JP5241916B2 - ワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム - Google Patents

Description

本発明は、ワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システムに関するものである。

ワイヤ放電加工機のワイヤ走行系では、ワイヤ送りの際にテンション変動が起こると加工物にスジがつくなどの影響が出ることが知られており、テンション変動が少ないように調整する必要がある。ワイヤ走行系は複数のプーリ、モータなどの部品で構成されており、ワイヤ放電加工機を長期に使用していると、プーリなどの走行系が磨耗したり偏心したりして振動を起こし、それがテンション変動を起こすため、部品交換などのメンテナンスが必要である。

そこで、従来技術では、ワイヤ走行系にテンション計を取付け、一定速度でワイヤを送り、テンション変動を計測し、変動が大きくなっている場合に、部品交換を行なっていた。また、特許文献１では、放電加工機に使用される各要保守部品の積算使用時間を求め、この積算使用時間の基準時間に対する百分率データを求め、この百分率データに基づき各要保守部品の交換時期を判別している。

特開昭５９−１１５１２４号公報

しかしながら、テンション計を設ける従来技術では、テンション計が必要で、ユーザの機械の計測をするには、サービス会社のサービスマンが計測器を持ってユーザの工場を訪問して計測する必要があった。またどの部品が交換必要なのかの判定は、経験に頼っており、調整に時間とコストがかかっていた。また、特許文献１の従来技術では、各部品の積算使用時間のみから交換時期を判別しているので、各部品毎の交換時期を正確に判別できないという問題がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワイヤ走行系で用いられる各種部品の保守時期を、計測器を用いることなく正確に判断することが可能なワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システムを得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、ワイヤ走行系のワイヤのテンションに対応する物理量を計測する計測手段と、前記計測手段が計測した物理量を記録する記録手段とを備えるワイヤ放電加工機と、前記記録された物理量の平均値、ばらつき、および周波数解析データのうちの少なくとも一つを物理量の解析結果として求める解析手段と、前記解析結果を基準値と比較し、比較結果に基づき保守の要否を判定する判定手段と、前記判定結果を表示する表示手段とを備えることを特徴とする。

本発明によれば、ワイヤ走行系のワイヤのテンションに対応する物理量を計測し、計測された物理量の平均値、ばらつき、および周波数解析データのうちの少なくとも一つを物理量の解析結果として求め、この解析結果を基準値と比較し、比較結果に基づき保守の要否を判定することとしているので、ワイヤ走行系で用いられる各種部品の保守時期を、計測器を用いることなく正確に判断することが可能となる。

図１は、ワイヤ放電加工装置のワイヤ走行系の部品構成例を示す図である。 図２は、実施の形態１にかかるワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システムの制御構成例を示す図である。 図３は、変動記録ファイルの記録動作手順を示すフローチャートである。 図４は、変動解析手順および保守要否判定手順を示すフローチャートである。 図５は、エンコーダデータ波形、エンコーダ差分データ波形およびＦＦＴ解析波形を示す図である。 図６は、正常な機械および滑りが発生している機械のエンコーダ差分データ波形を示す図である。 図７は、良好な機械および保守が必要な機械のＦＦＴ解析波形を示す図である。 図８は、ワイヤ走行系の各部品の直径、対応周波数などを示す図である。 図９は、ＦＦＴ解析結果の周波数範囲毎の振幅判定値、メッセージを示す図である。 図１０は、実施の形態２にかかるワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システムの制御構成例を示す図である。 図１１は、実施の形態３にかかるワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システムの制御構成例を示す図である。

１ ワイヤ送給部
２ 上部ワイヤガイド部
３ 下部ワイヤガイド部
４ ワイヤ回収部
１０ ワイヤ（電極ワイヤ）
１１ ワイヤボビン
１３ ＭＴローラ（メインテンションローラ）
１３ａ，１３ｂ ＭＴピンチローラ
１４ ＭＴモータ
１５ エンコーダ
１６ ワイヤ押さえローラ
１７ 下部ローラ
１８ 回収ローラ
１８ａ 回収ピンチローラ
１９ 回収モータ
２０ ワーク加工空間
３１ 変動記録部
３１ａ モータ制御部
３２ 変動解析部
３３ 保守要否判定部
３４ 表示部
３５ 変動記録ファイル
３６ 変動解析結果ファイル
３７ 判定基準データ
７０ ウェブサーバ（サーバ）
９０ ワイヤ放電加工機械
９５ ＮＣコントローラ
１００ ワイヤ放電加工装置
Ｗ ワーク

