JP5430687B2

JP5430687B2 - 電気被検体の検査のための電気検査装置並びに電気検査方法

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Publication number: JP5430687B2
Application number: JP2012011631A
Authority: JP
Inventors: ベーム，ギュンター; コピラス，ベリスラヴ; エールラー，シルヴィア; ホロヒャー，ミカエル
Original assignee: ファインメタルゲーエムベーハー
Priority date: 2008-07-26
Filing date: 2012-01-24
Publication date: 2014-03-05
Anticipated expiration: 2029-07-24
Also published as: US20100019788A1; US20120119774A1; CN102590569A; EP2148209A2; DE102008034918B4; EP2458392A2; TWI411792B; TW201237435A; CN101634682A; US9116175B2; EP2148209A3; JP5112397B2; US8217675B2; CN101634682B; JP2012123010A; EP2458392A3; TWI465740B; JP2010032519A; TW201007184A; SG158795A1

Description

本発明は、コンタクト部間隔変換器を介して検査ヘッドと電気的に結合された導体基板を備えており、この導体基板が、第１補強装置と機械的に結合されており、且つそれによって補強されている、電気被検体の検査のための電気検査装置に関する。

冒頭に挙げた種類の電気検査装置は知られている。この電気検査装置は、ウエハなどの電気被検体と電気的にコンタクトするために用いられる。これは接触コンタクトであり、この接触コンタクトにより、被検体の電気的な動作可能性について検査するテスト装置に、電気回路が接続される。このやり方で、動作可能な被検体を動作不能の被検体と区別することができる。既知の電気検査装置は、コンタクト部間隔変換器を介して検査ヘッドと電気的に結合する導体基板を有している。検査ヘッドのコンタクト針は、コンタクト部間隔変換器と電気的に結合しており、且つ被検体とコンタクトするために用いられる。導体基板は、前述のテスト装置と電気的に結合している。いちだんと高くなっている集積密度により、被検体のコンタクト部間隔が非常に小さいので、コンタクトヘッドと導体基板の間のテスト可能な配線密度を上昇させるために、コンタクト部間隔変換器が企図されており、このコンタクト部間隔変換器は、検査ヘッドのコンタクト針の小さなコンタクト部間隔を、より大きなコンタクト部間隔に変化させ、この場合のより大きなコンタクト部間隔は、導体基板の同じ大きさのコンタクト部間隔と相関関係にあり、且つ導体基板は、好ましくはコンタクト部間隔の更なる拡大を実現し、その際、最終的に、このより大きなコンタクト部間隔を有する導体基板のコンタクト部が、適切なケーブル結合又はその類似物によってテスト装置と結合される。この場合、導体基板とコンタクトヘッドの間には、電気結合に必要な少なくとも一つのサブアセンブリが存在するので、コンタクトを提供するのに十分な関係部品の位置合わせが常になされるわけではなく、そのためこのような電気検査装置の動作可能性は不確実である。これに関しては、コンタクトヘッドがコンタクト部間隔変換器に対し、且つコンタクト部間隔変換器が導体基板に対し、それぞれ、専ら電気的に接触コンタクトしていることを述べておかなければならない。

このため本発明の課題は、高いコンタクト確実性及び動作確実性を有しており、これにより電気被検体の検査を誤りなく実施可能な、電気被検体の検査のための電気検査装置を提供することである。

