JP5089386B2 - In・Sm酸化物系スパッタリングターゲット - Google Patents
In・Sm酸化物系スパッタリングターゲット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5089386B2 JP5089386B2 JP2007525917A JP2007525917A JP5089386B2 JP 5089386 B2 JP5089386 B2 JP 5089386B2 JP 2007525917 A JP2007525917 A JP 2007525917A JP 2007525917 A JP2007525917 A JP 2007525917A JP 5089386 B2 JP5089386 B2 JP 5089386B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- transparent conductive
- conductive film
- oxide
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/453—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates
- C04B35/457—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates based on tin oxides or stannates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/50—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on rare-earth compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/62645—Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering
- C04B35/62655—Drying, e.g. freeze-drying, spray-drying, microwave or supercritical drying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/645—Pressure sintering
- C04B35/6455—Hot isostatic pressing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
- C04B2235/3229—Cerium oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3232—Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3251—Niobium oxides, niobates, tantalum oxides, tantalates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3286—Gallium oxides, gallates, indium oxides, indates, thallium oxides, thallates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc gallate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3287—Germanium oxides, germanates or oxide forming salts thereof, e.g. copper germanate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3293—Tin oxides, stannates or oxide forming salts thereof, e.g. indium tin oxide [ITO]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/60—Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
- C04B2235/604—Pressing at temperatures other than sintering temperatures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/786—Micrometer sized grains, i.e. from 1 to 100 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
しかしながら、ランタノイド系元素の酸化物は、導電性がなく、これら酸化物を酸化インジウムに混合してターゲットを作成した場合、導電性の低いターゲットしか得られず、スパッタリング中に異常放電を起こしたり、ターゲット表面が黒化したりして、スパッタ速度が低下する等の不都合が生じる恐れがあった。
1.InとSmを主成分とする酸化物の焼結体からなることを特徴とするスパッタリングターゲット。
2.前記酸化物が、InSmO3と、酸化インジウムからなることを特徴とする1に記載のスパッタリングターゲット。
3.前記焼結体におけるInとSmの原子比[Sm/(In+Sm)]が0.001〜0.8であることを特徴とする1又は2に記載のスパッタリングターゲット。
4.前記焼結体に、正四価以上の原子価を有する元素の少なくとも1種が、全カチオン元素の合計量に対して20原子%以下でドープされていることを特徴とする1〜3のいずれかに記載のスパッタリングターゲット。
5.上記正四価以上の原子価を有する元素が、Sn、Ge、Ti、Zr、Hf、Nb及びCeよりなる群から選ばれた1種以上の元素であることを特徴とする4に記載のスパッタリングターゲット。