以下に、本発明にかかるワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システムの実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。

実施の形態１．
図１は、ワイヤ放電加工機械９０のワイヤ走行系の構成例を示すものである。図１に示すように、ワイヤ放電加工機械は、機械本体側に設けられたワイヤ送給部１および上部ワイヤガイド部２と、加工槽側に設けられた下部ワイヤガイド部３およびワイヤ回収部４とを備えている。

ワイヤ送給部１には、電極ワイヤ（以下単にワイヤという）１０が巻装されていて電極ワイヤ１０を繰出すワイヤボビン１１と、送りローラ１２ａ,１２ｂと、メインテンションローラ（以下、ＭＴローラという）１３と、ＭＴピンチローラ１３ａ，１３ｂと、ＭＴローラ１３をベルト駆動するＭＴモータ１４と、ＭＴモータ１４の回転軸に取り付けられたエンコーダ１５とが備えられている。上部ワイヤガイド部２には、一対のワイヤ押さえローラ１６が設けられている。ワイヤ回収部４には、下部ローラ１７と、回収ローラ１８と、回収ローラ１８を回転駆動する回収モータ１９と、回収ピンチローラ１８ａが設けられている。

ＭＴローラ１３は、ワイヤボビン１１と上部ワイヤガイド部２の間のワイヤ走行経路に配置され、ＭＴモータ１４によってベルト駆動されることで、ワイヤ１０の走行を制動してワイヤ１０に張力を与える。ＭＴローラ１３には、ＭＴローラ１３との間にワイヤ１０を挟み込む２つのＭＴピンチローラ１３ａ，１３ｂが押圧されている。ワイヤ押さえローラ１６は、ワイヤ１０の牽引走行方向には回転自在であるが、その逆方向には回転せず、ワイヤ１０がワークＷを加工中にワーク加工空間２０で断線したときに、ＭＴローラ１３により巻上げられて上部ワイヤガイド部２から抜けてしまうのを防止する。回収モータ１９は、回収ローラ１８を回転駆動して、回収ローラ１８と回収ピンチローラ１８ａとの間を走行するワイヤ１０を、図示しないワイヤ回収箱に回収する。

このワイヤ走行系においては、回収モータ１９およびＭＴモータ１４を回転駆動することで、ワイヤボビン１１から繰出されたワイヤ１０を、送りローラ１２ａ,１２ｂ、ＭＴローラ１３、ワイヤ押さえローラ１６、ワーク加工空間２０、下部ワイヤガイド部３、下部ローラ１７、回収ローラ１８を介して所定の速度で牽引しかつ回収する。ＭＴモータ１４の回転軸には、ＭＴモータ１４の回転を制御するためにエンコーダ１５が直結されており、エンコーダ１５からは位置信号としてのエンコーダデータ（エンコーダパルス）が出力される。

図２は、実施の形態１に係るワイヤ走行系保全システムを示すブロック図である。本実施の形態１に係る保全システムにおいては、ユーザ工場などに配されるワイヤ放電加工装置１００内に、全ての必要な構成要素が配されている。ワイヤ放電加工装置１００は、ワイヤ放電加工機械９０と、このワイヤ放電加工機械９０を制御するＮＣコントローラ９５とから構成されている。

ＮＣコントローラ９５には、変動記録部３１、変動解析部３２、保守要否判定部３３と、表示部３４が備えられている。変動記録部３１は、保守モードの際に、回収モータ１９およびＭＴモータ１４を駆動制御するモータ制御部３１ａを有し、モータ制御部３１ａによって回収モータ１９およびＭＴモータ１４を駆動した状態で、テンション計測部としてのエンコーダ１５の出力を所定の時間の間、所定のサンプリング周期でサンプリングし、サンプリングしたエンコーダデータを変動記録ファイル３５に記録する。変動解析部３２は、変動記録ファイル３５に記録されたエンコーダデータを解析して、平均値δおよび標準偏差σの算出と周波数解析（ＦＦＴ処理）を行い、これらの解析結果を変動解析結果ファイル３６に記録する。保守要否判定部３３は、変動解析結果ファイル３６に記録された各解析データを判定基準データ３７と比較することによって保守の要否を判定し、その判定結果を表示部３４に表示する。表示部３４には、保守の要否を示す各種メッセージが表示される。

