JPH01202649A

JPH01202649A - Ｘ線回折装置

Info

Publication number: JPH01202649A
Application number: JP63026400A
Authority: JP
Inventors: Chuji Katayama; 忠二片山
Original assignee: MC SCI KK
Current assignee: MC SCI KK
Priority date: 1988-02-06
Filing date: 1988-02-06
Publication date: 1989-08-15
Anticipated expiration: 2011-02-07
Also published as: JPH0812159B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、試料にＸ線を照射して、試料のＸ線回折像を
調べるＸ線回折装置に関するものである。

［従来の技術］結晶性物質の結晶構造を解明する手法として、結晶性物
質である試料にＸ線を照射し、この結果得られるＸ線回
折像を観察・分析することが知られている。

また、Ｘ線の照射によって得られるＸ線回折像の記録法
としては、Ｘ線写真によるものが古くから知られている
。

［発明が解決しようとする課題］ところが、前述のＸ線写真による方法は、以下の如き器
があり、今後の解決課題とされていた。

第一には、銀塩を使用するため、銀資源の枯渇等の問題
に大きく拘るという点であり、第二には、現像等の時間
のかかる処理が必要となるため、処理時間の短縮が困難
であるという点であり、第三には、現像したものをスケ
ール等を使って読取るため、読取りに時間がかかるとと
もに熟練が要求されるという点であり、さらに第四には
、−枚ずつ写真に取るため、試料の状態の変化を連続的
に！１察し分析することができないという点である。

第一および第二の課題に対しては、放射線を吸収・蓄積
する蛍光体層を放射線画像（Ｘ線回折像）の記録手段と
して利用する技術が開発され、既に実用化に至ったが、
第三および第四の課題に対しては、未だ有効な解決がな
されていない。

この第三および第四の課題を解決するには、具体的な装
置化への配慮が必要であり、この装置化に当たっての問
題も同時に解決しなければならないこと、すなわち、画
像記録手段における連続記録性を確保するための機構の
開発等の問題に併せて、さらに、回折像を得るために試
料にＸ線を照射するＸ線回折用光学手段や記録した回折
像を読出すための画像読取手段の配備の仕方等の問題、
あるいは、これらの各手段を総合しての装置全体として
のコンパクト化や高能率化等の種々の問題を一挙に解決
しなければならず、そのなめに解決が困雑になっている
のである。

この発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、放射線
を吸収・蓄積する蛍光体層をＸ線回折像の記録手段とし
て利用し、しかも、Ｘ線回折像を記録する動作と記録し
た画像情報を読取る動作とを並行して行うことができ、
これによって画像処理に要する時間の短縮を図るととも
に、試料の状態の変化に対する連続的な観察・分析を許
容することができて、結晶方位の迅速決定や残留応力高
速測定に適したＸ線回折装置を提供することを目的とす
る。

［課題を解決するための手段］この発明に係るＸ線回折装置は、結晶方位の迅速決定や
残留応力高速測定等の用途開発を念頭において課題解決
を図ったものである。

その具体的な手段としては、試料を支持する支持台と、
帯状をなすとともに一方の面に蛍光体層によって放射線
画像を記録する画像記録面を有して、この画像記録面を
試料支持台上の試料側に向けて並列配置された第１およ
び第２の画像記録手段と、前記試料支持台上の試料にＸ
線を照射して画像記録手段側の一定の投射位置に帯状に
Ｘ線回折像を投射するＸ線回折用光学手段と、前記試料
に対して第１および第２の画像記録手段をその並び方向
に相対移動させて、択一的に一方の画像記録手段をＸ線
回折像の投射位置に位置させる記録部切替手段と、第１
および第２の画像記録手段相互間の間隙に挿通させた回
転軸の先端に支持されて、該回転軸の回転によってどち
らか一方の画像記録手段上に読取り位置を移す画像読取
手段とを備えた構成をなしている。

［作用コ本発明に係るＸ線回折装置では、Ｘ線回折用光学手段に
よって試料へＸ線が照射されると、試料を経たＸ線が投
射位置に位置した一方の画像記録手段の記録面に向けて
投射されることになる。

そして、一方の画像記録手段への記録が完了したら、試
料に対して各画像記録手段の位置を相対移動させて、他
方の画像記録手段を投射位置に位置させることによって
、Ｘ線回折像の記録を続行させることができ、この点で
連続的な記録が可能になる。また、帯状をなす画像記録
手段の長手方向の寸法を大に設定しておけば、その長手
方向にＸ線回折像の投射位置を順にずらして連続記録を
図ることもでき、この点でも連続的な記録が可能になり
、試料の状態の変化に応じた連続記録によって過渡現象
測定等を行うこともできる。

