JP5207134B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
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Description
本発明の製造方法で得られる磁気記録媒体はより高密度記録に対応可能な磁気記録媒体であり、本発明の磁気記録媒体の製造方法によれば、作製時の磁気特性の劣化を起こさず、また、簡便な方法で製造でき、特に、凹凸がないことで、平坦化工程そのものを不必要にすることができるため、生産性、特性とも優れた垂直磁気記録媒体を提供することが可能となる。
図1は本発明の磁気記録媒体の製造方法の一例を示す図であり、図1の(e)は本発明の製造方法により得られる磁気記録媒体の構成例を示す図である。
レジスト6のみをマスクとして磁性層4をエッチングした場合、レジスト6の少なくとも一部が分解除去される可能性が高く、そうなると本来マスクで保護すべき部分も一部エッチング除去されるおそれが生じる。これに対して、たとえば炭素を主成分とするマスク用保護膜5aを形成しておくとマスク用保護膜5aは磁性層4のエッチング時には分解除去されることなく、所望の形状の凹凸パターンを形成することができる。
特に、保護マスク5bが炭素マスクからなる場合、保護マスク5bは従来技術である酸素プラズマやオゾンによっても酸化され、気化し、除去されるが、その際、磁性層4も酸化されて信号品質を劣化させてしまうため好ましくない。
紫外線ランプの照度は1nW/cm2以上が望ましく、ランプと基板の間隔は5mm以下が好ましい。5mm以上離すと照度が低下し、所定の照度を満たしにくくなるため好ましくない。
このような大気にさらされない環境で紫外線を照射すると、磁性層の酸化を防止しながら、保護マスクを分解、除去することができる。
基板1として、表面が平滑な化学強化ガラス基板(例えば、HOYA社製N−5ガラス基板)を用いた。スパッタリング法により、CoZrNbからなる軟磁性層2を200nm成膜し、結晶配向制御層3としてNiFeNbを3nm成膜し、その上にRuを14nm成膜した。
このようにして、基板1上に、軟磁性層2、結晶配向制御層3、第一磁気記録層、第二磁性層、マスク用保護膜5a及びパターニングしたレジスト膜6を積層した図1(a)の構成を作製した。
得られた磁気記録媒体の信号評価を行なった。読取信号出力及びノイズ(S/N比)を表1に示す。
保護マスク除去工程を窒素ガス雰囲気下で行う代わりに減圧環境下での紫外線照射処理を行なった以外は前記実施例1と同一プロセスでDTMを作製した。即ち、172nmの波長を主波長とするキセノンエキシマランプを、基板から2mm離した位置に配し、真空度は20Paとした。減圧環境下で紫外線照射処理を行なったので、本実施例でも分解した炭素は排気されるため再付着がなかった。得られた磁気記録媒体の信号評価を実施例1の結果とともに表1に示す。
前記実施例1の反応性イオンエッチングによるレジストの剥離と紫外線を使用した保護マスク除去の代わりに、酸素プラズマ処理によるレジスト、保護マスクの除去をした以外は前記実施例1と同一プロセスでDTMを作製した。
酸素プラズマ処理は誘導結合プラズマ(ICP:Inductive Coupled Plasma)方式の高密度プラズマエッチング装置によりおこなった。プラズマ生成パワーは13.56MHzで300Wとし、バイアスパワーは0Wとした。また、ガス流量50sccm、ガス圧を1Paに設定した。得られた磁気記録媒体の信号評価を実施例1、2の結果とともに表1に示す。
2:軟磁性層
3:結晶配向制御層
4:磁性層
5;マスク用保護膜(保護マスク)
6:レジスト
7:保護層
Claims (4)
- 磁性層の上に炭素からなるマスク用保護膜を形成するマスク用保護膜形成工程、
形成されたマスク用保護膜の上に所定のパターンのレジストを形成するレジスト形成工程、
形成されたレジストをマスクとしてマスク用保護膜のエッチングを行う保護マスク形成工程、
レジスト及び保護マスクをマスクとして磁性層をエッチングして磁性層に凹凸を形成する凹凸形成工程、
保護マスクを除去する保護マスク除去工程、
凹凸が形成された磁性層の上に保護層を形成する保護層形成工程
を有する磁気記録媒体の製造方法であって、すくなくとも保護マスク除去工程で保護マスクを除去された磁気記録媒体を保護層形成工程でその上に保護層を形成するまでの間、大気にさらされず、前記保護マスク除去工程における前記保護マスクの除去が主波長340nm以下の紫外線によるものであることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 保護マスク除去工程に続いて保護層形成工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 保護マスクの除去から保護層の形成までの工程を不活性ガス雰囲気もしくは還元性ガス雰囲気下で行うことであることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 保護マスクの除去から保護層の形成までの工程を1000Pa以下の減圧環境下で行うことであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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