図３は、変動記録部３１によって行われるデータ収集手順を示すものである。まず、変動記録部３１は、回収モータ１９に所定の回転指令を与えワイヤ１０を送給する（ステップＳ１００）。また、変動記録部３１は、ＭＴモータ１４に所定の逆回転指令を与えワイヤ１０に所要のテンションをかける（ステップＳ１１０）。これにより、ワイヤ１０に対し所定のテンションをかけた状態で、ワイヤ１０を所定の速度で送給する。変動記録部３１は、所定の時間（数秒間）待って、ワイヤの走行状態が安定するのを待ち（ステップＳ１２０）、その後、今回の変動記録を記録するべき変動記録ファイル３５を作成し、変動記録ファイル３５に変動記録を書き込み可能な状態とする（ステップＳ１３０）。作成された変動記録ファイル３５には、記録開始の日付、時刻など所要の情報も記録される。

その後、変動記録部３１は、エンコーダ１５からのエンコーダデータを、所定のサンプリング周期で、所定の時間の間読み取り、読み取ったエンコーダデータを順次、変動記録ファイル３５に記録する（ステップＳ１４０〜Ｓ１６０）。所定の時間分のデータ記録が終了すると、変動記録ファイル３５が閉じられる（ステップＳ１７０）。

図４は、変動解析部３２によって行われる変動解析処理の手順と、保守要否判定部３３によって行われる保守要否判定処理の手順を示すものである。変動解析部３２は、記録された変動記録ファイル３５を開き、開いた変動記録ファイル３５から、第１番目のサンプリング時点のエンコーダ記録値と、次の第２番目のサンプリング時点のエンコーダ記録値とを読み出す（ステップＳ２１０，Ｓ２２０）。図５（ａ）は、所定のサンプリング周期で所定の時間の間サンプリングしたエンコーダパルスの時系列データを示すものである。

変動記録部３１は、読み出した第１番目のサンプリング時点のエンコーダ記録値と、第２番目のサンプリング時点のエンコーダ記録値との差をとることで、エンコーダデータの微分をとってＭＴモータ１４の回転速度を算出し、算出した差分データ（速度データ）をエンコーダ値差分ファイル４０に記録する。つぎに、変動記録部３１は、第３番目のサンプリング時点のエンコーダ記録値を変動記録ファイル３５から読み出し、第２番目のサンプリング時点のエンコーダ記録値と、第３番目のサンプリング時点のエンコーダ記録値との差をとることで、ＭＴモータ１４の回転速度を算出し、算出した差分データ（速度データ）をエンコーダ値差分ファイル４０に記録する。このような処理を繰り返すことにより、サンプリング個数に対応する多数の差分データを取得する（ステップＳ２３０，Ｓ２４０）。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示したエンコーダデータに対応する差分データの一例を示すものである。

変動解析部３２は、エンコーダ値差分ファイル４０に記録されたエンコーダ差分データの平均値δおよびばらつき（例えば、標準偏差σ）を計算する（ステップＳ２５０）。保守要否判定部３３は、計算された平均値δを基準値Ｃ１と比較し、平均値δが基準値Ｃ１を下回ったときに、ワイヤ走行系に滑りが発生してテンション値が低下していると判断し、その旨を表示部３４に表示する（ステップＳ２６０，Ｓ２７０）。また、保守要否判定部３３は、計算された標準偏差σを基準値Ｃ２と比較し、標準偏差σが基準値Ｃ２を上回っているときに、ワイヤ走行系にテンション変動が発生していると判断し、その旨を表示部３４に表示する（ステップＳ２６０，Ｓ２７０）。

図６（ａ）は、正常な機械の差分データの波形を示すもので、図６（ｂ）は滑りとテンション変動が発生している機械の差分データの波形を示すものである。図６（ａ）に示すように、正常な機械の場合は、例えば、所定時間（この場合１４．２２ｍｓ）当たりのエンコーダパルスの通過数の平均δは４８前後の値をとり、標準偏差σは１を下回る。これに対し、図６（ｂ）に示すように、滑りが発生している機械の場合は、例えば、所定時間（１４．２２ｍｓ）当たりのエンコーダパルスの通過数の平均δは４５を下回り、テンション変動がある場合は、標準偏差σは２を上回る。このような機械の挙動を考慮し、適切な基準値Ｃ１，Ｃ２を設定している。

つぎに、変動解析部３２は、エンコーダ差分データの周波数解析（ＦＦＴ処理）を行い（ステップＳ２８０）、周波数解析結果を周波数解析ファイル４１に保存する。保守要否判定部３３は、周波数解析ファイル４１に保存された周波数解析結果に基づいてワイヤ走行系の各部での異常を別々に判定し（ステップＳ２９０）、異常発生の有無に応じて、表示部３４に所定のメッセージを表示して、ユーザにメインテナンスを促す（ステップＳ３００）。

