TWI411792B - 用於測試電測試樣本之電測試設備及電測試方法 - Google Patents

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Description

用於測試電測試樣本之電測試設備及電測試方法
本發明係有關於一種用於測試電測試樣本之電測試設備其包含一導體基板，該基板透過一接點間距轉換器被電連接至一測試頭，其中該導體基板被機械式地連接至一第一補強(stiffening)裝置並因而被補強。
前述的電測試設備種類是習知的。它被用來電接觸一電測試樣本，例如，一晶圓。這包含了實體接觸，電子電路藉此被連接至一用來測試該等測試樣本的電功能的測試設備。以此方式，有功能的測試樣本得以與無功能的測試樣本加以區別出來。此習知的電測試設備包含一導體基板其透過一接點間距轉換器被電連接至一測試頭。測試頭的接觸角被電連接至該接點間距轉換器且用來接觸該測試樣本。該導體基板被連接至前述的測試設備。因為集成密度不斷地提高的關係，測試樣本的接點間距變得極小，為了要提高可被測試之打線密度(wiring density)，被設置在接觸頭(contact head)與該導體基板之間的是該接點間距轉換器，其將該測試頭的的接觸腳的小的接點間距轉變成較大的接點間距，其中該等較大的接點間距與該導體基板上之大小相同的接點間距相關連且該導體基板帶來了進一步的接點間距放大，其中具有此較大的接點間距的導體基板的接點透過適當的電線連接或類此者被連接至測試設備。因此，因為該電連接所需的至少一個組件係位在該導體基板與該接觸頭之間，所以為了提供接觸而涉及到的所有構件的方向並不是永遠都能達到，使得此類型的電測試設備的功能性能力變成是不確定的。就這一點而言，值得注意的是該接觸頭與該接點間距轉換器只有實體的電接觸且該間點間距轉換器與該導體基板只有實體的電接觸。
因此，本發明的一個目地為提供一種用來測試電測試樣本的電測試設備，其具有高度的接觸可靠性及功能可靠性，使得測試一電測試樣本可在沒有錯誤下實施。
此目的可根據具有前述特徵之本發明來達成，其中至少一個穿透該導體基板的間隔件被機械地連接至該接點間距轉換器且透過傾斜調整機構被保持在該第一補強裝置上。總的來說，在高測試接點密度下，作用在該導體基板上的實體接觸力具有一很大的值。為了要避免該導體基板因為這些接觸力而機械性的變形，該第一補強裝置被提供至該導體基板。為了該接觸頭與該導體基板之間的無錯實體電接觸--在它們之間有該接點間距轉換器及其它可能的電連接機構(連接器)-本發明提供的是，該接點間距轉換器(空間轉變器)被設置成是可調整的，用來相對於該導體基板傾斜。該傾斜調整機構(其透過該穿透該導體基板之至少一間隔件來實施該傾斜調整且被機械式地連接至該接點間距轉換器)為了此目的而被提供。詳言之，一傾斜元件可被提供，其透過穿透該導體基板之至少一間隔件被機械式地連接至該接點間距轉換器且藉由該傾斜調整機構被保持可調整，用以傾斜於該第一補強裝置上。該補強裝置與該傾斜元件因而構成一堅硬的結構其本質上是由該間隔件所形成，其中該導體基板係設置在這兩個部件之間。然而，因為該導體基板被該至少一間隔件所穿透，所以經由間隔件，該傾斜板的傾斜運動導致該接點間距轉換器的一相應的運動，但該導體基板的位置並未因此而被改變。該至少一間隔件穿透該導體基板上的至少一個孔，較佳地未有實體上的接觸。為了要能夠將該傾斜元件相對於該導體基板傾斜，該傾斜元件被該傾斜調整裝置維持在該第一補強裝置處，該第一補強裝置被不能移動地連接至該導體基板。如果該傾斜元件被相對於該第一補強裝置傾斜的話，這會導致該接點間距轉換器(亦被稱為空間轉變器)有相對於該導體基板之相應的傾斜運動。無論本發明的一特殊的實施是否具有一傾斜元件，一在接點間距轉換器上的參考表面被調整用以相對於該導體基板上的一參考表面傾斜。藉此，該接點間距轉換器與該導體基板可以所想要的方式相對於於彼此被轉向，使得該測試頭的接觸腳與該電測試樣本(晶圓)之間可獲得良好的接觸，在此同時，可以確保與該導體基板有良好的接觸(可能有電連接機構(連接器)被設置於其間)。