また、読取手段による読取り位置は、どちらか一方の画
像記録手段に随時切替えできるため、−方の画像記録手
段への記録が完了した場合には、他方の画像記録手段へ
の記録動作に並行して一方の画像記録手段からの読取り
動作を実行することができ、このような同時処理によっ
て、時間的により効率良くＸ線回折像の観察・分析を進
めることが可能になる。

また、蛍光体層による記録面に記録された画像の読取り
は、励起光によって走査したときの輝尽発光の発光強度
の検出によって行われることになるが、検出した情報は
電気信号として電子計算機等によって処理することがで
きるため、処理時間を大幅に短縮することができ、結晶
方位の迅速決定や残留応力の高速測定等の達成が可能に
なる。

［実施例］第１図及び第２図は、それぞれこの発明に係るＸ線回折
装置の一実施例を示したものである。

このＸ線回折装置１は、第１図から理解されるように、
試料２を支持する試料支持台３と、Ｘ線画像を記録する
画像記録面４ａ、５ａを試料支持台３上の試料２１１１
に向けて並列配置された第１および第２の画像記録手段
４，５と、前記試料支持台３上の試料２にＸ線６を照射
して画像記録手段４．５ｆＦＩの一定の投射位置に帯状
にＸ線回折像を投射するＸ線回折用光学手段（図示時）
と、前記試料２に対して第１および第２の画像記録手段
４゜５をその並び方向く第２図で上下方向）に相対移動
させて、択一的に一方の画像記録手段をＸ線回折像の投
射位置に位置させる記録部切替手段８と、第１および第
２の画像記録手段相互間の間隙９に挿通させた回転軸１
０と、この回転軸１０の先端に支持された画像読取手段
１１とを備えている。

以下、前述の各構成部材の内、必要なものについて詳述
する。

前記試料支持台３は、ゴニオメータを装備しており、支
持した試料２の姿勢（向き）を任意方向に調整可能にし
ている。また、この支持台３の上では、試料２の温度、
圧力等の諸条件を連続的に変えることのできる状態調節
装置（図示時）が設けられていて、該状態調節装置によ
って試料２の状態を連続的に変化させ得るように構成さ
れている。

前述の画像記録手段４，５は、蛍光体層によって放射線
画像（Ｘ線回折像）を記録する画像記録面４ａ、５ａを
形成したもので、それぞれ、帯状を呈するとともに、試
料２を中心軸とする円弧状に湾曲した形状になっている
。そして、これらの記録手段４．５相互は、上下方向に
間隔をあけて並列配置されている。これらの記録手段４
．５は、いずれも支持枠１３の支柱１４に固定されてい
る。

支持枠１３は、図示時の支持系によって試料支持台３に
対して記録手段４．５の並び方向く上下方向）に移動自
在に支持されている。

Ｘ線６は発射する図示時のＸ線回折用光学手段は、Ｘ線
を発生するＸ線源、モノクロメータ、コリメータ等から
構成されるもので、試料２に水平にＸ線６を照射し、水
平方向に帯状に広がるＸ線回折像６ａを得る。したがっ
て、試料２の高さ位置が回折像の投射位置となる。

前述の記録部切替手段８は、前記支持枠１３を上下方向
に昇降させることによって、随時、記録手段４．５の一
方を回折像の投射位置に位置させるもので、支持枠１３
に螺合したねじ部材８ａや、該ねじ部材８ａを回転駆動
するモータ８ｂを構成要素としている。

前述の回転軸１０は、第２図にも示すように、筒状に形
成されており、その内部には、画像読取手段１１に接続
されるケーブル等１１ａが挿通されている。この回転軸
１０は、移動台車１５に回転自在に支持されており、該
回転軸１０の後端に組付けられたギヤ機構１６、モータ
１７等によって回転駆動される。ここに、前記支持枠１
３上には、台車支持用の架台１８が立設されており、こ
の架台１８上に敷設され、なレール１８ａに前記移動台
車１５が載置されている。レール１８ａは、記録手段４
，５の湾曲状態に沿って設けられている。移動台車１５
自体には、駆動用のモータ１５ａと、架台１８に形成さ
れたラック１８ｂに噛合うビニオン１５ｂとが装備され
ていて、この結果、記録手段４．５に沿って移動可能に
されている。