図５（ｃ）は、図５（ｂ）に示したエンコーダ差分データの周波数解析結果を示すものであり、横軸は周波数であり、縦軸は出力レベルとしての速度変動振幅である。また、図７（a）は、メインテナンスの不要な良好な機械の周波数解析結果を示すものであり、図７（ｂ）は、メインテナンスが必要な機械の周波数解析結果を示すものである。また、図８は、図７に示した周波数解析に用いたワイヤ走行系の各種部品の直径、回転数などを示すものである。図８には、周波数解析結果における各部品に対応する周波数（対応周波数）と、周波数解析結果から異常判断（保守要否判断）を行うための振幅判定値Ｃ３が、各部品毎に示されている。

図８に示すように、各部品の直径（ｍｍ）は、ワイヤボビン１１が１６０、ＭＴローラ１３が８０、ＭＴピンチローラ１３ａ，１３ｂが５０、ワイヤ押さえローラ１６が１８、下部ローラ１７が４０、回収ローラ１８が８０，ＭＴモータ１４の回転軸が４０としており、これら各部品の直径によって周波数解析結果における周波数軸上での相対位置が決定される。図７に示す周波数解析結果においては、エンコーダ１５としては、１回転当たり４０００パルスを出力するものを用いている。回収モータ１９およびＭＴモータ１４の回転数を変化させ、ワイヤ１０の送り速度を変化させると、これに応じて図７に示す周波数解析結果における、各部品の対応周波数の絶対値は変化するが、各部品の対応周波数間の相対位置は基本的には変化しない。

したがって、図７（ａ）に示すように、各部品の対応周波数は、各部品の直径が大きいものほど低くなり、直径が小さいものほど高くなる。具体的には、この場合、各部品の対応周波数（Ｈｚ）は、ワイヤボビン１１が０．４３２、ＭＴローラ１３が０．８６４、ＭＴピンチローラ１３ａ，１３ｂが１．３８３、ワイヤ押さえローラ１６が３．８４１、下部ローラ１７が１．７２８、回収ローラ１８が０．８６４，ＭＴモータ１４の回転軸が１．７２８となる。また、図８において、各部品に対するメンテンナンスの要否を判定するための振幅判定値Ｃ３としては、ワイヤボビン１１が０．５、ＭＴローラ１３が１．０、ＭＴピンチローラ１３ａ，１３ｂが０．７、ワイヤ押さえローラ１６が０．５、下部ローラ１７が０．６、回収ローラ１８が１．０，ＭＴモータ１４の回転軸が０．６と、設定している。

ＮＣコントローラ９５には、図２に示した判定基準データ３７として、ワイヤ走行系を構成する各部品毎に、図８に示すような、各部品と、対応周波数域と、振幅判定値Ｃ３との関連付けを示す関連付けテーブルを有しており、保守要否判定部３３は、この関連付けテーブルを参照して、周波数解析結果を用いた保守要否判定を実行する。

図４に示したステップＳ２９０において、保守要否判定部３３は、周波数解析ファイル４１に保存した周波数解析結果から、各部品の対応周波数域に対応する出力レベル（速度変動振幅）を算出し、算出した各対応周波数域の出力レベルを関連付けテーブルに登録された各振幅判定値Ｃ３と夫々比較し、振幅判定値Ｃ３を越える出力レベルが存在する場合、例えば、図９に示すようなメッセージを表示部３４に表示する。図９に示すように、対応周波数が０．４〜０．４５Ｈｚの箇所にレベル超過が発生した場合は、ワイヤボビン取付確認要である旨を表示し、対応周波数が０．７５〜０．８５Ｈｚの箇所にレベル超過が発生した場合は、ＭＴローラまたは回収ローラが清掃要である旨を表示し、対応周波数が１．３〜１．４Ｈｚの箇所にレベル超過が発生した場合は、ピンチローラが清掃要である旨を表示し、対応周波数が１．６５〜１．８Ｈｚの箇所にレベル超過が発生した場合は、下部ローラまたはＭＴモータ軸が清掃要である旨を表示し、対応周波数が３．７〜３．９Ｈｚの箇所にレベル超過が発生した場合は、ワイヤ押さえローラが清掃要である旨を表示する。この方法により、特定の部品が摩耗したり偏心したりしてテンション変動を起こしている状態を見分けることができる。