根據本發明的一個發展，該間隔件穿過該第一補強裝置。因此，該間隔件可到達該第一補強裝置面向遠離該導體基板的一側，使得該傾斜調整機構被提供於該處。
根據本發明的另一個發展，該導體基板具有第一接觸表面，它們透過接觸機構被連接至該接點間距轉換器的對應接觸表面(countercontact surface)。該接觸機構構成前述的電連接機構，其亦被稱為連接器。該接觸機構與該導體基板的第一接觸表面實體接觸且亦與該接點間距轉換器的對應接觸表面實體接觸。
如果該接觸機構補償一介於該導體基板與該接點間距轉換器之間的角度偏移的話是較有利的。為此，該接觸機構被建構成是可撓曲的，其撓曲程度能夠讓介於該接點間距轉換器的參考表面與該導體基板的參考表面之間的傾斜產生改變，該接觸機構保持與該導體基板的第一接觸表面實體接觸及與該接點間距轉換器的對應接觸表面實體接觸。
本發明的另一個發展為，該接點間距轉換器具有第二接觸表面其與該測試頭的接觸探針/接觸腳(其較佳地為挫屈樑(buckling beam))電接觸。該挫屈樑的一端與該接點間距轉換器的第二接觸表面形成實體接觸，該挫屈樑的另一端則與該測試樣本的電接點形成實體接觸。因此，在該電測試樣本的電測試期間，該測試設備與該測試樣本被朝向彼此移動用以與該測試樣本發生實體接觸。不論是該測試設備與該測試樣本兩者都移動，或是只有兩者之一移動都可以。該移動發生在該接觸頭的接觸探針的縱向延伸方向上。因為挫屈樑較佳地被用作為接觸探針，所以它們經由相對於縱長延伸方向的挫屈(buckling)而經歷長度調整。
本發明的另一個發展為，接觸元件被牢牢地設置在該接點間距轉換器上用來與該測試樣板實體接觸及電接觸。與前述的實施例相反地，該接點間距轉換器具有第二接觸表面其與該測試樣本形成實體接觸(此實體接觸本身構成與該測試樣本的實體及電接觸)，因此，引起測試樣本接觸的該等接觸元件被牢牢地設置在該接點間距轉換器上。因此，一較佳的可移除式測試頭並沒有被提供。
在另一實施例中，如果該接觸機構被牢牢地設置在該接點間距轉換器的話，這亦是有利的。該接觸機構然後直接與該接點間距轉換器相結合且被保持於其上。或者，該接觸機構為一分開的組件的元件，該組件被設置在該導體基板與該接點間距轉換器之間。
本發明的另一個發展提供一第二補強裝置，其中該第一補強裝置被設置在該導體基板的一側上，該第二補強裝置被設置在該導體基板的另一側上。以此方式，因為兩個補強裝置都被機械式地連接至該導體基板，所以該導體基板的兩側都被強化。詳言之，兩個補強裝置藉由適當的張緊(tensioning)機構而被張緊，藉以將該導體基板以夾持及支撐的方式容納於它們之間。
本發明的一較佳的實施例所提供的是，該接點間距轉換器較佳地與該第二補強裝置相關聯。詳言之，該第二補強裝置具有一容納穿孔，該接點間距轉換器在沒有實體接觸下被至少部分地容納於該穿孔中。此結構讓該第二補強裝置與該半導體基板直接關聯性且藉由該容納穿孔產生該接點間距轉換器與該導體基板的緊密關聯性。為了要產生由該傾斜元件引起之該接點間距轉換器的傾斜運動，該接點間距轉換器必不能緊貼該第二補強裝置。因為該接點間距轉換器係無實體接觸地容納在該第二補強裝置的穿孔內，所以該傾斜運動不會受到阻礙。
關於前述的傾斜調整，較佳地，該傾斜調整機構是有螺紋的螺釘。該有螺紋的螺釘可被建構成調整螺釘及/或鎖定螺釘。該調整螺釘係用來產生該傾斜元件相對於該第一補強裝置之適當的角度位置及該鎖定螺釘係用來固定此角度位置。為此，該等調整螺釘被可調整地旋入到該傾斜元件中，其中它們係以第一端緊貼該第一補強裝置的方式被設置。鎖定螺釘被旋入到該第一補強裝置中且它們的頭以張緊的方式貼靠該傾斜元件。該傾斜調整亦可用其它機構來實施。詳言之，螺釘可被提供，在螺釘底下設置有一測隙規帶(feeler gauge band)(其為一厚度極薄之特殊薄膜)。該特殊薄膜較佳地是用鋼或鎳銀製成。