この課題は本発明によれば、前述の特徴を取り入れた上で、導体基板を貫く少なくとも一つのスペーサを、コンタクト部間隔変換器と機械的に結合させ、且つ第１補強装置上で傾斜調整手段によって保持することにより解決される。検査コンタクト部密度が高い場合、導体基板に作用する接触コンタクト力の合計が大きな値となり得る。導体基板での、この接触力による機械的な変形を回避するため、第１補強装置が割り当てられている。コンタクト部間隔変換器及び場合によっては更なる電気的結合手段（コネクタ）の介在の下での、コンタクトヘッドと導体基板の間の誤りのない電気的な接触コンタクトのために、本発明は、コンタクト部間隔変換器（スペース変換器）が、導体基板に相対的に傾斜変位可能に配置されることを企図する。このために、導体基板を貫いており、コンタクト部間隔変換器と機械的に結合された少なくとも一つのスペーサを介して傾斜変位を行う傾斜調整手段が提供される。特に、導体基板を貫く少なくとも一つのスペーサを介してコンタクト部間隔変換器と機械的に結合されており、且つ第１補強装置に、傾斜調整手段を介して傾斜変位可能に保持されている傾斜要素を提供し得る。このため補強装置及び傾斜要素は、それらにおいてスペーサによってもたらされた剛性構造を形成しており、この両方の部分の間には導体基板が存在している。しかしながらこの導体基板は少なくとも一つのスペーサによって貫かれているので、傾斜板の傾斜運動は、スペーサを介してコンタクト部間隔変換器に対応する運動を引き起こす。ただし、導体基板がその位置を変えることはない。少なくとも一つのスペーサは、導体板の少なくとも一つの開口部を、好ましくは接触せずに貫通している。傾斜要素を導体基板に相対的に傾斜させ得るために、傾斜要素は、傾斜調整手段を介して第１補強装置に保持されており、この第１補強装置はさらに、導体基板と変位不能に結合されている。つまり傾斜要素を第１補強装置に相対的に傾斜させると、これがコンタクト部間隔変換器（スペース変換器とも言う）の、導体基板に相対的な相応の傾斜運動を引き起こす。本発明の実施形態が傾斜要素を備えているか否かにかかわらず、コンタクト部間隔変換器の参照面は、導体基板の参照面に相対的に傾斜適合される。これによりコンタクト部間隔変換器及び導体基板を互いに相対的に、望ましい様に位置合わせすることができ、これにより一方では検査ヘッドのコンタクト針の、電気被検体（ウエハ）に対する優れたコンタクト生成を実現することができ、且つ他方では、場合によっては電気的結合手段（コネクタ）の介在の下での、導体基板に対する優れたコンタクトをも確実にすることができる。

本発明の一変形形態によれば、スペーサが第１補強装置を貫くことが企図されている。これによりスペーサは、第１補強装置の、導体基板とは反対の側にまで達しており、これにより導体基板とは反対の側に傾斜調整手段を提供することができる。

本発明の一変形形態によれば、導体基板が第１コンタクト面を有することが企図されており、この第１コンタクト面は、コンタクト手段を介してコンタクト部間隔変換器の対向コンタクト面と結合している。言及したコンタクト手段とは、前述の電気的結合手段であり、コネクタとも呼ばれる。このコンタクト手段は、導体基板の第１コンタクト面と接触コンタクトしており、且つ同様にコンタクト部間隔変換器の対向コンタクト面とも接触コンタクトしている。

コンタクト手段が、傾斜調整によって生じた、導体基板とコンタクト部間隔変換器の間の角度変位を補償することは、利点がある。そのためコンタクト手段が、導体基板の参照面とコンタクト部間隔変換器の参照面の間の傾斜変位の際に、導体基板の第１コンタクト面及びコンタクト部間隔変換器の対向コンタクト面に対する接触コンタクトを維持するように、コンタクト手段を柔軟に形成する。

本発明の一変形形態は、コンタクト部間隔変換器が第２コンタクト面を有することを企図しており、この第２コンタクト面は、検査ヘッドのコンタクトプローブ／コンタクト針、特に屈曲針と電気的にコンタクトしている。検査ヘッドは、好ましくは互いに対し間隔をあけたガイド板を有しており、このガイド板はガイド開口部を備えており、このガイド開口部は、特に屈曲針として形成されるコンタクトプローブによって貫通されている。屈曲針の一方の端部は、コンタクト部間隔変換器の第２コンタクト面と接触コンタクトしており、且つ屈曲針のもう一方の端部は、被検体の電気コンタクト部との接触コンタクトに用いられる。そのため被検体の電気検査の際は、被検体との接触コンタクトをもたらすため、検査装置と被検体が互いに向かって移動する。検査装置及び被検体が移動するか、又はこのサブアセンブリの一つだけが移動する。この移動は、コンタクトヘッドのコンタクトプローブの長手方向に行われる。好ましくは屈曲針をコンタクトプローブとして使用するので、コンタクトプローブはその長手方向に関し、折れ曲がることで長さを適応させる。

