JP5288529B2 - 磁気メモリ素子 - Google Patents
磁気メモリ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5288529B2 JP5288529B2 JP2007090533A JP2007090533A JP5288529B2 JP 5288529 B2 JP5288529 B2 JP 5288529B2 JP 2007090533 A JP2007090533 A JP 2007090533A JP 2007090533 A JP2007090533 A JP 2007090533A JP 5288529 B2 JP5288529 B2 JP 5288529B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- magnitude
- multilayer structure
- magnetic memory
- writing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims description 109
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 49
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 14
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 102
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 25
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 23
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 18
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 8
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 6
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 6
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 102100035420 DnaJ homolog subfamily C member 1 Human genes 0.000 description 5
- 101000804122 Homo sapiens DnaJ homolog subfamily C member 1 Proteins 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 5
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- SHMWNGFNWYELHA-UHFFFAOYSA-N iridium manganese Chemical compound [Mn].[Ir] SHMWNGFNWYELHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 239000002885 antiferromagnetic material Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 229910019236 CoFeB Inorganic materials 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZDZZPLGHBXACDA-UHFFFAOYSA-N [B].[Fe].[Co] Chemical compound [B].[Fe].[Co] ZDZZPLGHBXACDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N cobalt iron Chemical compound [Fe].[Co].[Co] FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- DALUDRGQOYMVLD-UHFFFAOYSA-N iron manganese Chemical compound [Mn].[Fe] DALUDRGQOYMVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- ZAUUZASCMSWKGX-UHFFFAOYSA-N manganese nickel Chemical compound [Mn].[Ni] ZAUUZASCMSWKGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IGOJMROYPFZEOR-UHFFFAOYSA-N manganese platinum Chemical compound [Mn].[Pt] IGOJMROYPFZEOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/14—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using thin-film elements
- G11C11/15—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using thin-film elements using multiple magnetic layers
Description
MRAMセルに書き込むには、書込み磁界を与えて、自由層の磁化をピン層に平行または逆平行になるように切り換える。自由層は磁化ヒステリシスを示すので、磁界を取り除いたときに磁化は変化しない。これにより不揮発性メモリが得られる。
MRAMセルの状態を読み取るには、磁気要素の中に小さな電流を流す。磁気要素の磁気抵抗は、自由層およびピン層の磁化が平行のときより自由層およびピン層の磁化が逆平行のときの方が高い。したがって、磁気要素の状態はその抵抗を測定することにより決定することができる。
かかる従来のMRAMの欠点は、MRAMセルの寸法が小さくなるに従って自由層の磁化を切り換えるのに必要な磁界が大きくなることである。したがって、セルの寸法が小さくなるに従って素子の電力消費が大きくなる。
STT切換えを用いるMRAMについては、W.C.Jeong他の「磁界支援電流に誘導された切換えを用いる拡張性の高いMRAM(Highly scalable MRAM using field assisted current induced switching)」、184ページ、2005 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers、に記述されている。
で与えられることが分かっている。ただし、Cは定数、Ic0はDCしきい値電流である。上の式(1)によると、1nsのパルスで磁化を切り換えるのに必要な電流はDCしきい値電流の4倍である。したがって、高速で書き込むことのできるSTT切換えMRAMは電力消費が大きい。
更に、STT切換えを用いるMRAMの切換え電流は本質的な確率分布を有する。その原因は、熱変動のために自由層の最初の磁化方向に分布があるからである。誤りなく切換えを行うために、全てのMRAMセルで切換え電流が大きくなる。更に、書込み電流と読取り電流との差が小さくなる。
本発明の第1の態様では磁気メモリ素子に書き込む方法を提供する。磁気メモリ素子は、第1および第2のリードと、磁気抵抗多層構造であって、前記リードの間に配置され、第1の比較的高い抵抗状態および第2の比較的低い抵抗状態を示し、所定の継続時間および大きさのパルスに応じて第1の状態から第2の状態に切り換えることが可能であり、前記パルスの大きさは多層構造を切り換えるのに必要な最小電流の大きさでありかつパルスの継続時間に依存するしきい値電流の大きさである、磁気抵抗多層構造とを備え、前記方法は、前記しきい値電流の大きさより小さな第1の大きさの電流を多層構造の中に流し、多層構造の中を流れる電流を増やすことにより、前記前記しきい値電流の大きさより小さな第2の一層高い大きさの電流を流すことを含む。