該傾斜元件較佳地被建構成一傾斜板。詳言之，該導體基板被建構成一導體板。該第一及/或第二補強裝置較佳地被建構為板片形式。
根據本發明的另一個發展，該間隔件包含一間距套筒。這是以其一端被緊固至該接點間距轉換器及另一端被緊固至該傾斜元件方式來設置。
較佳地，對準機構被提供，其將該導體基板側向地對準該接點間距轉換器，用以藉此機構來將該導體基板的第一接觸表面相對於該接點間距轉換器的對應接觸表面定位，使得位在它們之間的接觸機構(連接器)可以電無錯誤(electrically error-free)的方式連接分別彼此相關連的第一接觸表面與對應接觸表面。
根據本發明的另一個發展，該傾斜調整機構被設置在該間隔件上。該傾斜調整機構與該第一補強裝置合作。
較佳地，多個彼此分隔開來的間隔件亦被提供。
本發明亦有關於一種使用上述的測奢設備來電測試一電測試樣本的方法，該測試設備具有一導體基板，該基板透過一接點間距轉換器被電連接至一測試頭，其中該導體基板被機械地連接至一第一補強裝置並因而被補強，及其中至少一個穿透該導體基板的間隔件被機械地連接至該接點間距轉換器且藉由傾斜調整機構被保持緊靠該第一補強裝置。
該方法的其它有利的實施例被揭露在下面的申請專利範圍中。
圖1顯示一測試設備1，但並不是所有構件都被示出。該測試設備1具有一接觸頭2(亦被稱為測試頭2)，其具有被可位移地安裝在導引孔3內之接觸探針4，該接觸探針4較佳地被建構成挫屈樑。接觸探針4具有自由端 5其可藉由接觸而與一電測試樣本(未示出)連接。為此，該測試設備1被降低至該測試設備上或該測試樣本被帶至該測試設備1或這兩者被朝向彼此移動。接觸探針4的另一端6與一接點間距轉換器7實體接觸，該接點間距轉換器具有一支撐件8及一電接點間距轉換電路9。該支撐件8較佳地被建構成一金屬支撐件。該接點間距轉換電路9被牢牢地連接至該支撐件8。該支撐件8具有一插孔(receptacle)10，該接點間距轉換電路9以埋入方式被容納於該插座內。該接點間距轉換器7在其面向該接觸頭2的一側上具有一參考表面。一導體基板12(特別是導體板13形式)被設置在離該接點間距轉換器7一小段距離處。該導體板13具有與大表面接點15電接觸的第一接觸表面14，其中第一接觸表面14係被設置在該導體基板12的一側16上而大表面接點15則被設置在該導體基板12的另一側17上。設置在該接點間距轉換器7與該導體基板12之間的是電接觸機構18，其在一支撐絕緣支撐件19上具有電接點20。在面向該導體基板12的一側21上，該接點間距轉換器7具有被設置在該接點間距轉換電路9的區域內之對應接觸表面22，該等對應接觸表面22透過接點20而被電連接至該等第一接觸表面14。在該接點間距轉換電路9的區域內，該接點間距轉換器7具有第二接觸表面23，其被電劉接至該等對應接觸表面22。該等接觸探針4的端部6與該等第二接觸表面23實體接觸。
從測試樣本(未示出)的觀點來看，該測試設備1具 有以下的電路徑，其中，為了簡化，這些路徑中只有一個路徑將於本文中加以描述。其它的路徑與被描述的路徑相當。在測試該電測試樣本時，一存在於該測試樣本上的接點與該接觸探針4的端部5實體接觸，該接觸探針的另一端6與第二接觸表面23中的一個表面實體接觸，該第二接觸表面在該接點間距轉換電路9內部被連接至一對應接觸表面22，一電接點20的一端與該對應接觸表面貼靠在一起，其中該電接點20的另一端與一第一接觸表面14實體接觸，該第一接觸表面透過在該導體基板12內的電線(未示出)而被連接至一測試設備。很清楚的是，電測試電流可產生在該電測試設備與該測試樣本之間，用以測試該樣本無電功能故障。該等接觸探針4的接點間距相當於該測試樣本的接點密度。該接點間距轉換器7係用來將緻密的接點間距改變成一較不密的接點間距。這被示於圖1中，該等對應接觸表面上的彼此分離的間距大於該第二接觸表面23。藉由該導體基板12，第一接觸表面14的接點間距再次被提高，因為大表面接點15的間距大於第一接觸表面14的間距。
