JP5112397B2 - 電気被検体の検査のための電気検査装置並びに電気検査方法 - Google Patents
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Description
2 コンタクトヘッド
3 ガイド穿孔部
4 コンタクトプローブ
5 自由端
6 もう一方の端部
7 コンタクト部間隔変換器
8 支持部
9 コンタクト部間隔変換回路
10 収容部
11 参照面
12 導体基板
13 導体板
14 第1コンタクト面
15 面コンタクト部
16 導体基板の一方の側
17 導体基板のもう一方の側
18 コンタクト手段
19 絶縁支持部
20 コンタクト部
21 コンタクト部間隔ト変換器の導体基板に面した側
22 対向コンタクト面
23 第2コンタクト面
24 参照面
25 傾斜装置
26 第1補強装置
27 第2補強装置
28 締付け手段
29 収容貫通孔
30 スペーサ
31 開口部
32 傾斜要素
33 傾斜板
34 傾斜調整手段
35 開口部
36 ネジボルト
37 ネジボルト
38 調整ボルト
39 位置固定ボルト
40 張出部
41 ネジ孔
42 端部
43 外面
44 ネジ孔
45 ヘッド
46 位置合わせ手段
47 アライメントピン
48 ガイド開口部
49 ガイド開口部
50 固定ボルト
51 開口部
60 ネジボルト
61 ヘッド
62 収容部
63 ネジ孔
64 シャフト
65 収容部
66 区間
67 区間
68 区間
69 ナット
70 フランジ
71 ネジリング
71’ 段
72 雄ネジ
73 短管
74 保持ボルト
75 クランプ小板
76 クランプバネ
77 縁
Claims (14)
- 電気被検体の検査のための電気検査装置であって、
コンタクト部間隔変換器を介して検査ヘッドと電気的に結合された導体基板を備え、
前記導体基板は、第1補強装置と機械的に結合され、且つそれによって補強されており、
前記導体基板(12)を貫く少なくとも一つのスペーサ(30)が、前記コンタクト部間隔変換器(7)と機械的に結合されており、且つ前記第1補強装置(26)上で傾斜調整手段(34)を介して保持され、
さらに第2補強装置(27)を備えており、前記第1補強装置(26)が前記導体基板(12)の一方の側に、且つ前記第2補強装置(27)が前記導体基板(12)のもう一方の側に配置され、
さらに、前記導体基板(12)を貫く少なくとも一つの前記スペーサ(30)を介して前記コンタクト部間隔変換器(7)と機械的に剛性結合されており、且つ前記第1補強装置(26)に、前記傾斜調整手段(34)を介して傾斜変位可能に保持されている、傾斜板(33)として構成された傾斜要素(32)を備え、
前記スペーサ(30)は、前記導体基板(12)の開口部(31)および前記第1補強装置(26)の開口部(35)を、接触することなくそれぞれ貫通し、前記傾斜要素(32)まで延設され、
前記導体基板(12)が第1コンタクト面(14)を有しており、前記第1コンタクト面が、コンタクト手段(18)を介して前記コンタクト部間隔変換器(7)の対向コンタクト面(22)と結合し、
前記コンタクト手段(18)が、傾斜調整によって生じた、前記導体基板(12)と前記コンタクト部間隔変換器(7)の間の角度変位を補償し、
前記コンタクト部間隔変換器(7)が第2コンタクト面(23)を有しており、前記第2コンタクト面が、前記検査ヘッド(2)のコンタクトプローブ(4)/コンタクト針、特に屈曲針と電気的にコンタクトし、または、前記コンタクト部間隔変換器(7)に、前記被検体の電気的な接触コンタクトのためのコンタクト要素が堅固に配置され、
前記コンタクト手段(18)が、前記コンタクト部間隔変換器(7)に直接的且つ堅固に配置されている
ことを特徴とする検査装置。 - 前記第2補強装置(27)が前記コンタクト部間隔変換器(7)に割り当てられることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記第2補強装置(27)が収容貫通孔(29)を有しており、前記収容貫通孔内に、前記コンタクト部間隔変換器(7)が、接触せずに少なくとも部分的に収容される
ことを特徴とする請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記傾斜調整手段(34)がネジボルト(36)を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記ネジボルトの下に、傾斜調整のための隙間ゲージテープが置かれることを特徴とする請求項4記載の検査装置。
- 前記ネジボルト(36)が、調整ボルト(38)及び/又は位置固定ボルト(39)として形成されることを特徴とする請求項4記載の検査装置。
- 前記調整ボルト(38)が前記傾斜要素(32)内に調整可能にねじ込まれており、且つ前記調整ボルトの一方の端部で、前記第1補強装置(26)に突っ張り支持される
ことを特徴とする請求項6記載の検査装置。 - 前記位置固定ボルト(39)が前記第1補強装置(26)内にねじ込まれており、且つ前記位置固定ボルトのヘッド(45)で圧迫しながら前記傾斜要素(32)に接する
ことを特徴とする請求項6記載の検査装置。 - 前記導体基板(12)が導体板(13)として形成されることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記第1及び/又は第2補強装置(26,27)が板状に形成されることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記スペーサ(30)が離隔スリーブを有することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記導体基板(12)をコンタクト部間隔変換器(7)に対して横方向で位置合わせする位置合わせ手段(46)を備える
ことを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - 互いに対し間隔をあけた複数のスペーサ(30)を備えることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 請求項1から13のいずれか1項記載の検査装置を用いて電気被検体を電気検査することを特徴とする方法。
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