電流を多層構造の中に流すことは、所定の継続時間より短い継続時間中、前記しきい値電流の大きさより小さな第1の大きさの電流を多層構造の中に流すことを含む。
電流を多層構造の中に流すことは、前記しきい値電流の大きさの0.1から0.5の間の第1の大きさの電流を多層構造の中に流すことを含む。
第1の大きさの電流を多層構造の中に流すことは、継続時間中、固定のレベルの電流を多層構造の中に流すことを含んでよい。
電流を多層構造の中に流すことは、多層構造を切り換えるのに必要な最小DC電流であるDCしきい値電流以下の第1の大きさの電流を多層構造の中に流すことを含んでよい。
電流を多層構造の中に流すことは、1nsから2nsの間の継続時間中、前記しきい値電流の大きさより小さな第1の大きさの電流を多層構造の中に流すことを含んでよい。
電流を増やすことは、電流を予め定められたレベルまで増やし、所定の継続時間より短い期間中、電流をそのレベルに保持することを含んでよい。
電流を増やすことは、電流を予め定められたレベルまで増やし、所定の継続時間の0.1から0.4の間の期間中、電流をそのレベルに保持することを含んでよい。所定の継続時間は10nsより短くてよい。
電流を増やすことは、電流を予め定められたレベルまで増やし、電流を或る固定のレベルに保持することを含んでよい。
この方法は、電流をゼロ電流レベルから或る予め定められた電流レベルまで一定の割合で増やすことを更に含んでよい。
この方法は、電流を予め定められた電流レベルから第2の一層高い大きさの電流のレベルまで一定の割合で増やすことを更に含んでよい。
この方法は、電流を第2の一層高い大きさの電流のレベルから基準レベルまで一定の割合で減らすことを更に含んでよい。
多層構造を切り換えるのに必要なしきい値電流の大きさIは
である。ただし、IC0は多層構造を切り換えるのに必要な最小DC電流であるDCしきい値電流、Cは定数、tpはパルスの継続時間である。
かかる磁気メモリ素子では、一層低い切換え電流を用いることができる。また、切換え電流の確率分布を小さくすることができる。
素子のレイアウト
図1は従来のMRAMアレイの略図を示す。MRAMアレイは、複数のビット線3の1つとビット線3に垂直に配置された複数のディジット線5の1つとの各交点の間に磁気トンネル接合(MTJ)1を持つ交差点構造に配置される。したがって、アレイの各行はビット線3により定義され、アレイの各列はディジット線5により定義される。
MTJ1はビット線3と電気的に接触する。しかし、MTJ1はディジット線5から絶縁マトリクス18により電気的に絶縁される。
各MTJ1は底部電極7の上に設けられる。各底部電極7は絶縁トランジスタ9,9a,9bに接続される。各絶縁トランジスタ9,9a,9bはセンス線(図示せず)に接続される。ワード線11がディジット線5に平行に(すなわち、y軸に平行に)走る。各ワード線11は1つの列内の全てのトランジスタ9,9a,9bのゲートに接続される。
上に述べたように、MTJ1a,1bは共にビット線3に接続される。各MTJ1a,1bはそれぞれの底部電極7a,7bを介してトランジスタ9a,9bのドレン19a,19bに接続される。ワード線11a,11bは各トランジスタ9a,9bのゲート21a,21bに接続される。ディジット線5a,5bは各MTJ1a,1bの下を走る。ディジット線5a,5bは底部電極7a,7bから絶縁マトリクス18により分離される。
誘電障壁27は酸化アルミニウム(AlOx)で構成し、約20Åの厚さを有する。自由層23およびピン層25はニッケル鉄(NiFe)で形成される。ピニング層29は鉄マンガン(FeMn)またはイリジウム・マンガン(IrMn)で形成してよい。
従来のメモリ・セルの読取りおよび書込みについて以下に説明する。
メモリ・セル13aに書き込むときは、ワード線11aにバイアスを与えない。したがって、トランジスタ9aはオフであり、MTJ1aの中を電流が流れない。次にビット線3に電流を流すと、MTJ1aおよびMTJ1bの両方の磁化困難軸に沿って磁界H1が発生する。また、ディジット線5aに電流を流すと、MTJ1aの磁化容易軸に沿って磁界H2が発生する。
したがって、MTJ1bの回りに生成される磁界は自由層23を切り換えるには不十分であるが、MTJ1aの回りに生成される磁界は自由層23を切り換えるのに十分である。このように、MTJ1aの行に対応するビット線3とMTJ1aの列に対応するディジット線5aとに電流を流すことにより、1つのMTJ1aだけが切り換えられる。
磁界H1とH2の和はピン層25を切り換えるには不十分である。
上に述べたメモリ・セル13aの寸法は利用可能な電力により制限される。その理由は、MTJの寸法が小さくなるに従って自由層23の保磁力が大きくなるので、メモリ・セル13aを切り換えるためにビット線3およびディジット線5の中に流す必要のある電流が増えるからである。また、書き込むとき、半分選択されたMTJ(すなわち、選択されたディジット線の列または選択されたビット線の行の中のMTJ)の磁気逆エネルギー障壁は低い。このためその自由層の熱安定性が低下する。また、自由層の形が変わると、この書込み方法では書込み余裕が小さくなる。
素子のレイアウト
図3Aから3Dはメモリ・アレイの第1の実施の形態を示す。メモリ・アレイは磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)である。
特に図3Aを参照すると、メモリ・アレイは、アレイの第1の次元(この例ではアレイの列)を定義する複数のワード線53と、ワード線53の上にあってこれに垂直な、アレイの第2の次元(この例ではアレイの行)を定義する複数のビット線31から成る。スタック化された層を有する複数の磁気トンネル接合(MTJ)37が各ビット線31の下側の、ワード線53の間の空間内に接続される。
ビット線31は第1の方向(ここではx軸と定義する)に配置される。ワード線53は第2の方向(ここではy軸と定義する)に配置される。
活動領域43は浅い溝絶縁(STI)領域47により基板45内で互いに絶縁される。
ワード線53は基板45上に設けられ、ゲート酸化物53aにより基板45から絶縁される。ワード線53は、ビット線31およびセンス線49に垂直に配置される。ワード線53はセンス線49から絶縁マトリクス55により分離される。
更に図3Dを参照すると、底部電極39を活動領域43に接続する各ビア41の下の活動領域43内にソース領域61が設けられる。センス線49を活動領域43に接続する各ビア511の下の活動領域43内にドレン領域63が設けられる。したがって、各活動領域43は2つのソース領域61と1つのドレン領域63とを備える。各ソース領域61とドレン領域63との間の導通は前記領域の間のワード線53を通して起こる。したがって、前記ワード線53は絶縁トランジスタ81のゲート65として働き、MTJ37毎に1つの絶縁トランジスタ81が設けられる。
ビット線31は銅またはタングステンなどの導電材料で作られる。
MTJ37は、キャッピング層82、自由層83、トンネル障壁層84、ピン層85、ピニング層87、およびバッファ層89を含む一連の層で構成する。この例では、キャッピング層82が基板45から最も遠く、バッファ層89が基板45に最も近い。
自由層83は強磁性材料で形成される。自由層83は比較的低い保磁力を有するので、切換え電流または磁界を与えると切り換えることができる。
トンネル障壁層84は酸化マグネシウム(MgO)などの絶縁材料で形成され、電子がトンネリングできるように十分薄い。
ピニング層87は反強磁性材料で構成する。ピニング層87はピン層85の磁化をピン留めして、磁界または切換え電流を与えたときにピン層85の磁化が切り換わるのを妨げる。
この例では、キャッピング層82は非磁性材料(例えば、銅(Cu)またはタンタル(Ta))で形成され、約10nmの厚さを有する。別の例では、キャッピング層82は、10nmの厚さを有する銅の層により分離されたそれぞれが5nmの厚さを有するタンタルの2つの層で形成してよい。すなわち、Ta(5nm)/Cu(10nm)/Ta(5nm)である。