為了要能夠將該接點間距轉換器7的參考表面11的傾斜相對於該導體基板12的參考表面24加以對準，一傾斜裝置25(圖2)被提供。該導體基板12的參考表面24與此構件的一側16相當。
圖2顯示圖1的配置，但該接觸頭2與該電接觸機構18沒有被畫進來且該測試設備1面向圖1下方的區域係面 向圖2的上方。從圖2可明顯看出的是，一第一補強裝置26及一第二補強裝置27與該導體基板12相結合。該第一補強裝置26與該導體基板12的另一側17接觸。該第二補強裝置27被設置在該導體基板12的一側16上。這兩個補強裝置26及27係藉由張緊機構28而相被於彼此被張緊，使得它們將該導體基板12以夾持的方式把它容納在它們之間藉以將該導體基板強化。
該第二補強裝置27具有一容納穿孔29，該接點間距轉換器7以無實體接觸的方式被容納在該穿孔內。該接點間距轉換器7被多個間隔件30保持在其內，該等間隔件穿透該導體基板12的孔洞31且沒有實體接觸並延伸至一傾斜元件32。該傾斜元件32被建構成一傾斜板33。該傾斜元件32透過傾斜調整機構被可傾斜地連接至該第一補強裝置26。該等間隔件30穿過該第一補強裝置26上的孔洞35且沒有實體接觸。
該傾斜調整機構34的結構可從圖5中看出。該傾斜調整機構34具有有螺紋的螺釘36及37，其中螺釘36被建構成調整螺釘38且螺釘37被建構成鎖定螺釘39。從圖3及4可清楚地知道，該傾斜元件32具有多個被設置成彼此間隔開來之調整螺釘38及鎖定螺釘39，其中調整螺釘38與鎖定螺釘39彼此結合。在圖3及4所示的示範性實施例中，該傾斜元件32被建構成一矩形的傾斜板33，其在四個側邊的區域內包含一突出部40，一調整螺釘38及鎖定螺釘39被結合至該突出部。
根據圖5，此構造被製造成每一調整螺釘38可被可調整地旋入到該傾斜元件32的螺孔41內且以其一端42抵靠該第一補強裝置26的外側43。相對應的鎖定螺釘39被旋入到該第一補強裝置26的一螺孔44內並用該鎖定螺釘39的頭部45以張緊的方式抵住該傾斜元件32。因此，該鎖定螺釘39將該傾斜元件32朝向該第一補強裝置26拉扯使得該調整螺釘38的端部42被壓抵住該第一補強裝置26的外側43。由此可以清楚看出來的是，該傾斜元件32離開該第一補強裝置26的間隔位置可根據該調整螺釘38的突出長度(亦即，旋入深度)來加以調整。因為有多對調整螺釘38及鎖定螺釘39被提供，所以傾斜元件32相對於該第一補強裝置26的傾斜位置可用該傾斜調整機構34來調整至一所想要的位置。因為該傾斜元件32係透過該間隔件30被剛性地耦合至該接點間距轉換器7，所以當該傾斜元件32的傾斜被調整時，該接點間距轉換器7的位置，特別是傾斜位置，亦會被改變。藉由該傾斜調整機構34，該接點間距轉換器7的參考表面相對於該導體基板12的參考表面是可調整的。
再者，在圖2至5中，以對準銷47形式呈現之對準機構46用來將該導體基板12相對於該接點間距轉換器7實施側向的對準操作。此對準亦被稱為登記(registration)並確保該第一接觸表面14以所想要的方式在該導體板13的平面延伸方向上被對準到該對應接觸表面上。為此，該棒形的對準機構46(其截面較佳地為非圓形及特別是卵 形)嚙合於該導體基板12的對應引導孔48及該接點間距轉換器7的引導孔49中。該等對準機構46被緊固螺釘50固定至該傾斜元件32。這些引導孔48及49構成給該棒形的對準機構46用的通道。該對準機構46穿透該第一補強裝置26的孔洞51且沒有實體接觸。
