JP5912927B2 - 基板加工システム及びこれに用いるチップホルダの取付方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は、上記の基板加工装置と、当該基板加工装置にチップホルダの取り付けを行うチップホルダ取付ロボットとを備えた基板加工システムに関する。
ここで、ホイールチップとは、円周稜線に断面V字型の刃先が形成され、テーブル上に載置した基板の表面に刃先を圧接した状態で転動することにより基板を加工する加工工具をいう。また、スクライブ加工とは基板に筋状の切溝を形成する加工をいうが、刃先に一定ピッチで切欠きが形成された溝付きホイールチップを用いて深い切溝を加工することで一挙に分断する場合もスクライブ加工に含まれる。
例えば、特許文献3では、装置の制御部に、使用するチップホルダ(管理番号が付与されている)ごとにホイールチップの累積走行距離を記録・更新するための管理テーブルを用意しておき、特定の管理番号のチップホルダを使用すると、そのホイールチップの累積走行距離を更新してチップホルダの交換時期を管理する技術が開示されている。
しかし、従来は、このようなロボットによるチップホルダの自動取付に好適なシステム構成は開示されておらず、未解決のままであった。
即ち、予めテーブル近傍にストックされている複数のチップホルダの中から取り付けるチップホルダを決定する際に、取り付けようとするチップホルダを特定するコードの情報を正しく入力しさえすれば、ロボットがリーダでコードを読み取ることで正しいチップホルダを取り出すことができるが、オペレータによる入力自体が誤っていると、たとえロボットによる自動取付が行われるにしても、誤ったチップホルダを選択して取り付けてしまうことになる。
また、本発明は、製品不良を引き起こす可能性のあるホイールチップの使用をこれまで以上に確実に回避でき、ホイールチップの取り付けを効率的に行うことができる取付方法及び基板加工システムを提供することを目的とする。
ここで、前記許容型式情報に、複数のホイールチップの型式が含まれるようにしてもよい。
また、前記リーダはチップホルダ取付ロボットのチップホルダを保持する機構の近傍に取り付けられてもよい。
ここで、許容型式情報には、複数のホイールチップの型式が含まれていてもよい。
図1は、本発明方法を実施する際に用いられる基板加工装置(基板加工システム)の一例を示す概略的な斜視図である。この基板加工装置Aは、加工対象となる基板Wを載置して保持する水平なテーブル1を備えている。テーブル1は、モータを内蔵する回転駆動部2により水平面内で回動できるようになっており、かつ、水平なレール3に沿ってY方向に移動できるように構成されている。このY方向の移動は、モータ4によって回転するネジ軸5より行われる。
また、上記の後部キャップ15dにかえて、図8(b)に示すように、弾性係止爪15vと同じ構成を有する弾性係止爪15xを収納穴15aの後開口部付近に設けて、チップホルダ12が収納穴15aの後開口部から脱落しないようにしてもよい。弾性係止爪15xの先端も、チップホルダ12を挿入しやすく、かつ抜け難いように、後開口部に斜面を向けた傾斜面で形成されているが、円弧であってもよい。
この実施例において、載置棚16は、チップホルダ収納体15の平らな底面15yを載置面として載置する3枚の棚板16aを備えている。各棚板16aには、チップホルダ収納体15に収納されたチップホルダ12の平坦面12bが、棚板16aの前端縁16bから突き出た状態で保持されるように、棚板周縁部に囲枠16cが設けられている。また、各棚板16aは、前端縁16b側から見て階段状に組まれている。
また、挟着爪17bで一対の平坦面12b、12bを横から挟んで引き出す際に、各平坦面12bのピン12j、12jが引き抜き方向に対する挟着爪17bへの掛かりとなって、確実かつ滑らかに引き出すことができる。この際、ピン12jが各平坦面12b、12bに配置されているので、挟着爪17bを引き出し方向に対してバランスよく引っかけることができ、滑らかにチップホルダ12を引き出すことができる。また、スクライブヘッドのホルダジョイント13(図3参照)から抜き出す場合も同様である。
(型式を表す文字列)/(管理番号を表す文字列)/(初期補正情報を表す文字列)
このうち、「型式」は、ホイールチップ12eの種類ごとのサイズ(外径、内径、厚み、刃先角度、刃先形状等)や材質を、特定の規則に従って文字列化したものである。
また、「管理番号」は、それぞれのホイールチップ12eごとに一意的に付与された番号である。
「初期補正情報」は、チップホルダ12に対するホイールチップ12eの取り付け誤差に起因したスクライブ位置のずれをキャンセルするために、個々のホイールチップ12eごとに取り付け誤差を計測して、予め記録するようにした校正用の情報である。
これらの情報は、コード12iがコードリーダ17cによって読み取られたときに復元される(デコード)。
スクライブレシピSDは、これから実行しようとするスクライブ加工に適合したレシピの1つが選択されると、制御部20がそれを読み込むことで、スクライブレシピSDに記述された内容に基づいて装置各部に処理命令が送られ、記述内容に沿ったスクライブ処理が実行されるようになる。