6.InSmO3及び/又はSn2Sm2O7を含む酸化物の焼結体からなることを特徴とする4又は5に記載のスパッタリングターゲット。
7.インジウム化合物とサマリウム化合物とを混合し混合物を得る工程と、
前記混合物を成形して成形物を得る工程と、
前記成形物を焼結して焼結体を得る工程と、
を含むことを特徴とする1〜3のいずれかに記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
8.インジウム化合物とサマリウム化合物に、正四価以上の原子価を有する元素の少なくとも1種を加えて混合し混合物を得る工程と、
前記混合物を成形して成形物を得る工程と、
前記成形物を焼結して焼結体を得る工程と、
を含むことを特徴とする4〜6のいずれかに記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
(a)InSmO3
(b)InSmO3とIn2O3との混合物
(c)InSmO3とSm2O3との混合物
ここで(b)、(c)中のIn2O3、Sm2O3は、特定の結晶構造を有していても非晶質であってもよい。
上記のうち、(b)InSmO3とIn2O3との混合物からなる焼結体が好ましい。
この酸化物は、上記酸化物の他に、In2O3、Sm2O3、SnO2等を含むことができる。
また、好適なInとSmの原子比(Sm/(In+Sm)はターゲットIと同様である。
また、正四価以上の元素がドープしている場合は、本発明の透明導電膜は、好ましくは、InとSmの原子比[Sm/(In+Sm)]が0.001〜0.2であり、より好ましくは0.01〜0.2である。また、正四価以上の元素の含有原子比は、正四価以上の元素、In及びSmの原子の総量に対して、正四価元素/(In+Sm+正四価元素)=0.01〜0.2であり、好ましくは、0.02〜0.1である。
[実施例]
(1)相対密度
使用する原料の密度を原料の配合比に按分して、理論密度とし、測定した密度との比を相対密度とした。
(2)ドープ元素濃度
ICP測定により、各元素の存在量を測定した。
(3)ターゲットのバルク抵抗及び透明導電膜の比抵抗
三菱化学製ロレスタにより、4探針法により測定し、ターゲットのバルク抵抗又は透明導電膜の比抵抗を算出した。
(4)可視光透過率
自記分光光度計により、波長550nmでの透過率を空気を参照として測定した。
(1)ターゲットIの製造
酸化インジウム450gと酸化サマリウム550gとをイオン交換水に分散させて、ビーズミルにて約5時間粉砕・混合した。
次いで、得られたスラリーをスプレイドライヤーにて乾燥・造粒した後、上記で得られた粉末を10mmφの金型に装入し、金型プレス成型機により100kg/cm2の圧力で予備成形を行った。次に、冷間静水圧プレス成型機により4t/cm2の圧力で圧密化した後、1300℃で5時間焼結して、焼結体を得た。
このようにして得られた焼結体は、X線回折測定の結果、InとSmを主成分とする酸化物からなるターゲットIであることが確認された(図1)。
ICP(Inductively Coupled Plasma)分析の結果、原子比Sm/(In+Sm)=0.5(In/(In+Sm)=0.5)であった。
EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)による面内の元素分布測定により、In、Smの分散状態を確認したが、その組成は実質的に均一であった。また、この焼結体の相対密度は95%であった。
(1)ターゲットIの製造
酸化インジウム850gと酸化サマリウム150gを用いた他は、実施例1と同様にして焼結体を得た。
得られた焼結体は、X線回折測定の結果、InSmO3と、酸化インジウムからなるターゲットIであることが確認された(図2)。
ICP分析の結果、原子比Sm/(In+Sm)=0.12であった。
EPMA測定により、In、Smの分散状態を確認したが、その粒径は実質的に均一であった。また、この焼結体の相対密度は95%であった。
(1)ターゲットIIの製造
酸化インジウム900g、酸化スズ70g、酸化サマリウム30gを直径2mmのアルミナボールとともに容積10リットルのポリイミド製のポットに入れ、エタノールを加えて遊星ボールミルで10時間粉砕混合した。
この粉末を直径4インチの金型に装入し、100kg/cm2の圧力で金型プレス成型機にて予備成形を行なった。その後、冷間静水圧プレス成型機にて4t/cm2の圧力で圧密化し、熱間静水圧プレスにて1000kgf/cm2、1300℃で3時間焼成し焼結体を得た。得られた焼結体はX線回折測定の結果、Sn2Sm2O7及び酸化インジウムであることが確認された(図3)。
ICP分析の結果、原子比Sm/(In+Sm)=0.026であった。
EPMA測定による面内分布より、In、Sn、Smの分散状態を確認したが、その粒径はSn,Smとも10μm以下であり、ターゲット中に実質的に均一に分散している状態であった。また、この焼結体の相対密度は95%であった(図4)。
上記(1)で得られた焼結体をスパッタリングターゲットとして用いて、以下の要領で透明導電膜を製造した。
まず、基板(厚さ1.1mmのガラス板)をRFマグネトロンスパッタ装置に装着し、真空槽内を5×10−4Pa以下まで減圧した。この後、アルゴンガスを真空圧3×10−1Paまで導入し、出力100W、基板温度:室温の条件でスパッタリングを行い、膜厚100nmの透明導電膜を成膜した。
得られた透明導電膜は、X線回折測定の結果、非晶質であることが確認された。また、この透明導電膜におけるICP分析の結果:原子比Sm(In+Sm)=0.026、In/(In+Sn+Sm)=0.910、Sn/(In+Sn+Sm)=0.065、Sm/(In+Sn+Sm)=0.025であった。