この例では、トンネル障壁層84は酸化マグネシウム(MgO)で形成される。しかし、他の誘電材料(酸化アルミニウム(AlOx)、二酸化珪素(SiO2)、および窒化アルミニウム(AlN)など)を用いてよい。この例では、トンネル障壁層84は2nmの厚さを有する。他の例では、トンネル障壁層84の厚さは1nmから2nmの範囲でよい。
この例では、ピニング層は白金マンガン(PtMn)で構成され、約15nmの厚さを有する。PtMnが好ましい理由は、高いブロッキング温度(blocking temperature)と高い交換バイアシング・フィールド(exchange biasing field)とを有して、MTJ37の熱安定性を向上させるからである。しかし他の反強磁性材料(イリジウム・マンガン(IrMn)、ニッケル・マンガン(NiMn),およびパラジウム・マンガン(PdMn)など)を用いてよい。
上に述べたMTJ37では、比較的高い抵抗状態と比較的低い抵抗状態の磁気抵抗の比は3:1に近くてよい。これにより高い信号対雑音比を有するMRAMが得られる。
メモリ・アレイの行毎に書込みドライバ67およびセンス増幅器68が設けられる。各ビット線31は各書込みドライバ67の第1の出力69に接続される。各センス線49は各書込みドライバ67の第2の出力70に接続される。各ビット線31は各センス増幅器68の第1の入出力ポート71にも接続される。
センス増幅器68の第2の出力と各書込みドライバ67の第1の入力との間に接続72が設けられる。
書込みドライバ67は、書込み増幅器可能(WAE)電圧を受けるための第2の入力73を有する。
単一のワード線ドライバ80が設けられる。各ワード線53はワード線ドライバ80の各出力に接続される。
図4,5,6を参照して、メモリ・アレイ内のメモリ・セル66の読取りおよび書込みについて以下に説明する。
図6は読取りサイクル中にメモリ・アレイに与えられて測定されたバイアスを示す。
第1のプロット101はワード線バイアスを時間に対して示す。第2のプロット103はセンス増幅器68の第2の入力74に与えられるセンス増幅器可能(SAE)バイアスを時間に対して示す。第3のプロット1051および第4のプロット1052は、自由層83の磁化とピン層85の磁化とが平行のときの、ビット線31上の電圧応答を時間に対して、またセンス増幅器入出力(SAIO)バイアスを時間に対してそれぞれ示す。第5のプロット1071および第6のプロット1072は、自由層83の磁化とピン層85の磁化とが逆平行のときの、ビット線31上の電圧応答を時間に対して、またSAIOバイアスを時間に対してそれぞれ示す。
第3のプロット1051および第5のプロット1071に示すように、時刻tR2に、書込みドライバ67はメモリ・セルの行に対応するビット線(BL)31にバイアスVBを与える。この例では、VBは約0.4Vである。メモリ・セルのその行に対応するセンス線(SL)49は接地に保たれる。時刻tR3に、バイアスVBは除かれる。
第5のプロット1071に示すように、この例ではビット線31上の電圧応答は約2nsから3nsで接地まで減少する。その理由は、自由層83の磁化とピン層85の磁化とが逆平行のときは、MTJ37の磁気抵抗(したがって、測定された電圧応答)が比較的高いために、電圧応答が比較的遅いからである。
第3のプロット1051に示すように、自由層83の磁化とピン層85の磁化とが平行のとき、時刻tR4までにビット線31上の電圧応答はVrefより低くなる。センス増幅器68はこれを検知する。したがって、センス増幅器68の第3の入出力ポート75でのセンス増幅器入出力(SAIO)はローに設定される。
時刻tR5に、SAEバイアスは除かれる。時刻tR6に、WLバイアスは除かれる。
この例では、tR1は1ns、tR2は2.5ns、tR3は3.5ns、tR4は7.5ns、tR5は9ns、tR6は10nsである。
第7のプロット111はワード線(WL)バイアスを時間に対して示す。第8のプロット113は書込み増幅器可能(WAE)バイアスを時間に対して示す。第9のプロット115および第10のプロット117は、自由層83の磁化をピン層85の磁化に逆平行からピン層85の磁化に平行に切り換えるとき(APからPへの切換え)、メモリ・セル66に与えられるSAIOバイアスを時間に対して、またビット線(BL)およびセンス線(SL)に与えられるバイアスを時間に対してそれぞれ示す。第11のプロット119および第12のプロット121は、自由層83の磁化をピン層85の磁化に平行からピン層85の磁化に逆平行に切り換えるとき(PからAPへの切換え)、メモリ・セル66に与えられるSAIOバイアスを時間に対して、またビット線(BL)およびセンス線(SL)に与えられるバイアスを時間に対してそれぞれ示す。
第10のプロット117を参照すると、SAIOが接地に保持されているとき、時刻tW2に書込みドライバ67はビット線31に予備充電バイアスVP1を与え、センス線49は接地に保持される。したがって、書込みドライバ67はセンス線49からビット線31に電流を流す。VP1は0.5から1の間の値をR1・IC0に掛けた値でよい。ただし、R1はAP状態でのMTJ37の抵抗、IC0はDCしきい値電流である。
時刻tW4に、ビット線31に与えたバイアスをVB1に増やす。VB1はSTT切換えを起こすように十分大きい。VB1の値は日常の実験で見つけることができる。一般にVB1は、予備充電バイアスVP1を与えないときに同じパルス継続時間でSTT切換えを起こすのに必要なバイアスの0.3から0.5の間である。
時刻tW4に、ビット線31に与えたバイアスをVB2に増やす。VB2はSTT切換えを起こすように十分大きい。VB2の値は日常の実験で見つけることができる。一般にVB2は、予備充電バイアスVP2を与えないときに同じパルス継続時間でSTT切換えを起こすのに必要なバイアスの0.3から0.5の間である。
時刻tW10に、BLまたはSLバイアスを取り除く。時刻tW11に、WLバイアスを取り除く。
好ましくは、tw1は1ns、tw2は2ns、tw3は3.535ns、tw4は4ns、tw5は4.2ns、tw6は4.23ns、tw7は4.885ns、tw8は5.07ns、tw9は5.285ns、tw10は5.7ns、tw11は5.9nsである。
図9Aから9Fは、PからAPへの切換えについて、書込みサイクル中の自由層83内の磁化のシミュレーションを示す。図9Aから9Fでは、3nmx3nmの区分で表示した自由層83の磁化129をプロットする。
図8および図9Aを参照すると、時刻tW1に、IMTJは0であって、自由層83は最初の磁化構成を有する。この場合、磁化129は全て同じ方向に整列し、ピン層85(図4)の磁化に平行である。
電流IPはSTT切換えのためのDCしきい値電流に等しい。この例では、DCしきい値は約1mAである。上に述べたように、ナノ秒領域では、STT切換えを起こすのに必要な電流はDCしきい値電流よりはるかに大きい。したがって、IPはSTT切換えを起こすには十分大きくない。しかし、IPは自由層83内にアンペア・フィールドを誘導する。
図8を参照すると、時刻tW4に電流IMTJを増やし、時刻tW5に電流はIBに到達する。この例では、IBは3mAである。
図9Dは時刻tW7の第3の中間磁化構成を示す。C字状の領域構造の対称性は壊れている。
図9Fは時刻tW9の最終の磁化構成を示す。磁化129の大部分は最初の磁化構成の磁化に逆平行に(すなわち、ピン層85に逆平行に)整列している。時刻tW8には、自由層83の磁化129はもう振動しない。
時刻tW9と時刻tW10との間に、電流IMTJはゼロまで一定の割合で減少する。
APからPへの切換えでは、一層低い電流を与えてよい。その理由は、電子をピン層85の中で駆動して直接に自由層83の中に注入する方が、電子をピン層85から散乱させて自由層83の中に注入するより効率が高いからである。APからPへの切換えでは、この例では、IPは0.4mAであり、IBは1.2mAである。
特に図10Bを参照すると、PからAPへの切換えでは、2nsの継続時間でDCしきい値の大きさの予備充電電流パルスをMTJの中に流したときの所定のパルス継続時間中の切換え電流133は、予備充電電流パルスを用いないときに必要な切換え電流135より、やはり最大で30%少なくなる。
更に、予備充電電流を用いるとナノ秒領域での確率分布が大幅に減少する。したがって、MRAM内の書込み電流余裕を大きくすることができる。
