JP5264585B2 - 電子部品接合方法および電子部品 - Google Patents

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雅義 小山
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Description

本発明は、接合樹脂に含まれる半田粉などの導電性粒子の自己集合作用を利用して基板に部品を実装する電子部品接合方法に関する。
回路基板と電子部品との接合を行うための技術の一つとして、『液体の表面張力による接合電極への粒子集積化現象』を利用した「半田自己集合」という方式が知られている。
この半田自己集合を図17(a)〜(e)に基づいて説明する。
図17(e)に示すように回路基板1に形成されている電極2に部品5を接合する場合、図17(a)では、回路基板1に形成されている電極2の上に半田粉3を含む接合樹脂4が供給される。電極2は、図18(a)(b)に示すように、接合する部品5の電極6に対向する位置にエリア配置状に形成されている。
接合樹脂4の供給は、ディスペンス、スクリーン印刷、転写などの一般的な粘性材料の供給法により行われ、図19に示すように回路基板1上の電極2を覆う形状に供給される。
図17(b)では、ステージ9の上に乗せられた回路基板1に対して部品5を吸着ツール7で保持して、電極6が電極2と対向するように位置合わせし、電極2と電極6との間に隙間(ギャップ)Hを確保するよう保持した状態で、吸着ツール7に設けられているヒータ8と、ステージ9に設けられているヒータ10の少なくとも一方を加熱して、部品5と回路基板1の少なくとも一方を所定の温度プロファイルで加熱することで、接合樹脂4の中の半田粉3が図17(c)に示すよう溶融し、かつ電極2と電極6との隙間Hおよびその周辺において、溶融した半田粉3が集合した溶融半田12と接合材料4の樹脂成分を対流Zさせることにより、液体の表面張力による電極への粒子集積化現象によって、電極2と電極6の間に溶融半田12が自己集合する。
そして回路基板1及び部品5を半田粉3の融点以下に冷却することで、図17(d)に示すように、電極2と電極6の間に自己集合した溶融半田12は凝固し、電極2と電極6が半田金属接合13される。
なお、11は接合樹脂4の硬化した樹脂成分を示しており、半田接合後の部品5と回路基板1との接合部の保護、及び接合強度を確保するためのアンダーフィルの役割を果たす。
特許第3955302号公報
しかしながら、接合を行う特定の電極、例えばエリア配置電極の場合、その最外周の電極に溶融半田が過剰に集合し、半田ショート不良が発生し、安定したモノづくりが行えないという問題がある。
具体的には、図21(a)はエリア配置された電極の場合の断面図を示しており、この接合部の平面図を図21(b)に示す。この図21に示すように、接合後、エリア配置された最外周の電極に、過剰に自己集合された半田により、半田ショート不良14が発生する。
図20(a)は、回路基板1にエリア配置状に形成された電極2を覆う形状に接合樹脂4が供給された状態を示している。供給された接合樹脂4中には、半田粉3が均一に分散された状態になっている。
次に図20(b)に示すように、電極2と電極6との間に隙間(ギャップ)を確保するよう保持して加熱することで半田粉3を溶融させ、かつ溶融半田12及び接合材料4の樹脂成分を対流Zさせることにより、半田粉3は、図20(c)に示す流動挙動を示す。
回路基板1にエリア配置形成された電極2の内、内側に配置された電極、例えば図20(c)に示す電極bの場合、電極bを中心とし、隣接する電極との距離を等間隔に分割したエリアB内に存在する半田粉3が接合工程において確率的に自己集合してくる。
その結果、エリア配置に形成された電極のうちの、最外周を除く、内側に配置された電極bは、各電極bを中心とし、隣接する電極との距離を等分割したエリアBの面積が同じであるが故に、確率的にほぼ同量(同体積)の半田粉3が自己集合されることとなる。
一方、最外周に形成された電極aの場合、自己集合してくる半田粉3は、最外周電極より外側に供給されている接合樹脂4を含む、広いエリアA内にも存在する。
何故ならば、最外周の電極aにおいては、半田粒子が溶融、流動する経路Zにおいて、溶融半田が濡れ、留まる電極が存在しないからである。その結果、最外周の電極aには、エリア配置形状の内側電極bと比較し、自己集合される半田の量(体積)が必然的に多くなる。