つぎに、図４のステップＳ３１０〜Ｓ３３０においては、周波数解析ファイル４１に保存された周波数解析結果を用いて図８に示した対応周波数域が特定された部品以外の部品が原因の振動（その他部品が原因の振動）の発生の有無を判定している。その他部品が原因の振動は、図７（ｂ）に示すように、周波数解析結果において、最も径の小さいローラの対応周波数（この場合は、最も径の小さなワイヤ押さえローラ１６の対応周波数域３．７〜３．９Ｈｚ）よりも大きな周波数域で発生することが多いことが本発明者による実験により判明した。そこで、保守要否判定部３３は、ステップＳ３１０において、周波数解析結果の各周波数成分のうちで、最も径の小さいローラの対応周波数よりも大きな周波数域での最大振幅成分を求め、この最大振幅成分が所定の基準値Ｃ４よりも大きい場合は、その他部品が原因の振動が発生していると判断し、その旨を表示部３４に表示する（ステップＳ３２０、Ｓ３３０）。

このように実施の形態１では、ワイヤ走行系に設けたエンコーダによって検出した速度データの平均、ばらつきに基づいてワイヤ走行系での滑りを検出するようにしており、これによりワイヤ走行系で用いられる各種部品の保守時期を、新たな計測器を用いることなく正確に判断することが可能となる。また、実施の形態１では、ワイヤ走行系に設けたエンコーダによって検出した速度データの周波数解析を行い、この周波数解析結果に基づいてワイヤ走行系を構成する各部品の保守の要否を各部品毎に検出するようにしており、保守員がどの部品が保守が必要かを調査する必要がなくなり、調査のための時間、コストを削減でき、保守の作業性を向上させることが可能となる。また、この実施の形態１では、周波数解析結果に基づいて、その他部品が原因の振動の発生の有無を判定しており、その他部品が原因の振動に対する保守のきっかけを与えることが可能となる。

なお、上記実施の形態においては、ワイヤ走行系のテンション変動を計測するための物理量としてワイヤの走行速度を用い、ワイヤの走行速度をＭＴモータ１４に取り付けたエンコーダ１５によって計測するようにしたが、ワイヤの走行速度をワイヤ走行系に設けた回収モータ１９や、ワイヤ押さえローラ１６，下部ローラ１７などの走行速度を検出することで計測するようにしてもよい。また、ローラやモータの走行速度を計測する計測手段としてエンコーダを採用したが、他の任意の検出手段によって走行速度を検出するようにしてもよい。また、ワイヤ走行系のテンション変動を計測するための物理量として、ワイヤの走行速度の他に、ワイヤの負荷荷重をロードセルによって検出するようにしてもよく、さらに他の物理量を用いてワイヤ走行系のテンション変動を計測してもよい。

また、図８に示した、各部品と、対応周波数域と、振幅判定値Ｃ３との関連付けを示す関連付けテーブルをワイヤ放電加工機の機種毎に用意し、機種に応じて関連付けテーブルを選択するようにしてもよい。

また、実施の形態１では、エンコーダ差分データの平均、ばらつきを用いた第１の判定と、エンコーダ差分データの周波数解析結果に基づく各部品の保守要否の判定としての第２の判定と、その他部品が原因の振動判定としての第３の判定を行うようにしたが、これら３つの判定の少なくとも１つを実行して、ワイヤ放電加工機の保守要否を判定するようにしてもよい。

実施の形態２．
図１０は、実施の形態２のワイヤ走行系保全システムの構成例を示すものである。この実施の形態２においては、ワイヤ放電加工装置１００では、ＮＣコントローラ９５に設けた変動記録部３１によって、ワイヤ放電加工機械９０のエンコーダ１５のエンコーダデータを、前記同様にして変動記録ファイル３５に記録する。ＮＣコントローラ９５には、変動記録部３１が記録した変動記録ファイル３５を外部に電子ファイルとして取り出せる外部インタフェースを設ける。

一方、保守要員のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）５０には、実施の形態１と同様の、変動解析部３２、保守要否判定部３３、表示部３４を設けており、保守要員のＰＣ５０でワイヤテンションの変動原因の判定、保守点検の要否の判定、その他部品が原因の振動の発生の有無の判定が可能としている。なお、変動解析部３２、保守要否判定部３３、表示部３４を保守要員のパソコンに限らず、任意のパソコンに搭載するようにしてもよい。