図11Aから11Hを参照して、図3Aから3Dに示すメモリ・アレイを製造する方法を以下に説明する。図11A,11C,11E,および11Gは製造プロセスの各段階での図3Aに示すメモリ・アレイの、線B−B’に沿う断面を示す。図11B,11D,11F,および11Hは製造プロセスの各段階での図3Aに示すメモリ・アレイの、線C−C’に沿う断面を示す。
ゲート絶縁層53aおよびワード線53を順に積み重ねて、基板およびSTI領域上にゲート・スタックを形成する。ゲート・スタックの側壁上および頂部にゲート・スペーサ53bを形成する。基板45内に不純物イオンを注入して、絶縁トランジスタのソース領域61およびドレン領域63を形成する。
次に第1の絶縁マトリクス55の上に別の導電層を形成する。この導電層をパターン化し、エッチして、センス線49を形成する。センス線49はワード線に垂直に走り、ビア51内の導電層と接触する。次に基板上に第2の絶縁マトリクス50を形成する。ビア51に関して上に説明したのと同じ方法で、第1の絶縁マトリクスおよび第2の絶縁マトリクス内にビア41を形成して各ソース領域61の表面と接触させる。
次に以下のステップに従ってMTJ37を製造する。
バッファ層89および反強磁性のピニング層87を順に堆積させる。加熱しかつ外部磁界を与えることによりピニング層87の磁化をセットし、ピニング層87の冷却中これを維持する。次にピニング層87の上に、第1の強磁性副層91、反強磁性結合層95、第2の強磁性副層93を連続して堆積させる。
次に強磁性自由層83を堆積させる。強磁性自由層83の上にキャッピング層82を堆積させる。
次に、得られたスタックをパターン化してセルにしてMTJ37を形成する。パターン化は、保護キャッピング層の上にフォトレジストの層を堆積させ、フォトリソグラフィを用いてフォトレジストをパターン化し、保護されていない材料を取り除くことにより行う。
上に説明した製造プロセスでは、導電層は周知の方法(化学蒸着、物理蒸着、プラズマ強化化学蒸着、またはスパッタリングなど)を用いて形成してよい。
素子のレイアウト
図12Aから12Cは、メモリ・アレイの第2の実施の形態を示す。メモリ・アレイはMRAMである。
特に図12Aを参照すると、複数のビット線201が第1の方向(ここではx軸と定義する)に配置される。ビット線201はアレイの第1の次元(この例ではアレイの行)を定義する。
特に図12Bを参照すると、各MTJ207はビット線201の下側に接続される。したがって、MTJ207は支援電流線203から電気的に絶縁される。
特に図12Aを参照すると、各MTJは底部電極209に接続される。底部電極209は長辺および短辺を有するx−y平面内の長方形である。底部電極209の長辺および短辺はMTJ207の長辺および短辺とほぼ同じ寸法である。
活動領域213はSTI領域216により基板215上で互いに電気的に絶縁される。
特に図12Bを参照すると、各ビット201線の下にセンス線217が走る。センス線217は、ビット線201、MTJ、または底部電極209と接触しない。センス線217を活動領域213にビア219が接続する。
センス線217のジグザグのピッチは活動領域213のジグザグのピッチと同じである。各ジグザグは位相が180°ずれていて、センス線217のジグザグと活動領域213のジグザグとはビア219で一致して接触する。
センス線217と活動領域213とが互いから最も離れたところに、底部電極209を活動領域213に接続するビア211が設けられる。したがって、センス線217は底部電極209を活動領域213に接続するビア211から間隔をあける。
ワード線221はアレイの第2の次元(この例では、アレイの列)を定義する。MTJ207毎に2本のワード線221が設けられる。したがって、アレイの各列はMTJ207の列の両側の2本のワード線221により定義される。
MTJ207毎に2つのトランジスタ233が設けられる。したがって、各メモリ・セル235は1つのMTJ207と2つのトランジスタ233とにより定義される。各トランジスタ233のドレン領域229は隣接するメモリ・セル235の間で共用される。各メモリ・セル235の面積は8F2である。
メモリ・アレイの特徴寸法Fは50nmから100nmの間である。
メモリ・アレイの行毎に書込みドライバ236およびセンス増幅器237が設けられる。各ビット線201は各書込みドライバ236の第1の出力238に接続される。各センス線217は各書込みドライバ236の第2の出力239に接続される。各ビット線201は各センス増幅器237の第1の入出力ポート240にも接続される。
センス増幅器237の第2の出力と各書込みドライバ236の第1の入力との間に接続241が設けられる。
書込みドライバ236は書込み増幅器可能(WAE)電圧を受けるための第2の入力242を有する。
単一のワード線ドライバ245が設けられる。各ワード線211はワード線ドライバ245の各出力に接続される。
図12Aから12Cに示すメモリ・セルの読取りおよび書込みは、図3Aから3Dに示すメモリ・セルに関して前に述べたものと同じである。
図12Aから12Cに示すメモリ・セルの製造プロセスのステップは、図3Aから3Dに示すメモリ・セルに関して前に述べたものと同じである。
図14は代替的なMTJ247のx−z平面に沿う断面を示す。MTJ247は、第1の実施の形態のMTJ37または第2の実施の形態のMTJ207の代わりに用いることができる。
MTJ247は、自由層249、トンネル障壁層251、およびピン層253を含む一連の層で構成する。この例では、自由層が基板から最も遠く、ピン層が基板に最も近い。
トンネル障壁層251は酸化マグネシウム(MgO)などの絶縁材料で形成され、電子がトンネリングできるように十分薄い。
ピン層253は強磁性材料で構成する。ピン層253は自由層249より厚い。このため、自由層249より高い保磁力を有する。したがって、自由層249は切換え電流および支援磁界を与えると切り換えることができるが、ピン層253は切換え電流および支援磁界を与えても切り換えることはできない。
MTJ255は、自由層257、トンネル障壁層259、ピン層261、およびピニング層263を含む一連の層で構成する。この例では、自由層が基板から最も遠く、ピニング層が基板に最も近い。
トンネル障壁層259は酸化マグネシウム(MgO)などの絶縁材料で形成され、電子がトンネリングできるように十分薄い。
ピン層261は強磁性材料で構成する。ピン層261は比較的高い保磁力を有するので、切換え電流または磁界を与えても切り換えることができない。
代替的なMTJ247,255の利点は、第1の実施の形態に用いられるMTJ37または第2の実施の形態に用いられるMTJ207より構造が簡単であるということである。したがって、代替的なMTJ247,255は一層簡単に製造することができる。しかし、代替的なMTJ247,255はMTJ37およびMTJ207ほど高い磁気抵抗比を示さない。
更に別の例(図示せず)では、MTJの代わりにスピン・バルブが設けられる。スピン・バルブは、強磁性自由層と、非磁性導体により分離された強磁性ピン層とを含む一連の層で構成する。
例えば、電流パルスの予備充電部分の継続時間および値はMTJの構成に依存して調整してよい。必要な電流パルスの予備充電部分の継続時間は自由層のギルバート減衰定数に関係する。
更に、ビット線およびセンス線に関するMTJの方向は変えてよい。
MTJの次元も変えてよい。しかし、楕円形断面を持つMTJは、与えられた磁気形状異方性のために優れた熱安定性を有する。
37 磁気トンネル接合
49 センス線
81 絶縁トランジスタ
125 本発明に係るMTJ内を流れる2段階の電流パルス
127 従来のMTJ内を流れる均一な電流パルス
Claims (20)
- 磁気メモリ素子に書き込む方法であって、前記磁気メモリ素子は、第1(31;201)および第2(49,217)のリードと、磁気抵抗多層構造(37;207;247;255)であって、前記リードの間に配置され、第1の比較的高い抵抗状態および第2の比較的低い抵抗状態を示し、所定の継続時間および大きさのパルスに応じて前記第1の状態から第2の状態に切り換えることが可能であり、前記パルスの大きさは前記多層構造を切り換えるのに必要な最小電流の大きさでありかつパルスの継続時間に依存するしきい値電流の大きさである、磁気抵抗多層構造とを備え、前記方法は、