具体的には、許容型式情報26として、使用可能なホイールチップ12eの型式のデータが1つ(あるいは複数)記述してある。図17で例示した許容型式情報「D3.0T1.1H1.4」では、直径3.0mm、厚さ1.1mm、内径1.4mmであるホイールチップ12eが当該スクライブレシピに適合していることを示している。
許容型式情報26に記述された型式と、チップホルダ12に付されたコード12iに「型式の情報」として含まれているデータとは同一形式の情報である。したがって、コード12iを読み取ることで、許容型式情報26に合致する型式のホイールチップ12eを探し出すことができるようになっている。これら以外にも刃先の角度や刃先の形状(溝付き刃先、溝なし刃先、溝ピッチなど)、材料などを許容型式情報26に含めてもよい。
使用中のホイールチップ12eの累積走行距離が交換時期に達したときや別仕様のホイールチップ12eに交換するときは、基板加工装置Aが停止された後、ロボット17によりホイールチップ12eの交換が行われる。その際、制御部20は、スクライブレシピSDに記述された許容型式情報26を参照し、使用可能なホイールチップの型式に関する信号をロボットに送出する。すると、ロボット17は、付帯のリーダ17cにより載置台16のチップホルダ収納体15にストックしてあるチップホルダ12のコード12iを読み取って、型式が合致するホイールチップを有するチップホルダ12を選択して抜き出し、ホルダジョイント13に取り付ける。
このような処理を行うことで、スクライブレシピSDの許容型式情報に適合したホイールチップを有するチップホルダだけがロボットにより選択されて取り付けられるので、誤ったチップホルダ12が取り付けられるという不具合を防止できる。
W 基板
1 テーブル
10 スクライブヘッド
12 チップホルダ
12b 平坦部
12i コード
12e ホイールチップ
13 ホルダジョイント
15 チップホルダ収納体
16 載置棚
17 ロボット
19 コンピュータ
25 レシピ選択ボタン
Claims (5)
- ホイールチップを保持するとともに当該ホイールチップの種類を識別する型式を記録したコードが付されたチップホルダが、当該チップホルダの着脱が可能なスクライブヘッドのホルダジョイントに取り付けられた状態でスクライブ加工を行う基板加工部と、
所定の載置場所に載置された複数のチップホルダの内から前記スクライブ加工に用いるチップホルダを取り出して前記ホルダジョイントに取り付けるチップホルダ取付ロボットと、
前記基板加工部によるスクライブ加工の制御及び前記チップホルダ取付ロボットによるチップホルダのホルダジョイントへの取り付けの制御を行う制御部を備えた基板加工システムであって、
スクライブ加工の種類ごとに、スクライブ加工の動作内容を定めた作業情報と当該スクライブ加工に使用可能な型式のホイールチップを特定する許容型式情報とを関連付けたスクライブレシピを記憶するデータ保持部と、
前記スクライブレシピを作成するときの入力を行う入力部と、
記憶されたスクライブレシピのいずれかを選択するレシピ選択部と、
前記チップホルダに付されたコードを読み取るリーダとを備え、
前記制御部は、選択されたスクライブレシピの許容型式情報に基づいて、適合するホイールチップを保持したチップホルダを決定するとともに、前記リーダで載置場所のチップホルダに付されたコードを読み取って適合するチップホルダを前記チップホルダ取付ロボットにより前記ホルダジョイントに取り付ける制御を行うことを特徴とする基板加工システム。 - 前記許容型式情報に、複数のホイールチップの型式が含まれる請求項1に記載の基板加工システム。
- 前記リーダはチップホルダ取付ロボットのチップホルダを保持する機構の近傍に取り付けられる請求項1または請求項2に記載の基板加工システム。
- 基板をスクライブ加工するためのホイールチップを保持するとともに、保持するホイールチップの型式を記録したコードを有するチップホルダの基板加工装置への取付方法であって、
(a)前記基板加工装置に接続されたコンピュータに、スクライブ加工の動作内容を定めた作業情報と、当該スクライブ加工に使用可能な型式のホイールチップを特定する許容型式情報とを関連付けて記憶させたスクライブレシピを、スクライブ加工の種類ごとに設定するステップと、
(b)スクライブ加工の実行時に前記スクライブレシピを選択するステップと、
(c)選択されたスクライブレシピに含まれる許容型式情報に適合するホイールチップを決定するステップと、
(d)所定の載置場所に載置されたチップホルダの前記コードをリーダで読み取って、前記ステップ(c)で決定されたホイールチップを保持するチップホルダを取り出し前記基板加工装置に取り付けるステップ
とからなるチップホルダの取付方法。 - 前記許容型式情報に、複数のホイールチップの型式が含まれる請求項4に記載のチップホルダの取付方法。
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