JP5128951B2 - ヒートシンクモジュール及びその製造方法 - Google Patents
ヒートシンクモジュール及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5128951B2 JP5128951B2 JP2007537663A JP2007537663A JP5128951B2 JP 5128951 B2 JP5128951 B2 JP 5128951B2 JP 2007537663 A JP2007537663 A JP 2007537663A JP 2007537663 A JP2007537663 A JP 2007537663A JP 5128951 B2 JP5128951 B2 JP 5128951B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat sink
- heat
- alloy
- sink module
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3735—Laminates or multilayers, e.g. direct bond copper ceramic substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
- H01L23/473—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/4935—Heat exchanger or boiler making
Description
また、本発明のヒートシンクモジュールの製造方法によれば、熱伝導性が良好であり、剥離等の不具合が生じ難く信頼性に優れ、十分に放熱可能な機構を備えながらも省スペース化されたヒートシンクモジュールを製造することができる。
本発明の電子部品は、熱伝導性が良好であり、剥離等の不具合が生じ難く信頼性に優れ、十分に放熱可能な機構を備えながらも省スペース化されているという効果を奏するものである。
図13は図7で接合された熱伝導部5a,5bを放熱冷却部7と第二のろう材25で接合する実施形態である。この接合にはろう材の種類、厚みにより加圧を必ずしも必要とはしない。
図14は、現在市販されているハイブリッドカーに用いられているモジュールの実施形態である。半田70により図示した基板(アルミと窒化アルミ、アルミの三層構造)72とCuMoのヒートシンク材1を接合している。
表1−4は、図14に示す熱伝導部5eをベンチマーク(基準)として各々の構造の実施形態に関して、理論値と実測値の差について示したものである。
Claims (32)
- 熱膨張率が1×10-6〜8×10-6/Kであるヒートシンク材からなるヒートシンク層、Cu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる中間層、電気絶縁層、及びCu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる電極層がこの順序で積層されるとともに第一のろう材により接合された二以上の熱伝導部と、
二以上の設置面を有する放熱冷却部と、を備え、
前記放熱冷却部の少なくとも前記設置面は、Cu、Cu合金、Al、又はAl合金からなり、
前記放熱冷却部の二以上の前記設置面上に、二以上の前記熱伝導部が、それぞれの前記ヒートシンク層が配置された状態で第二のろう材により接合されてなり、前記放熱冷却部に冷却媒体が流れる流路を有するヒートシンクモジュール。 - 前記電極層の表面もしくは第二のろう材との接合面に半田付け性を良好にするためのNiメッキが施された請求項1に記載のヒートシンクモジュール。
- 熱膨張率が1×10-6〜8×10-6/Kであるヒートシンク材からなるヒートシンク層、Cu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる中間層、電気絶縁層、Cu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる電極層、及びCu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる下部層がこの順序で積層されるとともに第一のろう材により接合された二以上の熱伝導部と、
二以上の設置面を有する放熱冷却部と、を備え、
前記放熱冷却部の少なくとも前記設置面は、Cu、Cu合金、Al、又はAl合金からなり、
前記放熱冷却部の二以上の前記設置面上に、二以上の前記熱伝導部が、それぞれの前記ヒートシンク層が配置された状態で第二のろう材により接合されてなり、前記放熱冷却部に冷却媒体が流れる流路を有するヒートシンクモジュール。 - 前記電極層及び前記下部層の表面の両方もしくはどちらか一方に半田付け性を良好にするためのNiメッキが施された請求項3に記載のヒートシンクモジュール。
- Niメッキの厚さが2μm以上である請求項2又は4に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記熱伝導部の熱伝導率が200W/mKを越えるか、又は熱抵抗率が0.03K/W以下であり、かつ放熱冷却板を含んだ(冷却媒体までの最短距離までの部分)熱伝導率が200W/mKを越えるか、又は熱抵抗が0.12K/W以下である、請求項1〜5のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記熱伝導部の熱伝導率が230W/mK以上、又は熱抵抗率が0.025K/W以下であり、かつ放熱冷却板を含んだ(冷却媒体までの最短距離までの部分)熱伝導率が230W/mKを越えるか、又は熱抵抗が0.09K/W以下である、請求項1〜5のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記熱伝導部のヒートシンク層の厚さが1mm以上であり、一つ当りの熱伝導部の体積が12000mm3以下である請求項1〜7のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記放熱冷却部の前記流路の内壁面が凹凸状に形成されている請求項1〜8のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記放熱冷却部の前記流路内に、網目状部材が配設されている請求項1〜9のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記ヒートシンク材が、
SiC、Si3N4、AlN、BeO、BN、又はCからなる材料、もしくはこれを母材にし、
Cu、Cu合金、Al、又はAl合金が含浸された複合材料である請求項1〜10のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。 - 前記母材が多孔体である請求項11に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記第一のろう材及び前記第二のろう材が、周期律表第2A族、第3A族、第4A族、第5A族、又は第4B族に属する一以上の元素を含有するろう材である請求項1〜12のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記電気絶縁層が、AlN又はSi3N4からなる層である請求項1〜13のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。
