線がＭｏＫα線の場合は言うまでもな
く、ＣｕＫα線の場合でも、ほぼ全空間のデータ収集と
処理が可能である。また、ＣｕＫα線で０．８３Å程度
の分解能をカバーすることができる。
ニオメータ）によれば、試料としての結晶の軸を立てる
場合、Ｘ線光学系やイメージングプレートとの機械的干
渉がなく、結晶の軸を立てることができる。また、測角
範囲は２θ＝−６０°〜＋１４４°と広い測角範囲を有
しており、放射Ｘ線がＭｏＫα線の場合は言うまでもな
く、ＣｕＫα線の場合でも、ほぼ全空間のデータ収集と
処理が可能である。また、ＣｕＫα線で０．８３Å程度
の分解能をカバーすることができる。
【００４０】（３）従来品に比べて、Ｘ線源と試料間の
距離を約４０％短縮することで、Ｘ線強度を向上させ、
かつイメージングプレートの裏面の全面は円筒状の移動
台により支持され、高精度の測定が可能である。
距離を約４０％短縮することで、Ｘ線強度を向上させ、
かつイメージングプレートの裏面の全面は円筒状の移動
台により支持され、高精度の測定が可能である。
【図１】本発明の実施例を示すイメージングプレートＸ
線回折装置の全体構成図である。
線回折装置の全体構成図である。
【図２】本発明の実施例を示すイメージングプレートＸ
線回折装置の要部正面図である。
線回折装置の要部正面図である。
【図３】本発明の実施例を示すイメージングプレートＸ
線回折装置の上面図である。
線回折装置の上面図である。
【図４】本発明の実施例を示す試料の測角範囲の説明図
である。
である。
【図５】本発明の実施例を示す試料のＸ線回折線検出
（記憶）方法を示す模式図である。
（記憶）方法を示す模式図である。
【図６】本発明の実施例を示す試料のＸ線回折線データ
の回転式読み取り装置の模式図である。
の回転式読み取り装置の模式図である。
１ ゴニオメータ ３ 単結晶（試料） ５ Ｘ線光学系 ７ リニアガイド部 １１ 駆動モータ １２ 伝導機構部 １３ Ｘ線測定装置の防Ｘ線を兼ねたカバー １５ 読み取り装置のチャンバ（Ｘ線測定装置の架
台） ２０ 回転式読み取り装置 ２１ イメージングプレート ２２ イメージングプレートの記録面 ２３ 移動台 ２４ 中心線 ２５ イメージングプレートの移動方向 ２６ レーザ光源 ２８ 回転体 ３０ 蛍光検出装置 ３２，３４ ミラー ３６ 選択ミラー ３８ 集光レンズ ４０ レーザ光 ４２ 蛍光 ４４ フィルター
台） ２０ 回転式読み取り装置 ２１ イメージングプレート ２２ イメージングプレートの記録面 ２３ 移動台 ２４ 中心線 ２５ イメージングプレートの移動方向 ２６ レーザ光源 ２８ 回転体 ３０ 蛍光検出装置 ３２，３４ ミラー ３６ 選択ミラー ３８ 集光レンズ ４０ レーザ光 ４２ 蛍光 ４４ フィルター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 勝成 東京都昭島市松原町３丁目９番12号 理 学電機株式会社拝島工場内 (56)参考文献 特開 昭62−147858（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−180297（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−19014（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−162847（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/20 - 23/207
Claims (1)
- 【請求項１】（ａ）Ｘ線光学系とゴニオメータを備え、
セットされた単結晶試料にＸ線回折を起こさせる手段
と、 （ｂ）前記試料のＸ線回折線を記憶できるように、鉛直
方向に配置され、かつ、−６０°〜＋１４４°の２θ測
角範囲をカバーするとともに、ＣｕＫα線を用いたＸ線
回折線測定を可能にした円筒状イメージングプレート
と、（ｃ）該円筒状イメージングプレートの裏面の全面を支
持する円筒状の移動台と、 （ｄ）該移動台に支持された前記円筒状イメージングプ
レートを鉛直方向に移送する移送手段と、 （ｅ） 移送された円筒状イメージングプレートと同軸状
に配置され、該円筒状イメージングプレートの内周面の
Ｘ線回折線データを読み取る回転式読み取り装置とを備
え、 （ｆ）前記ゴニオメータが、前記円筒状イメージングプ
レートの内側下部にＸ線光学系やイメージングプレート
と機械的干渉なく配置され、試料の軸を立て ることを特
徴とするイメージングプレートＸ線回折装置。
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|---|---|---|---|
| JP10202980A JP3027361B2 (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | イメージングプレートｘ線回折装置 |
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| DE69935040T DE69935040T2 (de) | 1998-07-17 | 1999-07-16 | Vertikaler bildplatten-röntgendiffraktometer mit rotierendem auslesegerät |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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