KR100796190B1 - 전기적 검사 장치 및 전기적 검사 장치의 조립 방법 - Google Patents

전기적 검사 장치 및 전기적 검사 장치의 조립 방법 Download PDF

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Abstract

전기적 검사 장치를 구성하는 기판 구조물은 조각 기판들, 프레임, 지지부재들, 제1 나사들 및 제2 나사들을 포함한다. 조각 기판들은 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 가지며 서로 인접한다. 지지부재들은 조각 기판들과 접한다. 프레임은 조각 기판들을 지지한다. 제1 나사들은 지지부재들에 대해 조각 기판들의 위치를 수직 방향으로 보정한다. 제2 나사들은 프레임에 대해 조각 기판들의 위치를 수평 방향으로 보정한다.

Description

전기적 검사 장치 및 전기적 검사 장치의 조립 방법{Electric testing apparatus and method of assembling the electric testing apparatus}
본 발명은 전기적 검사 장치 및 상기 전기적 검사 장치의 조립 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 조각 기판이 결합되어 대면적의 기판을 형성하는 전기적 검사 장치 및 상기 전기적 검사 장치의 조립 방법에 관한 것이다.
반도체 소자는 반도체 기판으로 사용되는 실리콘웨이퍼 상에 전기 소자들을 포함하는 전기적인 회로를 형성하는 팹(Fab) 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 소자들의 전기적인 특성을 검사하기 위한 EDS(electrical die sorting) 공정과, 상기 반도체 소자들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 공정을 통해 제조된다.
상기 EDS 공정은 실리콘 웨이퍼 상에 형성된 칩에 전기적 신호를 인가하고, 상기 칩으로부터 출력되는 전기적 신호를 획득하여 상기 칩의 불량 여부를 판단한다. 상기 EDS 공정은 상기 칩의 패드들과 직접 접촉하는 탐침들을 갖는 전기적 검사 장치에 의해 수행된다.
한편, 반도체 소자의 기술이 발전함에 따라 많은 수의 칩을 형성하기 위해 상기 실리콘 웨이퍼의 크기가 커지고 있다. 상기 실리콘 웨이퍼의 크기에 대응하기 위해 상기 전기적 검사 장치는 대면적의 전기적 검사 장치를 갖는다. 상기 대면적의 전기적 검사 장치는 작은 면적의 전기적 검사 장치에 비해 평탄도가 떨어진다. 따라서, 상기 전기적 검사 장치의 탐침들이 상기 반도체 소자의 패드와 균일하게 접촉하지 못한다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위해 평탄도가 높은 다수의 조각 기판을 조립하여 넓은 면적을 갖는 전기적 검사 장치를 형성한다. 그러나, 상기 조각 기판들이 수직 방향으로 보정되지 않거나 수평 방향으로 보정되지 않을 수 있다. 따라서, 넓은 면적의 전기적 검사 장치를 형성하는 조각 기판들이 서로 다른 높이를 갖거나 각 조각 기판들의 탐침들이 정렬되지 않을 수 있다.
본 발명의 실시예들은 다수의 조각 기판들이 조립된 전기적 검사 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예들은 상기 전기적 검사 장치를 조립하기 위한 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 전기적 검사 장치는 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 갖는 적어도 2개 이상의 조각 기판과, 상기 조각 기판들이 서로 인접하도록 지지하는 다수의 지지부재 및 상기 조각 기판들에 압력을 가하여 상기 지지부재에 대한 상기 조각 기판의 위치를 보정하는 나사들을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전기적 검사 장치는 상기 조각 기판들을 지지하는 프레임을 더 포함하며, 상기 나사들은 부재는 상기 프레임에 설치되어 탐침을 가지는 상기 조각 기판의 일면에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 수평 방향으로 보정할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 나사들은 지지부재에 설치되어 탐침을 가지는 상기 조각 기판의 일면에 대하여 조각 기판의 위치를 수직 방향으로 보정할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 나사들은 지지부재에 설치되어 탐침을 가지는 상기 조각 기판의 일면에 대하여 조각 기판의 위치를 수평 방향으로 보정할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 나사들은 상기 조각 기판들을 당기는 제1 나사들 및 상기 조각 기판들을 미는 제2 나사들을 포함할 수 있다. 상기 전기적 검사 장치는 상기 조각 기판들에서 상기 제1 나사들이 체결되는 부위에 구비되는 다수의 보강 부재들을 더 포함할 수 있다. 상기 전기적 검사 장치는 상기 조각 기판들과 상기 나사 사이에 구비되며 상기 조각 기판들과 일체로 형성되는 보강 부재들을 더 포함할 수 있다. 상기 보강부재들은 상기 제1 나사들이 체결되는 체결홀을 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 지지부재는 제1 방향으로 상기 조각 기판들을 가로지르는 제1 지지부재 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 상기 조각 기판들을 가로지르는 제2 지지부재를 포함할 수 있다.
상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재는 상기 조각 기판들의 동일한 면에 배치될 수 있다. 상기 제2 지지부재는 상기 제1 지지부재에 고정될 수 있다. 상기 전기적 검사 장치는 상기 조각 기판들을 지지하는 프레임을 더 포함하며, 상기 프레임에 대하여 상기 제2 지지부재의 위치를 수직 방향으로 보정하는 제2 나사들을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재는 상기 조각 기판들의 서로 다른 면에 배치될 수 있다. 상기 전기적 검사 장치는 상기 프레임에 대해 상기 제1 지지부재와 상기 제2 지지부재 중 어느 하나의 위치를 수직 방향으로 보정하는 제2 나사들을 더 포함할 수 있다.
상기 전기적 검사 장치는 상기 탐침이 구비된 면과 반대되는 상기 조각 기판들 상에 대면적 기판을 더 포함할 수 있다. 상기 조각 기판들을 각각 지지하는 적어도 2개 이상의 조각 프레임들을 포함하며, 상기 조각 프레임들은 서로 이격되어 상기 대면적 기판에 배치될 수 있다. 상기 대면적 기판은 인쇄회로기판일 수 있다. 상기 대면적 기판은 공간변형기일 수 있다. 상기 전기적 검사 장치는 상기 공간 변형기의 상부에 구비되는 인쇄회로기판을 더 포함할 수 있다. 상기 전기적 검사 장치는 상기 조각 기판들과 상기 대면적 기판을 전기적으로 연결하는 전기적 접속체를 더 포함할 수 있다. 상기 조각 기판들과 상기 대면적 기판은 땜납 접속될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 각 조각 기판은 제1 면에 상기 탐침이 구비되며, 상기 제1 면과 반대되는 제2 면에 접속 단자가 구비되고, 상기 접속 단자와 상기 탐침은 내부회로에 의해서 서로 연결될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 탐침은 스프링 소자일 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 탐침은 복합 접속 소자일 수 있다.
본 발명에 따른 전기적 검사 장치의 조립 방법은 제1 면적을 갖는 적어도 2개의 조각 기판들을 서로 측면이 인접되도록 배치한다. 상기 조각 기판들에 다수의 지지부재를 위치시킨다. 제1 보정 부재를 체결하여 상기 조각 기판들과 상기 다수의 지지부재들을 서로 결합시킨다. 상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절하는 공정은 상기 지지부재에 체결된 제1 보정 부재로 상기 조각 기판들의 위치를 수직 방향으로 조절할 수 있다. 상기 조립 방법은 상기 조각 기판들을 프레임에 설치하고, 상기 프레임에 제2 보정 부재를 장착하며, 상기 제2 보정 부재로 상기 조각 기판들의 위치를 수평 방향으로 보정하는 공정을 더 포함할 수 있다. 상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 수직 방향으로 조절한 후, 상기 조각 기판들을 프레임에 설치할 수 있다. 상기 제1 보정 부재를 체결하여 상기 조각 기판들과 상기 다수의 지지부재들을 서로 결합시킨 후, 상기 조각 기판들을 프레임에 위치할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절하는 공정은 상기 지지부재에 체결된 제1 보정 부재로 상기 조각 기판들의 위치를 수평 방향으로 조절할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 제1 면적을 갖는 적어도 2개의 조각 기판들을 서로 측면이 인접되도록 배치하는 공정 이전에 상기 조각 기판에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합하는 공정을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절하는 공정 이후, 상기 조각 기판들에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합하는 공정을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절하는 공정 이후, 상기 조각 기판 상에 상기 제1 면적 보다 큰 제2 면적을 갖는 대기판을 장착하는 공정을 더 포함할 수 있다.
상기와 같은 전기적 검사 장치는 상기 조각 기판들을 인접하도록 지지부재들로 지지하거나 상기 지지부재들 및 프레임으로 지지하여 대면적 기판을 형성한다. 상기 조각 기판들과 지지부재들 사이의 간격 또는 상기 조각 기판들과 상기 지지부재들 사이의 간격 및 상기 조각 기판들과 상기 프레임 사이의 간격을 조절하는 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들을 수직 방향 및 수평 방향으로 보정한다. 따라서, 상기 조각 기판들의 높이를 균일하게 유지할 수 있고, 각 조각 기판들의 탐침들을 정렬할 수 있다.
상기와 같은 전기적 검사 장치의 조립 방법은 상기 전기적 검사 장치를 조립하면서 상기 조각 기판들의 위치를 보정할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 전기적 검사 장치 및 상기 전기적 검사 장치의 조립 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 전기적 검사 장치를 Ⅱ-Ⅱ선을 기준으로 절단한 단면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 전기적 검사 장치를 Ⅲ-Ⅲ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 전기적 검사 장치(100)는 조각 기판들(110), 프레임(120), 지지부재들(130), 보정 나사들(140), 체결 나사들(150), 삽입 부재들(160) 및 보강 부재들(170)을 포함한다.