因為該等間隔件30(其較佳地被建構成為間距套筒)的關係，一明確的間距被確保於該接點間距轉換器7與該傾斜元件32之間。該接點間距轉換器7較佳地被不可脫離地連接至該支撐件8，較佳地被牢牢地黏住。詳言之，四個調整螺釘38用它們的端部42壓抵住亦被稱為背補強件的該第一補強裝置26。因此，使用這四個調整螺釘38讓介於該傾斜元件32與該第一補強裝置26之間的間距可被調整。因為該第一補強裝置26被牢牢地連接至導體基板12且該傾斜元件32被固定至該接點間距轉換器7，所以調整螺釘38亦可被用來調整/設定該接點間距轉換器7的參考表面11及該導體基板12的參考表面24的角度。在設定介於參考表面11及24之間的角度之後，該程序可在旋緊該等鎖定螺釘39之後被完成。在相對於彼此加以調整之後，參考表面11及24即藉此被固定。
圖6至8係有關於一測試設備的另一試範性實施例。有關於圖1至5的示範性實施例的描述亦適用於此另一示範性實施例且它們之間的唯一差異將於下文中加以描述。與前述的實施例相反的是，圖6及8的實施例並沒有傾斜元件。如圖6所示，其顯示根據本發明的該另一示範性實施例的測試設備1的剖面，其中圖6的圖式係相對於圖2所示的示範性實施例被轉了180度，可以看出有多個以相互間隔開之有螺紋的螺釘60形式呈現的間隔件30被緊固於該接點間距轉換器7。
該等有螺紋的螺釘60具有頭部61藉由將該等有螺紋的螺釘60旋入到該接點間距轉換器7的螺孔63內而穩穩地躺在該接點間距轉換器7的插孔62內。該有螺紋的螺釘60的柄64穿過該導體基板12的引導孔48且尚有多餘的空間，並嚙合於該第一補強裝置26的插孔65中。
根據圖7，每一插孔65都具有一設置有內螺紋的大直徑的區段66，一與該大直徑區段鄰接直徑較下且無螺紋的區段67，及一直徑槓小且無螺紋的區段68。區段68具有相對於該有螺紋的螺釘60的柄64的間隙(play)。一螺帽69被旋入到該有螺紋的螺釘60的螺紋上，該螺帽用一凸緣70抵靠一級階71’而停放。該級階71’被設置在區段66與67之間。一具有外螺紋72的螺環71被設置在該凸緣70的另一側上，該外螺紋被旋入到該區段66的內螺紋上。該螺環71的內部覆蓋該螺帽69的一連接埠73。在被旋上的情況中，該螺環71將該螺帽69壓抵住該級階71’。
由以上所述可很清楚瞭解的是，藉由將各螺帽69旋套於各有螺紋的螺釘60上一段適當的距離，該接點間距轉換器7即可以一所想要的傾斜度相對於該導體基板12加以調整，其中藉由旋緊相關的螺環71，螺帽位置即可被確保。
同樣可從圖6及8清楚地看出的是，與圖1至5的示範性實施例相反地，該接點間距轉換電路9並沒有被黏結到一插孔10中，而是被放入到該支撐件8的一插孔10內且藉由突伸出夾持板75而被固持，這些夾持板係用固持螺釘74來加以固定。該等夾持板75突伸至該接點間距轉換電路9上方。為了要在該矩形或方形的插孔10內保留該接點間距轉換電路9的一可再生的(reproducible)的位置，夾持彈簧76被設置在該插孔10的兩側上，該等夾持彈簧76迫使該接點間距轉換電路9抵住該插孔10的對立緣77，用以確保高度精確的定位。
定位該接點間距轉換電路9的方式當然亦可被提供在圖1至5所示的示範性實施例。當然，圖6至8的示範性實施例亦可具有一黏入式(glued-in)接點間距轉換電路9。
在圖6至8的示範性實施例中之測試設備的結構高度因為沒有傾斜板的關係而較小。此實施例亦因為省掉該傾斜板而可被更經濟地製造。
1‧‧‧測試設備
2‧‧‧測試頭
4‧‧‧接觸探針
3‧‧‧引導孔
5‧‧‧自由端
6‧‧‧另一端
7‧‧‧接點間距轉換器
8‧‧‧支撐件
9‧‧‧接點間距轉換電路
10‧‧‧插孔
11‧‧‧參考表面
12‧‧‧導體基板
13‧‧‧導體板
14‧‧‧第一接觸表面
15‧‧‧大表面接點
16‧‧‧導體基板的一側
17‧‧‧導體基板的另一側
18‧‧‧電接觸機構
19‧‧‧絕緣支撐件
20‧‧‧電接點
21‧‧‧側邊
22‧‧‧對應接觸表面
23‧‧‧第二接觸表面
24‧‧‧參考表面
25‧‧‧傾斜裝置
26‧‧‧第一補強裝置
27‧‧‧第二補強裝置
28‧‧‧張緊機構
29‧‧‧容納穿孔
30‧‧‧間隔件
31‧‧‧孔洞
32‧‧‧傾斜元件
33‧‧‧傾斜板
