WO2008149515A1 - マルチヘッド搭載スクライブ装置及びチップホルダの自動交換システム - Google Patents

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Abstract

　チップホルダ１０にチップのオフセットを打ち消す補正データを２次元コードとして記録させる。又マルチヘッド搭載スクライブ装置に加えてチップストッカ３１、コードリーダ３２、ロボット３３を設ける。チップの交換が必要となれば、コードリーダ３２から所望のチップを探し出し、ロボット３３によってスクライブヘッドに取付けると共に、そのオフセットデータを入力して補正する。こうすればチップホルダを備えるスクライブヘッドを複数搭載したマルチヘッド搭載スクライブ装置において、チップの交換や管理を容易に行うことができる。また自動的にチップホルダを交換することができ、交換に伴う複雑な調整作業を自動化することができる。
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