このエリアA内に存在する半田粉3の量をエリアB内に存在する半田粉3と同等レベルにすること、言い換えればエリア配置電極の外側の接合樹脂4の量をコントロールすることは、ディスペンス、印刷等の粘性材料の一般的に広く用いられる材料供給法では、極めて困難である。
本発明は、基板と部品との接合を半田自己集合方式によってショート不良なく、安定的に実施できる電子部品接合方法を提供することを目的とする。
本発明の電子部品接合方法は、第1電極と前記第1電極に接続され前記第1電極のエリアから引き出された配線の途中上に位置するダミー電極とを有する基板に、第2電極を有する部品を実装する方法であって、第1電極と、前記ダミー電極と、前記第1電極と前記ダミー電極との間に導電性粒子を含んだ接合樹脂を供給する供給工程と、前記第1電極と前記第2電極との間に隙間を保持し、かつ、前記基板と前記部品とを位置合わせする位置合わせ工程と、前記基板と前記部品とを加熱する加熱工程と、前記基板と前記部品を冷却して前記接合樹脂を凝固する冷却工程と、からなることを特徴とする。
本発明の電子部品接合方法は、第1電極群と前記第1電極群の外周に配置された第1のダミー電極列と前記第1のダミー電極列の外周で前記第1のダミー電極列のピッチ間に位置する第2のダミー電極列とを有する基板に、第2電極を有する部品を、実装する方法であって、前記第1電極群と、前記第1のダミー電極列と、前記第1電極群と前記第1のダミー電極との間に導電性粒子を含んだ接合樹脂を供給する供給工程と、前記第1電極と前記第2電極との間に隙間を保持し、かつ、前記基板と前記部品とを位置合わせする位置合わせ工程と、前記基板と前記部品とを加熱する加熱工程と、前記基板と前記部品を冷却して前記接合樹脂を凝固する冷却工程と、からなることを特徴とする。
本発明の電子部品接合方法は、第1電極を有する基板に、第2電極と前記第2電極に接続され前記第2電極のエリアから引き出された配線の途中上に位置するダミー電極とを有する部品を実装する方法であって、第1電極上に導電性粒子を含んだ接合樹脂を供給する供給工程と、前記第1電極と前記第2電極との間に隙間を保持し、かつ、前記基板と前記部品とを位置合わせする位置合わせ工程と、前記基板と前記部品とを加熱する加熱工程と、前記基板と前記部品を冷却して前記接合樹脂を凝固する冷却工程と、からなることを特徴とする。
本発明の電子部品接合方法は、第1電極を有する基板に、第2電極群と前記第2電極群の外周に配置された第1のダミー電極列と前記第1のダミー電極列の外周で前記第1のダミー電極列のピッチ間に位置する第2のダミー電極列とを有する部品を、実装する方法であって、前記第1電極に導電性粒子を含んだ接合樹脂を供給する供給工程と、前記第1電極と前記第2電極との間に隙間を保持し、かつ、前記基板と前記部品とを位置合わせする位置合わせ工程と、前記基板と前記部品とを加熱する加熱工程と、前記基板と前記部品を冷却して前記接合樹脂を凝固する冷却工程と、からなることを特徴とする。
本発明の電子部品は、第1電極と前記第1電極に接続され前記第1電極のエリアから引き出された配線の途中上に位置するダミー電極とを有する基板と、第2電極を有する部品と、前記第1電極と前記第2電極との間に位置する導電性粒子を含む接合樹脂と、からなる電子部品であり、前記第1電極と前記第2電極を含む接合領域以外で、かつ、前記接合樹脂の内に、前記ダミー電極が形成されていることを特徴とする。
本発明の電子部品は、第1電極群と、前記第1電極群の外周に配置された第1のダミー電極列と、前記第1のダミー電極列の外周で前記第1のダミー電極列のピッチ間に位置する第2のダミー電極列とを有する基板と、第2電極を有する部品と、前記第1電極と前記第2電極との間に位置する導電性粒子を含む接合樹脂とからなる電子部品であり、前記第1電極と前記第2電極を含む接合領域以外で、かつ、前記接合樹脂の内に、前記第1のダミー電極と、前記第2のダミー電極が配置されたことを特徴とする。
本発明の電子部品は、第1電極を有する基板と、第2電極と前記第2電極に接続され前記第2電極のエリアから引き出された配線の途中上に位置するダミー電極とを有する部品と、前記第1電極と前記第2電極との間に位置する導電性粒子を含む接合樹脂と、からなる電子部品であり、前記第1電極と前記第2電極を含む接合領域以外で、かつ、前記接合樹脂の内に、前記ダミー電極が配置されていることを特徴とする。
