JP5103948B2 - 電子部品および電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
(付記1)
配線基板と、該配線基板上に設置されたインターポーザと、を有する電子部品であって、
前記インターポーザは、
エアロゾルの衝突により形成された絶縁層と、
前記絶縁層に埋設された配線と、を有することを特徴とする電子部品。
(付記2)
前記絶縁層は、扁平した複数の粒子より構成されていることを特徴とする付記1記載の電子部品。
(付記3)
前記絶縁層は、前記配線基板上に形成されてなることを特徴とする付記1または2記載の電子部品。
(付記4)
前記絶縁層に、エアロゾルの衝突により形成された誘電層を有する受動素子が埋設されていることを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項記載の電子部品。
(付記5)
前記受動素子は、キャパシタまたはフィルタであることを特徴とする付記4記載の電子部品。
(付記6)
前記インターポーザに実装される実装部品を有することを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項記載の電子部品。
(付記7)
前記絶縁層は積層されるように複数形成され、前記配線とともに多層配線構造を構成していることを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項記載の電子部品。
(付記8)
前記配線基板の表面の樹脂材料よりなる層と、前記絶縁層との間に、金属よりなる境界層を付加したことを特徴とする付記1乃至7のいずれか1項記載の電子部品。
(付記9)
前記絶縁層は金属酸化物を主成分とすることを特徴とする付記1乃至8のいずれか1項記載の電子部品。
(付記10)
配線基板と、該配線基板上に設置されたインターポーザと、を有する電子部品の製造方法であって、
エアロゾルの衝突により、前記配線基板上に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層に配線を形成する工程と、を有することを特徴とする電子部品の製造方法。
(付記11)
前記絶縁層に埋設される受動素子を形成する工程をさらに有し、
前記受動素子を形成する工程は、
前記絶縁層よりも誘電率の高い誘電層をエアロゾルの衝突により形成する工程を含むことを特徴とする付記10記載の電子部品の製造方法。
(付記12)
前記配線基板の表面の樹脂材料よりなる層上に、金属よりなる境界層を形成する工程をさらに有し、前記絶縁層は前記境界層上に形成されることを特徴とする付記10または11記載の電子部品の製造方法。
(付記13)
前記境界層はエアロゾルの衝突により形成されることを特徴とする付記12記載の電子部品の製造方法。
(付記14)
前記樹脂材料よりなる層に形成される開口部に対応する位置には前記配線基板の電極パッドが形成され、前記境界層は、前記金属パッドを構成する金属と主成分が同じとなるように形成されることを特徴とする付記13記載の電子部品の製造方法。
101,102,103,104,105,106 絶縁層
107,115 電極パッド
108,110,112,114 ビアプラグ
109,111,113 パターン配線
200 インターポーザ
201,202,203 エアロゾル絶縁層
204 境界層
205,210,212 ビアプラグ
206 下部電極
207 誘電層
208 上部電極
209 受動素子
211 パターン配線
213電極パッド
300 実装部品
301 接続部
Claims (4)
- ビルドアップ配線基板と、該ビルドアップ配線基板上に設置されたインターポーザと、を有する電子部品であって、
前記インターポーザは、エアロゾルの衝突により形成された絶縁層と、前記絶縁層に埋設された配線と、を有し、
当該電子部品は、前記ビルドアップ配線基板の表面の樹脂材料よりなる層上に形成された、金属よりなる境界層をさらに有し、
前記絶縁層は、前記境界層上に形成されてなる、
ことを特徴とする電子部品。 - 前記絶縁層に、エアロゾルの衝突により形成された誘電層を有する受動素子が埋設されていることを特徴とする請求項1記載の電子部品。
- ビルドアップ配線基板と、該ビルドアップ配線基板上に設置されたインターポーザと、を有する電子部品の製造方法であって、
前記ビルドアップ配線基板の表面の樹脂材料よりなる層上に、金属よりなる境界層を形成する工程と、
エアロゾルの衝突により、前記境界層上に前記インターポーザの絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層に配線を形成する工程と、を有することを特徴とする電子部品の製造方法。 - 前記絶縁層に埋設される受動素子を形成する工程をさらに有し、
前記受動素子を形成する工程は、
前記絶縁層よりも誘電率の高い誘電層をエアロゾルの衝突により形成する工程を含むことを特徴とする請求項3記載の電子部品の製造方法。
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JP2007054750A JP5103948B2 (ja) | 2007-03-05 | 2007-03-05 | 電子部品および電子部品の製造方法 |
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