実施の形態３．
図１１は、実施の形態３のワイヤ走行系保全システムの構成例を示すブロック図である。実施の形態３のワイヤ走行系保全システムは、ワイヤ放電加工装置１００とウェブサーバ７０とで構成されている。ワイヤ放電加工装置１００では、ＮＣコントローラ９５に設けた変動記録部３１によって、ワイヤ放電加工機械９０のエンコーダ１５のエンコーダデータを、前記同様にして変動記録ファイル３５に記録する。ＮＣコントローラ９５には、変動記録部３１が記録した変動記録ファイル３５を外部に電子ファイルとして取り出せる外部インタフェースを設ける。

また、インターネットに接続されたサーバ７０上には、実施の形態１と同様の、変動解析部３２、保守要否判定部３３、表示部３４を設けている。この実施の形態３のシステムにおいては、例えば、ユーザ工場のなどのＰＣ６０からサーバ７０にアクセスして変動記録ファイル３５をサーバ７０にアップロードすれば、サーバ７０は、前記同様、ワイヤテンションの変動原因の判定、保守点検の要否の判定、その他部品が原因の振動の発生の有無の判定を行って、その判定結果をＰＣ６０上に提示する。ユーザ工場のユーザは、ＰＣ６０に提示された判定結果を参照して、保守の要否などを決めることが可能となる。

本発明にかかるワイヤ走行系保全システム及び保全方法は、ワイヤ放電加工機の保全に有用である。

Claims (11)

1. ワイヤ走行系のワイヤのテンションに対応する物理量を計測する計測手段と、前記計測手段が計測した物理量を記録する記録手段とを備えるワイヤ放電加工機と、
   前記記録された物理量の平均値、ばらつき、および周波数解析データのうちの少なくとも一つを物理量の解析結果として求める解析手段と、
   前記解析結果を基準値と比較し、比較結果に基づき保守の要否を判定する判定手段と、
   前記判定結果を表示する表示手段と、
   を備えることを特徴とするワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
2. 前記計測手段は、ワイヤの走行速度を計測することを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
3. 前記計測手段は、ワイヤ走行系の回転部品に取り付けたエンコーダから出力されるエンコーダデータを微分して得た速度データを物理量として計測することを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
4. 前記判定手段は、平均値が第１の基準値を下回ったときに、保守が必要と判断し、ばらつきが第２の基準値を上回ったときに、保守が必要と判断することを特徴とする請求項１〜３の何れか一つに記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
5. 前記判定手段は、ワイヤ走行系に備えられた複数の部品と、前記周波数解析データにおける対応周波数域と、第３の基準値とが関連付けれた関連付けテーブルを有し、
   前記判定手段は、周波数解析データにおける前記各対応周波数域の出力レベルを、対応する前記第３の基準値とそれぞれ比較し、各出力レベルが対応する第３の基準値を上回ったときに保守が必要と判定することによって各部品毎に保守の要否を判定し、前記表示手段には、部品単位の判定結果を表示することを特徴とする請求項１〜４の何れか一つに記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
6. 前記関連付けテーブルには、複数の部品と、対応周波数域と、第３の基準値との関係が、機種毎に夫々設定されていることを特徴とする請求項５に記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
7. 前記判定手段は、前記複数の部品の対応周波数域のうちの最大の対応周波数域よりも大きな周波数領域に、第４の基準値を上回る出力レベルが発生した際に、前記関連付けテーブルに登録された部品以外の部品が原因の振動発生と判定することを特徴とする請求項５に記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
8. 前記解析手段、判定手段および表示手段は、ワイヤ放電加工機に搭載されることを特徴とする請求項１〜７の何れか一つに記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
9. 前記解析手段、判定手段および表示手段は、パーソナルコンピュータに搭載されることを特徴とする請求項１〜７の何れか一つに記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
10. 前記解析手段、判定手段および表示手段は、インターネットによりアクセス可能なサーバ上に搭載されることを特徴とする請求項１〜７の何れか一つに記載のワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全システム。
11. ワイヤ走行系のワイヤのテンションに対応する物理量を計測する計測ステップ、
    前記計測した物理量を記録する記録ステップと、
    前記記録された物理量の平均値、ばらつき、および周波数解析データのうちの少なくとも一つを物理量の解析結果として求める解析ステップと、
    前記解析結果を基準値と比較し、比較結果に基づき保守の要否を判定する判定ステップと、
    前記判定結果を表示する表示ステップと、
    を備えることを特徴とするワイヤ放電加工機のワイヤ走行系保全方法。

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