得られた透明導電膜の比抵抗は480μΩcmであり、可視光透過率は86.2%であった。また、40℃、90%RHの条件での耐湿性試験1000時間後でも比抵抗は485μΩcmと低く、得られた透明導電膜は、耐湿性に優れていることが確認された。また、成膜して得られた膜を、大気雰囲気下に300℃で1時間熱処理を行った場合、比抵抗は240μΩcmと低抵抗化した。また、X線回折結果からは、酸化インジウムにピークが確認され、結晶質であることが判明した(図5)。
(1)ターゲットIIの製造
酸化インジウム850g、酸化スズ50g、酸化サマリウム100gを用いた他は、実施例3と同様にして焼結体を得た。
得られた焼結体は、X線回折測定の結果、Sn2Sm2O7、InSmO3及び酸化インジウムであることが確認された(図6)。
ICP分析の結果、原子比Sm/(In+Sm)=0.086であった。
EPMA測定による面内分布より、In、Smの分散状態を確認したが、その粒径はSn,Smとも10μm以下であり、ターゲット中に実質的に均一に分散している状態であった。また、この焼結体の相対密度は95%であった。
上記(1)で得られた焼結体をスパッタリングターゲットとして用いた他は、実施例3と同様にして透明導電膜を製造した。
得られた透明導電膜は、X線回折測定の結果、非晶質であることが確認された。また、この透明導電膜におけるICP分析の結果:原子比Sm/(In+Sm)=0.086、In/(In+Sn+Sm)=0.87、Sn/(In+Sn+Sm)=0.047、Sm/(In+Sn+Sm)=0.083であった。
得られた透明導電膜の比抵抗は435μΩcmであり、可視光透過率は86.8%であった。また、40℃、90%RHの条件での耐湿性試験1000時間後でも比抵抗は462μΩcmと低く、得られた透明導電膜は、耐湿性に優れていることが確認された。
成膜直後の透明導電膜を真空槽内に装着し、5×10−4Pa以下まで減圧した後に、0.3Paのアルゴン雰囲気中、300℃、1時間、熱処理を施した。この膜はX線回折の結果、酸化インジウムの結晶が観察され、結晶質であることが確認された。この熱処理後の透明導電膜の比抵抗は215μΩcmと低抵抗化していることが判明した。
(1)ターゲットIIの製造
酸化インジウム900g、酸化スズ50g、酸化サマリウム50gを用いた他は、実施例3と同様にして焼結体を得た。
得られた焼結体はX線回折測定の結果、Sn2Sm2O7及び酸化インジウムであることが確認された。
ICP分析の結果、原子比Sm/(In+Sm)=0.042であった。
EPMA測定により、In、Smの分散状態を確認したが、その組成及び粒径は実質的に均一であった。また、この焼結体の相対密度は95%であった。
上記(1)で得られた焼結体をスパッタリングターゲットとして用いとして用いた他は、実施例3と同様にして透明導電膜を製造した。
得られた透明導電膜は、X線回折測定の結果、非晶質であることが確認された。また、この透明導電膜におけるICP分析の結果:原子比Sm(In+Sm)=0.042、In/(In+Sn+Sm)=0.91、Sn/(In+Sn+Sm)=0.05、Sm/(In+Sn+Sm)=0.04であった。
得られた透明導電膜の比抵抗は486μΩcmであり、可視光透過率は86.4%であった。また、40℃、90%RHの条件での耐湿性試験1000時間後でも比抵抗は514μΩcmと低く、得られた透明導電膜は、耐湿性に優れていることが確認された。
成膜直後の透明導電膜を実施例4と同様に熱処理を施した。この膜はX線回折の結果、酸化インジウムの結晶が観察され、結晶質であることが確認された。この熱処理後の透明導電膜の比抵抗は247μΩcmと低抵抗化していることが判明した。
(1)ターゲットIIの製造
酸化インジウム900g、酸化スズ90g、酸化サマリウム10gを用いた他は、実施例3と同様にして焼結体を得た。
得られた焼結体はX線回折測定の結果、Sn2Sm2O7の微小な結晶及び酸化インジウムであることが確認された。
ICP分析の結果、原子比Sm/(In+Sm)=0.009であった。
EPMA測定により、In、Smの分散状態を確認したが、その組成及び粒径は実質的に均一であった。また、この焼結体の相対密度は95%であった。
上記(1)で得られた焼結体をスパッタリングターゲットとして用いた他は、実施例3と同様にして透明導電膜を製造した。
得られた透明導電膜は、X線回折測定の結果、非晶質であることが確認された。また、この透明導電膜におけるICP分析の結果:原子比Sm/(In+Sm)=0.0088、In/(In+Sn+Sm)=0.908、Sn/(In+Sn+Sm)=0.084、Sm/(In+Sn+Sm)=0.008であった。
得られた透明導電膜の比抵抗は386μΩcmであり、可視光透過率は87.8%であった。また、40℃、90%RHの条件での耐湿性試験1000時間後でも比抵抗は432μΩcmと低く、得られた透明導電膜は、耐湿性に優れていることが確認された。
成膜直後の透明導電膜を実施例4と同様に熱処理を施した。この膜はX線回折の結果、酸化インジウムの結晶が観察され、結晶質であることが確認された。この熱処理後の透明導電膜の比抵抗は195μΩcmと低抵抗化していることが判明した。
(1)ターゲットの製造
酸化インジウム900gと酸化スズ100gを用いた他は、実施例3と同様にして焼結体を得た。
得られた焼結体はX線回折測定の結果、In2O3の酸化インジウムであることが確認された。
EPMA測定により、In、Snの分散状態を確認したが、その組成及び粒径は実質的に均一であった。また、この焼結体の相対密度は95%であった。
上記(1)で得られた焼結体をスパッタリングターゲットとして用いた他は、実施例3と同様にして透明導電膜を製造した。
得られた透明導電膜は、X線回折測定の結果、微結晶質であることが確認された。また、この透明導電膜におけるICP分析の結果:原子比In/(In+Sn)=0.91、Sn/(In+Sn)=0.09であった。
得られた透明導電膜の比抵抗は860μΩcmであり、可視光透過率は87.3%であった。また、40℃、90%RHの条件での耐湿性試験1000時間後、比抵抗は1560μΩcmと高く、得られた透明導電膜は、耐湿性に劣ることが確認された。