도 4는 도 1에 도시된 조각 기판을 설명하기 위한 평면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 조각 기판을 Ⅴ-Ⅴ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 상기 조각 기판들(110)은 평판 형태를 갖는다. 다수의 탐침들(112)은 상기 조각 기판들(110)의 하부면에 각각 돌출되어 구비된다. 상기 탐침들(112)은 검사 대상물과 직접 접촉한다. 일 예로, 상기 탐침들(112)은 상기 조각 기판(110)과 별도로 제작되어 상기 조각 기판(110)에 부착될 수 있다. 다른 예로, 상기 탐침들(112)은 상기 조각 기판(110)과 일체로 형성될 수 있다. 상기에서는 탐침들(112)이 외팔보형으로 도시되었지만, 상기 탐침들(112)은 수직형일 수 있다. 또한, 상기 탐침들(112)은 각각 개별적으로 상기 조각 기판(110)에 부착될 수 있고, 상기 탐침들(112)은 전체가 일괄적으로 상기 조각 기판(110)에 부착될 수 있다. 상기 탐침들(112)은 스프링 소자 또는 복합 접속 소자일 수 있다. 상기 복합 접속 소자는 복합상호접속요소, 복합상호연결요소 등의 명칭으로도 사용되며, 한국공개특허 제1999-0021980호, 한국등록특허 제638105호, 한국공개특허 제2006-0087616호, 한국공개특허 제2007-0093456호 등에 공지된 바와 같이 적어도 두 개 이상의 부재로 이루어진 소자를 의미한다.
다수의 접촉 패드들(미도시)은 상기 조각 기판들(110)의 상부면에 구비된다. 상기 접촉 패드들은 도전성 물질을 포함한다. 신호 라인(미도시)은 상기 조각 기판(110)의 내부에 형성되며, 상기 접촉 패드들과 상기 탐침들(112)을 전기적으로 연결한다. 구체적으로, 상기 신호 라인은 다층 배선 및 상기 다층 배선을 연결하는 비아(via)를 포함할 수 있다.
상기 조각 기판들(110)은 측면 부위가 서로 인접하도록 배치된다. 일 예로, 상기 조각 기판들(110)은 측면 부위가 서로 접촉하도록 배치될 수 있다. 다른 예로, 상기 조각 기판들(110)은 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
또한, 일 예로, 상기 조각 기판들(110)은 바둑판 형태로 배치될 수 있다. 다른 예로, 상기 조각 기판들(110)은 일렬로 배치될 수 있다. 상기 조각 기판들(110)이 바둑판 형태로 배치되는 경우, 상기 조각 기판들(110)의 개수는 2개, 4개, 6개, 8개, 9개 등 다양한 개수를 가질 수 있다. 상기 조각 기판들(110)이 일렬로 배치되는 경우, 상기 조각 기판들(110)의 개수는 2개 이상이면 몇 개이든 무방하다.
도 6은 도 1에 도시된 프레임(120)을 설명하기 위한 사시도이다.
도 6을 참조하면, 상기 프레임(120)은 상기 조각 기판들(110)을 지지하며, 제1 프레임(122) 및 제2 프레임(124)을 포함한다.
상기 제1 프레임(122)은 평판 형태를 가지며, 개구를 갖는다. 상기 제1 프레임(122)은 상기 조각 기판들(110)의 하부면 가장자리를 각각 지지한다. 상기 제1 프레임(122)은 상기 조각 기판들(110)의 탐침들(112)을 상기 개구들을 통해 노출한다.
상기 제2 프레임(124)은 상기 제1 프레임(122)의 둘레를 따라 상기 제1 프레임(122)의 수직 상방으로 연장된다. 상기 제2 프레임(124)은 서로 인접하도록 배치된 상기 조각 기판들(110)의 측면을 지지한다. 즉, 상기 제2 프레임(124)은 인접한 조각 기판들(110)과 접촉하는 측면을 제외한 나머지 측면을 지지한다. 상기 제2 프레임(124)의 상부면은 상기 조각 기판들(110)의 상부면 보다 약간 높게 위치할 수 있다. 일 예로, 도 1 내지 도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제2 프레임(124)은 상기 조각 기판들(110) 사이에는 구비되지 않을 수 있다. 다른 예로, 상기 제2 프레임(124)은 상기 인접한 조각 기판들(110) 사이에도 구비될 수 있다. 따라서, 상기 제2 프레임(124)은 각 조각 기판들(110)의 측면 전체를 지지한다.
한편, 상기 프레임(120)은 상기 제1 프레임(122) 없이 제2 프레임(124) 만을 포함할 수 있다. 또한, 상기 프레임(120)은 상기 조각 기판들(110)을 각각 지지하는 적어도 2개 이상의 조각 프레임들을 포함할 수 있다.
상기 프레임(120)은 상기 조각 기판들(110)이 서로 인접하도록 지지한다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)은 대면적의 기판을 형성할 수 있다.
한편, 상기 프레임(120)과 상기 조각 기판들(110) 사이에는 상기 조각 기판들(110)을 상기 프레임(120)의 중심에 위치시키기 위한 센터링 부재(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 센터링 부재의 예로는 판 스프링 등을 들 수 있다.
상기 지지부재들(130)은 상기 조각 기판들(110)의 상부에 구비되며, 막대 형상을 갖는다. 상기 지지부재들(130)은 제1 지지부재들(132)과 제2 지지부재들(134)을 포함한다.
상기 제1 지지부재들(132)은 상기 조각 기판들(110)의 상부면을 제1 방향으로 가로지르며, 서로 평행하다. 상기 제1 지지부재들(132)은 상기 조각 기판들(110)의 가장자리 부위의 상부면에 배치된다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 상부면에 구비된 상기 접촉 패드들을 노출시킨다.
상기 제2 지지부재들(134)은 상기 제1 지지부재들(132)의 상부면을 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 가로지른다. 상기 제2 지지부재들(134)은 서로 평행할 수 있으며, 상기 조각 기판들(110)의 상방에 배치된다. 상기 제1 지지부재들(132) 및 상기 제2 지지부재들(134)이 막대 형상을 가지므로, 상기 조각 기판들(110)의 상부면에 구비된 상기 접촉 패드들이 노출될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 지지부재들(132)과 상기 제2 지지부재들(134)은 일체로 형성될 수 있다. 즉, 상기 지지부재(130)가 격자 형태일 수 있다. 그러나, 상기 지지부재(130)가 격자 형태로 일체로 형성되는 경우, 상기 조각 기판들(110)의 크기나 개수에 따라 상기 지지부재(130)를 별도로 제작해야만 하는 번거로움이 있고, 상기 지지부재(130)에 형성된 나사홀 중 어느 한 나사홀이 파손되는 경우 상기 지지부재(130) 전체를 교체해야하는 불편함이 존재하며, 상기 지지부재(130)에 나사홀을 정확하게 형성하기 어려워 상기 지지부재(130)에 설치되는 조각 기판들(110)의 미세조절이 용이하지 않을 수도 있다. 따라서, 본 발명의 바람직한 지지부재(130)에 대한 실시예에 따르면, 지지부재들(130)은 상기 조각 기판들(110)의 상부에 다수개가 구비되며, 막대 형상을 갖는다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 지지부재들(130)은 상기 제1 지지부재들(132)만을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 지지부재들(130)은 상기 제1 지지부재들(132)만을 포함할 수 있으며, 이때 상기 제1 지지부재들(132)은 서로 연결되어 일체로 형성될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 보정 나사들(140)은 제1 보정 나사들(142)과 제2 보정 나사들(144)을 포함한다.
여기서 상기 제1 보정 나사들(142)은 제1 보정 부재들로써, 상기 지지부재들(130)에 대하여 조각 기판들(110)의 위치를 조절한다. 또한, 상기 제2 보정 나사들(144)은 제2 보정 부재들로써 프레임(120)에 대하여 조각 기판들(110)의 위치를 조절한다.
그리고, 상기 제1 보정 나사들(142) 및 제2 보정 나사들(144)은 상기 조각 기판들(110)에 압력을 가하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 보정하는 제1 나사들 및 제2 나사들을 포함한다. 여기서 상기 제1 나사들은 상기 조각 기판들(110)을 당기는 풀(pull) 나사들이고, 상기 제2 나사들은 상기 조각 기판들(110)을 미는 푸시(push) 나사들로 이루어진다.
상기 제1 보정 나사들(142)은 제1 풀 나사들(142a)과 제1 푸시 나사들(142b)을 포함한다.
상기 제1 풀 나사들(142a)은 상기 제1 지지부재들(132)을 상방에서 하방으로 관통하여 상기 조각 기판들(110)과 체결된다. 다른 예로, 상기 제1 풀 나사들(142a)은 상기 조각 기판들(110)의 하방에서 상방으로 관통하여 상기 제1 지지부재(132)와 체결될 수 있다. 상기 제1 풀 나사들(142a)을 조여 상기 제1 지지부재(132)와 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 좁힐 수 있다.
상기 제1 푸시 나사들(142b)은 상기 제1 지지부재(132)를 상방에서 하방으로 체결 및 관통하여 상기 조각 기판들(110)과 접촉한다. 다른 예로, 상기 제1 푸시 나사들(142a)은 상기 조각 기판들(110)의 하방에서 상방으로 체결 및 관통하여 상기 제1 지지부재(132)와 접촉할 수 있다. 상기 제1 푸시 나사들(142b)을 조여 상기 제1 지지부재(132)와 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 넓힐 수 있다.
상기 제1 풀 나사들(142a) 및 상기 제1 푸시 나사들(142b)을 이용하여 상기 제1 지지부재(132)와 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 조절한다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 수직한 방향으로 보정할 수 있다.
상기 제1 풀 나사들(142a)과 상기 제1 푸시 나사들(142b) 중 어느 하나만을 이용하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 보정하는 경우, 열팽창이나 진동 등의 여러 가지 요인에 의해 상기 제1 풀 나사들(142a) 또는 상기 제1 푸시 나사들(142b)이 풀려 상기 조각 기판들(110)의 위치가 달라질 수 있다. 그러나, 본 발명에서는 상기 제1 풀 나사들(142a) 및 상기 제1 푸시 나사들(142b)을 동시에 사용하므로 상기 제1 풀 나사들(142a)의 당기는 힘에 의해 상기 제1 푸시 나사들(142b)이 고정되며, 상기 제1 푸시 나사들(142b)의 미는 힘에 의해 상기 제1 풀 나사들(142a)이 고정된다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)을 보정된 위치에 고정할 수 있다.
상기 제2 보정 나사들(144)은 제2 풀 나사들(144a)과 제2 푸시 나사들(144b)을 포함한다.
상기 제2 풀 나사들(144a)은 상기 제2 프레임(124)을 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 평행한 방향으로 관통하여 상기 조각 기판들(110)과 체결된다. 상기 제2 풀 나사들(144a)을 조여 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 좁힐 수 있다.