本発明の一変形形態は、コンタクト部間隔変換器に、被検体の電気的な接触コンタクトのためのコンタクト要素を堅固に（固定的に）配置することを企図する。そのため上述の、コンタクト部間隔トランスフォーマが第２コンタクト面を備えており、この第２コンタクト面がコンタクトプローブと接触コンタクトし、このコンタクトプローブがさらに被検体と電気的に接触コンタクトする様態とは違い、被検体とのコンタクトに用いられるコンタクト要素を、コンタクト部間隔変換器に堅固に（固定的に）配置することが企図される。この場合は、好ましい取外し可能な検査ヘッドは提供されない。

さらに代替案としての実施形態で、コンタクト手段が、コンタクト部間隔変換器に直接的且つ堅固に（固定的に）配置されている場合もまた、利点がある。そのためコンタクト手段は、コンタクト部間隔変換器に直接的に割り当てられており、且つコンタクト部間隔変換器に保持されている。代替案として、このコンタクト手段は、導体基板とコンタクト部間隔変換器の間に配置された、別個のサブアセンブリの要素であってもよい。

本発明の一変形形態は第２補強装置を提供し、第１補強装置は導体基板の一方の側に、且つ第２補強装置は導体基板のもう一方の側に配置されている。このように、導体基板は、両方の補強装置が導体基板と機械的に結合されることによって、両側から補強されている。特に、両方の補強装置が適切な締付け手段によって互いに向かって圧迫され、且つこれにより導体基板を、特に挟持及び突っ張り支持しながら、その間に収容することが企図され得る。

本発明の好ましい実施形態は、第２補強装置にコンタクト部間隔変換器を割り当てることを企図するのが好ましい。特に、第２補強装置は収容貫通孔を有しており、この収容貫通孔内に、コンタクト部間隔変換器が、接触せずに少なくとも部分的に収容されている。この構成は、第２補強装置を導体基板に対して直接的に割り当てることを可能にし、且つさらにこの収容貫通孔により、コンタクト部間隔変換器を、導体基板に対して近いくに割り当てた状態が生じる。傾斜要素によって誘発されるコンタクト部間隔変換器の傾斜運動を引き起こすためには、コンタクト部間隔変換器が第２補強装置に接していてはならない。このため、コンタクト部間隔変換器を第２補強装置の収容貫通孔内に接触させずに収容することにより、傾斜運動が妨げられない。

前述した傾斜調整のために、ネジボルトの形態で傾斜調整手段が提供されることが好ましい。このネジボルトは、調整ボルト及び／又は位置固定ボルトとして形成することができる。調整ボルトは、第１補強装置に対する傾斜要素の適切な角度位置をもたらすために用いられ、且つ位置固定ボルトは、その角度位置を固定するために用いられる。このために調整ボルトは傾斜要素内に調整可能にねじ込まれており、この調整ボルトはその一方の端部で、第１補強装置に突っ張り支持されている。位置固定ボルトは第１補強装置内にねじ込まれており、且つそのヘッドで圧迫しながら傾斜要素に接している。傾斜調整は別のやり方で行うこともできる。特に、ボルトは下方に隙間ゲージテープ（非常に細かい厚さ段階で入手可能な特殊フィルム）を配置した状態で提供され得る。特殊フィルムは鋼鉄又は洋銀から成るのが好ましい。

傾斜要素は傾斜板として形成されるのが好ましい。導体基板は特に導体板として形成される。第１及び／又は第２補強装置は板状に形成されるのが好ましい。

本発明の一変形形態によれば、スペーサが離隔スリーブを備えることが企図されている。離隔スリーブは、その一方の端部でコンタクト部間隔変換器に、且つもう一方の端部で傾斜要素に固定されている。

位置合わせ手段があることが好ましく、この位置合わせ手段は、導体基板をコンタクト部間隔変換器に対して横方向で位置合わせし、このやり方で、導体基板の第１コンタクト面を、コンタクト部間隔変換器の対向コンタクト面に相対的に位置決めすることができ、これにより間にあるコンタクト手段（コネクタ）がそれぞれ、互いに割り当てられた第１コンタクト面を、割り当てられた対向コンタクト面と電気的に欠陥なく結合させることを可能にする。

本発明の一変形形態によれば、傾斜調整手段をスペーサに配置することが企図され得る。この傾斜調整手段は第１補強装置と協働する。

さらに、互いに対し間隔をあけて配置された複数のスペーサが提供されるのが好ましい。

さらに本発明は、電気被検体の電気検査のための方法に関し、特に、コンタクト部間隔変換器を介して検査ヘッドと電気的に結合された導体基板を備えており、この導体基板が、第１補強装置と機械的に結合されており、且つそれによって補強され、且つ導体基板を貫く少なくとも一つのスペーサが、コンタクト部間隔変換器と機械的に結合されており、且つ第１補強装置上で傾斜調整手段を介して保持されている、上述の検査装置を用いる方法に関する。