前記しきい値電流の大きさより小さな第1の大きさの電流を所定期間前記多層構造の中に流し、
前記多層構造の中を流れる電流を増やすことにより、前記しきい値電流の大きさより小さな第2の一層高い大きさの電流を所定期間流す、
ことを含む、磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流を多層構造(37;207;247;255)の中に流すことは、
所定の継続時間より短い継続時間中、前記しきい値電流の大きさより小さな第1の大きさの電流を前記多層構造の中に流す、
ことを含む、請求項1記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流を多層構造(37;207;247;255)の中に流すことは、
前記しきい値電流の大きさの0.1から0.5の間の第1の大きさの電流を前記多層構造の中に流す、
ことを含む、請求項1又は2の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 第1の大きさの電流を多層構造(37;207;247;255)の中に流すことは、
所定の継続時間の0.1から0.4の間、電流を前記多層構造の中に流す、
ことを含む、請求項1から3の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 前記所定の継続時間は10nsより短い、請求項4記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。
- 第1の大きさの電流を多層構造(37;207;247;255)の中に流すことは、
前記継続時間中、固定のレベルの電流を前記多層構造の中に流す、
ことを含む、請求項1から5の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流を多層構造(37;207;247;255)の中に流すことは、
前記多層構造を切り換えるのに必要な最小DC電流であるDCしきい値電流以下の第1の大きさの電流を前記多層構造の中に流す、
ことを含む、請求項1から6の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流を多層構造(37;207;247;255)の中に流すことは、
1nsから2nsの間の継続時間中、前記しきい値電流の大きさより小さな第1の大きさの電流を前記多層構造の中に流す、
ことを含む、請求項1から7の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 前記電流を増やすことは、
電流を前記しきい値電流の大きさの0.3から0.5の間の第2の大きさに増やす、
ことを含む、請求項1から8の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 前記電流を増やすことは、
電流を予め定められたレベルまで増やし、前記所定の継続時間より短い期間中、電流をそのレベルに保持する、
ことを含む、請求項1から9の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 前記電流を増やすことは、
電流を或る予め定められたレベルまで増やし、前記所定の継続時間の0.1から0.4の間の期間中、電流をそのレベルに保持する、
ことを含む、請求項1から10の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 前記所定の継続時間は10nsより短い、請求項11記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。
- 前記電流を増やすことは、
電流を或る予め定められたレベルまで増やし、電流を或る固定のレベルに保持する、
ことを含む、請求項1から12の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流を或る基本電流レベルから或る予め定められた電流レベルまで一定の割合で増やす、
ことを更に含む、請求項1から13の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流をゼロ電流レベルから或る予め定められた電流レベルまで一定の割合で増やす、
ことを更に含む、請求項1から13の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流を前記予め定められた電流レベルから第2の一層高い大きさの電流のレベルまで一定の割合で増やす、
ことを更に含む、請求項1から15の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流を第2の一層高い大きさの電流のレベルから或る一層低いレベルまで一定の割合で減らす、
ことを更に含む、請求項1から16の何れかに記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - 電流を第2の一層高い大きさの電流のレベルから基準レベルまで一定の割合で減らす、
ことを更に含む、請求項14記載の磁気メモリ素子に書き込む方法。 - メモリであって、
磁気メモリ素子であって、
第1(31;201)および第2(49;217)のリードと、
磁気抵抗多層構造(37;207;247;255)であって、前記リードの間に配置され、第1の比較的高い抵抗状態および第2の比較的低い抵抗状態を示し、所定の継続時間および大きさのパルスに応じて第1の状態から第2の状態に切り換えることが可能であり、前記パルスの大きさは前記多層構造を切り換えるのに必要な最小電流の大きさでありかつ前記パルスの継続時間に依存するしきい値電流の大きさである、磁気抵抗多層構造と、
を備える磁気メモリ素子と、
請求項1から19の何れかに記載の方法を実行するよう構成された磁気メモリ素子を制御するための回路と、
を備えるメモリ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP06113535A EP1852874B1 (en) | 2006-05-04 | 2006-05-04 | Magnetic memory device |
EP06113535.6 | 2006-05-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007300079A JP2007300079A (ja) | 2007-11-15 |
JP5288529B2 true JP5288529B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=37101568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007090533A Expired - Fee Related JP5288529B2 (ja) | 2006-05-04 | 2007-03-30 | 磁気メモリ素子 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7443718B2 (ja) |
EP (1) | EP1852874B1 (ja) |
JP (1) | JP5288529B2 (ja) |
KR (1) | KR100902696B1 (ja) |
CN (1) | CN101067967B (ja) |
DE (1) | DE602006013948D1 (ja) |
TW (1) | TWI310554B (ja) |
Families Citing this family (50)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005046777B4 (de) * | 2005-09-29 | 2013-10-17 | Altis Semiconductor | Halbleiterspeicher-Einrichtung |