상기 제2 푸시 나사들(144b)은 상기 제2 프레임(124)을 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 평행한 방향으로 체결 및 관통하여 상기 조각 기판들(110)과 접촉한다. 상기 제2 풀 나사들(144b)을 조여 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 넓힐 수 있다.
상기 제2 풀 나사들(144a) 및 상기 제2 푸시 나사들(144b)을 이용하여 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 조절한다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 평행한 방향으로 보정할 수 있다. 특히, 상기 제2 보정 나사들(144)이 제2 프레임(124)에 관통하여 상기 조각 기판들(110)과 밀거나 당기도록 체결되되, 상기 제2 보정 나사들(144)이 조각 기판들(110)의 2개 측면에 각각 체결되어 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 평행한 방향으로 보정할 수 있다.
또한, 상기 제2 풀 나사들(144a) 및 상기 제2 푸시 나사들(144b)을 이용하여 상기 조각 기판들(110)을 보정된 위치에 고정할 수 있다.
상기 제1 보정 나사들(142) 및 상기 제2 보정 나사들(144)은 상기 제1 지지부재들(132) 및 상기 프레임(120)에 구비된 제1 나사홀들 및 상기 조각 기판들(110)에 구비된 제2 나사홀들에 삽입된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 나사홀들 중 상기 제1 풀 나사들(142a) 및 상기 제2 풀 나사들(144a)이 삽입되는 제1 나사홀들의 직경은 상기 제1 보정 나사들(142) 및 상기 제2 보정 나사들(144)의 직경보다 클 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 나사홀들 및 상기 제2 나사홀들 의 직경은 상기 제1 보정 나사들(142) 및 상기 제2 보정 나사들(144)의 직경과 실질적으로 동일할 수 있다. 상기 제1 및 제2 보정 나사들(142, 134)과 상기 제1 및 제2 나사홀들 사이에는 공차로 인한 일정한 간격이 존재한다.
따라서, 상기 조각 기판들(110)의 제1 측면에 상기 제2 보정 나사들(144)이 상기 조각 기판들(110)에 체결된 상태에서 상기 제1 측면과 인접하는 제2 측면에 체결된 제2 보정 나사들(144)을 조절하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 평행한 방향으로 보정할 수 있다. 또한, 상기 제1 보정 나사들(142)이 상기 조각 기판들(110)에 체결된 상태에서 상기 제2 보정 나사들(144)을 조절하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 평행한 방향으로 보정할 수 있다. 그리고, 상기 제2 보정 나사들(144)이 상기 조각 기판들(110)에 체결된 상태에서 상기 제1 보정 나사들(142)을 조절하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 수직 방향으로 보정할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 나사들(140)은 상기 제1 보정 나사들(142)과 상기 제2 보정 나사들(144) 중 상기 제1 보정 나사들(142)만 구비될 수 있다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 수직 방향으로만 보정할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 나사들(140)은 상기 제1 보정 나사들(142)과 상기 제2 보정 나사들(144) 중 상기 제2 보정 나사들(144)만 구비될 수 있다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 평행 방향으로만 보정할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 나사들(140)은 상기 제1 보정 나사들(142)과 상기 제2 보정 나사들(144) 중 상기 제1 풀 나사들(142a) 및 상기 제2 풀 나사들(144a)만 구비될 수 있다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 수직 방향 및 상기 평행 방향으로 보정할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 나사들(140)은 상기 제1 보정 나사들(142)과 상기 제2 보정 나사들(144) 중 상기 제1 푸시 나사들(142b) 및 상기 제2 푸시 나사들(144b)만 구비될 수 있다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 수직 방향 및 상기 평행 방향으로 보정할 수 있다.
그러므로, 상기 보정 나사들(140)은 상기 프레임(120)과 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격 또는 상기 지지부재(130)와 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 조절하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 보정할 수 있다.
상기 체결 나사들(150)은 상기 지지부재들(130)을 체결한다. 구체적으로, 상기 체결 나사들(150)은 상기 제2 지지부재들(134)을 상방에서 하방으로 체결 및 관통하여 상기 제1 지지부재들(132)과 체결된다. 따라서, 상기 제1 지지부재들(132)은 상기 제2 지지부재들(134)에 고정된다.
상기 삽입 부재들(160)은 제1 삽입 부재들(162) 및 제2 삽입 부재들(164)을 포함한다.
상기 제1 삽입 부재들(162)은 상기 제1 지지부재들(132)과 상기 조각 기판들(110)의 상부면 사이에 구비된다. 상기 제1 삽입 부재들(162)은 체적 탄성 및 형상 탄성을 갖는다. 상기 체적 탄성을 갖는 상기 제1 삽입 부재들(162)의 예로는 탄 성 재질로 이루어진 탄성 플레이트를 들 수 있다. 상기 형상 탄성을 갖는 상기 제1 삽입 부재들(162)의 예로는 스프링, 와셔 등을 들 수 있다. 상기 스프링, 와셔는 상기 제1 보정 나사들(142)에 끼워져 구비될 수 있다. 상기 제1 삽입 부재들(162)은 상기 제1 지지부재들(132)과 상기 조각 기판들(110)을 서로 이격시킨다. 상기 제1 보정 나사들(142)의 조임에 따라 상기 제1 삽입 부재들(162)은 수축하고, 상기 제1 보정 나사들(142)의 풀림에 따라 상기 수축된 제1 삽입 부재들(162)은 복원된다. 또한, 상기 제1 삽입 부재들(162)은 상기 조각 기판들(110)에 가해지는 충격을 완화시킬 수 있다.
한편, 상기 제1 삽입 부재들(162)은 상기 조각 기판들(110)의 하부면과 상기 제1 프레임(122)의 상부면 사이에 추가로 구비될 수 있다.
상기 제2 삽입 부재들(164)은 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110)의 측면 사이 및 상기 인접한 조각 기판들(110)의 사이에 구비된다. 상기 인접한 조각 기판들(110) 사이에 상기 제2 프레임(124)이 구비되는 경우, 상기 제2 삽입 부재들(164)은 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110)의 측면 사이에 구비된다. 상기 제2 삽입 부재들(164)에 대한 구체적인 설명은 상기 제1 삽입 부재들(162)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상기 삽입 부재들(160)이 상기 제1 지지부재들(132)과 상기 조각 기판들(110) 사이 및 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110) 사이에 구비된다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 삽입 부재들(160)이 상기 제1 지지부재들(132)과 상기 조각 기판들(110) 사이 및 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110) 사이에 구비되지 않을 수도 있다. 즉, 상기 제1 지지부재들(132)과 상기 조각 기판들(110) 및 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110)이 각각 직접 접촉할 수 있다.
상기 보강 부재들(170)은 제1 보강 부재들(172) 및 제2 보강 부재들(174)을 포함한다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 보강 부재들(172)은 상기 조각 기판들(110)에서 제1 보정 나사들(142) 중 제1 풀 나사들(142a)이 체결된 부위에 구비된다. 상기 제1 보강 부재들(172)은 상기 조각 기판들(110)의 강도보다 높은 강도를 갖는 재질을 포함한다. 따라서, 상기 제1 보강 부재들(172)에 상기 제1 풀 나사들(142a)의 체결을 위한 나사홀을 용이하게 형성할 수 있다. 상기 제1 보강 부재들(172)은 상기 조각 기판들(110)에 접착제로 부착되거나 억지끼움 방식으로 구비될 수 있다.
상기 제2 보강 부재들(174)은 상기 조각 기판들(110)에서 제2 보정 나사들(144) 중 제2 풀 나사들(144a)이 체결된 부위에 구비된다. 상기 제2 보강 부재들(174)에 대한 설명은 상기 제1 보강 부재들(172)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 보강 부재들(170)이 상기 조각 기판들(110)에 구비된다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 보강 부재들(170)이 상기 조각 기판들(110)에 구비되지 않을 수 있다. 즉, 상기 제1 풀 나사들(142a) 및 상기 제2 풀 나사들(144a)이 상기 조각 기판 들(110)과 직접 체결될 수 있다.
상기 전기적 검사 장치(100)는 상기 보정 나사들(140)을 이용하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 보정한다. 상기 조각 기판들(110)을 상기 수직 방향으로 보정하여 상기 조각 기판들(110)의 높이를 균일하게 한다. 상기 조각 기판들(110)을 상기 평행 방향으로 보정하여 상기 조각 기판들(110)의 상기 탐침들(112)들을 정렬한다.
한편, 상기 전기적 검사 장치(100)는 상기 프레임(120) 및 제2 보정 나사들(144)을 포함하지 않을 수 있다. 따라서, 상기 전기적 검사 장치(100)는 제1 보정 나사들(142)을 이용하여 상기 지지부재(130)에 설치된 조각 기판들(110)의 위치를 상기 수직 방향으로 조절할 수 있다.
도 7 및 도 8은 도 1 내지 도 5에 도시된 전기적 검사 장치(100)의 조각 기판들(110)의 위치를 조절하는 동작을 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 평행한 방향을 각각 X축 방향 및 Y축 방향이라 하고, 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 수직한 방향을 Z축 방향이라 한다. 상기 X축 방향과 수직하는 프레임(120)의 측면들을 제1 면이라고 하고, 상기 Y축 방향과 수직하는 프레임(120)의 측면들을 제2 면이라고 한다. 그리고, 상기 제1 면 및 제2 면에 수직이며 조각 기판들(110)이 접하는 지지부재(130)의 면을 제3 면이라고 한다.
상기 프레임(120)의 제1 면에 위치한 상기 제2 풀 나사들(144a)을 조여 상기 조각 기판들(110)을 당기거나 상기 제2 푸시 나사들(144b)을 조여 상기 조각 기판들(110)을 밀어 상기 X축 방향으로 상기 조각 기판들(110)의 위치를 이동시킨다. 이때, 상기 프레임(120)의 제2 면에 위치한 상기 제2 풀 나사들(144a)은 상기 조각 기판들(110)에 체결된 상태이므로 상기 조각 기판들(110)을 따라 상기 X축 방향으로 이동하며, 상기 제2 푸시 나사들(144b)은 상기 조각 기판들(110)과 접촉한 상태를 유지한다. 즉, 상기 제2 풀 나사들(144a)이 관통되는 상기 프레임(120)에 형성된 제1 나사홀들의 직경은 상기 제2 풀 나사들(144a)의 직경보다 크게 형성된다. 따라서, 상기 프레임(120)의 제2 면에 위치한 상기 제2 풀 나사들(144a)은 상기 프레임(120)의 제1 나사홀들을 관통하여 상기 조각 기판들(110)에 체결된 상태이므로, 상기 제2 보정 나사들(144)이 완전히 조여질 때까지 상기 조각 기판들(110)을 따라 상기 X축 방향으로 이동 가능하다.