34‧‧‧傾斜調整機構
35‧‧‧孔洞
36‧‧‧有螺紋的螺釘
37‧‧‧有螺紋的螺釘
38‧‧‧調整螺釘
39‧‧‧鎖定螺釘
40‧‧‧突出部
41‧‧‧螺孔
42‧‧‧一端
46‧‧‧對準機構
47‧‧‧對準銷
48‧‧‧引導孔
49‧‧‧引導孔
50‧‧‧緊固螺釘
51‧‧‧孔洞
60‧‧‧有螺紋的螺釘
61‧‧‧頭部
62‧‧‧插孔
63‧‧‧螺孔
64‧‧‧柄
65‧‧‧插孔
66‧‧‧區段
67‧‧‧區段
68‧‧‧區段
69‧‧‧螺帽
70‧‧‧凸緣
71‧‧‧螺環
71’‧‧‧級階
72‧‧‧外螺紋
73‧‧‧連接埠
74‧‧‧固持螺釘
75‧‧‧夾持板
76‧‧‧夾持彈簧
77‧‧‧對立緣
附圖顯示本發明的一個示範性實施例，其中：
圖1顯示通過一用來測試電測試樣本的電測試設備的示意縱剖面圖，但該測試設備的所有構件並未於此圖中全部被示出；
圖2顯示一通過圖1的設備之立體縱剖面，但沒有顯示一接觸頭；圖3顯示該測試設備的一接點間距轉換器與一傾斜元件的立體圖；圖4顯示圖3的配置從另一角度觀看的立體圖；圖5顯示通過該電測試設備的一個區域的剖面，但沒有顯示該接觸頭；圖6顯示通過依據另一示範性實施例的電測試設備的一個區域的立體縱剖面；圖7顯示圖6的測試設備的細部圖；及圖8顯示圖6的測試設備的另一細部圖。
8．．．支撐件
9．．．接點間距轉換電路
12．．．導體基板
26．．．第一補強裝置
32．．．傾斜元件
34．．．傾斜調整機構
36．．．有螺紋的螺釘
37．．．有螺紋的螺釘
38．．．調整螺釘
39．．．鎖定螺釘
41．．．螺孔
42．．．一端
43．．．外側
44．．．螺孔
45．．．頭部
46．．．對準機構
47．．．對準銷
48．．．引導孔
50．．．緊固螺釘
51．．．孔洞

Claims (25)

  1. 一種用來測試一電測試樣本的電測試設備，包含：一導體基板及一測試頭；一接點間距轉換器，其將該導體基板電連接至該測試頭；一第一補強裝置，其被機械式地連接至該導體基板且剛性地固定該導體基板；至少一間隔件，其穿透該導體基板且被機械式地連接至該接點間距轉換器，該間隔件被至少一傾斜調整機構保持在該第一補強裝置上及一傾斜元件，其被該間隔件機械地連接至該接點間距轉換器且被該傾斜調整機構可調整地保持於該第一補強裝置上以用於傾斜，該傾斜元件被建構成一傾斜板，其中該傾斜元件藉由該間隔件被剛性地連接至該接點間距轉換器，且該間隔件在沒有實體接觸下分別穿透該導體基板的一個孔及該第一補強裝置的一個孔，並延伸至該傾斜元件。
  2. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其中該間隔件穿透該第一補強裝置。
  3. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其中該導體基板包含接觸表面，其被該等接觸元件連接至該接點間距轉換器的對應接觸表面。
  4. 如申請專利範圍第3項之電測試設備，其中該等 接觸元件補償介於該導體基板與該接點間距轉換器之間因一傾斜調整所引起的角度偏移。
  5. 如申請專利範圍第3項之電測試設備，其中該等接觸元件被直接地且剛性地設置在該接點間距轉換器上。
  6. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其中該接點間距轉換器包含接觸表面，其和該測試頭的接觸探針電接觸。
  7. 如申請專利範圍第6項之電測試設備，其中該等機觸探針包含接觸腳及挫屈樑(buckling beam)的至少一者。
  8. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其更包含接觸元件，其為了該測試樣本的實體電接觸而被剛性地設置在該接點間距轉換器上。
