JP5293601B2 - マルチヘッド搭載スクライブ装置及びチップホルダの自動交換システム - Google Patents
マルチヘッド搭載スクライブ装置及びチップホルダの自動交換システムInfo
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Description
10 チップホルダ
11a,11b,16b 平坦部
12 切欠き
13 ピン溝
14 チップ
15 ピン
16 取付部
16a 傾斜部
17 2次元コード
20 ホルダジョイント
21a,21b ベアリング
22 保持部
23 開口
24 マグネット
25 平行ピン
31 チップストッカ
32 コードリーダ
33 ロボット
40 コントローラ
41 画像処理部
42 制御部
43 補正値入力部
44 Xモータ駆動部
45 Yモータ駆動部
46 回転用モータ駆動部
47 チップホルダ昇降駆動部
48 モニタ
49 使用データ保持部
49a 管理テーブル
50 スクライブヘッド
71 リニアスライダ
72 連結板
73 スライドヘッド
74 スクライブヘッド
Claims (11)
- 複数のスクライブヘッドを搭載したマルチヘッド搭載スクライブ装置であって、
脆性材料基板が設置される設置手段と、
前記設置手段上の脆性材料基板に対向するように設けられる複数のスクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドの先端に設けられ、前記設置手段側に開口を有し、前記開口の内側にはマグネットと、前記開口の中心軸と垂直な平行ピンが設けられているホルダジョイントと、
一端に傾斜部を含むように一面が切欠かれた取付部を有し、前記取付部が前記ホルダジョイントの開口に挿入され、前記マグネットによって吸引されることにより着脱自在に取付けられ、他端に回転自在に取付けられたスクライブライン形成用のホイールチップを備え、スクライブ時のオフセットデータと固有の管理番号とを記録したコードを備え、前記ホイールチップと一体として交換されるチップホルダと、
前記スクライブヘッド及び前記脆性材料基板を、相対的に脆性材料基板の平面に沿った面内で移動させると共に、スクライブ前に、前記チップホルダに保持されているオフセットデータに基づいて前記スクライブヘッドを相対的にx軸方向及びy軸方向の少なくとも一方に移動させてオフセットを補正する相対移動部と、を具備するマルチヘッド搭載スクライブ装置。 - 前記相対移動部は、前記設置手段をy軸方向に移動させる移動部及び前記スクライブヘッドをx軸方向及びy軸方向に移動させる移動部を含む請求項1記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記相対移動部は、前記設置手段をx軸方向及びy軸方向に移動させる請求項1記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記相対移動部は、前記設置手段をy軸方向に移動させる移動部及び前記スクライブヘッドをx軸方向に移動させる移動部を含む請求項1記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記相対移動部は、前記設置手段を脆性材料基板の面内で回転させる回転部を更に有する請求項1記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記相対移動部は、前記設置手段を脆性材料基板の面内で回転させる回転部を更に有する請求項4記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記コードは、2次元コードである請求項1記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- 前記コードは、ホイールチップの固有の識別番号、種類を示すデータを含む請求項1記載のマルチヘッド搭載スクライブ装置。
- マルチヘッドスクライブ装置に用いられるチップホルダを自動交換するチップホルダ自動交換システムであって、
前記マルチヘッドスクライブ装置は、
脆性材料基板が設置される設置手段と、
前記設置手段上の脆性材料基板に対向するように設けられる複数のスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドの先端に設けられ、前記設置手段側に開口を有し、前記開口の内側にはマグネットと、前記開口の中心軸と垂直な平行ピンが設けられているホルダジョイントと、
一端に傾斜部を含むように一面が切欠かれた取付部を有し、前記取付部が前記ホルダジョイントの開口に挿入され、前記マグネットによって吸引されることにより着脱自在に取付けられ、他端に回転自在に取付けられたスクライブライン形成用のホイールチップを備え、スクライブ時のオフセットデータと固有の管理番号とを記録したコードを備え、前記ホイールチップと一体として交換されるチップホルダと、
前記スクライブヘッド及び前記脆性材料基板を、相対的に脆性材料基板の平面に沿った面内で移動させると共に、スクライブ前に、前記チップホルダに保持されているオフセットデータに基づいて前記スクライブヘッドを相対的にx軸方向及びy軸方向の少なくとも一方に移動させてオフセットを補正する相対移動部と、を具備するものであり、
前記チップホルダ自動交換システムは、
交換可能な複数のチップホルダを保持するチップストッカと、
前記チップストッカに保持されたチップホルダに記録されたコードを読み取るコードリーダと、
前記コードリーダで読み取られたコードに基づいて所望のチップホルダを前記マルチスクライブ装置のホルダジョイントに取付けると共に、前記マルチスクライブ装置のホルダジョイントに取付けられているチップホルダを前記チップストッカに戻すチップ交換ロボットと、
複数のチップホルダについて夫々固有の管理番号とその管理データを保持し、スクライブの対象に応じて前記チップ交換ロボットを介して前記チップストッカに保持されたチップホルダを選択して前記スクライブ装置のホルダジョイントに取付けるコントローラと、を有するチップホルダ自動交換システム。 - 前記コントローラに設けられる管理データは、各ホイールチップの走行距離を含むデータを保持する請求項9記載のチップホルダ自動交換システム。
- 前記コントローラは、ホイールチップの走行距離が所定値を超えたときにチップホルダを交換する請求項10記載のチップホルダ自動交換システム。
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