この方法の更なる有利な実施形態は請求項から明らかである。

図面は、例示的実施形態に基づき本発明を具体的に説明している。

電気被検体の検査のための電気検査装置の概略的な縦断面図であり、ただし検査装置のすべての部品を表示してはいない。コンタクトヘッドを表示していない、図１の検査装置の縦断面斜視図である。検査装置のコンタクト部間隔変換器及び傾斜要素の斜視図である。図３の構成の斜視図であり、ただし別の視角から見た図である。コンタクトヘッドを表示していない、電気検査装置の一領域の縦断面図である。更なる例示的実施形態に基づく電気検査装置の一領域の縦断面斜視図である。図６の検査装置の詳細図である。図６の検査装置の更なる詳細図である。

図１は検査装置１を示しており、ただし検査装置のすべての部品を表示してはいない。検査装置１は、コンタクトヘッド２（検査ヘッド２とも言う）を有しており、このコンタクトヘッド２は、ガイド穿孔部３内で変位可能に支持されたコンタクトプローブ４を備えており、このコンタクトプローブ４は、好ましくは屈曲針として形成される。コンタクトプローブ４は自由端５を備えており、この自由端５は、図示されていない電気被検体のコンタクト部と接触コンタクトすることができる。このために、検査装置１を被検体上に下げる、又は被検体を検査装置１に近づける、又は両方の部分を互いに向かって移動させる。コンタクトプローブ４のもう一方の端部６は、コンタクト部間隔変換器７に対して接触コンタクトしており、このコンタクト部間隔変換器７は、支持部８及び電気的なコンタクト部間隔変換回路９を有している。支持部８は、金属支持部として形成されるのが好ましい。コンタクト部間隔変換回路９は、セラミックス支持部８と堅固に（固定的に）結合している。支持部８は収容部１０を備えており、この収容部１０内には、コンタクト部間隔変換回路９が埋没して収容されている。コンタクト部間隔変換器７は、そのコンタクトヘッド２に面した側に参照面１１を備えている。特に導体板１３の形態の導体基板１２が、コンタクト部間隔変換器７に対してほんの僅かな間隔をあけて配置されている。導体板１３は、第１コンタクト面１４を有しており、このコンタクト面１４は、面コンタクト部１５と電気的に結合しており、第１コンタクト面１４は導体基板１２の一方の側１６に、且つ面コンタクト部１５はもう一方の側１７に配置されている。コンタクト部間隔変換器７と導体基板１２の間に電気コンタクト手段１８が配置されており、このコンタクト手段１８は、絶縁支持部１９に電気コンタクト部２０を備えている。コンタクト部間隔変換器７は、その導体基板１２に面した側２１で、コンタクト部間隔変換器７のうちのコンタクト部間隔変換回路９の領域内に、対向コンタクト面２２を備えており、この対向コンタクト面２２は、コンタクト部２０を介して第１コンタクト面１４と電気的に結合している。コンタクト部間隔変換器７は、そのコンタクト部間隔変換回路９の領域内で、第２コンタクト面２３を有しており、この第２コンタクト面２３は、対向コンタクト面２２と電気的に結合している。コンタクトプローブ４の端部６は、第２コンタクト面２３に対し接触コンタクトして接している。

