JP5295398B2 - マルチヘッド搭載スクライブ装置及びマルチヘッド搭載スクライブ装置を用いたスクライブ方法 - Google Patents
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Description
10 チップホルダ
11a,11b,16b 平坦部
12 切欠き
13 ピン溝
14 チップ
15 ピン
16 取付部
16a 傾斜部
17 2次元コード
20 ホルダジョイント
21a,21b ベアリング
22 保持部
23 開口
24 マグネット
25 平行ピン
31 チップストッカ
32 コードリーダ
33 ロボット
40 コントローラ
41 画像処理部
42 制御部
43 補正値入力部
44 Xモータ駆動部
45 Yモータ駆動部
46 回転用モータ駆動部
47 チップホルダ昇降駆動部
48 モニタ
49 使用データ保持部
49a 管理テーブル
50 スクライブヘッド
71 リニアスライダ
72 連結板
73 スライドヘッド
74 スクライブヘッド
Claims (7)
- 複数のスクライブヘッドを搭載したマルチヘッド搭載スクライブ装置であって、
脆性材料基板が設置される設置手段と、
前記設置手段上の脆性材料基板に対向するように設けられる複数のスクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドの先端に設けられるホルダジョイントと、
一端が傾斜部を含むように一面が切欠かれた取付部を有して前記ホルダジョイントに着脱自在に取付けられ、他端に回転自在に取付けられたスクライブライン形成用のホイールチップを備えたチップホルダと、
前記スクライブヘッド及び前記脆性材料基板を、相対的に脆性材料基板の平面に沿った面内で移動させる相対移動部と、を具備し、
前記ホルダジョイントは、下面に前記チップホルダの一端が挿入される開口が形成されており、前記開口には内側にマグネットが埋設され、前記開口の中心軸と垂直な平行ピンが設けられており、
前記チップホルダの一端の少なくとも一部は磁性体で構成され、
前記チップホルダの一端が前記開口に挿入されれば前記チップホルダの傾斜部が平行ピンに接触して位置決めされ、マグネットによって固定されるマルチヘッド搭載スクライブ装置。 - 前記相対移動部は、前記設置手段をy 軸方向に移動させる移動部及び前記スクライブヘッドをx 軸方向及びy 軸方向に移動させる移動部を含む請求項1 記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記相対移動部は、前記設置手段をx 軸方向及びy 軸方向に移動させる請求項1 記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記相対移動部は、前記設置手段をy 軸方向に移動させる移動部及び前記スクライブヘッドをx 軸方向に移動させる移動部を含む請求項1 記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記相対移動部は、前記設置手段を脆性材料基板の面内で回転させる回転部を更に有する請求項1 記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記相対移動部は、前記設置手段を脆性材料基板の面内で回転させる回転部を更に有する請求項4 記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 脆性材料基板が設けられる設置手段と、
前記設置手段上の脆性材料基板に対向するように設けられる複数のスクライブヘッドと、
ベアリングを備えて前記スクライブヘッドの先端に回転自在に設置されるホルダジョイントと、
一端に傾斜部を含むように一面が切欠された取付部を備えて前記ホルダジョイントに所定方向に着脱されるように取り付けられ、他端が回転自在に取り付けられたスクライブライン形成用のホイールチップを備えるチップホルダと、を備えるマルチヘッド搭載スクライブ装置を用いたスクライブ方法であって、
前記ホルダジョイントは、下面に前記チップホルダの一端が挿入される開口が形成されており、前記開口には内側にマグネットが埋設され、前記開口の中心軸と垂直な平行ピンが設けられており、
前記チップホルダの一端の少なくとも一部は、磁性体で構成され、
前記チップホルダを前記ホルダジョイントに取り付けた後、前記複数のスクライブヘッド及び前記設置手段を、前記設置手段の面に沿ってx軸方向及びy軸方向に相対的に移動させて設置手段上の脆性材料基板をスクライブし、
前記取付は、前記チップホルダの一端を前記ホルダジョイントの開口に挿入し、前記傾斜部を前記平行ピンに接触させて前記ホルダジョイントに対して位置決めさせ、前記磁性体を前記マグネットに吸引させて前記ホルダジョイントに固定することを含む、スクライブ方法。
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