- 前記放熱冷却部の前記設置面に対応する部分の形状が、薄肉部と厚肉部とを有する形状であり、
前記薄肉部の厚みが、0.1mm以上である請求項1〜14のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール。 - 熱膨張率が1×10-6〜8×10-6/Kであるヒートシンク材からなるヒートシンク層、Cu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる中間層、電気絶縁層、及びCu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる電極層をこの順序で積層するとともに第一のろう材により接合して得られる二以上の熱伝導部を、
二以上の設置面を有し、少なくとも前記設置面がCu、Cu合金、Al、又はAl合金からなり、前記放熱冷却部に冷却媒体が流れる流路を有する放熱冷却部の、二以上の前記設置面上に、それぞれの前記ヒートシンク層を配置した状態で第二のろう材により接合することを含むヒートシンクモジュールの製造方法。 - 前記電極層の表面に半田付け性を良好にするためのNiメッキが施された請求項16に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 熱膨張率が1×10-6〜8×10-6/Kであるヒートシンク材からなるヒートシンク層、Cu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる中間層、電気絶縁層、Cu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる電極層及びCu、Cu合金、Al、又はAl合金からなる下部層をこの順序で積層するとともに第一のろう材により接合して得られる二以上の熱伝導部を、
二以上の設置面を有し、少なくとも前記設置面がCu、Cu合金、Al、又はAl合金からなり、前記放熱冷却部に冷却媒体が流れる流路を有する放熱冷却部の、二以上の前記設置面上に、それぞれの前記ヒートシンク層を配置した状態で第二のろう材により接合することを含むヒートシンクモジュールの製造方法。 - 前記電極層及び前記下部層の表面の両方もしくはどちらか一方に半田付け性を良好にするためのNiメッキが施された請求項18に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 前記Niメッキの厚さが2μm以上である請求項17又は19に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 前記熱伝導部の熱伝導率が200W/mKを越えるか、又は熱抵抗率が0.03K/W以下であり、かつ放熱冷却板を含んだ(冷却媒体までの最短距離までの部分)熱伝導率が200W/mKを越えるか、又は熱抵抗が0.12K/W以下である、請求項16〜20のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュール製造方法。
- 前記熱伝導部の熱伝導率が230W/mK以上、又は熱抵抗率が0.025K/W以下であり、かつ放熱冷却板を含んだ(冷却媒体までの最短距離までの部分)熱伝導率が230W/mKを越えるか、又は熱抵抗が0.09K/W以下である、請求項16〜20のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 前記熱伝導部のヒートシンク層の厚さが1mm以上であり、一つ当りの熱伝導部の体積が12000mm3以下である請求項16〜22のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 前記第一のろう材、及び前記第二のろう材が、周期律表第2A族、第3A族、第4A族、第5A族、又は第4B族に属する一以上の元素を含有するろう材である請求項16〜23のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 複数の板状部材を積層するとともに第三のろう材により接合して、
冷却媒体が流れる流路をその内部に有する前記放熱冷却部を得ることを更に含む請求項16〜24のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。 - 前記板状部材のうちの、前記設置面を包摂する部材以外の部材の熱膨張率が、
前記設置面を包摂する部材の熱膨張率に比して低い請求項25に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。 - 前記ヒートシンク材が、
SiC、Si3N4、AlN、BeO、BN、又はCからなる材料、もしくはこれを母材にし、
Cu、Cu合金、Al、又はAl合金が含浸された複合材料である請求項16〜26のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。 - 前記母材が多孔体である請求項27に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 前記電気絶縁層が、AlN又はSi3N4からなる層である請求項16〜28のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 前記電気絶縁層であるAlN又はSi3N4からなる層の表面をブラスト又はエッチングにより処理して絶縁性を確保する請求項29に記載のヒートシンクモジュールの製造方法。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載のヒートシンクモジュールの二以上の前記熱伝導部のそれぞれの前記電極層上に、
半田層を介して電子回路チップが配設されてなる電子部品。 - 前記半田層が、鉛フリー半田からなる層である請求項31に記載の電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007537663A JP5128951B2 (ja) | 2005-09-28 | 2006-09-28 | ヒートシンクモジュール及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005282363 | 2005-09-28 | ||
JP2005282363 | 2005-09-28 | ||
PCT/JP2006/319261 WO2007037306A1 (ja) | 2005-09-28 | 2006-09-28 | ヒートシンクモジュール及びその製造方法 |
JP2007537663A JP5128951B2 (ja) | 2005-09-28 | 2006-09-28 | ヒートシンクモジュール及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007037306A1 JPWO2007037306A1 (ja) | 2009-04-09 |
JP5128951B2 true JP5128951B2 (ja) | 2013-01-23 |
Family
ID=37899730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007537663A Expired - Fee Related JP5128951B2 (ja) | 2005-09-28 | 2006-09-28 | ヒートシンクモジュール及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090086435A1 (ja) |