  9. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其更包含一第二補強裝置，其中該第一補強裝置被設置在該導體基板的一側及該第二補強裝置被設置在該導體基板的另一側。
  10. 如申請專利範圍第9項之電測試設備，其中該該第二補強裝置被建構來容納該接點間距轉換器。
  11. 如申請專利範圍第10項之電測試設備，其中該第二補強裝置具有一穿孔，該接點間距轉換器被至少部分地容納在該穿孔中且沒有實體接觸。
  12. 如申請專利範圍第9項之電測試設備，其中該第一補強裝置及該第二補強裝置的至少一者被建構成一板 (slab)。
  13. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其中該等傾斜調整機構包含至少一有螺紋的螺釘。
  14. 如申請專利範圍第13項之電測試設備，其更包含測隙規帶(feeler gauge band)，其被放置在該等有螺紋的螺釘底下以用於傾斜調整。
  15. 如申請專利範圍第13項之電測試設備，其中該至少一有螺紋的螺釘被建構成一調整螺釘及一鎖定螺釘的至少一者。
  16. 如申請專利範圍第15項之電測試設備，其中該調整螺釘被可調整地旋入到該傾斜元件中且以一端緊靠該第一補強裝置來設置。
  17. 如申請專利範圍第15項之電測試設備，其中該鎖定螺釘包含一頭部且被旋入到該第一補強裝置中使得該鎖定螺釘的該頭部係在張緊的狀態下抵靠該傾斜元件。
  18. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其中該導體基板被建構成一電路板。
  19. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其中該間隔件包含一間距套筒。
  20. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其更包含對準機構，其將該導體基板側向地對準該接點間距轉換器。
  21. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其中該傾斜調整機構被設置在該間隔件上。
  22. 如申請專利範圍第1項之電測試設備，其中該至少一間隔件包含多個間隔件，它們彼此被間隔開。
  23. 一種電測試一電測試樣本的方法，其包含：提供一導體基板，其透過一接點間距轉換器被電連接至一測試頭且其被機械式地連接至一第一補強裝置且被該第一補強裝置剛性地固定；提供至少一間隔件，其穿透該導體基板且被機械式地連接至該接點間距轉換器；該間隔件被至少一傾斜調整機構保持在該第一補強裝置上；提供一傾斜元件，其被該間隔件機械地且剛性地連接至該接點間距轉換器；該傾斜元件被建構成一傾斜板，其中該間隔件在沒有實體接觸下分別穿透該導體基板的一孔(及該第一補強裝置的一孔，並延伸至該傾斜元件；藉由使用該傾斜調整機構調整該傾斜元件和該第一補強裝置之間的傾斜度來調整該導體基板和該接點間距轉換器之間的相對傾斜度；及將該電測試樣本安裝至用於電測試的該測試頭。
  24. 如申請專利範圍第23項之方法，其中該間隔件穿透該第一補強裝置。
  25. 一種用來測試一電測試樣本的電測試設備，包含：一導體基板及一測試頭； 一接點間距轉換器，其將該導體基板電連接至該測試頭；一第一補強裝置，其被機械式地連接至該導體基板且剛性地固定該導體基板；至少一間隔件，其穿透該導體基板且被機械式地連接至該接點間距轉換器，該間隔件被至少一傾斜調整機構保持在該第一補強裝置上及一第二補強裝置，其中該第一補強裝置被設置在該導體基板的一側及該第二補強裝置被設置在該導體基板的另一側，其中該該第二補強裝置被建構來容納該接點間距轉換器且該第二補強裝置具有一穿孔，該接點間距轉換器被至少部分地容納在該穿孔中且沒有實體接觸。
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