상기 Y축 방향으로의 상기 조각 기판들(110)의 위치이동은 상기 X축 방향으로의 상기 조각 기판들(110)의 위치이동과 실질적으로 동일하다.
지지부재(130)의 제3 면에 위치한 상기 제1 풀 나사들(142a)을 조여 상기 조각 기판들(110)을 상승시키거나 상기 제1 푸시 나사들(142b)을 조여 상기 조각 기판들(110)을 하강시켜 상기 Z축 방향으로 상기 조각 기판들(110)의 위치를 이동시킨다. 이때, 상기 X축 방향 및 Y축 방향인 상기 프레임(120)의 제1, 2 면에 위치한 상기 제2 풀 나사들(144a)은 상기 프레임(120)의 제1 나사홀들을 관통하여 상기 조각 기판들(110)에 체결된 상태이므로, 상기 제2 보정 나사들(144)이 완전히 조여질 때까지 상기 조각 기판들(110)을 따라 상기 Z축 방향으로 이동하며, 상기 제2 푸시 나사들(144b)은 상기 조각 기판들(110)과 접촉한 상태를 유지한다.
특히, 지지부재들(130)은 상기 조각 기판 상부에 다수개가 구비되어 기판의 크기나 개수(2개, 4개, 9개, 16개 등)에 따라 설치가 용이하다. 즉, 조각 기판들(110)이 측면에 서로 인접하여 결합되는 전체 크기는 동일하나 개수가 4개에서 16개로 증가된 경우, 지지부재들(130)을 교체하지 않고 단지 지지부재(130)에 나사홀만 가공하여 대응이 가능하다. 또한, 조각 기판들(110)이 2행 2열에서 2행 3열로 조각 기판의 개수 및 배열이 변경되는 경우, 2행 2열의 기존 조각 기판의 배열을 유지한 상태에서 제1 지지부재들(132)과 결합된 조각 기판들을 1열 추가하고 제2 지지부재들(134)만 교체하여 신속하게 대응이 가능하다.
그리고, 다수개의 지지부재들(130) 중 어느 한 지지부재가 파손되었을 시, 손상된 지지부재만 교체하고 동시에 교체된 지지부재에 설치된 조각 기판들만 위치 조절하여 신속하고 용이하게 유지보수가 가능한 이점이 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(200)를 설명하기 위한 평면도이고, 도 10은 도 9에 도시된 전기적 검사 장치(200)를 Ⅹ-Ⅹ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 전기적 검사 장치(200)는 조각 기판들(210), 프레임(220), 지지부재들(230), 보정 나사들(240), 체결 나사들(250), 삽입 부재들(260) 및 보강 부재들(270)을 포함한다.
상기 조각 기판들(210), 프레임(220), 보정 나사들(240) 및 삽입 부재들(260)에 대한 설명은 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명된 조각 기판들(110), 프레임(120), 보정 나사들(140) 및 삽입 부재들(160)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
제2 지지부재들(234)이 상기 프레임(220)의 상부면과 접하도록 연장된다는 점을 제외하면 상기 지지부재들(230)에 대한 설명은 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명된 지지부재들(130)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 체결 나사들(250)은 제1 체결 나사들(252) 및 제2 체결 나사들(254)을 포함한다.
상기 제1 체결 나사들(252)에 대한 설명은 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명된 체결 나사들(150)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제2 체결 나사들(254)은 제3 풀 나사들(254a)과 제3 푸시 나사들(254b)을 포함한다.
상기 제3 풀 나사들(254a)은 상기 제2 지지부재들(234)을 상방에서 하방으로 관통하여 상기 제2 프레임(224)과 체결된다. 상기 제3 푸시 나사들(254b)은 상기 제2 지지부재들(234)을 상방에서 하방으로 체결 및 관통하여 상기 제2 프레임(224)과 접촉한다. 상기 제3 풀 나사들(254a)을 조여 상기 제2 지지부재들(234)과 상기 제2 프레임(224) 사이의 간격을 좁힐 수 있다. 상기 제3 푸시 나사들(254b)을 조여 상기 제2 지지부재들(234)과 상기 제2 프레임(224) 사이의 간격을 넓힐 수 있다.
상기 제3 풀 나사들(254a) 및 상기 제3 푸시 나사들(254b)을 이용하여 상기 제1 프레임(222)과 상기 조각 기판들(210) 사이의 간격을 조절한다. 따라서, 상기 조각 기판들(110) 전체의 위치를 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 수직한 방향으로 보정할 수 있다.
상기 보강 부재들(270)은 제1 보강 부재들(272) 및 제2 보강 부재들(274)을 포함한다.
상기 제1 보강 부재들(272) 및 제2 보강 부재들(274)에 대한 설명은 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명된 제1 보강 부재들(172) 및 제2 보강 부재들(174)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 지지부재들(232)이 상기 제2 프레임(224)의 상부면과 접하도록 연장될 수 있으며, 제3 풀 나사들(254a)과 제3 푸시 나사들(254b)을 포함하는 상기 제2 체결 나사들(254)은 상기 제1 지지부재들(232)과 상기 제2 프레임(224) 사이의 간격을 조절할 수 있다.
도 11은 본 도 9에 도시된 프레임(220)의 다른 예를 설명하기 위한 사시도이다.
도 11을 참조하면, 상기 제1 지지부재들(232) 또는 상기 제2 지지부재들(234)이 상기 제2 프레임(224)에 고정되므로, 상기 프레임(220)은 제1 프레임(222)이 없이 제2 프레임(224) 만으로 이루어질 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(300)를 설명하기 위한 평면도이고, 도 13은 도 12에 도시된 전기적 검사 장치(300)를 ⅩⅢ-ⅩⅢ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 상기 전기적 검사 장치(300)는 조각 기판들(310), 프레임(320), 지지부재들(330), 보정 나사들(340), 체결 나사들(350), 삽입 부재들(360) 및 보강 부재들(370)을 포함한다.
제2 지지부재들(334)이 상기 조각 기판들(310)의 하부면 가장자리에 구비되며 제1 체결 나사들(352)이 상기 제2 지지부재들(334)과 상기 조각 기판들(310)을 체결한다는 점을 제외하면, 조각 기판들(310), 프레임(320), 지지부재들(330), 보정 나사들(340), 체결 나사들(350) 및 삽입 부재들(360)에 대한 설명은 도 9 내지 도 11을 참조한 조각 기판들(210), 프레임(220), 지지부재들(230), 보정 나사들(240), 체결 나사들(250) 및 삽입 부재들(260)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 보강 부재들(370)은 제1 보강 부재들(372), 제2 보강 부재들(374) 및 제3 보강 부재들(376)을 포함한다.
상기 제1 보강 부재들(372) 및 제2 보강 부재들(374)에 대한 설명은 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명된 제1 보강 부재들(172) 및 제2 보강 부재들(174)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제3 보강 부재들(376)은 상기 조각 기판들(310)에서 제1 체결 나사들(352)이 체결된 부위에 구비된다. 상기 제3 보강 부재들(376)은 상기 조각 기판들(310)의 강도보다 높은 강도를 갖는 재질을 포함한다. 따라서, 상기 제3 보강 부재들(376)에 상기 제1 체결 나사들(352)의 체결을 위한 나사홀을 용이하게 형성할 수 있다. 상기 제3 보강 부재들(376)은 상기 조각 기판들(310)에 접착제로 부착되거나 억지끼움 방식으로 구비될 수 있다.
탐침이 구비된 조각 기판들(310)의 하부에 위치된 제2 체결 나사들(354)은 상기 제2 지지부재들(334)과 상기 프레임(320) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 따라서, 상기 조각 기판들(310)의 하부에서 상기 조각 기판들(310) 전체의 위치를 수직한 방향으로 보정할 수 있다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(400)를 설명하기 위한 평면도이고, 도 15는 도 14에 도시된 전기적 검사 장치(400)를 ⅩⅤ-ⅩⅤ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 14 및 도 15를 참조하면, 상기 전기적 검사 장치(400)는 조각 기판들(410), 프레임(420), 지지부재들(430), 보정 나사들(440), 체결 나사들(450) 및 삽입 부재들(460)을 포함한다.
도 16은 도 14에 도시된 조각 기판(410)을 설명하기 위한 평면도이고, 도 17은 도 16에 도시된 조각 기판(410)을 ⅩⅦ-ⅩⅦ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 14 내지 도 17을 참조하면, 상기 조각 기판들(410)은 몸체(412)와 보강 부재(414)를 각각 포함한다.
상기 몸체들(412)은 평판 형태를 갖는다. 다수의 탐침들(415)은 상기 몸체들(412)의 하부면에 각각 돌출되어 구비된다. 상기 탐침들(415)은 검사 대상물과 직접 접촉한다. 다수의 전기 패드들(미도시)은 상기 몸체들(412)의 상부면에 구비된다. 신호 라인(미도시)은 상기 몸체들(412)의 내부에 형성되며, 상기 전기 패드들과 상기 탐침들(415)을 전기적으로 연결한다.
상기 보강 부재들(414)은 상기 몸체들(412)의 측면 둘레를 따라 구비된다. 상기 보강 부재들(414)은 상기 몸체들(412)의 강도 보다 높은 강도를 갖는 재질을 포함한다. 따라서, 상기 보강 부재들(414)에 상기 보정 나사들(440)의 체결을 위한 나사홀을 용이하게 형성할 수 있다.
일 예로, 상기 보강 부재들(414)과 상기 몸체들(412)은 나사에 의해 체결될 수 있다. 이때, 상기 몸체들(412)은 돌출부들을 가지며, 상기 보강 부재들(414)은 상기 돌출부들을 수용하는 수용홈을 가지며, 상기 나사가 상기 수용홈들에 수용된 돌출부들을 관통하여 체결될 수 있다. 다른 예로, 상기 보강 부재들(414)은 상기 몸체들(412)에 억지끼움 방식으로 결합될 수 있다. 또 다른 예로, 상기 보강 부재들(414)과 상기 몸체들(412)은 접착제로 부착될 수 있다.
도 15 및 도 17을 참조하면, 일 예로, 상기 보강 부재들(414)은 상기 몸체들(412) 상부의 둘레를 따라 설치된다. 따라서, 많은 개수의 탐침(415)을 설치하기 위한 몸체들(412) 하부의 공간을 확보할 수 있다. 또한, 인접하는 제1 몸체(412a)에 설치된 탐침들(415)과 제2 몸체(412b)에 설치된 탐침들(415)의 간격이 최소화되도록 배치할 수 있다.
다른 예로, 상기 보강 부재들(414)은 상기 몸체들(412)의 측면 전체 둘레를 따라 구비될 수 있다.
상기 보정 나사들(440)이 상기 조각 기판들(410)의 보강 부재들(414)과 체결된다는 점을 제외하면, 상기 프레임(420), 지지부재들(430), 보정 나사들(440), 체결 나사들(450) 및 삽입 부재들(460)에 대한 설명은 도 1 내지 도 6을 참조한 프레임(120), 지지부재들(130), 보정 나사들(140), 체결 나사들(150) 및 삽입 부재들(160)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(500)를 설명하기 위한 평면도이고, 도 19는 도 18에 도시된 전기적 검사 장치(500)를 ⅩⅨ-ⅩⅨ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 18 및 도 19를 참조하면, 상기 전기적 검사 장치(500)는 조각 기판들(510), 프레임(520), 지지부재들(530), 보정 나사들(540), 체결 나사들(550), 삽입 부재들(560) 및 보강 부재들(570)을 포함한다.
상기 조각 기판들(510), 상기 프레임(520), 상기 체결 나사들(550) 및 상기 보강 부재들(570)에 대한 설명은 도 1 및 도 2를 참조하여 설명된 조각 기판들(110), 프레임(120), 체결 나사들(150) 및 보강 부재들(170)에 대한 설명과 각각 동일하다.
상기 지지바들(530)은 제1 지지바들(532)과 제2 지지바들(534)을 포함한다. 상기 제1 지지바들(532)과 상기 제2 지지바들(534)은 각각 상기 조각 기판들(110)의 상부면 뿐만 아니라 제2 프레임(534)과 상기 조각 기판들(510) 사이까지 연장되어 상기 조각 기판들(510)의 측면을 지지한다는 점을 제외하면, 상기 지지바들(530)에 대한 설명은 도 1 내지 도 6을 참조한 지지바들(130)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
여기서 상기 보정 나사들(540)은 보정 부재들로써 지지부재들(530)에 대하여 조각 기판들(510)의 위치를 조절한다.
즉, 상기 보정 나사들(540)은 지지부재(530)에 설치되어 지지부재들(530)에 대하여 조각 기판들(510)의 위치를 수직으로 조절하는 제1 보정나사(542)와, 지지부재들(530)에 설치되어 조각 기판들(510)의 위치를 수평으로 조절하는 제2 보정나사(544)로 이루어진다.
상기 제2 보정 나사(544)가 상기 조각 기판들(510)의 측면을 지지하는 지지바들(530)에 구비되어 상기 조각 기판들(510)의 위치를 상기 조각 기판들(510)의 상부면과 수평한 방향으로 조절할 수 있다는 점을 제외하면, 상기 보정 나사들(540)에 대한 설명은 도 1 내지 도 6을 참조한 보정 나사들(140)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
한편, 상기 제2 프레임(524)은 상기 조각 기판들(510)의 측면을 지지하는 지지바들(530)에 구비되는 제2 보정 나사들(544)의 나사 머리를 노출시키는 개구를 가질 수 있다. 따라서, 상기 제2 보정 나사들(544)의 조임과 풀림을 용이하게 조절할 수 있다.
제2 삽입 부재들(564)이 상기 지지바들(530)과 상기 조각기판들(510)의 측면 사이 및 상기 인접한 조각 기판들(510)의 사이에 구비된다는 점을 제외하면, 상기 삽입 부재들(560)에 대한 설명은 도 1 내지 도 6을 참조한 삽입 부재들(160)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
한편, 상기 전기적 검사 장치(500)는 상기 프레임(520)을 포함하지 않을 수 있다.
상기 전기적 검사 장치(500)는 상기 지지바들(530) 및 보정 나사들(540)을 이용하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 수직 방향 및 수평 방향으로 조절할 수 있다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(600)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 20을 참조하면, 전기적 검사 장치(600)는 제1 기판 구조물(610), 제2 기판 구조물(620), 접속체(630), 고정부(640) 및 평탄도 조절 부재(650)를 포함한다.
상기 제1 기판 구조물(610)은 조각 기판들, 프레임, 지지부재들, 보정 나사들, 체결 나사들, 삽입 부재들 및 보강 부재들을 포함한다. 상기 제1 기판 구조물(610)에 대한 구체적인 설명은 도 1 내지 도 6을 참조한 전기적 검사 장치(100)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다. 상기 프레임이 상기 조각 기판들을 각각 지지하는 적어도 2개 이상의 조각 프레임들인 경우, 상기 조각 프레임들은 서로 이격되어 상기 제2 기판 구조물(620)에 구비될 수 있다.
한편, 상기 제1 기판 구조물(610)은 도 7 내지 도 19를 참조하여 설명된 전기적 검사 장치들과 실질적으로 동일할 수 있고, 대체도 가능하다.
상기 제2 기판 구조물(620)은 상기 제1 기판 구조물(610)의 상부에 구비된다. 상기 제2 기판 구조물(620)은 내부에 신호 라인(미도시)을 가지며, 상기 신호 라인과 연결되는 접속홀(622)이 상하를 관통하여 형성된다. 상기 접속홀(622)의 내벽에는 도전막(624)이 형성된다. 상기 도전막(624)은 도전성 물질로 이루어진다. 상기 도전성 물질의 예로는 구리를 들 수 있다. 상기 신호 라인은 별도의 테스트 장치(미도시)와 전기적으로 연결된다. 상기 제2 기판 구조물(620)의 예로는 인쇄회로기판, 다층 기판, 공간변형기 등을 들 수 있다. 상기 공간변형기는 공간변환기, 스페이스 트랜스포머(space transformer) 등의 명칭으로도 사용되며, 한국공개특허 제2007-0085122호, 한국등록특허 제691164호, 한국공개특허 제2007-0103073호, 한국공개특허 제2006-0087616호 등에 공지된 바와 같이 피치 감소를 수행하는 내부 배선을 가지며, 양면에 상기 내부 배선과 연결되는 단자들을 갖는 기판을 의미한다.
상기 접속체(630)는 상기 제1 기판 구조물(610)과 상기 제2 기판 구조물(620)을 전기적으로 연결한다. 구체적으로, 상기 접속체(630)는 상기 접속홀(622)의 도전막(624)과 전기 패드(미도시)를 전기적으로 연결한다. 상기 접속체(630)는 도전성 물질을 포함한다. 상기 도전성 물질의 예로는 금속을 들 수 있다.
상기 접속체(630)의 제1 단부(632)는 상기 제1 기판 구조물(610)의 전기 패드와 전기적으로 연결된다. 일 예로, 상기 제1 단부(632)는 상기 전기 패드와 접촉 할 수 있다. 다른 예로, 상기 제1 단부(632)는 상기 전기 패드에 고정될 수 있다.
상기 제1 단부(632)와 반대되는 상기 접속체(630)의 제2 단부(634)는 상기 제2 기판 구조물(620)의 접속홀(622)에 삽입된다. 일 예로, 상기 제2 단부(634)는 상기 접속홀(622)의 도전막(624)과 접촉할 수 있다. 다른 예로, 상기 제2 단부(634)는 상기 접속홀(622)의 도전막(624)에 고정될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 전기적 검사 장치(600)는 접속체(630)가 구비되지 않고, 제2 기판 구조물(620)과 제1 기판 구조물(610)이 FPC(Flexible Printed Circuit)와 같은 배선 부재로 결합되어 전기적으로 연결될 수도 있다.
상기 고정부(640)는 상기 제1 기판 구조물(610)과 제2 기판 구조물(620)을 고정한다. 상기 고정부(640)는 제1 보강판(641), 제2 보강판(642), 판 스프링(644) 및 다수의 볼트를 포함한다.
상기 제1 보강판(641)은 원판 형상을 가지며, 상기 제2 기판 구조물(620)의 상부면에 배치된다. 상기 제2 보강판(642)은 링 형상을 가지며, 상기 제2 기판 구조물(620)의 하부면 둘레를 따라 구비된다. 제1 볼트(645)는 상기 제1 보강판(641), 제2 기판 구조물(620) 및 제2 보강판(642)을 고정한다. 상기 판 스프링(644)은 상기 제2 보강판(642) 및 상기 제1 기판 구조물(610)의 프레임과 접촉한다. 제2 볼트(646)는 상기 제2 보강판(642)과 상기 판 스프링(644)을 고정하고, 제3 볼트(647)는 상기 판 스프링(644)과 상기 프레임을 고정한다.
상기 평탄도 조절 부재(650)는 상기 제1 보강판(641) 및 상기 제2 기판 구조물(620)을 관통하여 상기 제1 기판 구조물(610)의 상부면과 접촉하도록 구비된다. 상기 제1 기판 구조물(610)의 두께가 제조 과정의 오류 등에 의하여 일측에서 타측으로 갈수록 변화되도록 형성되면, 상기 제1 기판 구조물(610)이 상기 제2 기판 구조물(620)에 대해서 수평하게 설치되더라도 탐침들의 단부가 동일 높이에 위치되지 않을 수 있다. 상기 평탄도 조절 부재(650)는 상기 제1 기판 구조물(610)의 상부면과 접촉하는 강도를 조절함으로써 상기 탐침의 단부가 동일 높이에 위치되도록 상기 제1 기판 구조물(610)의 하부면의 수평도를 조절한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 평탄도 조절 부재(650)가 구비되지 않을 수 있다. 상기 제1 기판 구조물(610)의 상기 제1 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 수직한 방향으로 보정할 수 있다. 그러므로, 상기 평탄도 조절 부재(650)가 구비되지 않더라도 상기 제1 기판 구조물(610)의 하부면의 수평도 또는 평탄도를 조절할 수 있다.
아울러, 본 발명의 실시예는 제1 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 수직한 방향으로 보정할 수 있고, 제2 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 평행한 방향으로 보정할 수 있다.
도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(700)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 21을 참조하면, 전기적 검사 장치(700)는 제1 기판 구조물(710), 제2 기판 구조물(720) 및 고정부(730)를 포함한다.
상기 제1 기판 구조물(710) 및 상기 제2 기판 구조물(720)에 대한 설명은 도 20을 참조한 제1 기판 구조물(610) 및 제2 기판 구조물(620)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 고정부(730)는 상기 제1 기판 구조물(710)의 상부면과 상기 제2 기판 구조물(720)의 하부면이 전기적으로 연결되도록 상기 제1 기판 구조물(710)과 제2 기판 구조물(720)을 고정한다. 상기 고정부(730)는 보강판(731) 및 다수의 볼트들(732)을 포함한다.
상기 보강판(731)은 원판 형상을 가지며, 상기 제2 기판 구조물(720)의 상부면에 배치된다. 상기 볼트들(732)은 상기 보강판(741) 및 제2 기판 구조물(720)을 관통하여 상기 제1 기판 구조물(710)의 프레임과 체결된다.
상기 볼트들(732)은 상기 보강판(731) 없이 상기 제2 기판 구조물(720)을 관통하여 상기 제1 기판 구조물(710)의 프레임과 체결될 수 있다.
따라서, 상기 전기적 검사 장치(700)는 상기 제1 기판 구조물(710)의 상기 볼트들(732)을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 수직한 방향으로 보정할 수 있다.
또한, 상기 전기적 검사 장치(700)는 상기 제1 기판 구조물(710)과 제2 기판 구조물(720)이 결합되기 전에, 상기 제1 기판 구조물(710)의 상기 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 수직한 방향 및 평행한 방향으로 보정할 수 있다.
도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(800)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 22를 참조하면, 전기적 검사 장치(800)는 제1 기판 구조물(810) 및 제2 기판 구조물(820)을 포함한다.
상기 제1 기판 구조물(810) 및 상기 제2 기판 구조물(820)에 대한 설명은 도 20을 참조한 제1 기판 구조물(610) 및 제2 기판 구조물(620)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제1 기판 구조물(810)의 상부면과 상기 제2 기판 구조물(820)의 하부면이 직접 접촉하여 전기적으로 연결되도록 상기 제1 기판 구조물(810)과 제2 기판 구조물(820)은 결합된다. 상기 제1 기판 구조물(810)과 제2 기판 구조물(820)은 납땜, 접착제 등에 의해 결합된다.
따라서, 상기 전기적 검사 장치(800)는 제1 기판 구조물(810)과 제2 기판 구조물(820)은 결합되기 전에, 상기 제1 기판 구조물(810)의 상기 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 수직한 방향 및 평행한 방향으로 보정할 수 있다.
도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(900)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 23을 참조하면, 전기적 검사 장치(900)는 제1 기판 구조물(910), 제2 기판 구조물(920), 제3 기판 구조물(930), 제1 접속체(940), 제2 접속체(950), 고정부(960) 및 평탄도 조절 부재(970)를 포함한다.
상기 제1 기판 구조물(910) 및 상기 제2 기판 구조물(920)에 대한 설명은 도 20을 참조한 제1 기판 구조물(610) 및 제2 기판 구조물(620)에 대한 설명과 실질적 으로 동일하다.
상기 제3 기판 구조물(930)은 상기 제1 기판 구조물(910) 및 상기 제2 기판 구조물(920)의 사이에 구비된다. 상기 제3 기판 구조물(930)은 기판(932)과 상기 기판(932)의 측면 및 하부면을 지지하는 프레임(934)을 포함한다. 상기 기판(932)은 내부에 신호 라인(미도시)을 갖는다. 상기 기판(932)의 예로는 인쇄회로기판, 다층 기판 등을 들 수 있다.
상기 제1 접속체(940)는 상기 제1 기판 구조물(910)과 상기 제3 기판 구조물(930)을 전기적으로 연결한다. 상기 제1 접속체(940)의 제1 단부(942)는 상기 제1 기판 구조물(910)과 접촉하거나 고정될 수 있다. 상기 제1 단부(942)와 반대되는 상기 제1 접속체(940)의 제2 단부(944)는 상기 제3 기판 구조물(930)과 접촉하거나 고정될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 전기적 검사 장치(900)는 제1 접속체(940)가 구비되지 않고, 제3 기판 구조물(930)과 제1 기판 구조물(910)이 FPC(Flexible Printed Circuit)와 같은 배선 부재로 결합되어 전기적으로 연결될 수도 있다.
상기 제2 접속체(950)는 상기 제2 기판 구조물(920)과 상기 제3 기판 구조물(930)을 전기적으로 연결한다. 구체적으로, 상기 제2 접속체(950)는 상기 접속홀(922)의 도전막(924)과 상기 제3 기판 구조물(930)의 전기 패드를 전기적으로 연결한다. 상기 제2 접속체(950)의 제1 단부(952)는 상기 제3 기판 구조물(930)과 접촉하거나 고정될 수 있다. 상기 제1 단부(952)와 반대되는 상기 제2 접속체(950)의 제2 단부(954)는 상기 제2 기판 구조물(920)의 도전막(924)과 접촉하거나 고정될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 전기적 검사 장치(900)는 제2 접속체(950)가 구비되지 않고, 제3 기판 구조물(930)과 제2 기판 구조물(920)이 FPC(Flexible Printed Circuit)와 같은 배선 부재로 결합되어 전기적으로 연결될 수도 있다.
상기 고정부(960)는 상기 제1 기판 구조물(910), 제2 기판 구조물(920) 및 제3 기판 구조물(930)을 고정한다. 상기 고정부(960)는 제1 보강판(961), 제2 보강판(962), 제3 보강판(963), 판 스프링(964) 및 다수의 볼트를 포함한다.
상기 제1 보강판(961)은 원판 형상을 가지며, 상기 제2 기판 구조물(920)의 상부면에 배치된다. 상기 제2 보강판(962)은 링 형상을 가지며, 상기 제2 기판 구조물(920)의 하부면 둘레를 따라 구비된다. 상기 제3 보강판(963)은 링 형상을 가지며, 상기 제3 기판 구조물(930)의 하부면 둘레, 즉 프레임(934)을 따라 구비된다. 제1 볼트(965)는 상기 제1 보강판(961), 제2 기판 구조물(920) 및 제2 보강판(962)을 고정한다. 상기 판 스프링(964)은 상기 제2 보강판(962)과 상기 제3 기판 구조물(930)의 프레임(934)을 연결한다. 한편, 상기 판 스프링(964)은 상기 제2 보강판(962)과 상기 제3 기판 구조물(930)의 프레임(934)을 서로 연결하되, 상기 판 스프링(964)의 일부가 기판(932)의 상면을 가압 및 접촉되어 기판(932)을 프레임(934)에 고정할 수 있다.
제2 볼트(966)는 상기 제2 보강판(962)과 상기 판 스프링(964)을 고정하고, 제3 볼트(967)는 상기 판 스프링(964)과 상기 프레임(934)을 고정한다. 제4 볼트(968)는 상기 프레임(934)과 상기 제3 보강판(963)을 고정한다. 제5 볼트(969)는 상기 제3 보강판(963)과 상기 제1 기판 구조물(910)의 프레임을 고정한다. 도시되지 않았지만, 제3 보강판(963)과 상기 제1 기판 구조물(910)의 프레임 사이에 판 스프링이 더 설치되어, 상기 판 스프링이 탄성적으로 제1 기판 구조물(910)의 조각 기판 상면을 가압하여 상기 조각 기판을 프레임에 고정시킬 수도 있다.
한편, 상기 제1 기판 구조물(910)의 프레임은 제3 보강판(963)과 별개의 구성으로 형성되어, 제5 볼트(969)에 의하여 상기 프레임과 제3 보강판(963)이 결합될 수도 있다. 그리고, 제5 볼트(969)를 제외하고 상기 프레임과 제3 보강판(963)이 일체로 형성될 수도 있다.
상기 평탄도 조절 부재(970)는 상기 제1 보강판(961) 및 상기 제2 기판 구조물(920)을 관통하여 상기 제3 기판 구조물(930)의 상부면과 접촉하도록 구비된다. 상기 제1 기판 구조물(910)의 두께가 제조 과정의 오류 등에 의하여 일측에서 타측으로 갈수록 변화되도록 형성되면, 상기 제1 기판 구조물(910)이 상기 제2 기판 구조물(920)에 대해서 수평하게 설치되더라도 탐침들의 단부가 동일 높이에 위치되지 않을 수 있다. 상기 평탄도 조절 부재(970)는 상기 제3 기판 구조물(930)의 상부면과 접촉하는 강도를 조절함으로써 하부에 고정된 제1 기판 구조물(910)의 수평도를 조절한다. 따라서, 상기 제1 기판 구조물(910)의 하부면에 구비된 탐침의 단부를 동일 높이에 위치시킬 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 평탄도 조절 부재(970)가 구비되지 않을 수 있다. 상기 제1 기판 구조물(910)의 상기 제1 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 수직한 방향으로 보정할 수 있다. 그러므로, 상기 평탄도 조절 부재(970)가 구비되지 않더라도 상기 제1 기판 구조물(910)의 하부면의 수평도 또는 평탄도를 조절할 수 있다.
아울러, 본 발명의 실시예는 제2 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 평행한 방향으로 보정할 수 있다.
도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치(1000)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 24를 참조하면, 전기적 검사 장치(1000)는 제1 기판 구조물(1010), 제2 기판 구조물(1020), 제3 기판 구조물(1030), 접속체(1040), 고정부(1050) 및 평탄도 조절 부재(1060)를 포함한다.
상기 제1 기판 구조물(1010) 및 상기 제2 기판 구조물(1020)에 대한 설명은 도 20을 참조한 제1 기판 구조물(610) 및 제2 기판 구조물(620)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제3 기판 구조물(1030), 상기 접속체(1040) 및 상기 평탄도 조절 부재(1060)에 대한 설명은 도 23을 참조한 제3 기판 구조물(930), 제2 접속체(950) 및 평탄도 조절 부재(970)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 고정부(1050)는 상기 제1 기판 구조물(1010)의 상부면과 상기 제3 기판 구조물(1030)의 하부면이 직접 접촉하여 전기적으로 연결되도록 상기 제1 기판 구조물(1010), 제2 기판 구조물(1020) 및 제3 기판 구조물(1030)을 고정한다. 상기 고정부(1050)는 제1 보강판(1051), 제2 보강판(1052), 판 스프링(1054) 및 다수의 볼트를 포함한다.