本発明の電子部品は、第1電極を有する基板と、第2電極群と前記第2電極群の外周に配置された第1のダミー電極列と前記第1のダミー電極列の外周で前記第1のダミー電極列のピッチ間に位置する第2のダミー電極列とを有する部品と、前記第1電極と前記第2電極との間に位置する導電性粒子を含む接合樹脂と、からなる電子部品であり、前記第1電極と前記第2電極を含む接合領域以外で、かつ、前記接合樹脂の内に、前記第1のダミー電極と、前記第2のダミー電極とが形成されていることを特徴とする。
この構成によると、基板または部品の適切な場所にダミー電極を形成したため、過剰な溶融した導電性金属を前記ダミー電極に自己集合させることによって、基板の電極と部品の電極とのショート不良を無くして、品質的に安定的した量産化を実現できる。
以下、本発明の各実施の形態を図1〜図16に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1〜図7は本発明の実施の形態1を示す。
図1(a)に示すように回路基板1には、部品5の電極6と対向して等間隔、等ピッチでエリア配置された25個の電極2と、部品5の電極6との間の電気接続に関与しない24個のダミー電極15がこの電極2の外周部に形成されている。図1(a)に仮想線で示した部品5の大きさから分かるように部品5には回路基板1の側のダミー電極15に対応する電極は存在していない。なお、部品5の電極6と電気接続される回路基板1の電極2と区別するために、ダミー電極15にはハッチングを記入して図示している。
接合樹脂4の供給は、図1(b)に示すようにダミー電極15を覆う形で行われる。
なお、図1(b)においては、形成されているダミー電極15を全て覆う形状で接合樹脂4が供給されている事例を模式的に表したが、必ずしも接合樹脂4の供給時点で、全ての電極を覆う必要は無い。後の接合工程中において、接合樹脂4が流動して、ダミー電極15を覆えば良い。
この電極2とダミー電極15を有する回路基板1と電極6を有する部品5とを、電極2と電極6とが対向するように位置合わせして、電極2と電極6との間に隙間Hを保った状態に保持した状態で、吸着ツール7に設けられているヒータ8と、ステージ9に設けられているヒータ10の少なくとも一方を加熱して、部品5と回路基板1の少なくとも一方を所定の温度プロファイルで加熱する。
このときの接合樹脂4中の半田粉3の流動挙動を図2に示す。
回路基板1にエリア配置形成された電極2のうちの最外周の電極eの場合は、この電極eを中心とし、隣接する電極との距離を等間隔に分割したエリアE内に存在する半田粉3が接合工程において確率的に自己集合してくる。
電極2の内、電極e以外の電極もその電極を中心とし、隣接する電極との距離を等間隔に分割したエリアEの面積は、同等であるがため、各電極2には、確率的にほぼ同量(同体積)の半田粉3が自己集合されることとなる。
一方、電極2の外側に形成したダミー電極15、例えば図2における電極dの場合、自己集合してくる半田粉3は、ダミー電極15より外側に供給されている接合樹脂4を含む、広いエリアD内に存在する。
何故ならば、最外周に位置するダミー電極15においては、半田粒子が溶融、流動する経路Zにおいて、溶融半田が濡れ、留まる電極が存在しないからである。その結果、最外周に位置する電極dには、内側に位置する電極eと比較し、自己集合される半田の量(体積)が必然的に多くなる。
その結果、図3(a)に示すように接合後の状態において、ダミー電極15には、電極2より多くの半田が自己集合されることで、箇所によっては、図3(a)と図3(c)にも示すように過剰半田が吸収されるため、箇所によっては、半田ショート14が発生する。
このようにダミー電極15により過剰半田が吸収されることにより、電極2は図3(b)に示すように、各電極とも均一な半田量で電極6と良好な金属接合13が行われる。
しかし、過剰な半田が自己集合されたダミー電極15は、例え半田ショート14が発生したとしても、電気回路設計上、必要でない電極であるがため、電気特性上問題は無い。
なお、図3(a)は接合後の半田接合部を上部よりX線に観察した際の模式図、図(b)は、G−H断面図、図3(c)はJ−K面断面図を示す。
以上の結果から、エリア配置された接合用電極の最外周部に、従来例のような半田ショート不良が発生することなく、回路基板1と部品5との接合を安定的に行える。
なお、図1〜図3においては、回路基板1上に過剰半田吸収用のダミー電極15を形成する事例を示したが、本発明はこれに限定されない。部品5の側にダミー電極15を形成しても良い。
また、図1〜図3においては、エリア配置電極の事例を示したが、本発明はこれに限定されない。ペリフェラル配置、その他の電極配置であっても良い。
また、図1〜図3においては、接合用の電極2と電気的には、つながっていないダミー電極15の事例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、エリア配置された接合用電極2から基板表層を引き回し、配線される回路パターン上に形成しても良い。
(実施例1)
図1(a)に示す回路基板1として、グレードFR4のガラスエポキシ基板、厚み0.6mmの両面基板を用いた。回路基板1の上には、部品5の電極6との接合用の電極2を200μmピッチで、484ピン、エリア状に配置した。なお、電極2には、φ100μmサイズ、高さは、18μmで形成されたCuにNi/Auメッキを施したものを用いた。
また、電極2の外周部には、同じく200μmピッチで、同サイズの過剰半田吸収用のダミー電極15を設けた。
図1(b)に示すように、回路基板1の電極2およびダミー電極15上には、以下の条件により接合樹脂4を供給し、回路基板1と部品5との接合を実施した。
接合樹脂4には、平均粒径20μmの半田粉3が50wt%、エポキシ樹脂22wt%、硬化剤22wt%、活性剤5wt%、硬化促進剤1wt%、含有された組成比により、構成されている材料を用いた。半田粉3の組成としてはSnBi系半田を用いた。
部品5には、厚み150μm、5.02mm□の半導体チップを用い、そのアクティブ面には、高さ12μm、φ100μmのAuメッキ電極が、回路基板1の電極2と対向する形状にエリア配置されているものを用いた。
接合樹脂4を2.0mg、回路基板1の上へディスペンス法により供給した後、図17(b)に示す、従来例と同様に回路基板1の電極2と部品5の電極6との隙間Hを20μmとし、吸着ツール7とステージ9により接合温度を200℃とし、接合を実施した。
100個の接合を評価した結果、電極2と電極6との接合エリア内で半田ショート不良発生率は0%であった。一方、最外周に形成したダミー電極15での半田ショート発生は54%であった。
この結果から、ダミー電極15の効果により、接合用電極2の半田ショートは防げることが明確となった。
(比較例1)
比較実験として、従来例の過剰半田吸収用のダミー電極15を設けない図18(a)に示す回路基板1でも接合評価を実施した。
回路基板1には、電極2を同様に、200μmピッチで、484ピン、エリア状に配置し、構造は、φ100μmサイズ、高さ18μm、CuにNi/Auメッキを施したものとした。部品5も同様に高さ12μm、φ100μmのAuメッキ電極が、回路基板1の電極2と対向する形状にエリア配置されている半導体チップを用いた。
100個の接合評価の結果、電極2の最外周部にのみ、半田ショート14が図21に示すように、75%発生した。
この結果からも、電極2の外側に設けるダミー電極15には、接合電極部の半田ショートを抑制する効果が顕著にあることが明確となった。
なお、ダミー電極15として図4に示すように、電極2と同形状、同サイズで形成したものを用いたが、本発明はこれに限定されない。具体的には、図5に示すような四角形状など、その他形状でサイズが電極2と異なっている構造でも良い。
また、エリア配置された電極2の外周部に等ピッチで一列ダミー電極15を形成する事例を示したが、本発明はこれに限定されない。具体的には、図6に示すように複数列形成されていても良い。
また、図4から図6に示すダミー電極15の数、位置は、好適には、エリア配置された電極2の外周部電極に対し、等ピッチで同等数が配置されるが、それに限定されるものでは無い。任意の数、任意の位置への形成で、同様の効果が得られる。
また図4から図6においては、接合用の電極2とダミー電極15は、電気的には、つながっていない事例を示したが、本発明はこれに限定されない。
例えば、図7に示すようにエリア配置された電極2から基板1を引き回して配線される回路パターン16上にダミー電極15を形成しても良い。この場合のダミー電極15は、形状が限定されるものではなく、任意の形状で良い。ダミー電極15の配置形状も、図7に示すように一列に並べるほかに、千鳥配置や1個飛ばしの配置でもよい。ダミー電極15が近接していても、このダミー電極15に引き付けられた半田は、回路パターン16にも流れて回路パターン16を濡らすことになるため、隣接したダミー電極15の間が半田ブリッジして短絡することは極めて少ない。この場合の具体的な構成としては、ソルダーレジストを、引き出される回路パターン16の接合領域エリア外の部分に設けない構造を挙げることができる。
この実施の形態1では、回路基板1の側にダミー電極15を設けたが、部品5の側にダミー電極15を設けても同様の効果が得られる。
(実施の形態2)
図11〜図16に基づいて本発明の実施の形態2を示す。
図8〜図10は電極2が回路基板1の上にペリフェラル配置された従来例を示す。
先ず、比較のために従来例を説明する。
図8(a)は回路基板1はグレードFR4のガラスエポキシ基板、厚み0.6mmの両面基板を用いた。回路基板1上には、電子部品との接合用電極2が150μmピッチで、240ピン、ペリフェラル状に配置されている。なお、基板電極2には、幅60μmサイズ、高さは、15μmで形成されたCuにNi/Auメッキを施したものを用いた。
図8(b)に示すように、回路基板1上の電極2上には、以下の条件により接合樹脂4を供給し、回路基板1と部品5との接合を実施した。
接合樹脂4には、平均粒径20μmの半田粉3が50wt%、エポキシ樹脂22wt%、硬化剤22wt%、活性剤5wt%、硬化促進剤1wt%、含有された組成比により、構成されている材料を用いた。また、半田粉3の組成としては、SnBi系半田を用いた。
接合樹脂4を1.0mg、回路基板1の上へディスペンス法により供給した後、図17(b)に示す、従来例と同様に回路基板1の電極2と部品5の電極6との隙間Hを20μmとし、吸着ツール7およびステージ9により接合温度を200℃とし、接合を実施した。
部品5には厚み400μmの半導体素子を用い、そのアクティブ面には、高さ12μm、φ60μmのAuメッキ電極が、回路基板1の電極2と対向する形状にペリフェラル配置されているものを用いた。
100個の接合評価した結果、電極2において、図9のように半田ショート14が64%発生した。なお、図9は電子部品と回路基板の接合部をX線観察した模式図である。
この接合事例では、図10に示すように回路基板1上にペリフェラル配置された電極2の接合を行う際に、その接合工程において、例えば、電極fを事例とした場合、電極fを中心とし、隣接する電極との距離を等間隔に分割、且つペリフェラル配置された電極の内外を広く含むエリアF内に存在する半田粉3が確率的に自己集合してくる。その結果、ペリフェラル配置された電極fの内外に広く分布していた半田粉3が、その流動経路Zに半田を濡れさす電極が存在しないため、接合に必要な半田量以上に集合してくるため、半田が過剰量となり、半田ショートとなったと推定される。
そこで、本発明の実施の形態2では図11に示すように、ペリフェラル配置された回路基板1の電極2の内外に等ピッチで過剰半田吸収用のダミー電極15を配置した基板を用いて接合評価を実施した。ダミー電極15は、電極2と同様のサイズ、材質により構成した。
図8(a)における基板電極構造の接合と全く同じプロセス条件を用いて、100個を接合評価した結果、半田ショート不良は0%となった。
この結果から、ペリフェラル配置の電極構造においても、その内外に過剰半田吸収用のダミー電極15を設けることにより、接合電極部の半田ショートを抑制する効果が顕著にあることが明確となった。
ダミー電極15として、図11に示すようにペリフェラルに配置された電極2の内外に同形状、同サイズで形成したものを用いたが、本発明はこれに限定されない。接合する対象物のサイズ、接合ピッチ、回路パターン設計により、図12,図13に示すようにペリフェラル電極の片側にのみ、あるいは、内外に混在して形成しても良い。また、その形状、数も対象物により任意である。
また、図14に示すようにペリフェラル配置に形成された電極2の基板表層を引き回す回路パターン16上に形成しても良い。回路パターン16上に形成されるダミー電極15は、形状が限定されるものではなく、任意の形状で、任意の位置に形成して良い。ダミー電極15が近接していても、このダミー電極15に引き付けられた半田は、回路パターン16にも流れて回路パターン16を濡らすことになるため、隣接したダミー電極15の間が半田ブリッジして短絡することは極めて少ない。この場合の具体的な構成としては、ソルダーレジストを、引き出される回路パターン16の接合領域エリア外の部分に設けない構造を挙げることができる。
更に、図15,図16に示すように、ペリフェラル配置された接合電極2の内部に過剰半田を吸収するためのダミー電極15を大きな電極として一つまたは複数形成しても良い。
また、この実施の形態2においても、過剰半田を吸収するためのダミー電極15は、回路基板1ではなく、部品5上に設けても同様の効果が得られる。