図示されていない被検体から見ると、検査装置１は以下の電気経路を有する。ここでは簡略化のため、経路の一つだけを説明する。別の経路は、この説明する経路に対応している。電気被検体の検査の際は、被検体にあるコンタクト部をコンタクトプローブ４の端部５と接触コンタクトさせ、このコンタクトプローブ４のもう一方の端部６は第２コンタクト面２３に対して接触コンタクトしており、この第２コンタクト面２３は、コンタクト部間隔変換回路９内で、対向コンタクト面２２の一つと導線でつながれており、この対向コンタクト面２２に対しては、コンタクト部２０の一つの一方の端部が接触コンタクトしており、その際、コンタクト部２０のもう一方の端部は第１コンタクト面１４の一つに対し接触コンタクトして接しており、この第１コンタクト面１４は、導体基板１２内で、面コンタクト部１５の一つと導線でつながれている。面コンタクト部１５は、図示されていない送電線を介してテスト装置と結合している。全体的には、誤りのない電気動作について被検体を検査するため、テスト装置と被検体の間に電気検査流路を作り得ることが明らかになる。コンタクトプローブ４のコンタクト部間隔は、被検体のコンタクト部密度に対応している。コンタクト部間隔変換器７は、この狭いコンタクト部間隔をそれより狭くないコンタクト部間隔に変換するために用いられる。これは図１から読み取ることができ、なぜなら図１では、第２コンタクト面２３より、対向コンタクト面２２の方が互いに対しより大きな間隔を有しているからである。面コンタクト部１５のコンタクト部間隔を第１コンタクト面１４のコンタクト部間隔より大きくすることによって、導体基板１２により第１コンタクト面１４のコンタクト部間隔を再度拡大している。

導体基板１２の参照面２４に対するコンタクト部間隔変換器７の参照面１１の傾斜を位置合わせし得るために、傾斜装置２５（図２）が提供されている。導体基板１２の参照面２４は、この部品の面１６に相当する。

図２は、図１の構成を再度表示しており、ただしコンタクトヘッド２及びコンタクト手段１８は描き込まれておらず、且つ検査装置１の、図１では下に向いている領域が、図２では今度は上に向いている。図２からは、導体基板１２に第１補強装置２６及び第２補強装置２７が割り当てられていることがさらに明らかである。第１補強装置２６は、導体基板１２の面１７に接している。第２補強装置２７は、導体基板１２の面１６上に配置されている。２つの補強装置２６及び２７は、締付け手段２８を介して互いに固定されており、これにより補強装置は、導体基板１２を挟持しながらその間に収容し、且つそうして補強している。

第２補強装置２７は収容貫通孔２９を備えており、この収容貫通孔２９内には、コンタクト部間隔変換器７が、接触せずに収容されている。コンタクト部間隔変換器７はそこで、複数のスペーサ３０によって保持されており、このスペーサ３０は、導体基板１２の開口部３１を接触せずに貫通しており、且つ傾斜要素３２まで通じている。この傾斜要素３２は、特に傾斜板３３として形成されている。傾斜要素32は、傾斜調整手段３４を介して第１補強装置２６と傾斜可能に結合されている。スペーサ３０は、第１補強装置２６の開口部３５を接触せずに貫通している。

図５からは、傾斜調整手段３４の構造をはっきりと認識することができる。傾斜調整手段３４は、ボルト３６及び３７を有しており、ボルト３６は調整ボルト３８として、且つボルト３７は位置固定ボルト３９として形成されている。図３及び図４からは、傾斜要素３２が、互いに対し間隔をあけて配置された複数の調整ボルト３８及び位置固定ボルト３９を有することが明らかであり、それぞれ一本の調整ボルト３８及び一本の位置固定ボルト３９が互いに隣り合っている。図３及び図４の例示的実施形態では、傾斜要素３２は長方形の傾斜板３３として形成されており、この傾斜板３３は、その四つの辺の領域内にそれぞれ張出部４０を有しており、この張出部４０に、それぞれ一本の調整ボルト３８及び一本の位置固定ボルト３９が割り当てられている。

図５によれば、この構成は、調整ボルト３８のそれぞれが、そのネジ山によって、傾斜要素３２のネジ孔４１内に調整可能にねじ込まれており、且つこの調整ボルトの一方の端部４２で、第１補強装置２６の外面４３に突っ張り支持されていると言うことができる。割り当てられた位置固定ボルト３９は、第１補強装置２６のネジ孔４４内にねじ込まれており、且つ位置固定ボルトのヘッド４５によって圧迫しながら傾斜要素３２に接している。このため位置固定ボルト３９は、傾斜要素３２を第１補強装置２６の方向に引っ張っており、これにより調整ボルト３８の端部４２が、第１補強装置２６の外面４３に対して押し付けられる。これら全てのことから、調整ボルト３８の突出長、つまりねじ込む深さに応じて、第１補強装置２６に対する傾斜要素３２の間隔位置を調整し得ることが明らかである。調整ボルト３８及び位置固定ボルト３９のペアが複数提供されているので、傾斜調整手段３４により、第１補強装置２６に相対的な傾斜要素３２の傾斜の位置を所望の位置に調整することができる。傾斜要素３２が、スペーサ３０を介してコンタクト部間隔変換器７と剛性に連結されているので、傾斜要素３２の傾斜を調整すると、コンタクト部間隔変換器７の位置、及び特に傾斜位置も同じ様に変更される。このことから、傾斜調整手段３４によって、コンタクト部間隔変換器７の参照面１１を導体基板１２の参照面２４に相対的に調整し得ることが明らかである。

