JP5106747B2 - パターン形成方法、半導体装置の製造方法及び露光用マスクセット - Google Patents
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Description
なお、上記式(1)において、Rはパターン解像度、λは露光波長、NAはレンズ開口数で、k1はプロセスファクターである。
(全般工程)
図1はこの発明の実施の形態1であるパターン形成方法を示すフローチャートである。以下、同図を参照して実施の形態1のパターン形成方法の概要を説明する。
第1の露光処理において使用される放射線としては、例えば、ArFエキシマレーザー(波長193nm)がある。第1の露光処理の照明手段として2眼照明を用いる。
上記式(2)において、Pは、グレーティングパターンのピッチであり、θiは入射角、θdは回折角である。また、上述したように、λは、露光波長であり、この式(2)により、(λ/P)=sinθi+sinθdとなる場合が理想的な光学干渉条件となる。
σout=iNA/NA…(4)
その結果、インナシグマσinは「0.75」、アウタシグマσoutは「0.95」として得ることができ、図3に示す開口部32のインナシグマσin及びアウタシグマσoutが設定される。
図6は第2の露光処理で用いる2/3輪帯照明用の照明系絞りの構造を示す説明図である。同図に示すように、照明系絞り38は輪帯状の開口部39を有し、中心から開口部39までの内径R1と、中心から開口部39までの外径R2の比が2:3に設定されているため、この照明系絞り38を用いることにより2/3輪帯照明が実現する。そして、開口数NAは「0.85」に設定される。なお、第2の露光処理におけるの露光条件は光照射量、焦点位置等を各々に対して最適化される。
上述したように、実施の形態1のパターン形成方法により、図2示す所望パターンを得ることができる。実施の形態1のパターン形成方法により得られたレジストパターンを電子顕微鏡でパターン観察したところ、図2示した所望パターンと同様、65nmL/Sのグレーティングパターンと通常パターンである周辺回路パターンとが連続したパターンが解像していたことが確認された。
なお、実施の形態1では、ライン,スペースの繰り返し方向が1方向のみのグレーティングパターンと通常パターンとを有するパターン形成方法について述べた。変形例として、グレーティングパターン(ライン,スペース)の繰り返し方向が2方向(互いに直交する第1及び第2の繰り返し方向)存在する場合、すなわち、グレーティングパターンとして、上記第1の繰り返し方向に沿ってライン,スペースが交互に繰り返される第1の部分グレーティングパターンと、上記第2の繰り返し方向に沿ってライン,スペースが交互に繰り返される第2の部分グレーティングパターンとが領域分離してそれぞれ存在する場合の露光を想定する。
(前提)
実施の形態1のパターン形成方法によって最終的に得られたグレーティングパターンは第1の露光処理直後のレジストパターンより細く仕上がっており、レジスト形状も垂直性の劣化がみられた。これは、第2の露光処理時におけるハーフトーン透過光(遮光パターン55を透過する光)の被りの影響と考えられる。また、これに伴い第1の露光処理時のマスクと第2の露光処理時のマスクとの合成光学像のコントラストが劣化するため、ラインエッジラフネス(配線の直進性)の劣化も見られた。上記劣化の改善を図ったのが実施の形態2である。
全般工程は、ステップS4の第2の露光処理内容を除き、図1で示した実施の形態1と同様に行われる。
図8は第1の露光処理が第2の露光処理に対して右斜め下にマスクの重ね合わせがずれた場合のレジストパターン形成状態を示す説明図である。同図に示すように、グレーティングパターン100と通常パターン101との間に不要パターン10が形成されてしまい、この不要パターン10によって、ラインパターン11〜14と配線パターン23,24とが繋がってしまう。この際、ラインパターン11とラインパターン12(配線パターン23)とが異電位に設定されていると異電位間で短絡されてしまう不具合が生じる。
実施の形態2では、上述した諸問題を考慮して、第2の露光処理で用いるHTマスクの改善を図っている。
図13は実施の形態2によるパターン形成方法により得られたレジストパターンを示す説明図である。図13では、前述した先端部後退現象が後退量dc1(<C)で生じた場合を示している。
(前提)
実施の形態2によるパターン形成方法によって最終的に得られたグレーティングパターンは実施の形態1と同様に、第1の露光処理直後のレジストパターンより細く仕上がっており、レジスト形状も垂直性の劣化がみられた。これは、第2の露光処理で用いた2枚目のHTマスク6のハーフトーン透過光の被りの影響と考えられる。また、これに伴い、1枚目(第1の露光処理時)と2枚目(第2の露光処理時)のマスクの合成光学像のコントラストが劣化するため、ラインエッジラフネス(配線の直進性)の劣化も見られた。上記劣化の改善を図ったのが実施の形態3である。
全般工程は、ステップS3の第1の露光処理の内容及びステップS4の第2の露光処理の内容を除き、図1で示した実施の形態1と同様に行われる。
図21は実施の形態3の第1の露光処理で用いるトリトーンマスク15の平面構造を示す説明図である。
図22は実施の形態3の第2の露光処理で用いるトリトーンマスク16の平面構造を示す説明図である。
図23は実施の形態3によるパターン形成方法により得られたレジストパターンの平面構造を示す説明図である。この図23は電子顕微鏡で観察した結果を模式的に示した図に相当する。
第1の露光処理及び第2の露光処理の方法として他のバリエーションも考えられる。まず、図21で示したトリトーンマスク15を用いる第1の露光処理と、図22で示したトリトーンマスク16を用いる第2の露光処理とを用いた、上述した第1及び第2の露光処理を含むパターン形成方法を第1の態様とする。
第2の態様では第1の露光処理は、第1の態様と同様に図21で示したトリトーンマスク15を用いる。
図25は実施の形態3の第3の態様における第1の露光処理で用いるトリトーンマスクを示す説明図である。同図に示すように、第1の露光用マスクであるトリトーンマスク17のパターン形状自体は、第1及び第2の態様と同様、図5で示した実施の形態1及び実施の形態2の第1の露光処理用のHTマスク1と同一である。
図26〜図28は実施の形態3の第1〜第3の態様によるパターン形成方法それぞれにより得られたレジストパターンの接続部領域(図23の領域EX3相当)の光学シミュレーション結果を示す説明図である。
図29は実施の形態3の第4の態様における第1の露光処理で用いるトリトーンマスクを示す説明図である。同図に示すように、第1の露光用マスクであるトリトーンマスク19における非完全遮光部であるHTマスク部19aと完全遮光部19bの関係は、第1の態様で用いたトリトーンマスク15のHTマスク部15aと完全遮光部15bと同様である。
上述した第1〜第4の態様を実施の形態1において適用することも考えられる。この場合、ラインパターン11〜14の大部分の領域に相当する領域EX1において第2の露光処理時に光透過が生じる領域は存在しなくなるため、領域EX1におけるラインパターン11〜14をハーフトーン透過光の被りの影響を回避することにより、精度良く得ることができる。
図30は実施の形態4による複数枚のウェハに対して行う露光方法を示すフローチャートである。全般工程は図1で示した実施の形態1と同様に行われるが、複数枚のウェハ(各ウェハの所定の基板)に対して行い、ステップS3,S4の処理を図30で示すフローで行う点が異なる。
また、実施の形態1〜実施の形態3で示したパターン形成方法(実施の形態4の露光方法を組み入れる場合を含む)を用いることにより、半導体装置の製造方法に適用することができる。
上述した実施の形態1〜実施の形態3では、第1及び第2の露光処理対象となるレジストをポジ型のレジスト材料を用い、凸状のグレーティングパターン及び通常パターンを得ることができる例を示した。
Claims (10)
- 所定の基板上に形成されたレジストに対するパターン形成方法であって、前記レジストは互いに隣接したパターニング対象の第1及び第2の領域を有し、
(a) 2眼照明を用いて、ラインとスペースとが交互に繰り返したパターンである繰り返しパターンを有する第1の露光用マスクによる第1の露光処理を実質的に前記レジストの前記第1の領域に対して行うステップと、
(b) 前記繰り返しパターンを除くパターンである通常パターンを有する第2の露光用マスクによる第2の露光処理を実質的に前記レジストの前記第2の領域に対して行うステップとを備え、前記通常パターンの少なくとも一部は前記繰り返しパターンと連接する接続用パターンを含み、
(c) 前記ステップ(a) ,(b) 後のレジストに対し現像処理を行うステップをさらに備え、
前記第1及び第2の露光用マスクは、それぞれ前記レジストの前記第1及び第2の領域に対応する第1及び第2のマスク部を有し、
前記第1の露光用マスクにおいて、前記第1のマスク部は前記繰り返しパターン形成用のパターンが設けられ、前記第2のマスク部は全面に遮光領域が設けられ、
前記第2の露光用マスクにおいて、前記第2のマスク部は前記通常パターン形成用のパターンが設けられ、前記第1のマスク部は一部を除いて遮光領域が設けられ、前記第1及び第2のマスク部間の境界線から前記第1のマスク部側の第1の所定量分の第1延長領域を備え、前記第1の露光用マスクの前記繰り返しパターン形成用のパターンの前記境界線と反対側における端部位置から前記境界線側の第2の所定量分の第2の延長領域を備え、前記第1の延長領域に前記通常パターンの前記接続用パターンの延長部分用のパターンが設けられ、前記第1及び第2の延長領域以外の領域全面に遮光領域が設けられ、
前記第1及び第2の露光用マスクは、それぞれ透過部と、光を所定割合のみ透光させ且つ透過の際に位相が反転するハーフトーン位相シフトマスク部と、光を完全に遮光する完全遮光部とを有するマスクを含み、
前記第1の露光用マスクの前記第2のマスク部において、前記第1及び第2のマスク部の境界近傍領域を除く領域は前記完全遮光部で形成され、
前記第1の露光用マスクの前記第1及び第2のマスク部において、前記境界近傍領域は前記ハーフトーン位相シフトマスク部で形成され、
前記第2の露光用マスクの前記第1のマスク部において、前記遮光領域のうち前記境界近傍領域を除く領域は前記完全遮光部で形成され、
前記第2の露光用マスクの前記第1及び第2のマスク部において、前記境界近傍領域は前記ハーフトーン位相シフトマスク部で形成され、
前記境界近傍領域は、前記第2の露光用マスクの前記第1のマスク部において、前記第1の延長領域及び前記第1の延長領域に隣接する前記遮光領域の一部領域を含む、
パターン形成方法。 - 請求項1記載のパターン形成方法であって、
前記繰り返しパターンの前記ライン形成方向が第1の方向、前記第1の方向と垂直な方向が第2の方向として規定され、
前記第1及び第2所定量は、前記繰り返しパターンにおける前記スペース形成用のパターンの先端部後退量及び前記ステップ(a) ,(b) 間の前記第1及び第2の露光用マスクの前記第1の方向への重ね合わせズレ量を考慮した量を含む、
パターン形成方法。 - 請求項2記載のパターン形成方法であって、
前記接続用パターンの延長部分用のパターンの形成幅は、前記繰り返しパターンの前記ライン形成用のパターンの形成幅に、前記ステップ(a) ,(b) 間の前記第1及び第2の露光用マスクの前記第2の方向への重ね合わせズレ量及び寸法精度余裕量を考慮した量を付加した形成幅に設定される、
パターン形成方法。 - 請求項3記載のパターン形成方法であって、
前記第1の露光用マスクは、前記第1のマスク部の前記ラインに対応するパターンに関し、前記第2のマスク部に近い領域の形成幅を局所的に広く設定したことを特徴する、
パターン形成方法。 - 請求項1ないし請求項4のうち、いずれか1項に記載のパターン形成方法であって、
前記所定の基板はウェハ単位に分類される複数の基板を含み、
前記ステップ(a) ,(b) は、前記複数の基板に対し、実行順序を入れ替えて実行される、
パターン形成方法。 - 請求項1ないし請求項5のうち、いずれか1項に記載のパターン形成方法であって、
前記レジストはポジ型レジストを含む、
パターン形成方法。 - 請求項1記載のパターン形成方法であって、
前記繰り返しパターンは、ライン,スペースが第1の繰り返し方向に沿って繰り返される第1の部分繰り返しパターンと、ライン,スペースが前記第1の繰り返し方向と垂直な第2の繰り返し方向に沿って繰り返される第2の部分繰り返しパターンとを含み、
前記第1の露光用マスクは、前記第1及び第2の部分繰り返しパターンを有する第1及び第2の部分繰り返しパターン用マスクを含み、
前記ステップ(a) は、
(a-1) 前記第1の繰り返し方向に沿って2眼が配置される2眼照明を用いた第1の照明条件下で、前記第1の部分繰り返しパターン用マスクによる露光処理を前記レジストに対して行うステップと、
(a-2) 前記第2の繰り返し方向に沿って2眼が配置される2眼照明を用いた第2の照明条件下で、前記第2の部分繰り返しパターン用マスクによる露光処理を前記レジストに対して行うステップとを含む、
パターン形成方法。 - (a) 半導体基板上あるいは半導体基板内に存在するパターニング対象物上にレジストを形成するステップと、
(b) 請求項1〜請求項7記載のパターン形成方法のうち、いずれか1項に記載のパターン形成方法を用いて、前記レジストをパターニングするステップと、
(c) パターニングされた前記レジストをマスクとして前記パターニング対象物をパターニングするステップと、
を備える半導体装置の製造方法。 - 隣接して形成される第1及び第2のマスク部から構成され、ラインとスペースとが交互に繰り返したパターンである繰り返しパターンを前記第1のマスク部に有する第1の露光用マスクと、
前記第1の露光用マスクの第1及び第2のマスク部と等価な第1及び第2のマスク部から構成され、前記繰り返しパターンを除くパターンである通常パターンを前記第2のマスク部に有する第2の露光用マスクとを備え、前記通常パターンの少なくとも一部と前記繰り返しパターンとを連接するための接続用パターンを前記第1のマスク部に備え、
前記第1の露光用マスクにおいて、前記第2のマスク部は全面に遮光領域が設けられ、
前記第2の露光用マスクにおいて、前記第1のマスク部の少なくとも一部に前記接続用パターンに連続して遮光領域が設けられ、
前記第1及び第2の露光用マスクは、それぞれ透過部と、光を所定割合のみ透光させ且つ透過の際に位相が反転するハーフトーン位相シフトマスク部と、光を完全に遮光する完全遮光部とを有するマスクを含み、
前記第1の露光用マスクの前記第2のマスク部において、前記第1及び前記第2のマスク部の境界近傍領域を除く領域は前記完全遮光部で形成され、
前記第1の露光用マスクの前記第2のマスク部において、前記境界近傍領域は前記ハーフトーン位相シフトマスク部で形成され、
前記第2の露光用マスクの前記第1のマスク部において、前記遮光領域のうち前記第1のマスク部の前記境界近傍領域を除く領域は前記完全遮光部で形成され、
前記第2の露光用マスクの前記第1のマスク部において、遮光領域の内の前記境界近傍領域と、前記接続用パターンとは前記ハーフトーン位相シフトマスク部で形成される、
露光用マスクセット。 - 請求項9記載の露光用マスクセットであって、
前記繰り返しパターンのライン形成方向が第1の方向、前記第1の方向と垂直な方向が第2の方向として規定され、
前記第2の露光用マスクにおいて、前記第2のマスク部は前記通常パターン形成用のパターンが設けられ、前記第1のマスク部は、前記第1及び第2のマスク部間の境界線から前記第1のマスク部側の第1の所定量分の第1延長領域を備え、前記第1の露光用マスクの前記繰り返しパターン形成用のパターンの前記境界線と反対側における端部位置から前記境界線側の第2の所定量分の第2の延長領域を備え、前記第1の延長領域に前記通常パターンの前記接続用パターンの延長部分用のパターンが設けられ、前記第1及び第2の境界延長領域以外の領域全面に前記遮光領域が設けられ、
前記第1及び第2所定量は、前記繰り返しパターンにおけるスペース形成用のパターンの先端部後退量及び前記第1及び第2の露光用マスクを用いた露光時の前記第1の方向への重ね合わせズレ量を考慮した量を含み、
前記接続用パターンの延長部分用のパターンの形成幅は、前記繰り返しパターンのライン用パターンの形成幅に、前記前記第1及び第2の露光用マスクを用いた露光時の前記第2の方向への重ね合わせズレ量及び寸法精度余裕量を考慮した量を付加した形成幅に設定され、
前記境界近傍領域は、前記第2の露光用マスクの前記第1のマスク部において、前記第1の延長領域及び前記第1の延長領域に隣接する前記遮光領域の一部領域を含む、
露光用マスクセット。
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