JP5299428B2 - ガラス基板再生装置 - Google Patents
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Description
図2は、本発明の第1の実施形態に係るガラス基板再生方法を示すフローチャートである。
以下、実施例1として、図3に示したガラス基板再生装置10を用いた場合の具体的な処理条件を示す。
(1)アルカリ液(第1のアルカリ液処理部12及び第2のアルカリ液処理部16で使用):
水酸化カリウム 8重量%
モノエタノールアミン 12重量%
ブチルカルビトール 15重量%
ベンジルアルコール 2重量%
水 63重量%
(2)酸液(酸液処理部14で使用):
塩化第二鉄 35重量%
硝酸 3重量%
水 62重量%
図4は、本発明の第2の実施形態に係るガラス基板再生方法を示すフローチャートである。
以下、実施例2として、図5Aのガラス基板再生装置20aを用いて、図1Bの積層構造を有する不良基板を処理した場合の具体的な処理条件を示す。尚、第1及び第2のアルカリ処理工程で使用されるアルカリ液及び第1及び第2の酸液処理工程で使用される酸液は、上記の実施例1と同一のものを使用した。
図7は、本発明の第3の実施形態に係るアルカリ液処理ユニットの概略構成を示す図である。
以下、実施例3〜6として、図7のアルカリ液処理ユニット40aを使用した場合(より詳細には、図3に示したガラス基板再生装置の第1のアルカリ液処理部12及び第2のアルカリ液処理部16に図7のアルカリ液処理ユニット40aを適用した場合)の具体的な処理条件を示す。また、比較例として、図18に示した構成のガラス基板再生装置を用いた場合の処理条件を示す。尚、図18に示したノズルは、図7に示したノズルを直列に接続したものである。
無機アルカリ(水酸化カリウム) 11重量%
有機アルカリ(モノエタノールアミン・トリエタノールアミン) 20重量%
グリコールエーテル 28重量%
ベンジルアルコール 8重量%
水 33重量%
(2)処理液2(下流側の処理部41b用)
無機アルカリ(水酸化カリウム) 11重量%
水 89重量%
(1)実施例3:55℃
(2)実施例4:45℃
(3)実施例5:60℃
(4)実施例6:65℃
比較例では、上記の処理液1と同一組成の処理液を使用した。55℃の処理液をノズルから吐出圧力0.1MPaのシャワーとして吐出しながら、ブラシによって処理対象基板を洗浄し、PS、VAを剥離除去した。基板の搬送速度は1000mm/分とし、処理時間は180秒とした。
図9は、本発明の第4の実施形態に係る搬送装置の一部を示す斜視図であり、図10は、図9のIX−IXラインから見た図である。
図11は、本発明の第5の実施形態に係るガラス基板再生装置を示す図であり、図12は、図11に示される透過型光センサーの概略構成を示す図である。尚、図11において、矢印は基板の搬送方向を表す。
図13は、本発明の第6の実施形態に係るガラス基板再生装置を示す図である。
2 ガラス基板
3 ブラックマトリックス(BM)
4 着色画素
5 透明電極
6 フォトスペーサー(PS)
7 バーティカルアライメント
8 金属膜
9 金属膜
10 ガラス基板再生装置
12 第1のアルカリ液処理部
14 酸液処理部
16 第2のアルカリ液処理部
20 ガラス基板再生装置
22 第1の酸液処理部
24 第1のアルカリ液処理部
26 第2の酸液処理部
28 第2のアルカリ液処理部
40 アルカリ液処理ユニット
41 処理部
60 搬送装置
61 ローラー
62 スキージ
70 判定部
71 振り分け部
75 エッチング液管理部
76 表面形状測定部
77 累計算出/判定部
81 エッチング液給排部
Claims (6)
- ガラス基板上に樹脂及び金属のいずれかよりなる1以上の層が形成された不良基板を搬送しながら、前記不良基板から前記ガラス基板を再生するガラス基板再生装置であって、
アルカリ液で前記不良基板を処理して、前記不良基板の表面にある第1の樹脂層を剥離する第1のアルカリ液処理部と、
前記第1のアルカリ処理部の下流に設けられ、酸液で前記不良基板を処理して、前記不良基板の表面にある金属膜を剥離する第1の酸液処理部と、
前記酸液処理部の下流に設けられ、アルカリ液で前記不良基板を処理して、前記ガラス基板の表面にある第2の樹脂層を剥離する第2のアルカリ液処理部とを少なくとも備える、ガラス基板再生装置。 - 前記第1のアルカリ液処理部の上流に設けられ、酸液で前記不良基板を処理して、前記不良基板の表面にある金属層を剥離する第2の酸液処理部を更に備える、請求項1に記載のガラス基板再生装置。
- 前記第1及び第2のアルカリ液処理部の少なくとも一方には、前記アルカリ液で前記基板を処理する複数の処理手段が直列に設けられる、請求項1に記載のガラス基板再生装置。
- 各々の上端部で前記不良基板の下面を支持し、各々が中心軸周りに回転することによって前記不良基板を搬送する複数のローラーを含む搬送機構を備え、
前記ローラーの前記上端部より下方に配置され、前記ローラーの外面に接して前記ローラー表面の液体を除去するスキージが設けられる、請求項1に記載のガラス基板再生装置。 - 前記不良基板を前記ガラス基板再生装置に投入する前に、前記不良基板上の複数点における所定波長の光の透過率を検出し、検出結果に基づいて前記不良基板上に前記金属層があるか否かを判定する判定部と、
前記不良基板上に前記金属層があると前記判定部によって判定された場合には、前記不良基板を前記第1のアルカリ液処理部に投入し、前記不良基板上に前記金属層がないと前記判定部によって判定された場合には、前記不良基板を前記第2のアルカリ液処理部に投入する振り分け部とを更に備える、請求項1に記載のガラス基板再生装置。 - 前記第1の酸液処理部へ投入される前記不良基板の各々について、表面にある前記金属層の厚みを測定する接触式表面形状測定部と、
前記接触式表面形状測定部によって測定された金属層の厚みを積算して累計膜厚を算出し、算出された累計膜厚に応じて、前記第1の酸液処理部による処理時間及び処理温度を制御し、算出された累計膜厚が所定値を超えた場合に、前記第1の酸液処理部の上流側及び下流側の処理部を停止させる累計算出/判定部を更に備える、請求項1に記載のガラス基板再生装置。
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