図２〜図５からはさらに、アライメントピン４７の形態の位置合わせ手段４６が明らかであり、この位置合わせ手段４６は、コンタクト部間隔変換器７に対する導体基板１２の横方向の位置合わせのために用いられる。この位置合わせは、登録とも呼ばれており、且つ望ましいやり方において、第１コンタクト面１４を対向コンタクト面２２に対し、導体板１３の平面方向において位置合わせする。このために棒状の、好ましくは断面が丸くない、特に断面が楕円形の位置合わせ手段４６が、導体基板１２内の対応するガイド開口部４８及びコンタクト部間隔変換器７内のガイド開口部４９を貫いている。位置合わせ手段４６は、固定ボルト５０によって傾斜要素３２に固定されている。ガイド開口部４８及び４９は、ピン状の位置合わせ手段４６にぴったり合うように形づくられている。位置合わせ手段４６は、第１補強装置２６の開口部５１を接触せずに貫いている。

これら全てのことから、好ましくは離隔スリーブとして形成されるスペーサ３０に基づき、コンタクト部間隔変換器７と傾斜要素３２の間の定義された間隔が保証されることが明らかである。コンタクト部間隔変換回路９は、支持部８と好ましくは取外し不能に結合されており、好ましくは接着されている。特に、四本の調整ボルト３８はその端部４２で、背面補剛材（Backstiffener）とも呼ばれる第１補強装置２６に対して圧力をかけている。そのため、この四本の調整ボルト３８により、傾斜要素３２と第１補強装置２６の間隔を適合させることができる。第１補強装置２６は、導体基板１２と堅固に（固定的に）結合されており、且つ傾斜要素３２はコンタクト部間隔変換器７に対して固定されているので、結局のところ、調整ボルト３８により、コンタクト部間隔変換器７の参照面１１と導体基板１２の参照面２４の角度を変位／調整することができる。前述の参照面１１と２４の間のこのような角度調整の後、この工程は、位置固定ボルト３９の締付けによって終了する。これにより、互いに対し適合された参照面１１及び２４が固定される。

図６〜図８は、検査装置の更なる例示的実施形態に関する。この更なる例示的実施形態については、図１〜図５の例示的実施形態に対する実施が相応に適用されており、このため以下では相違点だけを論ずる。これまで説明してきた例示的実施形態とは違い、図６〜図８の例示的実施形態は傾斜要素を有していない。更なる例示的実施形態に基づく検査装置１の断面を示す図６によれば、図６の見え方は、もう一つの例示的実施形態の図２の見え方に対して１８０°回転されているが、コンタクト部間隔変換器７に、ボルト６０の形態の、間隔をあけた複数のスペーサ３０が固定されていることが明らかである。ボルト６０はヘッド６１を有しており、このヘッドは、ボルト６０をコンタクト部間隔変換器７のネジ孔６３内にねじ込むことによって、コンタクト部間隔変換器７の収容部６２内に堅固に（固定的に）入れられている。ボルト６０のシャフト６４は、導体基板１２のガイド開口部４８を、隙間をあけて貫いており、且つ第１補強装置２６の収容部６５内に食い込んでいる。

図７によれば、それぞれの収容部６５は、雌ネジを備えた直径の大きい区間６６と、それに接続した比較的小さな直径でネジ山のない区間６７と、もっと小さな直径で同様にネジ山のない区間６８とを有している。区間６８は、割り当てられたボルト６０のシャフト６４に対して遊びを有している。ネジボルト６０のネジ山にナット６９がねじ留めされており、このナット６９は、フランジ７０によって段７１’に突っ張り支持されている。段７１’は、区間６６と６７の間に形成されている。フランジ７０のもう一方の側にはネジリング７１があり、このネジリング７１は雄ネジ７２を有しており、この雄ネジ７２は区間６６の雌ネジ内にねじ込まれている。ネジリング７１の内側はナット６９の短管７３に被さっている。ネジリング７１は、ねじ留めされた状態でナット６９を段７１’に対して押し付けている。