EP (1) | EP1930943A4 (ja) |
JP (1) | JP5128951B2 (ja) |
KR (1) | KR20080065988A (ja) |
CN (1) | CN101273450A (ja) |
WO (1) | WO2007037306A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017100568A3 (en) * | 2015-12-11 | 2018-03-01 | Purdue Research Foundation | Vapor chamber heat spreaders and methods of manufacturing thereof |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5070014B2 (ja) * | 2007-11-21 | 2012-11-07 | 株式会社豊田自動織機 | 放熱装置 |
JP2009130060A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Toyota Industries Corp | 放熱装置 |
DE102008055134A1 (de) * | 2008-12-23 | 2010-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Elektrisches oder elektronisches Verbundbauteil sowie Verfahren zum Herstellen eines elektrischen oder elektronischen Verbundbauteils |
DE102009000514A1 (de) * | 2009-01-30 | 2010-08-26 | Robert Bosch Gmbh | Verbundbauteil sowie Verfahren zum Herstellen eines Verbundbauteil |
JP5136461B2 (ja) * | 2009-02-26 | 2013-02-06 | 株式会社豊田自動織機 | 半導体装置 |
JP5278126B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2013-09-04 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
EP2477217B1 (en) * | 2009-09-09 | 2019-05-08 | Mitsubishi Materials Corporation | Method for producing substrate for power module with heat sink, substrate for power module with heat sink, and power module |
JP5515947B2 (ja) | 2010-03-29 | 2014-06-11 | 株式会社豊田自動織機 | 冷却装置 |
JP5382049B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2014-01-08 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP5813300B2 (ja) * | 2010-08-23 | 2015-11-17 | 三桜工業株式会社 | 冷却装置 |
CN107300835B (zh) * | 2012-05-17 | 2019-02-15 | Asml荷兰有限公司 | 热调节单元、光刻设备以及器件制造方法 |
JP5673627B2 (ja) * | 2012-08-03 | 2015-02-18 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5708613B2 (ja) * | 2012-11-01 | 2015-04-30 | 株式会社豊田自動織機 | モジュール |
JP6020256B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2016-11-02 | 三菱マテリアル株式会社 | ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 |
US20150096719A1 (en) * | 2013-10-04 | 2015-04-09 | Specialty Minerals (Michigan) Inc. | Apparatus for Dissipating Heat |
WO2015102415A1 (ko) * | 2013-12-31 | 2015-07-09 | 주식회사 아모그린텍 | 복합 시트 및 그를 구비한 휴대용 단말 |
JP2015153869A (ja) * | 2014-02-13 | 2015-08-24 | 三菱マテリアル株式会社 | 絶縁層付冷却器、およびその製造方法、冷却器付パワーモジュール |
JP6341822B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-06-13 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
EP3279968B1 (en) * | 2016-08-02 | 2020-05-13 | Robert Bosch GmbH | Battery module |
CN108352370A (zh) * | 2016-09-06 | 2018-07-31 | 古德系统有限公司 | 用于高功率元件的散热板 |
US10607919B2 (en) * | 2017-04-28 | 2020-03-31 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor package having junction cooling pipes embedded in substrates |
CN111480228A (zh) * | 2018-02-16 | 2020-07-31 | 昭和电工株式会社 | 冷却装置 |
DE102018212757B3 (de) * | 2018-07-31 | 2019-11-14 | Siemens Healthcare Gmbh | Gradientenspule und Verfahren zur Herstellung einer Gradientenspule |
CN111115566B (zh) * | 2019-12-25 | 2023-07-14 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种用于mems晶圆级封装的应力补偿方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06204370A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JPH08335651A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-17 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板 |
JP2002043482A (ja) * | 2000-05-17 | 2002-02-08 | Ngk Insulators Ltd | 電子回路用部材及びその製造方法並びに電子部品 |
JP2002203932A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-07-19 | Hitachi Ltd | 半導体パワー素子用放熱基板とその導体板及びヒートシンク材並びにロー材 |
JP2005252159A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Ngk Insulators Ltd | 接合体の形状制御方法、接合体の製造方法、接合体、ヒートスプレッダモジュールの製造方法及びヒートスプレッダモジュール |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3925802A (en) * | 1973-02-27 | 1975-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
DE59208893D1 (de) * | 1992-01-23 | 1997-10-16 | Siemens Ag | Halbleitermodul mit hoher Isolations- und Wärmefähigkeit |
FR2701600B1 (fr) * | 1993-02-10 | 1995-09-08 | Gec Alsthom Transport Sa | Dispositif de refroidissement de composants electriques de puissance. |
DE4315272A1 (de) * | 1993-05-07 | 1994-11-10 | Siemens Ag | Leistungshalbleiterbauelement mit Pufferschicht |
US5761035A (en) * | 1996-06-28 | 1998-06-02 | Motorola, Inc. | Circuit board apparatus and method for spray-cooling a circuit board |
DE19815817C2 (de) * | 1998-04-08 | 2000-11-02 | Schulz Harder Juergen | Kühlsystem |
JP2000164775A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Shibafu Engineering Kk | 接合材料とその製造方法 |
JP2001148451A (ja) * | 1999-03-24 | 2001-05-29 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板 |
EP1056321B1 (en) * | 1999-05-28 | 2007-11-14 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Ceramic substrate circuit and its manufacturing process |
JP3714047B2 (ja) * | 1999-07-28 | 2005-11-09 | オムロン株式会社 | 車両検知装置 |
EP1122780A3 (en) * | 2000-01-31 | 2004-01-02 | Ngk Insulators, Ltd. | Laminated radiation member, power semiconductor apparatus and method for producing the same |
US7019975B2 (en) * | 2000-08-09 | 2006-03-28 | Mitsubishi Materials Corporation | Power module and power module with heat sink |
DE10062108B4 (de) * | 2000-12-13 | 2010-04-15 | Infineon Technologies Ag | Leistungsmodul mit verbessertem transienten Wärmewiderstand |
JP2002203942A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Fuji Electric Co Ltd | パワー半導体モジュール |
JP4015023B2 (ja) * | 2001-02-22 | 2007-11-28 | 日本碍子株式会社 | 電子回路用部材及びその製造方法並びに電子部品 |
EP1239515B1 (fr) * | 2001-03-08 | 2019-01-02 | ALSTOM Transport Technologies | Substrat pour circuit électronique de puissance et module électronique de puissance utilisant un tel substrat |
US20020185726A1 (en) * | 2001-06-06 | 2002-12-12 | North Mark T. | Heat pipe thermal management of high potential electronic chip packages |
JP4206915B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-01-14 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板 |
JP2004253736A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Ngk Insulators Ltd | ヒートスプレッダモジュール |
US7230334B2 (en) * | 2004-11-12 | 2007-06-12 | International Business Machines Corporation | Semiconductor integrated circuit chip packages having integrated microchannel cooling modules |
US7408246B2 (en) * | 2005-03-31 | 2008-08-05 | Agere Systems, Inc. | Controlling warping in integrated circuit devices |
-
2006
- 2006-09-28 CN CNA2006800356452A patent/CN101273450A/zh active Pending
- 2006-09-28 EP EP06810710A patent/EP1930943A4/en not_active Withdrawn
- 2006-09-28 JP JP2007537663A patent/JP5128951B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-28 WO PCT/JP2006/319261 patent/WO2007037306A1/ja active Application Filing
- 2006-09-28 KR KR1020087010069A patent/KR20080065988A/ko not_active Application Discontinuation
-
2008
- 2008-03-26 US US12/055,659 patent/US20090086435A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06204370A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JPH08335651A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-17 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板 |
JP2002043482A (ja) * | 2000-05-17 | 2002-02-08 | Ngk Insulators Ltd | 電子回路用部材及びその製造方法並びに電子部品 |
JP2002203932A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-07-19 | Hitachi Ltd | 半導体パワー素子用放熱基板とその導体板及びヒートシンク材並びにロー材 |
JP2005252159A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Ngk Insulators Ltd | 接合体の形状制御方法、接合体の製造方法、接合体、ヒートスプレッダモジュールの製造方法及びヒートスプレッダモジュール |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017100568A3 (en) * | 2015-12-11 | 2018-03-01 | Purdue Research Foundation | Vapor chamber heat spreaders and methods of manufacturing thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080065988A (ko) | 2008-07-15 |
EP1930943A1 (en) | 2008-06-11 |
JPWO2007037306A1 (ja) | 2009-04-09 |
WO2007037306A1 (ja) | 2007-04-05 |
CN101273450A (zh) | 2008-09-24 |
US20090086435A1 (en) | 2009-04-02 |
EP1930943A4 (en) | 2009-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5128951B2 (ja) | ヒートシンクモジュール及びその製造方法 | |
JP4015023B2 (ja) | 電子回路用部材及びその製造方法並びに電子部品 | |
EP2980844B1 (en) | Substrate for power modules, substrate with heat sink for power modules, and power module | |
WO2009116439A1 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びその製造方法、並びに、ヒートシンク付パワーモジュール、パワーモジュール用基板 | |
JP5067187B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びヒートシンク付パワーモジュール | |
JP2013229579A (ja) | パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びパワーモジュール | |
WO2007032486A1 (ja) | 絶縁回路基板および冷却シンク部付き絶縁回路基板 | |
JP4206915B2 (ja) | パワーモジュール用基板 | |
JP2006100640A (ja) | セラミックス回路基板及びこれを用いたパワー半導体モジュール | |
JP5699442B2 (ja) | パワーモジュール用基板及びパワーモジュール | |
JP5061442B2 (ja) | 絶縁回路基板および冷却シンク部付き絶縁回路基板 | |
JP2010098057A (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール及び緩衝層付パワーモジュール用基板 | |
JP2010098059A (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール、緩衝層付パワーモジュール用基板及びヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP2018170504A (ja) | ヒートシンク付き絶縁回路基板の製造方法 | |
JP2005011922A (ja) | ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板、およびこれを用いた半導体装置 | |
JP2004022973A (ja) | セラミック回路基板および半導体モジュール | |
JP2005332874A (ja) | 回路基板及びこれを用いた半導体装置 | |
JP2011035308A (ja) | 放熱板、半導体装置及び放熱板の製造方法 | |
JP7299672B2 (ja) | セラミックス回路基板及びその製造方法 | |
JP2010238965A (ja) | パワーモジュール用基板、パワーモジュール用基板の製造方法及びパワーモジュール | |
JP6139331B2 (ja) | パワーモジュール | |
JP5648705B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール及び緩衝層付パワーモジュール用基板 | |
JP2010098058A (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール及びヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP2004296493A (ja) | 放熱体及びパワーモジュール並びに放熱体の製造方法及びパワーモジュールの製造方法 | |
JP4395747B2 (ja) | 絶縁回路基板およびパワーモジュール構造体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120807 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121030 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121101 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5128951 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151109 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |