JP5191331B2 - スルーホールフィリング方法 - Google Patents
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- 基板に形成されたスルーホールを金属で充填するスルーホールフィリング方法であって、
基板の第1の主面、第2の主面、スルーホールの内壁面に、給電用金属膜を形成する工程と、
前記第1の主面を陰極とし前記第1の主面と対向する第1の対向電極を陽極として、低電流密度の電流を通電し、前記第2の主面を陰極とし前記第2の主面と対向する第2の対向電極を陽極として、高電流密度の電流を通電し、前記給電用金属膜上にメッキ金属を析出させ、前記スルーホールの前記第2の主面側の開口を塞ぐ工程と、
前記第2の主面を陽極とし前記第2の主面と対向する第2の対向電極を陰極として、電流を通電し、前記第2の主面上のメッキ金属を溶出させ、前記第1の主面を陰極とし前記第1の主面と対向する第1の対向電極を陽極として、電流を通電し、前記スルーホールの開口内の前記第1の主面の側に形成された凹部をメッキ金属で充填する工程と、
を有することを特徴とするスルーホールフィリング方法。 - 前記メッキ金属が、銅又は銀のいずれかで形成されていることを特徴とする請求項1記載のスルーホールフィリング方法。
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