これら全てのことから、それぞれのネジボルト６０上に、それぞれのナット６９を相応に深くねじ嵌めることによって、コンタクト部間隔変換器７を導体基板１２に相対的に、相応に望ましい傾斜で調整し得ることが明らかになり、関連するネジリング７１をねじ締めて固定することによって、それぞれのナット位置が固定される。

図６〜図８からはさらに、図１〜図５の例示的実施形態の場合とは違い、コンタクト部間隔変換回路９を、収容部１０内に接着するのではなく、支持部８の収容部１０内に入れ、且つ保持ボルト７４によって保持された、上に被さっているクランプ小板７５によって保持していることを読み取ることができる。このクランプ小板７５は、コンタクト部間隔変換回路９の上に被さっている。長方形又は正方形の陥凹部１０内で、コンタクト部間隔変換回路９の再現可能な位置を保つために、収容部１０の二つの辺でクランプバネ７６が提供されており、このクランプバネ７６が、コンタクト部間隔変換回路９を、収容部１０の相応に向かい合う縁７７に押し付け、それによって高精度の位置決めを保証している。

コンタクト部間隔変換回路9の位置決めの上述の種類は、もちろん図１〜図５の例示的実施形態でも提供することができる。他方ではもちろん図６〜図８の例示的実施形態が、接着されたコンタクト部間隔変換回路９を有することも可能である。

図６〜図８の例示的実施形態の検査装置１の設置高さは、傾斜板がないことにより比較的小さい。この実施形態は、傾斜板をなくせるのでコストも安くなる。

１検査装置
２コンタクトヘッド
３ガイド穿孔部
４コンタクトプローブ
５自由端
６もう一方の端部
７コンタクト部間隔変換器
８支持部
９コンタクト部間隔変換回路
１０収容部
１１参照面
１２導体基板
１３導体板
１４第１コンタクト面
１５面コンタクト部
１６導体基板の一方の側
１７導体基板のもう一方の側
１８コンタクト手段
１９絶縁支持部
２０コンタクト部
２１コンタクト部間隔ト変換器の導体基板に面した側
２２対向コンタクト面
２３第２コンタクト面
２４参照面
２５傾斜装置
２６第１補強装置
２７第２補強装置
２８締付け手段
２９収容貫通孔
３０スペーサ
３１開口部
３２傾斜要素
３３傾斜板
３４傾斜調整手段
３５開口部
３６ネジボルト
３７ネジボルト
３８調整ボルト
３９位置固定ボルト
４０張出部
４１ネジ孔
４２端部
４３外面
４４ネジ孔
４５ヘッド
４６位置合わせ手段
４７アライメントピン
４８ガイド開口部
４９ガイド開口部
５０固定ボルト
５１開口部
６０ネジボルト
６１ヘッド
６２収容部
６３ネジ孔
６４シャフト
６５収容部
６６区間
６７区間
６８区間
６９ナット
７０フランジ
７１ネジリング
７１’ 段
７２雄ネジ
７３短管
７４保持ボルト
７５クランプ小板
７６クランプバネ
７７縁