上記の各実施の形態において、接合樹脂4に含まれている導電性粒子が半田粉3の場合を説明したが、導電性粒子としては半田コート銅粉、半田コート銀粉、低融点金属でコートされた金属粒子などの導電性粒子なども同様に使用できる。
本発明によれば小型・軽量化が進む電子機器に使用される微小且つ微細な電極間ピッチを有する半導体と微細な配線パターンが形成されたプリント配線板との電極間接合の接続品質の向上に寄与することができる。
本発明の実施の形態1に使用する回路基板の拡大平面図と接合樹脂の供給状態を示す平面図 同実施の形態のダミー電極の作用の説明図 同実施の形態のダミー電極に捕らえられた過剰半田を示す水平断面図とG−H断面図およびJ−K断面図 同実施の形態のダミー電極の具体的な形状を示す拡大平面図 同実施の形態のダミー電極の別の具体的な形状を示す拡大平面図 同実施の形態のダミー電極の別の具体的な形状を示す拡大平面図 同実施の形態のダミー電極の別の具体的な形状を示す拡大平面図 従来の回路基板の拡大平面図と接合樹脂の供給状態を示す平面図 従来のショート状態の発生を示す平面図 従来のショート状態の発生のメカニズム説明図 本発明の実施の形態2に使用する回路基板の拡大平面図 同実施の形態の別の具体例の回路基板の拡大平面図 同実施の形態の別の具体例の回路基板の拡大平面図 同実施の形態の別の具体例の回路基板の拡大平面図 同実施の形態の別の具体例の回路基板の拡大平面図 同実施の形態の別の具体例の回路基板の拡大平面図 「半田自己集合方式」による接合工程の説明図 従来の回路基板の拡大平面図と部品の拡大平面図 従来の回路基板への接合樹脂の供給状態を示す平面図と断面図 従来の回路基板の場合の「半田自己集合方式」とメカニズムの説明図 同従来例の接合結果の断面図と平面図
1 回路基板
2 回路基板の電極
3 半田粉(導電性粒子)
4 接合樹脂
5 部品
6 部品の電極
7 吸着ツール
8 ヒータ
9 ステージ
10 ヒータ
11 硬化樹脂成分
12 溶融半田
13 半田金属接合部
14 半田ショート不良部
15 過剰半田吸収用のダミー電極
16 引き回し配線

Claims (16)

  1. 第1電極と前記第1電極に接続され前記第1電極のエリアから引き出された配線の途中上に位置するダミー電極とを有する基板に、第2電極を有する部品を実装する方法であって、
    第1電極と、前記ダミー電極と、前記第1電極と前記ダミー電極との間に導電性粒子を含んだ接合樹脂を供給する供給工程と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に隙間を保持し、かつ、前記基板と前記部品とを位置合わせする位置合わせ工程と、
    前記基板と前記部品とを加熱する加熱工程と、
    前記基板と前記部品を冷却して前記接合樹脂を凝固する冷却工程と、
    からなることを特徴とする電子部品接合方法。
  2. 第1電極群と前記第1電極群の外周に配置された第1のダミー電極列と前記第1のダミー電極列の外周で前記第1のダミー電極列のピッチ間に位置する第2のダミー電極列とを有する基板に、第2電極を有する部品を、実装する方法であって、
    前記第1電極群と、前記第1のダミー電極列と、前記第1電極群と前記第1のダミー電極との間に導電性粒子を含んだ接合樹脂を供給する供給工程と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に隙間を保持し、かつ、前記基板と前記部品とを位置合わせする位置合わせ工程と、
    前記基板と前記部品とを加熱する加熱工程と、
    前記基板と前記部品を冷却して前記接合樹脂を凝固する冷却工程と、
    からなることを特徴とする電子部品接合方法。
  3. 第1電極を有する基板に、第2電極と前記第2電極に接続され前記第2電極のエリアから引き出された配線の途中上に位置するダミー電極とを有する部品を実装する方法であって、
    第1電極上に導電性粒子を含んだ接合樹脂を供給する供給工程と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に隙間を保持し、かつ、前記基板と前記部品とを位置合わせする位置合わせ工程と、
    前記基板と前記部品とを加熱する加熱工程と、
    前記基板と前記部品を冷却して前記接合樹脂を凝固する冷却工程と、
    からなることを特徴とする電子部品接合方法。
  4. 第1電極を有する基板に、第2電極群と前記第2電極群の外周に配置された第1のダミー電極列と前記第1のダミー電極列の外周で前記第1のダミー電極列のピッチ間に位置する第2のダミー電極列とを有する部品を、実装する方法であって、