前記画像読取手段１１は、画像記録面４ａ、５ａに励起
光を照射し、この結果、放射線（Ｘ線）の蓄積量に比例
して起こる輝尽発光の発光強度を検出することによって
、記録されている画像を読取るものである。この読取手
段１１は、前記回転軸１０の回転によって回転軸１０を
中心軸とした旋回を起こし、この旋回によってその読取
り位置をいずれかの記録手段上に切替えることができ、
また、前記移動台車１５の走行によって記録手段の記録
面に沿った走査を行うことができる。

なお、該読取手段１１の基本的な構成は、発光検出装置
、光路機構、集光用のレンズ、読取った情報の処理のた
めの演算処理手段等を備えたものである。読取った情報
の処理等に関しては、基本的な構成は本願出願人が先に
出願した放射線画像読取装置（例えば、特願昭６２−１
６１９１８号や特願昭６２−２１５８５３号など）に記
載の技術が流用されている。

また、記録手段４．５に記録された画像を前記読取手段
１１によって読取った後には、図示略のハロゲンランプ
等を利用して画像の消去を行うように配慮されている。

以上の如き回折装置１においては、図示略のＸ線回折用
光学手段によって試料２へＸ線６が照射されると、試料
２を経たＸ線が投射位置に位置した一方の画１象記録手
段（図示例の場合では、下側の記録手段４）の記録面に
向けて投射されることになる。そして、一方の画像記録
手段への記録が完了したら、切替手段８を動作させて、
試料２に対して各画像記録手段の位置を相対移動させ、
他方の画像記録手段を投射位置に位置させることによっ
て、Ｘ線回折像の記録を続行させることができ、この点
で連続的な記録が可能になる。また、帯状をなす画像記
録手段の長手方向の寸法を大に設定しておけば、その長
手方向にＸ線回折像の投射位置を順にずらして連続記録
を図ることもでき、この点でも連続的な記録が可能にな
り、試料２の状態の変化に応じた連続記録によって過渡
現象測定等を行うこともできる。

また、読取手段１１による読取り位置は、どちらか一方
の画像記録手段に随時切替えできるなめ、一方の画像記
録手段への記録が完了した場合には、他方の画像記録手
段への記録動作に並行して一方の画像記録手段からの読
取り動作を実行することができ、このような同時処理に
よって、時間的により効率良くＸ線回折像の観察・分析
を進めることが可能になる。

址な、蛍光体層による記録面４ａ、５ａに記録された画
像の読取りは、励起光によって走査したときの輝尽発光
の発光強度の検出によって行われることになるが、検出
した情報は電気信号として電子計算機等によって処理す
ることができるため、処理時間を大幅に短縮することが
でき、結晶方位の迅速決定や残留応力の高速測定等の達
成が可能になる。

なお、本発明はＸ線回折装置に係るものであるが、Ｘ線
の代わりにＸ線に近い池の放射線を使う場合でも、同様
の効果を期待できることは、いうまでもない。

［発明の効果］以上の説明から明らかなように、本発明に係るＸ線回折
装置においては、Ｘ線回折用光学手段によって試料へＸ
線が照射されると、試料を経たＸ線が投射位置に位置し
た一方の画像記録手段の記録面に向けて投射されること
になる。

の効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るＸ線回折装置の一実施例の斜視図
、第２図は一実施例の側面図である。１・・・Ｘ線回折装置、２・・・試料、３・・・試料支
持台、４．５・・・画像記録手段、４ａ、５ａ・・・画
像記録面、６・・・Ｘ線、８・・・記録部切替手段、９
・・・間隙、１０・・・回転軸、１１・・・画像読取手
段。出願人　株式会社マックサイエンス

Claims

【特許請求の範囲】

試料を支持する支持台と、帯状をなすとともに一方の面
に蛍光体層によって放射線画像を記録する画像記録面を
有して、この画像記録面を試料支持台上の試料側に向け
て並列配置された第１および第２の画像記録手段と、前
記試料支持台上の試料にＸ線を照射して画像記録手段側
の一定の投射位置に帯状にＸ線回折像を投射するＸ線回
折用光学手段と、前記試料に対して第１および第２の画
像記録手段をその並び方向に相対移動させて、択一的に
一方の画像記録手段をＸ線回折像の投射位置に位置させ
る記録部切替手段と、第１および第２の画像記録手段相
互間の間隙に挿通させた回転軸の先端に支持されて、該
回転軸の回転によつてどちらか一方の画像記録手段上に
読取り位置を移す画像読取手段とを備えたことを特徴と
するＸ線回折装置。