Claims

電気被検体の検査のための電気検査装置（１）であって、
コンタクト部間隔変換器（７）を介して検査ヘッド（２）と電気的に結合された導体基板（１２）を備え、
前記検査ヘッド（２）は、ガイド穿孔部（３）内において変位可能に取り付けられたコンタクトプローブ（４）を有し、
前記コンタクトプローブ（４）は、屈曲針として形成され、前記電気被検体と物理的電気的に接触するための自由端（５）を有し、
前記コンタクトプローブ（４）の他端（６）は、前記コンタクト部間隔変換器（７）と物理的に接触しており、
前記コンタクト部間隔変換器（７）は、支持部（８）と電気的コンタクト部間隔変換回路（９）を備え、
前記支持部（８）は、前記電気的コンタクト部間隔変換回路（９）が埋没して接着されることにより収容された収容部（１０）を有し、
前記導体基板（１２）は、第１補強装置（２６）と機械的に結合され、且つそれによって補強されており、
複数のスペーサ（３０）が、前記コンタクト部間隔変換器（７）と機械的に結合されており、且つ前記第１補強装置（２６）上で傾斜調整手段（３４）によって保持され、
前記スペーサ（３０）は、互いに対し間隔をあけて配置され、前記導体基板（１２）を貫通し、かつボルト（６０）として構成されており、
前記ボルト（６０）はヘッド（６１）を有し、前記ヘッド（６１）は前記ボルト（６０）を前記コンタクト部間隔変換器（７）のネジ孔（６３）内にねじ込むことによって前記コンタクト部間隔変換器（７）の収容部（６２）内に固定的に入れられており、
各前記ボルト（６０）のシャフト（６４）は、前記導体基板（１２）のガイド開口部（４８）を、それぞれ隙間をあけて貫通し、それぞれ前記第１補強装置（２６）の収容部（６５）内に食い込んでおり、
前記収容部（６５）は、雌ネジを備えた直径の大きい区間（６６）と、それに接続したより小さな直径でネジ山のない区間（６７）と、さらに小さな直径でネジ山のない区間（６８）とを有し、前記区間（６８）は、割り当てられた前記ボルト（６０）の前記シャフト（６４）に対して遊びを有しており、
前記ボルト（６０）のネジ山にナット（６９）がねじ留めされており、前記ナット（６９）は、フランジ（７０）によって段（７１’）に突っ張り支持され、前記段（７１’）は、前記区間（６６）と前記区間（６７）の間に形成されており、
前記フランジ（７０）のもう一方の側にはネジリング（７１）があり、前記ネジリング（７１）は雄ネジ（７２）を有しており、前記雄ネジ（７２）は前記区間（６６）の雌ネジ内にねじ込まれており、
前記ネジリング（７１）は、ねじ留めされた状態で前記ナット（６９）を前記段（７１’）に対して押し付けている
ことを特徴とする検査装置。
前記ネジリング（７１）の内側は前記ナット（６９）の短管（７３）に被さっている
ことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
前記導体基板（１２）が第１コンタクト面（１４）を有しており、前記第１コンタクト面が、コンタクト手段（１８）を介して前記コンタクト部間隔変換器（７）の対向コンタクト面（２２）と結合する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
前記コンタクト手段（１８）が、傾斜調整によって生じた、前記導体基板（１２）と前記コンタクト部間隔変換器（７）の間の角度変位を補償する
ことを特徴とする請求項３記載の検査装置。
前記コンタクト部間隔変換器（７）が第２コンタクト面（２３）を有しており、前記第２コンタクト面が、前記検査ヘッド（２）のコンタクトプローブ（４）／コンタクト針、特に屈曲針と電気的にコンタクトする
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置。
前記コンタクト部間隔変換器（７）に、前記被検体の電気的な接触コンタクトのためのコンタクト要素が堅固に配置される
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の検査装置。
前記コンタクト手段（１８）が、前記コンタクト部間隔変換器（７）に直接的且つ堅固に配置される
ことを特徴とする請求項３または４記載の検査装置。
第２補強装置（２７）を備えており、前記第１補強装置（２６）が前記導体基板（１２）の一方の側に、且つ前記第２補強装置（２７）が前記導体基板（１２）のもう一方の側に配置される
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の検査装置。
前記第２補強装置（２７）が前記コンタクト部間隔変換器（７）に割り当てられることを特徴とする請求項８記載の検査装置。
前記第２補強装置（２７）が収容貫通孔（２９）を有しており、前記収容貫通孔内に、前記コンタクト部間隔変換器（７）が、接触せずに少なくとも部分的に収容される
ことを特徴とする請求項８または９記載の検査装置。
前記導体基板（１２）が導体板（１３）として形成されることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の検査装置。
前記第１及び／又は第２補強装置（２６，２７）が板状に形成されることを特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の検査装置。
前記導体基板（１２）をコンタクト部間隔変換器（７）に対して横方向で位置合わせする位置合わせ手段（４６）を備える
ことを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の検査装置。
請求項１から１３のいずれか一項記載の検査装置を用いて電気被検体を電気検査する方法であって、
それぞれの前記ボルト（６０）上に、それぞれの前記ナット（６９）を相応に深くねじ嵌めることによって、前記コンタクト部間隔変換器（７）を前記導体基板（１２）に相対的に、相応に望ましい傾斜で調整し、関連する前記ネジリング（７１）をねじ締めて固定することによって、それぞれの前記ナット（６９）の位置を固定する
ことを特徴とする方法。