상기 제1 보강판(1051)은 원판 형상을 가지며, 상기 제2 기판 구조물(1020)의 상부면에 배치된다. 상기 제2 보강판(1052)은 링 형상을 가지며, 상기 제2 기판 구조물(1020)의 하부면 둘레를 따라 구비된다. 제1 볼트(1055)는 상기 제1 보강판(1051), 제2 기판 구조물(1020) 및 제2 보강판(1052)을 고정한다. 상기 판 스프링(1054)은 상기 제2 보강판(1052) 및 상기 제3 기판 구조물(1030)의 프레임(1034)과 접촉한다. 제2 볼트(1056)는 상기 제2 보강판(1052)과 상기 판 스프링(1054)을 고정하고, 제3 볼트(1057)는 상기 판 스프링(1054)과 상기 프레임(1034)을 고정한다.
상기 판 스프링(1054)은 상기 제2 보강판(1052)과 상기 제3 기판 구조물(1030)의 프레임(1034)을 연결한다. 한편, 상기 판 스프링(1054)은 상기 제2 보강판(1052)과 상기 제3 기판 구조물(1030)의 프레임(1034)을 서로 연결하되, 상기 판 스프링(964)의 일부가 기판(1032)의 상면에 가압 및 접촉되어 기판(1032)을 프레임(1034)에 고정할 수 있다.
제4 볼트(1058)는 상기 프레임(1034)과 상기 제1 기판 구조물(1010)의 프레임을 고정한다. 따라서, 상기 제1 기판 구조물(1010)과 상기 제3 기판 구조물(1030)이 전기적으로 연결된다. 또한, 상기 제1 기판 구조물(1010) 일면의 전기 패드와 상기 제3 기판 구조물(1030) 일면의 전기 패드가 본딩 결합되어 전기적으로 연결될 수도 있다.
상기 전기적 검사 장치(1000)는 상기 제4 볼트(1058)를 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 수직한 방향으로 보정할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예 따르면, 상기 제1 기판 구조물(1010)과 상기 제3 기 판 구조물(1030)이 접속체(1040)에 의해 전기적으로 연결되며, 상기 제2 기판 구조물(1020)과 상기 제3 기판 구조물(1030)은 직접 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다.
따라서, 상기 전기적 검사 장치(1000)는 제1 기판 구조물(1010)과 제3 기판 구조물(1030)은 결합되기 전에, 상기 제1 기판 구조물(1010)의 상기 보정 나사들을 이용하여 상기 조각 기판들의 위치를 상기 조각 기판들의 상부면과 수직한 방향 및 평행한 방향으로 보정할 수 있다.
도 25는 도 1 내지 도 19에 도시된 전기적 검사 장치를 조립하기 위한 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 26a 내지 26e는 도 25에 도시된 조립 방법을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 1 내지 도 19에 도시된 전기적 검사 장치의 조립 방법은 유사하므로, 도 1 내지 도 6에 도시된 전기적 검사 장치(100)를 중심으로 전기적 검사 장치의 조립 방법을 설명한다.
도 25 및 도 26a를 참조하면, 제1 면적을 갖는 적어도 2개의 조각 기판들(110)을 측면이 인접하도록 배치한다(S110).
도 25 및 도 26b를 참조하면, 상기 조각 기판들(110)에 다수의 지지부재(130)를 위치시킨다(S120).
상기 조각 기판들(110)을 가로지르도록 상기 조각 기판들(110)의 상부면에 제1 지지부재들(132)을 배치한다. 상기 제1 지지부재들(132)과 수직하도록 상기 제1 지지부재들(132) 상에 제2 지지부재들(134)을 배치한다.
도 25 및 도 26c를 참조하면, 제1 보정 나사들(142)을 체결하여 상기 조각 기판들(110)과 상기 지지부재들(130)을 서로 결합시킨다(S130).
상기 제1 보정 나사들(142) 중 제1 풀 나사들(142a)은 상기 제1 지지부재들(132)을 관통하여 상기 조각 기판들(110)에 체결되고, 제1 푸시 나사들(142b)은 상기 제1 지지부재들(132)을 체결 및 관통하여 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 접촉한다. 그리고, 체결 나사들(150)을 이용하여 상기 제1 지지부재들(132)과 상기 제2 지지부재들(134)을 체결한다.
상기 제1 보정 나사들(142)로 상기 지지부재(130)들에 대하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 조절한다(S140).
상기 제1 풀 나사들(142a)과 상기 제1 푸시 나사들(142b)을 조절하여 상기 조각 기판들(110)을 당기거나 밀어 상기 제1 지지부재들(132)과 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 조절한다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 수직한 방향으로 보정할 수 있다.
다른 예로, 상기 지지부재들(130)은 상기 조각 기판들(110)의 일면과 측면에 걸쳐 구비될 수 있다. 제1 보정 나사들(142)은 상기 조각 기판들(110)의 측면 부위에서 상기 조각 기판들(110)에 상기 제1 지지부재들(132)을 고정한다. 상기 제1 풀 나사들(142a)과 상기 제1 푸시 나사들(142b)을 조절하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 수평한 방향으로 보정할 수 있다.
또 다른 예로, 상기 지지부재들(130)은 상기 조각 기판들(110)의 일면과 측면에 걸쳐 구비되는 경우, 상기 제1 보정 나사들(142)은 상기 조각 기판들(110)의 일면 부위에서 상기 조각 기판들(110)에 상기 제1 지지부재들(132)을 고정하고, 제2 보정 나사들(144)은 상기 조각 기판들(110)의 측면 부위에서 상기 조각 기판들(110)에 상기 제1 지지부재들(132)을 고정할 수 있다. 상기 제1 보정 나사들(142)과 상기 제2 보정 나사들(144)을 조절하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 수직한 방향 및 수평한 방향으로 보정할 수 있다.
도 25 및 도 26d를 참조하면, 상기 조각 기판들(110)을 프레임(120)에 장착한다(S150).
상기 지지부재들(130)이 체결된 상기 조각 기판들(110)을 상기 프레임(120)의 내부에 장착한다. 즉, 상기 조각 기판(110)의 일면 및 측면을 상기 프레임(120)에 지지시킨다.
일 예로, 상기 제1 보정 나사들(142)로 상기 지지부재들(130)에 대하여 수직 방향으로 상기 조각 기판들(110)의 위치를 조절한 후, 상기 조각 기판들(110)을 상기 프레임(120)에 장착할 수 있다.
다른 예로, 상기 제1 보정 나사들(142)을 체결하여 상기 조각 기판들(110)과 상기 지지부재들(130)을 서로 결합시킨 후, 상기 조각 기판들(110)을 프레임(120)에 장착할 수 있다.
도 25 및 도 26e를 참조하면, 상기 제2 보정 나사들(144)을 상기 프레임(120)에 장착한다(S160).
상기 제2 보정 나사들(144) 중 제2 풀 나사들(144a)은 상기 프레임(120) 중 제2 프레임(124)을 관통하여 상기 조각 기판들(110)에 체결되고, 제2 푸시 나사들(144b)은 상기 제2 프레임(124)을 체결 및 관통하여 상기 조각 기판들(110)의 측면과 접촉한다. 그리고, 삽입 부재들(160) 중 제2 삽입 부재들(164)을 상기 조각 기판들(110)과 상기 제2 프레임(124) 사이에 장착한 후, 상기 제2 보정 나사들(144)을 상기 제2 프레임(124)에 장착할 수 있다.
상기 제2 보정 나사들(144)을 이용하여 상기 프레임(120)에 대해 상기 조각 기판들(110)의 위치를 수평 방향으로 조절한다(S170).
상기 제2 풀 나사들(144a)과 상기 제2 푸시 나사들(144b)을 조절하여 상기 조각 기판들(110)을 당기거나 밀어 상기 제2 프레임(124)과 상기 조각 기판들(110) 사이의 간격을 조절한다. 따라서, 상기 조각 기판들(110)의 위치를 상기 조각 기판들(110)의 상부면과 수평한 방향으로 보정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 면적을 갖는 적어도 2개의 조각 기판들(110)을 서로 측면이 인접되도록 배치하기 이전에, 각각의 조각 기판에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 부재(140)로 상기 지지부재들(130)에 대하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 조절한 이후에, 상기 조각 기판들(110)에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 부재(140)로 상기 지지부재들(130)에 대하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 수직 방향으로 조절한 이후에, 상기 조각 기판들(110)에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 부재(140)로 상기 지지부재들(130)에 대하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 수평 방향으로 조절한 이후에, 상기 조각 기판들(110)에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 부재(140)로 상기 프레임(120)에 대하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 수직 방향으로 조절한 이후에, 상기 조각 기판들(110)에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 보정 부재(140)로 상기 프레임(120)에 대하여 상기 조각 기판들(110)의 위치를 수평 방향으로 조절한 이후에, 상기 조각 기판들(110)에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 조각 기판들(110)을 프레임(120)에 장착한 후, 상기 조각 기판들(110)에 상기 탐침들(112)을 결합할 수 있다.
도 27은 도 20 내지 도 24에 도시된 전기적 검사 장치를 조립하기 위한 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 20 내지 도 24에 도시된 전기적 검사 장치의 조립 방법은 유사하므로, 도 20에 도시된 전기적 검사 장치(600)를 중심으로 전기적 검사 장치의 조립 방법을 설명한다.
도 27을 참조하면, 프레임, 조각 기판들, 지지부재들 및 보정 나사들을 조립하여 제1 기판 구조물(610)을 형성한다(S210).
상기 제1 기판 구조물(610)은 상기 조각 기판들을 인접하도록 배치하고, 지지부재들을 상기 조각 기판에 위치시키고, 상기 조각 기판들과 상기 지지부재들에 제1 보정 나사들을 장착하고, 상기 조각 기판들을 프레임에 안착하고, 상기 제2 보정 나사들을 상기 프레임에 장착함으로써 형성된다.