    前記第1電極に導電性粒子を含んだ接合樹脂を供給する供給工程と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に隙間を保持し、かつ、前記基板と前記部品とを位置合わせする位置合わせ工程と、
    前記基板と前記部品とを加熱する加熱工程と、
    前記基板と前記部品を冷却して前記接合樹脂を凝固する冷却工程と、
    からなることを特徴とする電子部品接合方法。
  5. 第1電極と前記第1電極に接続され前記第1電極のエリアから引き出された配線の途中上に位置するダミー電極とを有する基板と、
    第2電極を有する部品と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に位置する導電性粒子を含む接合樹脂と、からなる電子部品であり、
    前記第1電極と前記第2電極を含む接合領域以外で、かつ、前記接合樹脂の内に、前記ダミー電極が形成されている
    電子部品。
  6. 前記部品は、半導体チップまたはフレキシブル基板もしくはリジット基板である
    請求項5記載の電子部品。
  7. 前記部品は、前記第2電極がペリフェラル配置された半導体チップであり、
    前記ダミー電極がペリフェラル配置された前記第2電極よりも外側と内側の少なくとも一方に形成されている
    請求項5記載の電子部品。
  8. 第1電極群と、前記第1電極群の外周に配置された第1のダミー電極列と、前記第1のダミー電極列の外周で前記第1のダミー電極列のピッチ間に位置する第2のダミー電極列とを有する基板と、
    第2電極を有する部品と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に位置する導電性粒子を含む接合樹脂とからなる電子部品であり、
    前記第1電極と前記第2電極を含む接合領域以外で、かつ、前記接合樹脂の内に、前記第1のダミー電極と、前記第2のダミー電極が配置された
    電子部品。
  9. 前記部品は、半導体チップまたはフレキシブル基板もしくはリジット基板である
    請求項8記載の電子部品。
  10. 前記部品は、前記第2電極がペリフェラル配置された半導体チップであり、前記ダミー電極がペリフェラル配置された前記第2電極よりも外側と内側の少なくとも一方に形成されている
    請求項8記載の電子部品。
  11. 第1電極を有する基板と、
    第2電極と前記第2電極に接続され前記第2電極のエリアから引き出された配線の途中上に位置するダミー電極とを有する部品と、前記第1電極と前記第2電極との間に位置する導電性粒子を含む接合樹脂と、からなる電子部品であり、
    前記第1電極と前記第2電極を含む接合領域以外で、かつ、前記接合樹脂の内に、前記ダミー電極が配置されている
    電子部品。
  12. 前記部品は、半導体チップまたはフレキシブル基板もしくはリジット基板である
    請求項11記載の電子部品。
  13. 前記部品は、前記第2電極がペリフェラル配置された半導体チップであり、
    前記ダミー電極がペリフェラル配置された前記第2電極よりも外側と内側の少なくとも一方に形成されている
    請求項11記載の電子部品。
  14. 第1電極を有する基板と、
    第2電極群と前記第2電極群の外周に配置された第1のダミー電極列と前記第1のダミー電極列の外周で前記第1のダミー電極列のピッチ間に位置する第2のダミー電極列とを有する部品と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に位置する導電性粒子を含む接合樹脂と、からなる電子部品であり、
    前記第1電極と前記第2電極を含む接合領域以外で、かつ、前記接合樹脂の内に、前記第1のダミー電極と、前記第2のダミー電極とが形成されている
    電子部品。
  15. 前記部品は、半導体チップまたはフレキシブル基板もしくはリジット基板である
    請求項14記載の電子部品。
  16. 前記部品は、前記第2電極がペリフェラル配置された半導体チップであり、
    前記ダミー電極がペリフェラル配置された前記第2電極よりも外側と内側の少なくとも一方に形成されている
    請求項14記載の電子部品。
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