US7456029B2 (en) * | 2006-06-28 | 2008-11-25 | Magic Technologies, Inc. | Planar flux concentrator for MRAM devices |
JP2008091703A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2008130995A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP5159116B2 (ja) * | 2007-02-07 | 2013-03-06 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
US20090103354A1 (en) * | 2007-10-17 | 2009-04-23 | Qualcomm Incorporated | Ground Level Precharge Bit Line Scheme for Read Operation in Spin Transfer Torque Magnetoresistive Random Access Memory |
JP5224803B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-07-03 | 株式会社日立製作所 | 磁気メモリ及び磁気メモリの書き込み方法 |
JP2009158877A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Hitachi Ltd | 磁気メモリセル及びランダムアクセスメモリ |
US7808042B2 (en) * | 2008-03-20 | 2010-10-05 | Micron Technology, Inc. | Systems and devices including multi-gate transistors and methods of using, making, and operating the same |
US8159870B2 (en) | 2008-04-04 | 2012-04-17 | Qualcomm Incorporated | Array structural design of magnetoresistive random access memory (MRAM) bit cells |
JP2009253036A (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | Toshiba Corp | 半導体メモリ |
TWI412035B (zh) * | 2008-04-17 | 2013-10-11 | Sony Corp | Recording method of magnetic memory element |
US7804709B2 (en) | 2008-07-18 | 2010-09-28 | Seagate Technology Llc | Diode assisted switching spin-transfer torque memory unit |
US8274818B2 (en) * | 2008-08-05 | 2012-09-25 | Tohoku University | Magnetoresistive element, magnetic memory cell and magnetic random access memory using the same |
US8054677B2 (en) | 2008-08-07 | 2011-11-08 | Seagate Technology Llc | Magnetic memory with strain-assisted exchange coupling switch |
US8223532B2 (en) | 2008-08-07 | 2012-07-17 | Seagate Technology Llc | Magnetic field assisted STRAM cells |
US20100053822A1 (en) * | 2008-08-28 | 2010-03-04 | Seagate Technology Llc | Stram cells with ampere field assisted switching |
US8482966B2 (en) * | 2008-09-24 | 2013-07-09 | Qualcomm Incorporated | Magnetic element utilizing protective sidewall passivation |
US7746687B2 (en) | 2008-09-30 | 2010-06-29 | Seagate Technology, Llc | Thermally assisted multi-bit MRAM |
US8487390B2 (en) | 2008-10-08 | 2013-07-16 | Seagate Technology Llc | Memory cell with stress-induced anisotropy |
US8217478B2 (en) | 2008-10-10 | 2012-07-10 | Seagate Technology Llc | Magnetic stack with oxide to reduce switching current |
US8587993B2 (en) * | 2009-03-02 | 2013-11-19 | Qualcomm Incorporated | Reducing source loading effect in spin torque transfer magnetoresisitive random access memory (STT-MRAM) |
US8053255B2 (en) | 2009-03-03 | 2011-11-08 | Seagate Technology Llc | STRAM with compensation element and method of making the same |
US7957183B2 (en) * | 2009-05-04 | 2011-06-07 | Magic Technologies, Inc. | Single bit line SMT MRAM array architecture and the programming method |
US8427864B2 (en) * | 2009-06-03 | 2013-04-23 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor storage device |
JP2011023476A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Toshiba Corp | 磁気記憶装置 |
US8199553B2 (en) * | 2009-12-17 | 2012-06-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Multilevel frequency addressable field driven MRAM |
US8238151B2 (en) | 2009-12-18 | 2012-08-07 | Micron Technology, Inc. | Transient heat assisted STTRAM cell for lower programming current |
US8107285B2 (en) * | 2010-01-08 | 2012-01-31 | International Business Machines Corporation | Read direction for spin-torque based memory device |
WO2011101947A1 (ja) * | 2010-02-16 | 2011-08-25 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