成膜直後の透明導電膜を実施例4と同様に熱処理を施した。この膜はX線回折の結果、酸化インジウムの結晶が観察され、結晶質であることが確認された。この熱処理後の透明導電膜の比抵抗は360μΩcmと低抵抗化していることが判明した。
Claims (7)
- InSmO 3 と、酸化インジウムからなる酸化物の焼結体からなることを特徴とするスパッタリングターゲット。
- 前記焼結体におけるInとSmの原子比[Sm/(In+Sm)]が0.001〜0.8であることを特徴とする請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記焼結体に、正四価以上の原子価を有する元素の少なくとも1種が、全カチオン元素の合計量に対して20原子%以下でドープされていることを特徴とする請求項1又は2に記載のスパッタリングターゲット。
- 上記正四価以上の原子価を有する元素が、Sn、Ge、Ti、Zr、Hf、Nb及びCeよりなる群から選ばれた1種以上の元素であることを特徴とする請求項3に記載のスパッタリングターゲット。
- InSmO3及び/又はSn2Sm2O7を含む酸化物の焼結体からなることを特徴とする請求項3又は4に記載のスパッタリングターゲット。
- インジウム化合物とサマリウム化合物とを混合し混合物を得る工程と、
前記混合物を成形して成形物を得る工程と、
前記成形物を焼結して焼結体を得る工程と、
を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のスパッタリングターゲットの製造方法。 - インジウム化合物とサマリウム化合物に、正四価以上の原子価を有する元素の少なくとも1種を加えて混合し混合物を得る工程と、
前記混合物を成形して成形物を得る工程と、
前記成形物を焼結して焼結体を得る工程と、
を含むことを特徴とする請求項3〜5のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007525917A JP5089386B2 (ja) | 2005-07-15 | 2006-06-21 | In・Sm酸化物系スパッタリングターゲット |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005207513 | 2005-07-15 | ||
JP2005207513 | 2005-07-15 | ||
JP2005258740 | 2005-09-07 | ||
JP2005258740 | 2005-09-07 | ||
JP2007525917A JP5089386B2 (ja) | 2005-07-15 | 2006-06-21 | In・Sm酸化物系スパッタリングターゲット |
PCT/JP2006/312412 WO2007010702A1 (ja) | 2005-07-15 | 2006-06-21 | In・Sm酸化物系スパッタリングターゲット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007010702A1 JPWO2007010702A1 (ja) | 2009-01-29 |
JP5089386B2 true JP5089386B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=37668587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007525917A Expired - Fee Related JP5089386B2 (ja) | 2005-07-15 | 2006-06-21 | In・Sm酸化物系スパッタリングターゲット |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7648657B2 (ja) |
EP (1) | EP1905864B1 (ja) |
JP (1) | JP5089386B2 (ja) |
KR (1) | KR101294986B1 (ja) |
TW (1) | TWI390064B (ja) |
WO (1) | WO2007010702A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20090051170A (ko) * | 2006-08-10 | 2009-05-21 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 란타노이드 함유 산화물 타겟 |
KR20090063946A (ko) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 산화인듐주석 타겟 및 이를 이용한 투명 도전막의 제조방법 |
DE112012002394T5 (de) | 2011-06-08 | 2014-02-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Sputtertarget, Verfahren zum Herstellen eines Sputtertargets und Verfahren zum Bilden eines Dünnfilmes |
US9885108B2 (en) | 2012-08-07 | 2018-02-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for forming sputtering target |
JP6141777B2 (ja) | 2013-02-28 | 2017-06-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US20160343554A1 (en) | 2013-12-27 | 2016-11-24 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Oxide sintered body, method for producing same and sputtering target |
US11274363B2 (en) | 2019-04-22 | 2022-03-15 | Nxp Usa, Inc. | Method of forming a sputtering target |
CN114477997A (zh) * | 2020-05-20 | 2022-05-13 | 深圳市科思飞科技有限公司 | 一种陶瓷粉及其用途 |
CN111943649B (zh) * | 2020-07-22 | 2022-08-26 | 长沙壹纳光电材料有限公司 | 一种用于蒸镀的烧结体及其制备方法 |
CN116283291B (zh) * | 2023-03-20 | 2024-02-23 | 中国矿业大学(北京) | 绝缘管制备方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004068054A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Idemitsu Kosan Co Ltd | スパッタリングターゲット及び焼結体それらを利用して製造した導電膜。 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5385400A (en) * | 1977-01-06 | 1978-07-27 | Tdk Corp | Porcelain composite for voltage non-linear resistor |
JPS6450258A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Sumitomo Metal Mining Co | Production of thin film of high-refractive index dielectric material |
JPS6450258U (ja) | 1987-09-22 | 1989-03-28 | ||
EP0677593B1 (en) | 1992-12-15 | 2000-03-22 | Idemitsu Kosan Company Limited | Transparent conductive film, transparent conductive base material, and conductive material |
JP2695605B2 (ja) | 1992-12-15 | 1998-01-14 | 出光興産株式会社 | ターゲットおよびその製造方法 |
JP3179287B2 (ja) | 1993-12-28 | 2001-06-25 | 出光興産株式会社 | 導電性透明基材およびその製造方法 |
JP3803132B2 (ja) * | 1996-01-31 | 2006-08-02 | 出光興産株式会社 | ターゲットおよびその製造方法 |
EP1693483B1 (en) | 2002-08-02 | 2009-10-07 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Sputtering target, sintered article, conductive film fabricated by utilizing the same, organic el device, and substrate for use therein |
JP4428502B2 (ja) | 2002-10-23 | 2010-03-10 | 出光興産株式会社 | 有機電界発光素子用電極基板およびその製造方法並びに有機el発光装置 |
JP2004119272A (ja) | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機el素子及びそれに用いる基板 |
JP4241003B2 (ja) | 2002-11-07 | 2009-03-18 | 出光興産株式会社 | 有機電界発光素子用電極基板および有機el発光装置 |
JP4308497B2 (ja) | 2002-10-16 | 2009-08-05 | 出光興産株式会社 | 有機電界発光装置用電極基板および有機電界発光装置およびその装置の製造方法 |
JP2004294630A (ja) | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 反射型電極基板及びその製造方法、並びにその製造方法に用いるエッチング組成物 |
JP2004333882A (ja) | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 反射型電極基板及びその製造方法 |
KR20050097538A (ko) * | 2003-02-05 | 2005-10-07 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 반투과 반반사형 전극 기판의 제조 방법, 및 반사형 전극기판 및 그 제조 방법, 및 그 반사형 전극 기판의 제조방법에 이용하는 에칭 조성물 |
JP2004240091A (ja) | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 半透過半反射型電極基板の製造方法 |
JP4281390B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2009-06-17 | 株式会社デンソー | 絶縁層およびエレクトロルミネセンス素子の製造方法 |
JP4762062B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2011-08-31 | 出光興産株式会社 | 焼結体、膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
-
2006
- 2006-06-21 KR KR1020087001015A patent/KR101294986B1/ko active IP Right Grant
- 2006-06-21 JP JP2007525917A patent/JP5089386B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-21 WO PCT/JP2006/312412 patent/WO2007010702A1/ja active Application Filing
- 2006-06-21 EP EP06767071.1A patent/EP1905864B1/en not_active Not-in-force
- 2006-06-21 US US11/995,640 patent/US7648657B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-27 TW TW095123205A patent/TWI390064B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004068054A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Idemitsu Kosan Co Ltd | スパッタリングターゲット及び焼結体それらを利用して製造した導電膜。 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2007010702A1 (ja) | 2009-01-29 |
TWI390064B (zh) | 2013-03-21 |
EP1905864A4 (en) | 2008-07-23 |
KR101294986B1 (ko) | 2013-08-08 |
EP1905864A1 (en) | 2008-04-02 |
EP1905864B1 (en) | 2013-06-12 |
TW200712232A (en) | 2007-04-01 |
US7648657B2 (en) | 2010-01-19 |
KR20080026169A (ko) | 2008-03-24 |
WO2007010702A1 (ja) | 2007-01-25 |
US20090121199A1 (en) | 2009-05-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5089386B2 (ja) | In・Sm酸化物系スパッタリングターゲット | |
JP4850378B2 (ja) | スパッタリングターゲット、透明導電性酸化物、およびスパッタリングターゲットの製造方法 | |
JP5269501B2 (ja) | 酸化物焼結体及びそれからなるスパッタリングターゲット | |
JP3746094B2 (ja) | ターゲットおよびその製造方法 | |
JP2695605B2 (ja) | ターゲットおよびその製造方法 | |
TWI461382B (zh) | ZnO-SnO 2 -In 2 O 3 Department of oxide sintered body and amorphous transparent conductive film | |
KR100306565B1 (ko) | 투명도전막과그의제조방법,투명도전막이형성된도전성투명필름과도전성투명유리,및도전성재료 | |
JP4960244B2 (ja) | 酸化物材料、及びスパッタリングターゲット | |
TWI441933B (zh) | Targets containing oxides of lanthanides | |
JP3179287B2 (ja) | 導電性透明基材およびその製造方法 | |
TWI433823B (zh) | 複合氧化物燒結體、複合氧化物燒結體之製造方法、濺鍍靶材及薄膜之製造方法 | |
JP5377328B2 (ja) | 酸化スズ−酸化マグネシウム系スパッタリングターゲット及び透明半導体膜 | |
JP5000230B2 (ja) | 酸化ランタン含有酸化物ターゲット | |
JP5018553B2 (ja) | ZnO蒸着材及びその製造方法並びにそれにより形成されたZnO膜 | |
JP4960052B2 (ja) | 酸化イッテルビウム含有酸化物ターゲット | |
JP5000231B2 (ja) | 酸化ガドリニウム含有酸化物ターゲット | |
CN101223296A (zh) | In·Sm氧化物系溅射靶 | |
JP5063968B2 (ja) | 酸化エルビウム含有酸化物ターゲット | |
JP2017014535A (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP2010269984A (ja) | ホウ素を含有するZnO系焼結体の製造方法 | |
JP4960041B2 (ja) | 酸化ネオジム含有酸化物ターゲット | |
JP4960053B2 (ja) | 酸化ジスプロシウム含有酸化物ターゲット | |
JP2012126619A (ja) | 酸化亜鉛焼結体およびその製造方法 | |
TW201522689A (zh) | 濺鍍靶及其製造方法 | |
JP2017014534A (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120327 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120528 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120814 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120911 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5089386 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |