JP5280359B2 - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2007年7月18日に、日本に出願された特願2007−187253号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
すなわち、本発明の垂直磁気記録媒体の製造方法は、基板と、この基板上に形成された軟磁性層と、この軟磁性層上に中間層を挟んで形成され、表面に対して垂直な磁化容易軸を有する磁気記録層とを備え、前記磁気記録層には、前記磁気記録層を複数の記録要素に区画する複数の溝が形成されている垂直磁気記録媒体の製造方法であって、
前記磁気記録層の上層に形成したハードマスク層をマスクとして、少なくともハロゲンおよび酸素を含有するガスを用いた反応性イオンエッチングにより前記各溝を形成する工程を備え、
前記各溝は、前記中間層の途中まで達する深さで形成されることを特徴とする。
また、前記各溝は、少なくとも前記軟磁性層と前記磁気記録層との間で生じるエッチングレートの差によって、前記各溝の側壁へ付着する付着物を除去しながら前記軟磁性層の一面近傍の深さまで形成されることが好ましい。
前記溝の形成後、少なくとも水素を含有するガスを用いたガスプラズマが前記磁気記録層に照射されるのが好ましい。
前記磁気記録層は、少なくともCoを含んでいてもよい。前記磁気記録層は、少なくともカルボニル基と反応しない金属元素を含んでいてもよい。前記ハードマスク層は、少なくともTi,W,Taのいずれかを含んでいてもよい。
また、前記各溝は、前記垂直磁気記録媒体の記録トラック方向とこれに垂直な方向とに沿って形成されてもよい。
さらに、前記各溝が略格子状に形成されていてもよい。
11 基板
12 軟磁性層
13 中間層
14 磁気記録層
15 溝
垂直磁気記録媒体10は、円盤状の非磁性体からなる基板11上に、軟磁性層12、中間層13、磁気記録層14、および保護層15が、この順に積層された構造とされている。
基板11としては、例えば、アルミニウムとその合金あるいは酸化物、チタンとその合金或いは酸化物、またはシリコン、ガラス、カーボン、セラミック、プラスチック、樹脂およびそれらの複合体化からなる基板の表面に、異種材質の非磁性層をスパッタ法、蒸着法、メッキ法等の成膜法により、表面コーティング処理を行ったものが挙げられる。
基板11の上層を成す軟磁性層12は、スパッタ法や蒸着法などにより形成することができる。その構成としては、例えば、CoNbZr膜といった非晶質の合金材料、FeTaC膜といった微結晶析出型の合金膜、あるいはNiFe膜といった結晶質の合金膜が用いられればよい。また、こうした軟磁性層12は、例えば軟磁性体と非磁性体とを交互に積層した積層体から構成されてもよい。
中間層13は、例えば配向層などとも呼ばれる。例えば、この中間層13に重ねて形成される磁気記録層14の磁化容易軸の方向を、垂直磁気記録媒体10の表面に対して垂直な方向に配向させる。また、磁気記録層14のエピタキシャル成長の促進を図る。中間層13は、例えば、膜厚0.1〜10nm程度の面心立方構造(fcc)又は最密六方構造(hcp)を有する金属膜から構成されることが好ましい。特に、CoCr合金、CoCrRu合金、Pd、Cu、Pt、Ru等を好ましく採用することができる。
磁気記録層14は、例えば、磁化容易軸が垂直磁気記録媒体10の表面に対して垂直な方向に配向した強磁性材料であればよい。なお、こうした磁化容易軸の配向は、磁気記録層14単独で制御されていても、中間層13の存在によって制御されるものであってもよい。磁気記録層14は、その組成を特に限定するものではないが、例えば、CoとCrを主たる成分とし、磁化容易軸が膜面に略垂直方向に配向した六方稠密構造(hcp:hexagonal closest packed structure)を有するCoCr系強磁性材料が好適に用いられる。このCoCr系強磁性材料は、必要に応じて他の元素が添加されたものであっても良い。
溝16が形成された磁気記録層14を覆う保護層15は、例えば、厚さが1〜5nm程度のダイヤモンドライクカーボンと呼称される硬質炭素膜から形成されれば良い。この保護層15は、磁気記録層14の損傷を防止するとともに、垂直磁気記録媒体10の表面を平滑に保つ。なお、この保護層15の上に、フッ素系の潤滑剤からなる潤滑層など、ハードディスクドライブの磁気ヘッドとの接触を円滑にするための構造体を更に形成しても良い。
上記エッチングでは、Cl2ガスを流量40sccmで、またArガスを20sccmで流して混合し、これにO2ガスを段階的に加えたエッチングガスを用いた。エッチング条件としては、ガス圧力0.5Pa,プラズマ源電力600W,基板バイアス電力300Wである。図6に、エッチングガスが含有するO2の量を段階的に増やしていった際の、ハードマスク層(Ta)と磁気記録層(CoPt)のエッチングレートの変化を示す。
上述のように形成された溝に、上記実施形態で示したような非磁性材料を充填することにより、パターンドメディアを得ることができる。
Claims (10)
- 基板と、この基板上に形成された軟磁性層と、この軟磁性層上に中間層を挟んで形成され、表面に対して垂直な磁化容易軸を有する磁気記録層とを備え、前記磁気記録層には、前記磁気記録層を複数の記録要素に区画する複数の溝が形成されている垂直磁気記録媒体の製造方法であって、
前記磁気記録層の上層に形成したハードマスク層をマスクとして、少なくともハロゲンおよび酸素を含有するガスを用いた反応性イオンエッチングにより前記各溝を形成する工程を備え、
前記各溝は、少なくとも前記中間層の途中まで達する深さで形成されることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記記録要素ごとに区画された前記中間層は、前記溝の底面で互いに繋がるように形成される。
- 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記各溝は、少なくとも前記軟磁性層と前記磁気記録層との間で生じるエッチングレートの差によって、前記各溝の側壁へ付着する付着物を除去しながら前記軟磁性層の一面近傍の深さまで形成される。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記各溝の形成後、少なくとも水素を含有するガスを用いたガスプラズマが前記磁気記録層に照射される。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記磁気記録層は、少なくともCoを含む。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記磁気記録層は、少なくともカルボニル基と反応しない金属元素を含む。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記ハードマスク層は、少なくともTi,W,Taのいずれかを含む。
- 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記各溝は、前記垂直磁気記録媒体の記録トラック方向に沿って形成される。
- 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記各溝は、前記垂直磁気記録媒体の記録トラック方向とこれに垂直な方向とに沿って形成される。
- 請求項9に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記各溝が略格子状に形成されている。
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