US8625337B2 (en) | 2010-05-06 | 2014-01-07 | Qualcomm Incorporated | Method and apparatus of probabilistic programming multi-level memory in cluster states of bi-stable elements |
US8324697B2 (en) * | 2010-06-15 | 2012-12-04 | International Business Machines Corporation | Seed layer and free magnetic layer for perpendicular anisotropy in a spin-torque magnetic random access memory |
WO2012056807A1 (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-03 | 日本碍子株式会社 | セラミックス材料、積層体、半導体製造装置用部材及びスパッタリングターゲット部材 |
WO2012056808A1 (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-03 | 日本碍子株式会社 | セラミックス材料、半導体製造装置用部材、スパッタリングターゲット部材及びセラミックス材料の製造方法 |
JP5702177B2 (ja) * | 2011-02-04 | 2015-04-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US8525602B2 (en) | 2011-03-23 | 2013-09-03 | Honeywell International Inc. | Magnetic device with weakly exchange coupled antiferromagnetic layer |
JP5677186B2 (ja) * | 2011-05-06 | 2015-02-25 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
JP5677187B2 (ja) * | 2011-05-09 | 2015-02-25 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
EP2608208B1 (en) * | 2011-12-22 | 2015-02-11 | Crocus Technology S.A. | Self-referenced MRAM cell and method for writing the cell using a spin transfer torque write operation |
KR101741053B1 (ko) | 2012-03-25 | 2017-05-29 | 인텔 코포레이션 | 펄스 판독 전류에 기초하여 자기 터널 접합(mtj) 기반 메모리 셀을 판독하기 위한 방법들 및 시스템들 |
JP5383882B1 (ja) * | 2012-09-26 | 2014-01-08 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
US8913422B2 (en) * | 2012-09-28 | 2014-12-16 | Intel Corporation | Decreased switching current in spin-transfer torque memory |
US20140124880A1 (en) | 2012-11-06 | 2014-05-08 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive random access memory |
US8750033B2 (en) | 2012-11-06 | 2014-06-10 | International Business Machines Corporation | Reading a cross point cell array |
US10127957B2 (en) | 2013-12-27 | 2018-11-13 | Tohoku University | Control method for magnetoresistance effect element and control device for magnetoresistance effect element |
US9418740B2 (en) * | 2014-09-09 | 2016-08-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor storage device writing data into memory cells using a half selected state and a write state |
US10026779B2 (en) | 2016-03-01 | 2018-07-17 | Toshiba Memory Corporation | Magnetoresistive memory device and manufacturing method of the same |
US10121826B1 (en) | 2017-04-28 | 2018-11-06 | Winbond Electronics Corp. | Semiconductor device and method of fabricating the same |
JP6672224B2 (ja) * | 2017-07-12 | 2020-03-25 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
US11355554B2 (en) * | 2020-05-08 | 2022-06-07 | Micron Technology, Inc. | Sense lines in three-dimensional memory arrays, and methods of forming the same |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2817999B1 (fr) * | 2000-12-07 | 2003-01-10 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif magnetique a polarisation de spin et a empilement(s) tri-couche(s) et memoire utilisant ce dispositif |
CN1184643C (zh) * | 2002-07-29 | 2005-01-12 | 财团法人工业技术研究院 | 具有低写入电流的磁性随机存取内存 |
US6980468B1 (en) * | 2002-10-28 | 2005-12-27 | Silicon Magnetic Systems | High density MRAM using thermal writing |
US6956763B2 (en) * | 2003-06-27 | 2005-10-18 | Freescale Semiconductor, Inc. | MRAM element and methods for writing the MRAM element |
JP2005025831A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Toshiba Corp | 高周波発振素子、磁気情報記録用ヘッド及び磁気記憶装置 |
US6826086B1 (en) * | 2003-08-05 | 2004-11-30 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method, apparatus and system for erasing and writing a magnetic random access memory |
