JP2007285993A - 結晶方位測定方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線発生装置10からのX線を試料Sの測定表面に対して側方から入射して得られる反射X線回折像(ラウエ像)を、蛍光板30とCCDカメラ40とから構成される検出器により検出する結晶方位測定装置において、検出器は、測定表面から得られる反射X線回折像が投射される方向に配置されると共に、その有感面(特に、蛍光板30の表面)が、反射X線回折像が投射されるψ角方向に対して傾斜して設定することが可能であり、これにより、従来の側面反射ラウエ法の欠点を克服し、有感面を有効に利用してラウエ像による結晶方位の測定・検査が可能となる。
【選択図】図1
Description
次の特許文献にある
11…コリメータ
20…試料ステージ
30…蛍光板30
40…CCDカメラ。
Claims (10)
- X線源からのX線を試料の測定表面に対して側方から入射して得られる反射X線回折像を、その一部にX線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた検出器により検出することにより、当該試料の結晶方位を測定する結晶方位測定方法であって、
前記検出器を、前記試料の測定表面から得られる反射X線回折像が投射される方向に配置されると共に、当該検出器の有感面が、当該反射X線回折像が投射される方向に対して傾斜して設定することを特徴とする結晶方位測定方法。 - 前記請求項1に記載された結晶方位測定方法において、更に、前記検出器を、その有感面が当該有感面と平行な方向に移動して設定することを特徴とする結晶方位測定方法。
- 前記請求項1に記載された結晶方位測定方法において、前記得られる反射X線回折像は、ラウエ像であることを特徴とする結晶方位測定方法。
- 前記請求項1に記載された結晶方位測定方法において、X線の前記測定表面に対する入射角を20°〜30°に設定すると共に、前記検出器の有感面の傾斜角度を50°〜30°に設定したことを特徴とする結晶方位測定方法。
- 前記請求項1に記載された結晶方位測定方法において、更に、前記検出器の傾斜に伴って得られる検出結果を補正することを特徴とする結晶方位測定方法。
- X線源からのX線を試料の測定表面に対して側方から入射して得られる反射X線回折像を、その一部にX線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた検出器により検出する結晶方位測定装置であって、
前記検出器は、前記試料の測定表面から得られる反射X線回折像が投射される方向に配置されると共に、当該検出器の有感面が、当該反射X線回折像が投射される方向に対して傾斜して設定されていることを特徴とする結晶方位測定装置。 - 前記請求項6に記載された結晶方位測定装置において、前記検出器は、回動機構を介して、その有感面が傾斜して設定可能に取り付けられていることを特徴とする結晶方位測定装置。
- 前記請求項7に記載された結晶方位測定装置において、前記検出器は、更に、平行移動機構を介して、その有感面が、当該有感面と平行な方向に移動可能に取り付けられていることを特徴とする結晶方位測定装置。
- 前記請求項6に記載された結晶方位測定装置において、更に、前記検出器の傾斜に伴って得られる検出結果を補正する手段を備えていることを特徴とする結晶方位測定装置。
- 前記請求項6に記載された結晶方位測定装置において、更に、前記検出器を、そのカメラ長を可変可能に取り付けていることを特徴とする結晶方位測定装置。
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