상기 조각 기판들의 배치, 상기 지지부재들의 배치, 제1 보정 나사들의 장착, 상기 조각 기판들의 프레임 안착 및 상기 제2 보정 나사들의 상기 프레임 장착에 대한 구체적인 설명은 도 25 및 도 26a 내지 도 26e를 참조한 전기적 검사 장치의 조립 방법에서 상기 조각 기판들의 배치(S110), 상기 지지부재들의 배치(S120), 상기 제1 보정 나사들의 장착(S130), 상기 조각 기판들의 프레임 안착(S150) 및 상기 제2 보정 나사들의 상기 프레임 장착(S160)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제1 기판 구조물(610)과 전기적으로 연결되도록 제2 기판 구조물(620)을 장착한다(S220).
상기 제1 기판 구조물(610)과 상기 제2 기판 구조물(620)을 접속체(630)를 이용하여 전기적으로 연결한다. 그리고, 상기 제2 기판 구조물(620)을 고정부(640)를 이용하여 상기 제1 기판 구조물(610)에 고정한다. 이후, 평탄도 조절 부재(650)를 상기 제2 기판 구조물(620)을 관통하여 상기 제1 기판 구조물(610)의 상부면과 접촉하도록 장착할 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 평탄도 조절 부재(650)가 구비되지 않을 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 제1 기판 구조물(610)과 상기 제2 기판 구조물(620)을 직접 접촉하도록 전기적으로 연결할 수 있다.
다수의 보정 나사들로 상기 지지부재들과 상기 조각 기판 사이 및 상기 프레임과 상기 조각 기판들 사이의 간격을 조절한다(S230).
구체적으로, 상기 제1 보정 나사들로 상기 지지부재들에 대해 상기 조각 기판들의 위치를 수직 방향으로 조절하고, 상기 제2 보정 나사들로 상기 프레임에 대해 상기 조각 기판들의 위치를 수평 방향으로 조절한다.
상기 수직 방향으로의 조각 기판들의 위치 조절 및 상기 수평 방향으로의 조각 기판들의 위치 조절에 대한 구체적인 설명은 도 25 및 도 26a 내지 도 26e를 참조한 전기적 검사 장치의 조립 방법에서 수직 방향으로의 조각 기판들의 위치 조절(S140) 및 상기 수평 방향으로의 조각 기판들의 위치 조절(S170)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
따라서, 상기 지지부재들과 상기 조각 기판들 사이의 간격 및 상기 프레임과 상기 조각 기판들 사이의 간격을 조절하여 상기 조각 기판들의 위치를 보정한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 다수의 조각 기판들이 인접하도록 프레임으로 지지하여 상기 조각 기판들을 대면적 기판으로 형성한다. 상기 프레임의 상부면에 구비되는 지지부재들을 관통하여 구비되는 제1 보정 나사들 및 상기 프레임의 측면을 관통하여 구비되는 제2 보정 나사들을 이용하여, 상기 지지부재들과 상기 조각 기판들 사이의 간격 및 상기 프레임과 상기 조각 기판들 사이의 간격을 조절한다. 상기 조각 기판들의 위치를 수직 방향 및 수평 방향으로 보정할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역 으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 전기적 검사 장치를 Ⅱ-Ⅱ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 전기적 검사 장치를 Ⅲ-Ⅲ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 조각 기판을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 조각 기판을 Ⅴ-Ⅴ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 프레임을 설명하기 위한 사시도이다.
도 7 및 도 8은 도 1 및 도 2에 도시된 전기적 검사 장치에서 조각 기판들의 위치를 조절하는 동작을 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 전기적 검사 장치를 Ⅹ-Ⅹ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 11은 도 9에 도시된 프레임을 설명하기 위한 사시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 13은 도 12에 도시된 전기적 검사 장치를 ⅩⅢ-ⅩⅢ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 15는 도 14에 도시된 전기적 검사 장치를 ⅩⅤ-ⅩⅤ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 16은 도 14에 도시된 조각 기판을 설명하기 위한 평면도이다.
도 17은 도 16에 도시된 조각 기판을 ⅩⅦ-ⅩⅦ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 19는 도 18에 도시된 전기적 검사 장치를 ⅩⅨ-ⅩⅨ선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 25는 도 1 내지 도 19에 도시된 전기적 검사 장치를 조립하기 위한 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 26a 내지 26e는 도 25에 도시된 조립 방법을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 27은 도 20 내지 도 24에 도시된 전기적 검사 장치를 조립하기 위한 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 전기적 검사 장치 110 : 조각 기판들
112 : 탐침 120 : 프레임
122 : 제1 프레임 124 : 제2 프레임
130 : 지지부재 132 : 제1 지지부재
134 : 제2 지지부재 140 : 보정 나사
142 : 제1 보정 나사 142a : 제1 풀 나사
142b : 제1 푸시 나사 144 : 제2 보정 나사
144a : 제2 풀 나사 144b : 제2 푸시 나사
150 : 체결 나사 160 : 삽입 부재
170 : 보강 부재 172 : 제1 보강 부재
174 : 제2 보강 부재 176 : 제3 보강 부재

Claims (34)

  1. 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 갖는 적어도 2개 이상의 조각 기판;
    상기 조각 기판들에 구비되어 상기 조각 기판들이 서로 인접하도록 지지하는 다수의 지지부재; 및
    상기 조각 기판들에 압력을 가하여 상기 지지부재에 대한 상기 조각 기판들의 위치를 보정하는 나사들을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 조각 기판들을 지지하는 프레임을 더 포함하며,
    상기 나사들은 상기 프레임에 설치되어 탐침을 가지는 상기 조각 기판의 일면에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 수평 방향으로 보정하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 나사들은 지지부재에 설치되어 탐침을 가지는 상기 조각 기판의 일면에 대하여 조각 기판의 위치를 수직 방향으로 보정하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 나사들은 지지부재에 설치되어 탐침을 가지는 상기 조각 기판의 일면에 대하여 조각 기판의 위치를 수평 방향으로 보정하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 나사들은 상기 조각 기판들을 당기는 제1 나사들 및 상기 조각 기판들을 미는 제2 나사들을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 조각 기판들에서 상기 제1 나사들이 체결되는 부위에 구비되는 다수의 보강 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 조각 기판들과 상기 나사 사이에 구비되며 상기 조각 기판들과 일체로 형성되는 보강 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 보강부재들은 상기 제1 나사들이 체결되는 체결홀을 갖는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 지지부재는 제1 방향으로 상기 조각 기판들을 가로지 르는 제1 지지부재 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 상기 조각 기판들을 가로지르는 제2 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재는 상기 조각 기판들의 동일한 면에 배치되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제2 지지부재는 상기 제1 지지부재에 고정되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 조각 기판들을 지지하는 프레임을 더 포함하며,
    상기 프레임에 대하여 상기 제2 지지부재의 위치를 수직 방향으로 보정하는 제2 나사들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재는 상기 조각 기판들의 서로 다른 면에 배치되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 조각 기판들을 지지하는 프레임을 더 포함하며,
    상기 프레임에 대해 상기 제1 지지부재와 상기 제2 지지부재 중 어느 하나의 위치를 수직 방향으로 보정하는 제2 나사들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 탐침이 구비된 면과 반대되는 상기 조각 기판들 상에 대면적 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 조각 기판들을 각각 지지하는 적어도 2개 이상의 조각 프레임들을 포함하며, 상기 조각 프레임들은 서로 이격되어 상기 대면적 기판에 배치되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  18. 제16항에 있어서, 상기 대면적 기판은 인쇄회로기판인 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  19. 제16항에 있어서, 상기 대면적 기판은 공간변형기인 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 공간 변형기의 상부에 구비되는 인쇄회로기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  21. 제16항에 있어서, 상기 조각 기판들과 상기 대면적 기판을 전기적으로 연결하는 전기적 접속체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  22. 제16항에 있어서, 상기 조각 기판들과 상기 대면적 기판은 땜납 접속되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  23. 제1항에 있어서, 각 조각 기판은 제1 면에 상기 탐침이 구비되며, 상기 제1 면과 반대되는 제2 면에 접속 단자가 구비되고, 상기 접속 단자와 상기 탐침은 내부회로에 의해서 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  24. 제1항에 있어서, 상기 탐침은 스프링 소자인 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  25. 제1항에 있어서, 상기 탐침은 복합 접속 소자인 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치.
  26. 제1 면적을 갖는 적어도 2개의 조각 기판들을 서로 측면이 인접되도록 배치하는 단계;
    상기 조각 기판들에 다수의 지지부재를 위치시키는 단계;
    제1 보정 부재를 체결하여 상기 조각 기판들과 상기 다수의 지지부재들을 서로 결합시키는 단계; 및
    상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절하는 단계를 포함하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
  27. 제26항에 있어서, 상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절하는 단계는, 상기 지지부재에 체결된 제1 보정 부재로 상기 조각 기판들의 위치를 수직 방향으로 조절하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
  28. 제27항에 있어서, 상기 조각 기판들을 프레임에 설치하는 단계;
    상기 프레임에 제2 보정 부재를 장착하는 단계; 및,
    상기 제2 보정 부재로 상기 조각 기판들의 위치를 수평 방향으로 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
  29. 제26항에 있어서, 상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절한 후, 상기 조각 기판들을 프레임에 위치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
  30. 제26항에 있어서, 상기 제1 보정 부재를 체결하여 상기 조각 기판들과 상기 다수의 지지부재들을 서로 결합시킨 후, 상기 조각 기판들을 프레임에 위치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
  31. 제26항에 있어서, 상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조 각 기판들의 위치를 조절하는 단계는, 상기 지지부재에 체결된 제1 보정 부재로 상기 조각 기판들의 위치를 수평 방향으로 조절하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
  32. 제26항에 있어서, 제1 면적을 갖는 적어도 2개의 조각 기판들을 서로 측면이 인접되도록 배치하는 단계 이전,
    상기 조각 기판에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
  33. 제26항에 있어서, 상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절하는 단계 이후,
    상기 조각 기판들에 검사 대상물과 직접 접촉하는 탐침을 결합하는 단계가 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
  34. 제26항에 있어서, 상기 제1 보정 부재로 상기 지지부재들에 대하여 상기 조각 기판들의 위치를 조절하는 단계 이후,
    상기 조각 기판 상에 상기 제1 면적 보다 큰 제2 면적을 갖는 대기판을 장착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 장치의 조립 방법.
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