US6980469B2 (en) * | 2003-08-19 | 2005-12-27 | New York University | High speed low power magnetic devices based on current induced spin-momentum transfer |
US6956764B2 (en) * | 2003-08-25 | 2005-10-18 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method of writing to a multi-state magnetic random access memory cell |
US6791873B1 (en) * | 2003-09-08 | 2004-09-14 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Apparatus and method for generating a write current for a magnetic memory cell |
JP4487705B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2010-06-23 | ソニー株式会社 | メモリの記録方法 |
US6992910B1 (en) * | 2004-11-18 | 2006-01-31 | Maglabs, Inc. | Magnetic random access memory with three or more stacked toggle memory cells and method for writing a selected cell |
JP4378334B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2009-12-02 | 日本碍子株式会社 | ヒートスプレッダモジュール及びその製造方法 |
JP4886268B2 (ja) * | 2005-10-28 | 2012-02-29 | 株式会社東芝 | 高周波発振素子、ならびにそれを用いた車載レーダー装置、車間通信装置および情報端末間通信装置 |
-
2006
- 2006-05-04 DE DE602006013948T patent/DE602006013948D1/de active Active
- 2006-05-04 EP EP06113535A patent/EP1852874B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-10-18 TW TW095138396A patent/TWI310554B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-11-14 CN CN2006101470550A patent/CN101067967B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-11-29 KR KR1020060119119A patent/KR100902696B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-11-30 US US11/606,187 patent/US7443718B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007090533A patent/JP5288529B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1852874B1 (en) | 2010-04-28 |
EP1852874A1 (en) | 2007-11-07 |
US7443718B2 (en) | 2008-10-28 |
US20070258281A1 (en) | 2007-11-08 |
TW200743107A (en) | 2007-11-16 |
KR100902696B1 (ko) | 2009-06-15 |
CN101067967B (zh) | 2013-04-10 |
KR20070108052A (ko) | 2007-11-08 |
JP2007300079A (ja) | 2007-11-15 |
TWI310554B (en) | 2009-06-01 |
DE602006013948D1 (de) | 2010-06-10 |
CN101067967A (zh) | 2007-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5288529B2 (ja) | 磁気メモリ素子 | |
JP5295513B2 (ja) | 磁気メモリ素子 | |
US8711608B2 (en) | Memory with separate read and write paths | |
US7660153B2 (en) | Memory device and memory | |
US7486551B1 (en) | Method and system for providing domain wall assisted switching of magnetic elements and magnetic memories using such magnetic elements | |
CN103392245B (zh) | 可写入的磁性元件 | |
US8514616B2 (en) | Magnetic memory element and magnetic memory | |
US9799822B2 (en) | Magnetic memory element and magnetic memory | |
EP2320425B1 (en) | Selection device for a spin transfer torque magnetoresistive random access memory | |
US8363461B2 (en) | Magnetic random access memory, method of initializing magnetic random access memory and method of writing magnetic random access memory | |
JPWO2009019947A1 (ja) | 磁壁ランダムアクセスメモリ | |
KR20080023171A (ko) | 스핀 메모리 및 스핀 fet | |
EP1852873A1 (en) | Magnetic memory device | |
JP2017059740A (ja) | 磁気トンネル接合素子及び半導体記憶装置 | |
US8036024B2 (en) | Magnetic storage element storing data by magnetoresistive effect | |
JP2015103755A (ja) | 磁気抵抗メモリ素子および磁気抵抗メモリ | |
JP4729836B2 (ja) | 磁気記憶セルおよび磁気メモリデバイスならびに磁気メモリデバイスの製造方法 | |
JP2011253884A (ja) | 磁気記憶装置 | |
WO2005020327A1 (ja) | 磁気記憶セルおよび磁気メモリデバイス | |
JP4000000B2 (ja) | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその製造方法 | |
JP2008084950A (ja) | 記憶素子、メモリ | |
WO2009122995A1 (ja) | 磁気抵抗記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090817 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121120 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130531 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |